JP5847411B2 - ダイボンダ及び半導体製造方法 - Google Patents
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Description
特許文献1の方法では、光(特に紫外光)を照射すると気体が発生する気体発生剤を含有する粘着剤層を有するダイシング用粘着テープを用い、粘着剤層とダイとの界面に放出された気体で接着面の少なくとも一部を剥離して、ニードルレスピックアップ法(ニードルによりダイを突き上げない方法)によりピックアップを実現する。また、特許文献1では、ダイに光を照射する時間を時間管理で行っている。
また、本発明の第2の目的は、第1の目的を達成するダイボンダを用い信頼性の高い半導体製造方法を提供することである。
本発明は、先端にダイを真空吸着する吸着手段を有し、前記真空吸着によってウェハから剥離された前記ダイを基板にボンディングするボンディングヘッドと、前記吸着手段の位置と前記真空吸着を制御する真空吸着制御手段と、紫外光を照射すると気体が発生する気体発生剤を含有し、前記ダイを粘着保持するダイシング用粘着テープの所定の照射領域に前記紫外光を照射する照射部と、前記照射を制御する照射制御部とを有する紫外光照射手段と、前記ダイシング用粘着テープと前記照射部を相対的に移動させる移動手段と、を有することを第1の特徴とする。
また、本発明は、照射は前記照射領域の移動に伴い、連続的に前記照射を行う
ことを第4の特徴とする。
また、本発明によれば、第1の目的を達成するダイボンダを用い信頼性の高い半導体製造方法を提供できる。
図1は、本発明の一実施形態であるダイボンダ10を上から見た概念図である。ダイボンダ10は大別してウェハ供給部1と、基板供給・搬送部2と、ダイボンディング部3と、これ等を制御する制御部7とを有する。
基板供給・搬送部2はスタックローダ21と、フレームフィーダ22と、アンローダ23とを有する。スタックローダ21は、ダイを接着する基板(例えば、リードフレーム)をフレームフィーダ22に供給する。フレームフィーダ22は、基板をフレームフィーダ22上の2箇所の処理位置を介してアンローダ23に搬送する。アンローダ23は、搬送された基板を保管する。
最後に、ステップ1から10の処理をウェハリング14上に保持されているダイ4のうち必要な個数又は全てをボンディングするまで繰り返す(Step12)。
最後に、ステップ1から10の処理をウェハリング14上に保持されているダイ4のうち必要な個数又は全てをボンディングするまで繰り返す(Step11)。
また、第2の実施例では移動させながら紫外光57を照射したが、第1の実施例のように、左、中央、右の順序で間欠的にダイ4を移動させ、紫外光も間欠的に照射してもよい。
3:ダイボンディング部 4:ダイ(半導体チップ)
7:制御部 10:ダイボンダ
12:ピックアップ装置 14:ウェハリング
15:エキスパンドリング 16:ダイシング用粘着テープ
16g:気体発生剤からの気体 17:支持リング
32:ボンディングヘッド部 32h:ボンディングヘッド
40:コレット部 41:コレットホルダー
41v:コレットホルダーにおける吸着孔 42:コレット
42v:コレットにおける吸着孔 50:紫外光照射手段
51:紫外光源 52:レンズ部
53:ファイバーケーブル 54:遮光マスク
55:位置調整部 56:台座
57:紫外光 60:ウェハ保持部
70:吸着設備 71:エア流量センサ
72:エア吸引配管 73:エアポンプ
74:真空吸着制御手段 Sr:照射領域
Claims (8)
- 先端にダイを真空吸着する吸着手段を有し、前記真空吸着によってウェハから剥離され
た前記ダイを基板にボンディングするボンディングヘッドと、
前記吸着手段の位置と前記真空吸着を制御する真空吸着制御手段と、
紫外光を照射すると気体が発生する気体発生剤を含有するダイシング用粘着テープであって、前記ダイを粘着保持するダイシング用粘着テープの所定の照射領域に前記紫外光を照射する照射部と、前記照射を制御する照射制御部とを有する紫外光照射手段と、
前記ダイシング用粘着テープと前記照射部を、前記ダイの中央部の照射領域を前記ダイの端辺の照射領域よりも後に照射するよう相対的に移動させる移動手段と、
を有することを特徴とするダイボンダ。 - 前記紫外光照射手段は、前記ダイの前記中央部の照射領域を前記ダイの前記端辺の照射領域よりも短く照射する照射手段である、請求項1記載のダイボンダ。
- 前記吸着手段は、前記ダイの前記中央部の照射領域が照射されるとき、前記ダイの吸着を開始する吸着手段である、請求項1若しくは2記載のダイボンダ。
- 前記真空吸着制御手段は、前記ダイの一部が前記ダイシング用粘着テープに粘着保持し
た状態で前記吸着手段を降下させて前記ダイを吸着することを特徴とする請求項1に記載ダイボンダ。 - ボンディングヘッドがその先端に設けられた吸着手段でダイを真空吸着し、ウェハから
剥離する剥離ステップと、
剥離された前記ダイを基板にボンディングする装着ステップと、
紫外光を照射すると気体が発生する気体発生剤を含有するダイシング用粘着テープであって、前記ダイを粘着保持するダイシング用粘着テープの所定の照射領域に照射部から前記紫外光を照射する照射ステップと、
前記ダイシング用粘着テープと前記照射部を、前記ダイの中央部の照射領域を前記ダイの端辺の照射領域よりも後に照射するよう相対的に移動させる移動ステップと、
を有することを特徴とする半導体製造方法。 - 前記照射ステップは、前記ダイの前記中央部の照射領域を、前記ダイの前記端辺の照射領域よりも短く照射する照射ステップである、請求項5記載の半導体製造方法。
- 前記吸着ステップは、前記ダイの前記中央部の照射領域が照射されるとき、前記ダイの吸着を開始する吸着ステップである、請求項5若しくは6記載の半導体製造方法。
- 前記剥離ステップは、前記ダイの一部が前記ダイシング用粘着テープに粘着保持した状
態で前記吸着手段を降下させて前記ダイを吸着することを特徴とする請求項5に記載の半
導体製造方法。
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