JP2018059911A - 部品の検査のための後方散乱x線 - Google Patents
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Abstract
Description
X線エミッタと、ゾーンプレートと、を含み、前記X線エミッタは、
出射開口を有するX線シールドと、
前記X線シールド内の真空管と、
前記真空管内に封入されるとともに、電子線を生成するように選択的に動作可能な陰極と、
前記真空管内に封入されるとともに、前記陰極からの前記電子線を受けて前記電子線を硬X線に変換するように、前記陰極に対して相対配置され、且つ、前記硬X線の少なくとも一部が前記出射開口を通過するように導くべく、前記出射開口に対して相対配置された陽極と、を含み、
前記ゾーンプレートは、前記X線シールドの前記出射開口から前記硬X線の前記一部を受けるとともに、前記出射開口から受けた前記硬X線の前記一部を集束して集束硬X線を生成するように、前記X線シールドの外部において、前記出射開口に対して相対配置されている、後方散乱X線装置。
ベースと、
前記ベースに接続されたX線エミッタと、
前記ベースに移動可能に接続された検査フィルタであって、前記X線エミッタから硬X線を受けるとともに、前記検査フィルタにおけるフィルタ開口を介して、前記硬X線の少なくとも一部を前記部品における選択位置に向けるように選択的に動作可能な検査フィルタと、
前記X線エミッタと前記検査フィルタとの間に介在するとともに、前記X線エミッタから前記硬X線を受けて、前記X線エミッタから受けた前記硬X線のビームパターンを変更するゾーンプレートと、を含む後方散乱X線システム。
ゾーンプレートにおいて、X線エミッタからの硬X線を受けることと、
前記ゾーンプレートを用いて、前記硬X線を集束して、集束硬X線を生成することと、
前記ゾーンプレートを用いて、前記集束硬X線の少なくとも一部が、検査フィルタの第1フィルタ開口を通過して前記部品の第1部分に当たるように導くことと、を含む、方法。
Claims (10)
- 部品の非破壊検査のための後方散乱X線装置であって、
X線エミッタと、ゾーンプレートと、を含み、前記X線エミッタは、
出射開口を有するX線シールドと、
前記X線シールド内の真空管と、
前記真空管内に封入されるとともに、電子線を生成するように選択的に動作可能な陰極と、
前記真空管内に封入されるとともに、前記陰極からの前記電子線を受けて前記電子線を硬X線に変換するように、前記陰極に対して相対配置され、且つ、前記硬X線の少なくとも一部が前記出射開口を通過するように導くべく、前記出射開口に対して相対配置された陽極と、を含み、
前記ゾーンプレートは、前記X線シールドの前記出射開口から前記硬X線の前記一部を受けるとともに、前記出射開口から受けた前記硬X線の前記一部を集束して集束硬X線を生成するように、前記X線シールドの外部において前記出射開口に対して相対配置されている、後方散乱X線装置。 - 前記ゾーンプレートは、複数のフレネルゾーンを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記ゾーンプレートにおける前記複数のフレネルゾーンのうちの少なくとも1つは、前記ゾーンプレートの焦点距離(f)に対応する少なくとも1つの半径を有する、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記ゾーンプレートは、少なくとも部分的に、カーボンナノチューブで作製されている、請求項1〜3のいずれかに記載の装置。
- 前記ゾーンプレートには、表面処理が施されている、請求項1〜4のいずれかに記載の装置。
- 前記硬X線ストリームは、約60KeV〜約80KeVのエネルギーレベルを有する、請求項1〜5のいずれかに記載の装置。
- 前記X線エミッタが接続されたベースと、
前記ベースに移動可能に接続された検査フィルタであって、前記X線エミッタから前記硬X線を受けるとともに、前記検査フィルタにおけるフィルタ開口を介して、前記硬X線の少なくとも一部を、部品における選択位置に向けるように選択的に動作可能な検査フィルタと、を含み、
前記ゾーンプレートは、前記X線エミッタと前記検査フィルタとの間に介在するとともに、前記X線エミッタから前記硬X線を受けて、前記X線エミッタから受けた前記硬X線のビームパターンを変更する、請求項1〜6のいずれかに記載の装置。 - 前記検査フィルタは、複数の開口を有する回転可能リングを含み、前記複数の開口のうちの少なくとも1つは、前記複数の開口のうちの他の1つとは異なる、請求項1〜7のいずれかに記載の装置。
- 後方散乱X線により部品の非破壊検査を行う方法であって、
ゾーンプレートにおいて、X線エミッタからの硬X線を受けることと、
前記ゾーンプレートを用いて、前記硬X線を集束して、集束硬X線を生成することと、
前記ゾーンプレートを用いて、前記集束硬X線の少なくとも一部が、検査フィルタの第1フィルタ開口を通過して前記部品の第1部分に当たるように導くことと、を含む、方法。 - 前記ゾーンプレートに対して前記検査フィルタの配向を調節して、前記集束硬X線が、前記検査フィルタの第2フィルタ開口を通過して、前記部品の第2部分に当たるように導くことをさらに含み、前記第2フィルタ開口は前記第1フィルタ開口とは異なる、請求項9に記載の方法。
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