JP2018050006A - 太陽電池セル、及び太陽電池セルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
バックコンタクト型の太陽電池では受光面側に電極が形成されない。このため、電極による太陽光の遮蔽がなく、高い受光効率による高い発電効率が実現される。
ところが、バックコンタクト型の太陽電池では、裏面側にp型及びn型の半導体層を形成する必要が有るため、どのように太陽電池を形成するかが問題となる。
しかし、本発明者らが、例えば特許文献1に記載されるような、従来の方法に従って、上記の溝を有するバックコンタクト型の太陽電池の製造を試みたところ、溝により分断された電極層間でのリークパスが生じやすかったり、太陽電池製造時の結晶シリコン基板のダメージに起因して、太陽電池セルの開放電圧が低下しやすかったりする問題があることが明らかになった。
(i)結晶シリコン基板と、半導体領域とを含む太陽電池セルであって、
半導体領域は、結晶シリコン基板の第1主面上にあり、且つ、分離溝によって2つの領域に隔てられて電気的に絶縁されており、
半導体領域は、半導体層と、電極層とを含み、
第1主面から半導体領域への方向を上方とする場合に、電極層は半導体層の上面側にあり、
分離溝を挟んで対向する一方の半導体領域の電極層と、他方の半導体領域の電極層との最短距離Wtが、一方の半導体領域の半導体層と、他方の半導体領域の半導体層との最短距離Wnの1.2倍以上10倍以下である、太陽電池セル、及び
(ii)(i)に記載の太陽電池セルの製造方法であって、
結晶シリコン基板と、半導体層及び電極層とを含む半導体領域と、最表層であるエッチングマスクとを含む前駆積層体について、エッチングマスクの開口部から電極層と半導体層とをエッチングして溝を形成することにより、半導体領域を分割することを含み、
半導体層の上面側に電極層が積層され、電極層上にエッチングマスクが積層される、太陽電池セルの製造方法、
を提供する。
図6に示すように、太陽電池セルは、結晶シリコン基板1と、半導体領域4とを含む太陽電池セルである。
半導体領域4は、結晶シリコン基板1の第1主面1a上にあり、且つ、分離溝9によって2つの領域に隔てられて電気的に絶縁されている。
半導体領域4は、半導体層5と、電極層7とを含む。
第1主面1aから半導体領域4への方向を上方とする場合に、電極層7は半導体層5の上面側にある。
分離溝9を挟んで対向する一方の半導体領域4aの電極層7aと、他方の半導体領域4bの電極層7bとの最短距離Wtが、一方の半導体領域4aの半導体層5と、他方の半導体領域4bの半導体層5との最短距離Wnの1.2倍以上10倍以下である。
太陽電池セルは、以上説明した構成以外の他の構成を、上記の構成外の構成を必要に応じて備える。
図1について説明する。まず、結晶シリコン基板1の受光面側(第2主面1b側)に真性半導体層2及び受光面側保護層3を形成する。次いで、裏面側(第1主面1a側)に真性半導体層6b及び第1導電型半導体層6a及び絶縁層8をこの順で積層する。続いて、裏面側の絶縁層8及び第1導電型半導体層6a及び真性半導体層6bの一部をエッチングにより除去し、結晶シリコン基板1の第1主面1aの一部を露出させる。
本発明者らは、これらの問題が、以下に説明する原因により生じると推察した。これらの問題の原因について、図4及び図5を参照しながら説明する。
図4は、リークパスの問題が生じる程度に狭い開口幅を有するエッチングマスク11を用いて、エッチングにより溝を形成することで電極層7(電極層7a及び電極層7b)と半導体層5とが分断された状態を模式的に示す図である。
エッチングマスク11の開口幅が狭い場合、電極層7aと電極層7bとの間で電極層7のエッチング残渣が生じやすい。このため、電極層7aと電極層7bとの間に残存又は堆積するエッチング残渣に起因して、電極層7aと電極層7bとの間にリークパスが生じやすいと考えられる。
図5は、解放電圧の低下が生じる程度に広い開口幅を有するエッチングマスク11を用いて、エッチングにより溝を形成することで電極層7(電極層7a及び電極層7b)と半導体層5とが分断された状態を模式的に示す図である。エッチングマスク11の開口幅が広い場合、エッチングマスク11の開口部の位置が所定の位置からわずかにずれることによって、エッチング後に、結晶シリコン基板1の表面が露出する場合がある。
この場合、図5に示されるように、結晶シリコン基板1が塩基等によるダメージを受ける場合がある。そうすると、結晶シリコン基板1がダメージを受けた場合に、太陽電池セルの開放電圧が低下してしまうと考えられる。
前述の構造を備える、本願発明にかかる太陽電池セルでは、分断された電極層7aと電極層7bとの間では広い開口幅を有するためリークパスの発生が抑制される一方で、分断された一方の半導体層と他方の半導体層との開口幅が狭いため、結晶シリコン基板1がエッチングによるダメージを受けにくい。このため、上記構造を備える太陽電池セルでは、リーク抵抗と、開放電圧とが高い。
図6は、好適な太陽電池セルの一例について、当該太陽電池セルの面方向に対して垂直な断面を模式的に示す図である。
半導体領域4aは、図6中、電極層7aと、半導体層5とからなる。
半導体層5は、通常、第2導電型半導体層5aと、真性半導体層5bとからなる。
また、半導体領域4bは、図6中、電極層7bと、半導体層5とからなる。
第2導電型半導体層5aと、第1導電型半導体層6aとは、一方がn型半導体層であり、他方がp型半導体層である。通常、第2導電型半導体層5aがn型半導体層であり、第1導電型半導体層6aがp型半導体層である。
隔てられた一方の電極層7aについては、分離溝9以外の部分において第2導電型半導体層5aを被覆するように形成される。他方の電極層7bについては、分離溝9以外の部分において、半導体層5の表面と第1導電型半導体層6aの表面とを被覆するように形成される。
電極層7がITOからなる場合、ITOとしては、アモルファスITOでも、結晶性ITOでもよく、アモルファスITOであるのが好ましい。
アモルファスITOを用いる場合、第2導電型半導体層5a、第1導電型半導体層6a等の半導体層との界面でのコンタクトが良好である電極層7を形成しやすい。
また、アモルファスITOを用いる場合、分離溝9を形成する際の電極層7のエッチングレートが高く、所望する形状の分離溝9の形成が容易である。
WtとWnとが上記の関係であることにより、分離溝9の電極層7aと電極層7bとを隔てる領域では、Wtが十分に広いため、電極層7のエッチング残渣に起因するリークパスの発生が抑制される。
他方、WtとWnとが上記の関係であることにより、分離溝9の半導体層5を隔てる領域ではWnが十分に狭く、太陽電池セルの製造時に結晶シリコン基板1の表面が露出しにくい。その結果、結晶シリコン基板1がダメージを受けにくく、太陽電池セルの開放電圧の低下を抑制できる。
まず、電極層7と分離溝9との境界、及び半導体層5と分離溝9との境界の特定は断面SEMを利用して行う。電極層7の材質がITO等のInを含む材料であり、電極層7と分離溝9との境界があいまいな場合はEDS(X線分析)でのIn検出を用いて境界を特定することができる。
境界を確認した後、Lasertec製コンフォーカル顕微鏡H1200の50倍もしくは100倍の対物レンズで境界領域を撮影し、Wt、Wn(分離された2つの電極層又は半導体層の端面間の最短距離)をそれぞれ測定することができる。
真性半導体層2は、結晶シリコン基板1の表面パッシベーションを目的に形成される。真性半導体層2の材質としては、水素化アモルファスシリコン、窒化シリコン、酸化シリコン、及び酸化アルミニウム等が用いられる。
つまり、分離溝9中に露出する分離された第2導電型半導体層5aの上面に、電極層7と同様の材質からなる1以上の凸部が形成されてもよい。
この場合、凸部による光の散乱が生じ、それにより、それにより分光感度電流値の向上が見込まれる。
以下、前述の太陽電池セルの、好適な製造方法について説明する。
前述の結晶シリコン基板1と、半導体層5及び電極層7とを含む半導体領域4と、最表層であるエッチングマスク11とを含む前駆積層体について、エッチングマスク11の開口部から電極層7と半導体層5とをエッチングして分離溝9を形成することにより、半導体領域4を分割することを含む。
前駆積層体においては、半導体層5上に電極層7が積層されている。
エッチングが施される上記の前駆積層体の断面を図7に示す。
そして、エッチングマスク11の開口部幅方向について、半導体層5よりも、電極層7においてエッチングを速く進行させることにより、太陽電池セルについて説明した所定の条件を満たす分離溝9が形成される。
所望する形状の分離溝9を形成する場合、電極層7のエッチングは、エッチングマスク11の開口部から絶縁層8への方向だけでなく、エッチングマスク11の開口部の幅方向にも進行する。このような、アンダーエッチを生じさせることで、分離溝9中に、幅Wtである電極層を隔てる幅広の領域が形成される。ここで、前述の通り、WtはWnの1.2倍以上10倍以下である。
また、半導体層5よりも、電極層7においてエッチングを速く進行させるが、半導体層5は、電極層7のエッチングに用いるエッチング液によりエッチングされないのが好ましい。この場合、半導体層5は、電極層7のエッチングに用いるエッチング液とは異なるエッチング液によりエッチングされる。
エッチング液の電極層7に対するエッチングレートは、10nm/sec以上がより好ましく、15nm/sec以上が特に好ましい。また、エッチング液の電極層7に対するエッチングレートは、50nm/sec以下が好ましい。
他方、半導体層5のエッチングは、KOH水溶液等のアルカリ性のエッチング液を用いて行われるのが好ましい。アルカリ性のエッチング液を用いる場合、Wnを過度に大きくすることなく所望する形状の分離溝9を形成しやすい。
かかる硬化は、ITOからなる電極層7において顕著であり、アモルファスITOからなる電極層7においてより顕著である。
入射面方位が(100)で、厚みが200μmのn型単結晶シリコン基板を用い、この基板を2重量%のHF水溶液に3分間浸漬し、表面の酸化シリコン膜を除去した。その後、超純水によるリンスを2回行った。リンスされた基板を、70℃に保持された、5質量%のKOHを含む、濃度15質量%のイソプロピルアルコール水溶液に15分間浸漬して基板の表面のエッチングを行い、基板表面にテクスチャを形成した。次いで、超純水によるリンスを2回行った。
このようにして得られた表面にテクスチャを備える基板を、結晶シリコン基板1として用いた。
次に、真性半導体層2の上に受光面側保護層3として窒化シリコン層が60nmの膜厚で製膜された。
さらに第1導電型半導体層6a上に、絶縁層8として酸化ケイ素層が60nmの膜厚で製膜された。
絶縁層8の一部の除去後、常法に従い、エッチングマスクを剥離、除去した。
さらに、第1導電型半導体層6a及び真性半導体層6bの一部(絶縁層8が除去された面)に対する等方性エッチングを行い、結晶シリコン基板1の第1主面aを露出させた。エッチングを経て得られた基板は、図1に示される構造を有する。
真性半導体層5b上に第2導電型半導体層5aとしてn型非晶質シリコン層が12nmの膜厚で製膜された。
このようにして形成された第2導電型半導体層5a上に、フォトレジストを用いてフォトリソグラフィ法によりエッチングマスクを形成した後、第2導電型半導体層5a及び真性半導体層5bの一部をKOH水溶液を用いて除去した。
続けて、第2導電型半導体層5a及び真性半導体層5bの除去により露出した箇所の絶縁層8を、HF水溶液によって除去し、第1導電型半導体層6aの表面の一部を露出させた。
絶縁層8の一部の除去後、常法に従い、エッチングマスクを剥離、除去した。
エッチングを経て得られた基板は、図2に示される構造を有する。
次いで、シリコン基板を濃度10質量%の塩酸水溶液に30秒間浸漬させて、電極層7の一部をエッチングした。さらに、シリコン基板を濃度3質量%のKOH水溶液に300秒間浸漬させて、半導体層5の一部をエッチングした。
このエッチング工程により、電極層7と半導体層5とからなる半導体領域4が、半導体領域4aと半導体領域4bとに分離された。
エッチング後のシリコン基板の断面を光学顕微鏡により観察したところ、アンダーカットは生じておらず、Wt、Wnのいずれもエッチングマスク11の開口幅と同じく50μmであった。
エッチング後に、常法に従い、エッチングマスク11を剥離、除去した後、分離された電極層7a及び電極層7b上それぞれに、銀ペーストを用いるスクリーン印刷により、第2電極10a及び第2電極10bを形成して、比較例1の太陽電池セルを得た。
比較例1の太陽電池セルの短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を、実施例及び比較例2の太陽電池との比較を行う際の基準として、それぞれ1.000として表1に記す。
エッチングマスク11の開口部の幅を50μmから60μmに変えることの他は、比較例1と同様にして太陽電池セルを得た。
エッチング後のシリコン基板の断面を光学顕微鏡により観察したところ、アンダーカットは生じておらず、Wt、Wnのいずれもエッチングマスク11の開口幅と同じく60μmであった。
得られた太陽電池セルについて、短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effを求めた。
比較例1の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を1.000とした場合の、比較例1の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を表1に記す。
電極層7をエッチングする際の時間を30秒から150秒に変えることの他は、比較例1と同様にして太陽電池セルを得た。
エッチング後のシリコン基板の断面を光学顕微鏡により観察したところ、アンダーカットが生じており、Wtが60μmであり、Wnが50μmであった。
得られた太陽電池セルについて、短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effを求めた。
比較例1の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を1.000とした場合の、実施例1の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を表1に記す。
電極層7をエッチングする際の時間を30秒から300秒に変えることの他は、比較例1と同様にして太陽電池セルを得た。
エッチング後のシリコン基板の断面を光学顕微鏡により観察したところ、アンダーカットが生じており、Wtが70μmであり、Wnが50μmであった。
得られた太陽電池セルについて、短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effを求めた。
比較例1の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を1.000とした場合の、実施例2の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を表1に記す。
電極層7を形成する際のパワー密度を、0.5W/cm2から3.5W/cm2に変えて結晶性ITOからなる電極層7を形成することと、電極層7のエッチングを35質量%濃度の塩酸水溶液を用いて300秒間行うこととの他は、比較例1と同様にして太陽電池セルを得た。
エッチング後のシリコン基板の断面を光学顕微鏡により観察したところ、アンダーカットが生じており、Wtが60μmであり、Wnが50μmであった。
得られた太陽電池セルについて、短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effを求めた。
比較例1の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を1.000とした場合の、実施例3の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を表1に記す。
電極層7のエッチングに用いる塩酸水溶液の濃度を10質量%から5質量%に変えることと、電極層7のエッチングの際の浸漬時間を30秒から300秒に変えることとの他は、比較例1と同様にして太陽電池セルを得た。
エッチング後のシリコン基板の断面を光学顕微鏡により観察したところ、アンダーカットが生じており、Wtが60μmであり、Wnが50μmであった。
得られた太陽電池セルについて、短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effを求めた。
比較例1の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を1.000とした場合の、実施例4の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を表1に記す。
得られた太陽電池セルに対して、170℃1時間の条件でのアニールを行うことの他は、実施例2と同様にして太陽電池セルを得た。
エッチング後のシリコン基板の断面を光学顕微鏡により観察したところ、アンダーカットが生じており、Wtが70μmであり、Wnが50μmであった。
得られた太陽電池セルについて、短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effを求めた。
比較例1の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を1.000とした場合の、実施例5の太陽電池の短絡電流Isc、開放電圧Voc、曲率因子FF、及び変換効率Effの値を表1に記す。
これは、実施例1及び実施例2では、Wtが十分に広いため、電極層7が十分にエッチングされリークパスが減少し、且つWnが十分に狭いため結晶シリコン基板1へのダメージが生じにくいためと考えられる。
これは、実施例3及び実施例4では、エッチングレートが低いため、実施例1と比べて若干エッチング残渣によるリークパスが生じすいためであると考えられる。
以上より、電極層7のエッチングレートは15nm/s以上が好ましく、電極層7の材質として、エッチングレートの高いアモルファスITOが好ましいことが分かる。
2 真性半導体層
3 受光面側保護層
4 半導体領域
5,6 半導体層
7 電極層
8 絶縁層
9 分離溝
10a,10b 第2電極
11 エッチングマスク
Claims (6)
- 結晶シリコン基板と、半導体領域とを含む太陽電池セルであって、
前記半導体領域は、前記結晶シリコン基板の第1主面上にあり、且つ、分離溝によって2つの領域に隔てられて電気的に絶縁されており、
前記半導体領域は、半導体層と、電極層とを含み、
前記第1主面から前記半導体領域への方向を上方とする場合に、前記電極層は前記半導体層の上面側にあり、
前記分離溝を挟んで対向する一方の半導体領域の電極層と、他方の半導体領域の電極層との最短距離Wtが、前記一方の半導体領域の半導体層と、前記他方の半導体領域の半導体層との最短距離Wnの1.2倍以上10倍以下である、太陽電池セル。 - 前記一方の半導体領域の電極層と、前記他方の半導体領域の電極層の間であって、前記半導体層の上面上に、電極層と同様の材質からなる凸部が島状に点在する、請求項1に記載の太陽電池セル。
- 前記電極層がアモルファスITOからなる、請求項1又は2に記載の太陽電池セル。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池セルの製造方法であって、
前記結晶シリコン基板と、半導体層及び電極層とを含む前記半導体領域と、最表層であるエッチングマスクとを含む前駆積層体について、前記エッチングマスクの開口部から前記電極層と前記半導体層とをエッチングして前記分離溝を形成することにより、前記半導体領域を分割することを含み、
前記半導体層の上面側に前記電極層が積層され、前記電極層上に前記エッチングマスクが積層される、太陽電池セルの製造方法。 - 前記エッチングにおいて、前記電極層に対するエッチングレートが5nm/sec以上であるエッチング液を用いる、請求項4に記載の方法。
- さらに、前記分離溝を形成した後に、前記電極層をアニールすることを含む、請求項4又は5に記載の方法。
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