JP2018043200A - 塗布装置および塗布方法 - Google Patents
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- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0254—Coating heads with slot-shaped outlet
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- B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
Abstract
Description
3…浮上機構(浮上部)
3A…上流浮上ユニット(上流浮上部)
3B…中央浮上ユニット(精密浮上部)
3C…下流浮上ユニット(下流浮上部)
4…搬送機構(搬送部)
9…制御部
511…スリットノズル
511a…吐出口
518…移動機構(移動部)
Vn…ノズル移動速度
Vw…基板搬送速度
W…基板
Wf…表面(基板の主面)
X…搬送方向
Claims (4)
- 基板の主面を上方に向けた状態で前記基板を浮上させる浮上部と、
前記浮上部により浮上させられた前記基板を所定の搬送方向に基板搬送速度で搬送する搬送部と、
前記搬送部によって搬送される前記基板の主面に塗布液を吐出して塗布するノズルと、
前記塗布液を吐出している前記ノズルを前記搬送方向に前記基板搬送速度よりも遅いノズル移動速度で移動させる移動部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置であって、
前記浮上部は、精密浮上部と、前記搬送方向の上流側で前記精密浮上部に隣接して設けられる上流浮上部と、前記搬送方向の下流側で前記精密浮上部に隣接して設けられる下流浮上部とを有し、
前記上流浮上部および前記下流浮上部による前記基板の浮上精度は前記精密浮上部による前記基板の浮上精度よりも低く、
前記移動部は、前記ノズルを前記精密浮上部と対向させながら移動させる塗布装置。 - 請求項2に記載の塗布装置であって、
前記移動部は、前記搬送方向において前記精密浮上部の中央部と対向させながら移動させる塗布装置。 - 基板の主面を上方に向けて浮上させた状態で搬送方向に所定の基板搬送速度で搬送しながら前記基板の主面に塗布液を塗布する塗布方法であって、
ノズルから前記基板の主面に前記塗布液を吐出しながら前記ノズルを前記搬送方向に前記基板搬送速度よりも遅いノズル移動速度で移動させることを特徴とする塗布方法。
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