JP2018041033A - 樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物 - Google Patents

Abstract

【課題】樹脂マスク除去性に優れ、排水処理負荷の小さい樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物の提供。
【解決手段】本開示は、一態様において、無機アルカリ（成分Ａ）、有機溶剤（成分Ｂ）及び水（成分Ｃ）を含有し、
成分Ｂのハンセン溶解度パラメータの座標が、δｄ＝１７．５、δｐ＝５．０、δｈ＝１１．５を中心とする半径１．５ＭＰａ^0.5の球の範囲内であり、
洗浄剤組成物の使用時における成分Ｃの含有量が、８５質量％以上であり、
成分Ｂに対する成分Ａの質量比（Ａ／Ｂ）が、１以上６０以下である、樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物に関する。
【選択図】なし

Description

本開示は、樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物、該洗浄剤組成物を用いた樹脂マスクの洗浄方法及び電子部品の製造方法に関する。

近年、パーソナルコンピュータや各種電子デバイスにおいては、低消費電力化、処理速度の高速化、小型化が進み、これらに搭載されるパッケージ基板などの配線は年々微細化が進んでいる。このような微細配線並びにピラーやバンプといった接続端子形成にはこれまでメタルマスク法が主に用いられてきたが、汎用性が低いことや配線等の微細化への対応が困難になってきたことから、他の新たな方法へと変わりつつある。

新たな方法の一つとして、ドライフィルムレジストをメタルマスクに代えて厚膜樹脂マスクとして使用する方法が知られている。この樹脂マスクは最終的に剥離・除去されるが、その際にアルカリ性の剥離用洗浄剤が使用される。このような剥離用洗浄剤として、例えば、特許文献１には、洗浄剤組成物１００質量部中、第四級アンモニウム水酸化物を０．５質量部以上３．０質量部以下含有し、水溶性アミンを３．０質量部以上１０．０質量部以下含有し、酸又はそのアンモニウム塩を０．３質量部以上２．５質量部以下含有し、水を５０．０質量部以上９５．０質量部以下含有する回路基板の製造に用いる樹脂マスク層用洗浄剤組成物が記載されている。

特許文献２には、組成物の全重量の約２〜５５重量％の少なくとも１種類のアルカノールアミン、少なくとも１種類のモルホリン、又はこれらの混合物と、約２０〜９４重量％の少なくとも１種類の有機溶媒と、約０．５〜６０重量％の水とを含むフィルム・レジストを除去するための組成物が記載されている。

特許文献３には、ＩＣやＬＳＩ等の半導体素子や液晶パネル素子製造時のエッチングやアッシング（灰化）の後に発生する残渣物の除去に使用する、（ａ）フッ素化合物、（ｂ）分子内にエーテル結合を有する２価のアルコール化合物、（ｃ）有機酸化合物、及び（ｄ）水を含有してなるレジスト剥離液が記載されている。

特許文献４には、いわゆるレジスト用現像液として、エポキシ樹脂系フォトソルダーレジストの未感光部分を剥離する剥離液であって、アルカリ溶液にプロピレン系グリコールエーテルの添加剤を添加したことを特徴とする剥離液が記載されている。

特許文献５には、基板上にコーティングされるレジスト膜の縁部または基板の後面に形成される不要な膜成分のレジストを除去し、装備の腐蝕を防止するための、ａ）無機アルカリ化合物０．１乃至５重量％、ｂ）有機アミン０．１乃至５重量％、ｃ）有機溶剤０．１乃至３０重量％、ｄ）アニオン系界面活性剤及びノニオン系界面活性剤を１:５乃至２５の重量比で含む界面活性剤０．０１乃至５重量％、及びｅ）水６０乃至９９重量％、を含むことを特徴とするレジスト除去用シンナー組成物が記載されている。

特開２０１５−７９２４４号公報 特開２０１４−７８００９号公報 特開２００４−１５７２８４号公報 特開平７−１４０６７６号公報 特表２００５−５０９６９３号公報

プリント基板等に微細配線を形成する上で、樹脂マスクの残存はもちろんのこと、微細配線やバンプ形成に用いられるはんだやメッキ液等に含まれる助剤等の残存を低減するため、洗浄剤組成物には高い洗浄性が要求される。樹脂マスクは、光や電子線等によって現像液に対する溶解性等の物性が変化するレジストを用いて形成されるものである。そして、レジストは、光や電子線との反応方法から、ネガ型とポジ型に大きく分けられている。ネガ型レジストは、露光されると現像液に対する溶解性が低下する特性を有し、ネガ型レジストを含む層（以下、「ネガ型レジスト層」ともいう）は、露光及び現像処理後に露光部が樹脂マスクとして使用される。ポジ型レジストは、露光されると現像液に対する溶解性が増大する特性を有し、ポジ型レジストを含む層（以下、「ポジ型レジスト層」ともいう）は、露光及び現像処理後に露光部が除去され、未露光部が樹脂マスクとして使用される。このような特性を有する樹脂マスクを使用することで、金属配線、金属ピラーやハンダバンプといった回路基板の微細な接続部を形成することができる。しかし、これら接続部形成時に使用されるメッキ処理や加熱処理等によって樹脂マスクの特性が変化し、次工程の洗浄工程において樹脂マスクを除去しにくくなってしまう。特に、ネガ型レジストは、光や電子線との反応により硬化する特性を有することから、ネガ型レジストを用いて形成された樹脂マスクは、接続部形成時に使用されるメッキ処理や加熱処理等によって必要以上に硬化が進み、洗浄工程で完全に除去できないか、あるいは、除去にかかる時間が非常に長くなることで基板や金属表面にダメージを与えてしまう。このようにメッキ処理及び／又は加熱処理された樹脂マスクは剥離しにくいため、洗浄剤組成物には高い樹脂マスク除去性が要求される。
一方、様々な分野において電子化が進みプリント基板等の生産量が増加している。さらに、利用される機器や装置の小型化、処理速度の高速化、消費電力を低減するため、配線が微細化、多層化し、剥離・洗浄工程が増加し、洗浄剤組成物の使用量も増加する傾向にある。この洗浄剤組成物の使用量の増加に伴い、洗浄剤組成物やリンス水等の廃液の排水処理負荷や廃液流入による湖沼の富栄養化も増大していることから、排水処理負荷が小さく、湖沼の富栄養化の原因となる窒素及びリンを含有せず、樹脂マスクを効率よく除去できる洗浄剤組成物が強く要望されている。しかし、前記特許文献に記載の方法では、高い樹脂マスク除去性と低い排水処理負荷の両立が難しい。

そこで、本開示は、樹脂マスク除去性に優れ、排水処理負荷の小さい樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物、該洗浄剤組成物を用いた樹脂マスクの洗浄方法及び基板の製造方法を提供する。

本開示は、一態様において、無機アルカリ（成分Ａ）、有機溶剤（成分Ｂ）及び水（成分Ｃ）を含有し、
成分Ｂのハンセン溶解度パラメータの座標が、δｄ＝１７．５、δｐ＝５．０、δｈ＝１１．５を中心とする半径１．５ＭＰａ^0.5の球の範囲内であり、
洗浄剤組成物の使用時における成分Ｃの含有量が、８５質量％以上であり、
成分Ｂに対する成分Ａの質量比（Ａ／Ｂ）が、１以上６０以下である、樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物に関する。

本開示は、一態様において、樹脂マスクが付着した被洗浄物を本開示に係る洗浄剤組成物で洗浄する工程を含む、樹脂マスクの洗浄方法に関する。

本開示は、一態様において、樹脂マスクが付着した被洗浄物を本開示に係る洗浄剤組成物で洗浄する工程を含む、電子部品の製造方法に関する。

本開示は、一態様において、本開示に係る洗浄剤組成物の、電子部品の製造への使用に関する。

本開示によれば、樹脂マスク除去性に優れ、排水処理負荷の小さい樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物を提供できる。そして、本開示に係る洗浄剤組成物を用いることによって、高い収率で高品質の電子部品が得られうる。さらに、本開示に係る洗浄剤組成物を用いることによって、微細な配線パターンを有する電子部品を効率よく製造できうる。

本開示は、無機アルカリ（成分Ａ）、特定のハンセン溶解度パラメータを有する有機溶剤（成分Ｂ）及び水（成分Ｃ）を含有し、成分Ｃの含有量、及び成分Ａと成分Ｂとの質量比が特定された洗浄剤組成物を用いることで、低い排水処理負荷であっても、樹脂マスク、特にメッキ処理及び／又は加熱処理された樹脂マスクを効率よく除去できるという知見に基づく。また、洗浄剤組成物中に窒素含有化合物及びリン含有化合物を含有させないことで、湖沼の富栄養化を抑制できるという知見に基づく。

すなわち、本開示は、一態様において、無機アルカリ（成分Ａ）、有機溶剤（成分Ｂ）及び水（成分Ｃ）を含有し、成分Ｂのハンセン溶解度パラメータの座標が、δｄ＝１７．５、δｐ＝５．０、δｈ＝１１．５を中心とする半径１．５ＭＰａ^0.5の球の範囲内であり、洗浄剤組成物の使用時における成分Ｃの含有量が、８５質量％以上であり、成分Ｂに対する成分Ａの質量比（Ａ／Ｂ）が、１以上６０以下である、樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物（以下、「本開示に係る洗浄剤組成物」ともいう）に関する。本開示によれば、樹脂マスク除去性に優れ、排水処理負荷の小さい洗浄剤組成物を提供できる。よって、本開示に係る洗浄剤組成物は、低い排水処理負荷であっても、樹脂マスク、特に、メッキ処理及び／又は加熱処理された樹脂マスクを効率よく除去できる。そして、本開示に係る洗浄剤組成物を用いることによって、高い収率で高品質の電子部品が得られうる。さらに、本開示に係る洗浄剤組成物を用いることによって、微細な配線パターンを有する電子部品を効率よく製造できうる。

本開示に係る洗浄剤組成物における効果の作用メカニズムの詳細は不明な部分があるが、以下のように推定される。
一般に、樹脂マスクの剥離は、洗浄剤組成物の成分が樹脂マスクに浸透し、樹脂マスクが膨潤することによる界面ストレスに起因すると考えられている。本開示に係る洗浄剤組成物では、成分Ａ（無機アルカリ）と成分Ｃ（水）が樹脂マスクに浸透することにより、樹脂マスクに配合されているアルカリ可溶性樹脂の解離を促進し、さらに電荷反発を起こすことによって樹脂マスクの剥離を促進する。このとき、特定のハンセン溶解度パラメータを有する成分Ｂ（有機溶剤）が基板表面と樹脂マスクとの間に作用することで、基板−樹脂間の密着力が低下してさらに樹脂マスクの剥離を促進し、樹脂マスク除去性が格段に向上するものと推定される。
また、本開示に係る洗浄剤組成物は、特定のハンセン溶解度パラメータを有する成分Ｂを、特定の質量比（Ａ／Ｂ＝１〜６０）で含有することで、成分Ｂと樹脂マスクの樹脂成分との相溶性が高くなり、樹脂マスクと水との界面において効果的な剥離作用が発揮され、樹脂マスク除去性がより向上すると推定される。
さらに、本開示に係る洗浄剤組成物の使用時における成分Ｃの水の含有量は８５質量％以上と多いことから、洗浄剤組成物中の有機物含有量を低減でき、排水処理負荷の増大を抑制できると推定される。これにより、効率よくかつ高い清浄度で基板上に微細な回路（配線パターン）の形成が可能になると考えられる。
但し、本開示はこのメカニズムに限定して解釈されなくてもよい。

本開示において樹脂マスクとは、エッチング、メッキ、加熱等の処理から物質表面を保護するためのマスク、すなわち、保護膜として機能するマスクである。樹脂マスクとしては、一又は複数の実施形態において、露光又は現像工程後のレジスト層、露光及び現像の少なくとも一方の処理が施された（以下、「露光及び／又は現像処理された」ともいう）レジスト層、あるいは、硬化したレジスト層が挙げられる。樹脂マスクを形成する樹脂材料としては、一又は複数の実施形態において、フィルム状の感光性樹脂、又は、レジストフィルムが挙げられる。レジストフィルムは汎用のものを使用できる。

［成分Ａ：無機アルカリ］
本開示に係る洗浄剤組成物は、無機アルカリ（成分Ａ）を含む。

成分Ａとしては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、水酸化カルシウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、珪酸ナトリウム及び珪酸カリウムから選ばれる１種又は２種以上の組合せが挙げられ、樹脂マスク除去性向上の観点から、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム及び炭酸カリウムから選ばれる１種又は２種以上の組合せが好ましく、水酸化ナトリウム及び水酸化カリウムの少なくとも一方がより好ましい。

本開示に係る洗浄剤組成物の使用時における成分Ａの含有量は、樹脂マスク除去性向上の観点から、０．１質量％以上が好ましく、０．３質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上が更に好ましく、１質量％以上がより更に好ましく、２質量％以上がより更に好ましく、そして、樹脂マスク除去性向上及び金属腐食抑制の観点から、１５質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましく、７質量％以下が更に好ましく、５質量％以下がより更に好ましい。

本開示において「洗浄剤組成物の使用時における各成分の含有量」とは、洗浄時、すなわち、洗浄剤組成物を洗浄に使用する時点での各成分の含有量をいう。

［成分Ｂ：有機溶剤］
本開示に係る洗浄剤組成物は、有機溶剤（成分Ｂ）を含む。成分Ｂは、１種又は２種以上を併用して用いることができる。

本開示において、成分Ｂのハンセン溶解度パラメータの座標は、δｄ＝１７．５、δｐ＝５．０、δｈ＝１１．５を中心とする半径１．５ＭＰａ^0.5の球の範囲内である。本開示に係る洗浄剤組成物が２種以上の有機溶剤（以下、「混合有機溶剤」ともいう）を含む場合、混合有機溶剤全体のハンセン溶解度パラメータは上記範囲内でなくてもよく、混合有機溶剤中に上記範囲内のハンセン溶解度パラメータを有する有機溶剤が少なくとも１種含まれていれば、本開示の効果は発揮されうる。

ここで、ハンセン溶解度パラメータ (Hansen solubility parameter)（以下、「ＨＳＰ」ともいう)とは、Charles M. Hansenが１９６７年に発表した、物質の溶解性の予測に用いられる値であって、「分子間の相互作用が似ている２つの物質は、互いに溶解しやすい」との考えに基づくパラメータである。ＨＳＰは以下の３つのパラメータ（単位：ＭＰａ^0.5）で構成されている。
δｄ：分子間の分散力によるエネルギー
δｐ：分子間の双極子相互作用によるエネルギー
δｈ：分子間の水素結合によるエネルギー
これら３つのパラメータは３次元空間（ハンセン空間）における座標とみなすことができ、２つの物質のＨＳＰをハンセン空間内に置いたとき、２点間の距離が近ければ近いほど互いに溶解しやすいことを示している。化学工業２０１０年３月号（化学工業社）等に詳細な説明があり、パソコン用ソフト「HSPiP：Hansen Solubility Parameters in Practice」等を用いることで各種物質のハンセン溶解度パラメータを得ることができる。本開示は、このパソコン用ソフト「HSPiP：Hansen Solubility Parameters in Practice」を用いて得られたハンセン溶解度パラメータを用いている。

本開示における成分ＢのＨＳＰの座標は、下記のように表現することもできる。すなわち、成分ＢのＨＳＰの座標を（δｄ_B、δｐ_B、δｈ_B）としたとき、該成分ＢのＨＳＰの座標（δｄ_B、δｐ_B、δｈ_B）と成分座標Ｘ（δｄ＝１７．５、δｐ＝５．０、δｈ＝１１．５）との距離（単位：ＭＰａ^0.5）が下記式を満たすものとすることができる。
距離＝［（δｄ_B−１７．５）²＋（δｐ_B−５．０）²＋（δｈ_B−１１．５）²］^0.5
≦１．５ＭＰａ^0.5

成分Ｂとしては、成分ＢのＨＳＰの座標と成分座標Ｘとの距離が上記式を満たす有機溶剤であれば特に限定されなくてもよく、例えば、プロピレングリコールフェニルエーテル（距離：０．３２ＭＰａ^0.5）、エチレングリコールモノベンジルエーテル（距離：１．１８ＭＰａ^0.5）、エチレングリコールモノｎ−ヘキシルエーテル（距離：１．５０ＭＰａ^0.5）等のグリコールエーテル；１−メチルシクロヘキサノール（距離：１．１９ＭＰａ^0.5）、３−メチルシクロヘキサノール（距離：１．０８ＭＰａ^0.5）、４−メチルシクロヘキサノール（距離：０．５９ＭＰａ^0.5）等のモノアルキルアルコール；１−フェニル−１−プロパノール（距離：１．３９ＭＰａ^0.5）、２−フェニル−１−プロパノール（距離：１．３７ＭＰａ^0.5）等の芳香族アルコール；等から選ばれる１種又は２種以上の組合せが挙げられる。スタミナ性の観点からは、プロピレングリコールフェニルエーテル、エチレングリコールモノベンジルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ヘキシルエーテル、１−フェニル−１−プロパノール及び２−フェニル−１−プロパノールから選ばれる１種又は２種以上の組合せが好ましく、プロピレングリコールフェニルエーテル及びエチレングリコールモノベンジルエーテルの少なくとも一方がより好ましい。洗浄剤組成物の濃縮物の保存安定性の観点からは、エチレングリコールモノベンジルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ヘキシルエーテル、１−メチルシクロヘキサノール、２−フェニル−１−プロパノール及び１−フェニル−１−プロパノールから選ばれる１種又は２種以上の組合せが好ましく、エチレングリコールモノベンジルエーテル、２−フェニル−１−プロパノール及び１−フェニル−１−プロパノールから選ばれる１種又は２種以上の組合せがより好ましい。括弧内の数値は、成分ＢのＨＳＰの座標と成分座標Ｘとの距離（単位：ＭＰａ^0.5）を示す。本開示において、スタミナ性とは、洗浄剤組成物を長時間使用（リサイクル洗浄）しても、良好な洗浄性が確保されていることをいう。

本開示における成分Ｂは、引火による火災リスク低減及びスタミナ性の観点から、沸点が高いことが好ましく、例えば、成分Ｂの沸点は、１６０℃以上が好ましく、２５０℃以上がより好ましい。本開示において成分Ｂは、濃縮性の観点から、水への溶解度が高いことが好ましく、例えば、成分Ｂの水１００ｍＬに対する溶解度は、０．３ｇ以上が好ましい。

本開示に係る洗浄剤組成物の使用時における成分Ｂの含有量は、樹脂マスク除去性向上の観点からは、０．０１質量％以上が好ましく、０．０５質量％以上がより好ましく、０．１質量％以上が更に好ましく、スタミナ性の観点からは、０．２質量％以上がより更に好ましく、そして、排水処理負荷を低減する観点から、３質量％以下が好ましく、２質量％以下がより好ましく、１質量％以下が更に好ましく、０．５質量％以下がより更に好ましい。

本開示に係る洗浄剤組成物における成分Ｂに対する成分Ａの質量比（Ａ／Ｂ）は、１以上６０以下であって、樹脂マスク除去性向上の観点から、１．１以上が好ましく、１．２以上がより好ましく、１．５以上が更に好ましく、２以上がより更に好ましく、３以上がより更に好ましく、５以上がより更に好ましく、１０以上がより更に好ましく、１５以上がより更に好ましく、そして、保存安定性及び排水処理負荷を低減する観点から、５０以下が好ましく、４０以下がより好ましく、３０以下が更に好ましく、２０以下がより更に好ましい。

［成分Ｃ：水］
本開示に係る洗浄剤組成物は、水（成分Ｃ）を含む。成分Ｃの水としては、イオン交換水、ＲＯ水、蒸留水、純水、超純水が使用されうる。水の含有量は、本開示に係る洗浄剤組成物の使用態様にあわせて適宜設定すればよい。

本開示に係る洗浄剤組成物の使用時における成分Ｃの含有量は、８５質量％以上であって、樹脂マスク除去性向上の観点から、９０質量％以上が好ましく、９５質量％以上がより好ましく、そして、同様の観点から、９９質量％以下が好ましく、９８質量％以下がより好ましく、９７質量％以下が更に好ましい。

［任意成分］
本開示に係る洗浄剤組成物は、前記成分Ａ〜Ｃ以外に、必要に応じて任意成分を含有することができる。任意成分としては、通常の洗浄剤に用いられうる成分を挙げることができ、例えば、キレート剤、増粘剤、分散剤、防錆剤、塩基性物質、界面活性剤、高分子化合物、可溶化剤、酸化防止剤、防腐剤、消泡剤、抗菌剤等が挙げられる。本開示に係る洗浄剤組成物の使用時における任意成分の合計含有量は、０質量％以上２．０質量％以下が好ましく、０質量％以上１．５質量％以下がより好ましく、０質量％以上１．３質量％以下が更に好ましく、０質量％以上１．０質量％以下がより更に好ましい。

本開示に係る洗浄剤組成物中の成分Ｂ及び任意成分由来の有機物の総含有量は、排水処理負荷を低減する観点から、３質量％以下が好ましく、２質量％以下がより好ましく、１質量％以下が更に好ましく、０．５質量％以下がより更に好ましく、そして、樹脂マスク除去性向上の観点から、０．０１質量％以上が好ましく、０．０５質量％以上がより好ましく、０．１質量％以上が更に好ましい。

本開示に係る洗浄剤組成物は、排水処理負荷を低減し、排水域の富栄養化を抑制する観点から、窒素含有化合物及びリン含有化合物を実質的に含まないことが好ましい。本開示において「実質的に含まない」とは、本開示に係る洗浄剤組成物中の窒素含有化合物及びリン含有化合物の合計含有量が０．１質量％未満であることをいう。本開示に係る洗浄剤組成物中の窒素含有化合物及びリン含有化合物の合計含有量は、排水処理負荷を低減し、排水域の富栄養化を抑制する観点から、０．０５質量％以下が好ましく、０．０１質量％がより好ましく、０質量％が更に好ましい。窒素含有化合物としては、洗浄剤組成物として従来から広く用いられている窒素含有化合物が挙げられ、例えば、アミン及びその塩、アンモニア、並びにアンモニウム塩から選ばれる少なくとも１種又は２種以上の組合せが挙げられる。前記アミンとしては、例えば、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン等のアミノアルコールが挙げられる。前記アンモニウム塩としては、例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（ＴＭＡＨ）等の４級アンモニウム塩を挙げることができる。リン含有化合物としては、洗浄剤組成物として従来から広く用いられているリン含有化合物が挙げられ、例えば、リン酸及びその塩、ピロリン酸、ポリリン酸、メタリン酸等の縮合リン酸及びその塩などの無機リン酸、並びに有機リン酸、リン酸エステルから選ばれる少なくとも１種又は２種以上の組合せが挙げられる。

［洗浄剤組成物の製造方法］
本開示に係る洗浄剤組成物は、前記成分Ａ〜Ｃ及び必要に応じて上述の任意成分を公知の方法で配合することにより製造できる。例えば、本開示に係る洗浄剤組成物は、少なくとも前記成分Ａ〜Ｃを配合してなるものとすることができる。したがって、本開示は、少なくとも前記成分Ａ〜Ｃを配合する工程を含む、洗浄剤組成物の製造方法に関する。本開示において「配合する」とは、成分Ａ〜Ｃ及び必要に応じてその他の成分を同時に又は任意の順に混合することを含む。本開示に係る洗浄剤組成物の製造方法において、各成分の好ましい配合量は、上述した本開示に係る洗浄剤組成物の各成分の好ましい含有量と同じとすることができる。

本開示に係る洗浄剤組成物の使用時のｐＨは、樹脂マスク除去性向上の観点から、１０．０以上が好ましく、１０．５以上がより好ましく、そして、金属腐食抑制の観点から、１４以下が好ましく、１３．９以下がより好ましく、１３．７以下が更に好ましい。ｐＨは、２５℃における洗浄剤組成物のｐＨであり、例えば、ｐＨメータ（亜電波工業株式会社、ＨＭ−３０Ｇ）を用いて測定できる。

本開示においてｐＨは、必要により、硝酸、硫酸等の無機酸；オキシカルボン酸、多価カルボン酸、アミノポリカルボン酸、アミノ酸等の有機酸；及びそれらの金属塩やアンモニウム塩、アンモニア、アミン等の成分Ａ以外の塩基性物質を適宜、所望量で配合することで調整することができる。

本開示に係る洗浄剤組成物は、分離や析出等を起こして保管安定性を損なわない範囲で成分Ｃの水の量を減らした濃縮物として調製してもよい。洗浄剤組成物の濃縮物は、輸送及び貯蔵の観点から、希釈倍率３倍以上の濃縮物とすることが好ましく、保管安定性の観点から、希釈倍率１０倍以下の濃縮物とすることが好ましい。洗浄剤組成物の濃縮物は、使用時に成分Ａ〜Ｃが上述した含有量（すなわち、洗浄時の含有量）になるよう水で希釈して使用することができる。さらに洗浄剤組成物の濃縮物は、使用時に各成分を別々に添加して使用することもできる。本開示において濃縮液の洗浄剤組成物の「使用時」又は「洗浄時」とは、洗浄剤組成物の濃縮物が希釈された状態をいう。

本開示に係る洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物中の成分Ａの含有量は、樹脂マスク除去性向上の観点から、１質量％以上が好ましく、２質量％以上がより好ましく、５質量％以上が更に好ましく、１０質量％以上がより更に好ましく、そして、金属腐食抑制及び保存安定性の観点から、４０質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましく、１０質量％以下がより更に好ましい。

本開示に係る洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物中の成分Ｂの含有量は、樹脂マスク除去性向上の観点から、０．１質量％以上が好ましく、０．２質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上が更に好ましく、１質量％以上がより更に好ましく、そして、保存安定性及び排水処理負荷を低減する観点から、１０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましく、２質量％以下が更に好ましく、１．５質量％以下がより更に好ましい。

本開示に係る洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物中の成分Ｃの含有量は、樹脂マスク除去性向上及び洗浄剤組成物を安定化する観点から、５０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましく、７０質量％以上が更に好ましく、そして、同様の観点から、９５質量％以下が好ましく、９０質量％以下がより好ましく、８５質量％以下が更に好ましい。

本開示に係る洗浄剤組成物の濃縮物のｐＨは、希釈後の樹脂マスク除去性向上の観点から、１０．０以上が好ましく、１０．５以上がより好ましく、そして、保管時及び取扱い時の安全性の観点から、１４以下が好ましい。

［被洗浄物］
本開示に係る洗浄剤組成物は、一又は複数の実施形態において、樹脂マスクが付着した被洗浄物の洗浄に使用されうる。被洗浄物としては、例えば、電子部品及びその製造中間物が挙げられる。電子部品としては、例えば、プリント基板、ウエハ、銅板及びアルミニウム板等の金属板から選ばれる少なくとも１つの部品が挙げられる。前記製造中間物は、電子部品の製造工程における中間製造物であって、樹脂マスク処理後の中間製造物を含む。樹脂マスクが付着した被洗浄物の具体例としては、例えば、樹脂マスクを使用した半田付けやメッキ処理（銅メッキ、アルミニウムメッキ、ニッケルメッキ等）等の処理を行う工程を経ることにより、配線や接続端子等が基板表面に形成された電子部品等が挙げられる。
本開示に係る洗浄剤組成物は、一又は複数の実施形態において、洗浄効果の点から、樹脂マスク、あるいは、メッキ処理及び／又は加熱処理された樹脂マスクが付着した被洗浄物の洗浄に好適に用いられうる。樹脂マスクとしては、例えば、ネガ型樹脂マスクでもよいし、ポジ型樹脂マスクでもよく、本開示の効果が発揮されやすい点からは、ネガ型樹脂マスクが好ましい。ネガ型樹脂マスクとしては、例えば、露光及び／又は現像処理されたネガ型ドライフィルムレジストが挙げられる。本開示においてネガ型樹脂マスクとは、ネガ型レジストを用いて形成されるものであり、例えば、露光及び／又は現像処理されたネガ型レジスト層が挙げられる。本開示においてポジ型樹脂マスクとは、ポジ型レジストを用いて形成されるものであり、例えば、露光及び／又は現像処理されたポジ型レジスト層が挙げられる。

［樹脂マスク洗浄方法］
本開示は、一態様において、樹脂マスクが付着した被洗浄物を本開示に係る洗浄剤組成物に接触させることを含む、樹脂マスクの洗浄方法に関する（以下、本開示に係る洗浄方法ともいう）。本開示に係る洗浄方法は、樹脂マスクが付着した被洗浄物を本開示に係る洗浄剤組成物で洗浄する工程を有する。被洗浄物としては、上述した被洗浄物を挙げることができる。被洗浄物に本開示に係る洗浄剤組成物を接触させる方法、又は、被洗浄物を本開示に係る洗浄剤組成物で洗浄する方法としては、例えば、洗浄剤組成物を入れた洗浄浴槽内へ浸漬することで接触させる方法や、洗浄剤組成物をスプレー状に射出して接触させる方法（シャワー方式）、浸漬中に超音波照射する超音波洗浄方法等が挙げられる。本開示に係る洗浄剤組成物は、希釈することなくそのまま洗浄に使用できる。本開示に係る洗浄方法は、洗浄剤組成物に被洗浄物を接触させた後、水でリンスし、乾燥する工程を含むことが好ましい。本開示に係る洗浄方法であれば、樹脂マスク、特にメッキ処理及び／又は加熱処理された樹脂マスクを効率よく除去できる。本開示に係る洗浄方法は、本開示に係る洗浄剤組成物の洗浄力が発揮されやすい点から、本開示に係る洗浄剤組成物と被洗浄物との接触時に超音波を照射することが好ましく、その超音波は比較的高周波数であることがより好ましい。前記超音波の照射条件は、同様の観点から、例えば、２６〜７２ｋＨｚ、８０〜１５００Ｗが好ましく、３６〜７２ｋＨｚ、８０〜１５００Ｗがより好ましい。

［電子部品の製造方法］
本開示に係る電子部品の製造方法は、一態様において、樹脂マスクが付着した被洗浄物を本開示に係る洗浄剤組成物で洗浄する工程を含む。被洗浄物としては、上述した被洗浄物を挙げることができる。本開示に係る電子部品の製造方法は、本開示に係る洗浄剤組成物を用いて洗浄を行うことにより、金属の腐食を抑制しながら、電子部品に付着した樹脂マスクを効果的に除去できるため、信頼性の高い電子部品の製造が可能になる。さらに、本開示に係る洗浄方法を行うことにより、電子部品に付着した樹脂マスクの除去が容易になることから、洗浄時間が短縮化でき、電子部品の製造効率を向上できる。

［キット］
本開示は、本開示に係る洗浄方法及び本開示に係る電子部品の製造方法のいずれかに使用するためのキットであって、本開示に係る洗浄剤組成物を構成する前記成分Ａ〜Ｃのうちの少なくとも１成分を他の成分と混合されない状態で含む、キットに関する。本開示に係るキットによれば、樹脂マスク除去性に優れ、排水処理負荷の小さい洗浄剤組成物が得られうる。

本開示に係るキットとしては、例えば、成分Ａを含有する溶液（第１液）と、成分Ｂを含有する溶液（第２液）とを、相互に混合されない状態で含み、第１液及び第２液の少なくとも一方は、成分Ｃをさらに含有し、第１液及び第２液が使用時に混合されるキット（２液型洗浄剤組成物）が挙げられる。第１液及び第２液の各々には、必要に応じて上述した任意成分が含まれていてもよい。

本開示はさらに以下の洗浄剤組成物、洗浄方法、製造方法に関する。

＜１＞ 無機アルカリ（成分Ａ）、有機溶剤（成分Ｂ）及び水（成分Ｃ）を含有し、
成分Ｂのハンセン溶解度パラメータの座標が、δｄ＝１７．５、δｐ＝５．０、δｈ＝１１．５を中心とする半径１．５ＭＰａ^0.5の球の範囲内であり、
洗浄剤組成物の使用時における成分Ｃの含有量が、８５質量％以上であり、
成分Ｂに対する成分Ａの質量比（Ａ／Ｂ）が、１以上６０以下である、樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物。

＜２＞ 成分Ｂが、プロピレングリコールフェニルエーテル、エチレングリコールモノベンジルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ヘキシルエーテル、１−メチルシクロヘキサノール、３−メチルシクロヘキサノール、４−メチルシクロヘキサノール、１−フェニル−１−プロパノール及び２−フェニル−１−プロパノールから選ばれる１種又は２種以上の組合せである、＜１＞に記載の洗浄剤組成物。
＜３＞ 洗浄剤組成物の使用時における成分Ａの含有量が、０．１質量％以上１５質量％以下であり、
洗浄剤組成物の使用時における成分Ｂの含有量が、０．０１質量％以上３質量％以下である、＜１＞又は＜２＞に記載の洗浄剤組成物。
＜４＞ 洗浄剤組成物の使用時における成分Ａの含有量は、０．１質量％以上が好ましく、０．３質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上が更に好ましく、１質量％以上がより更に好ましく、２質量％以上がより更に好ましい、＜１＞から＜３＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜５＞ 洗浄剤組成物の使用時における成分Ａの含有量は、１５質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましく、７質量％以下が更に好ましく、５質量％以下がより更に好ましい、＜１＞から＜４＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜６＞ 成分Ｂの沸点は、１６０℃以上が好ましく、２５０℃以上がより好ましい、＜１＞から＜５＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜７＞ 成分Ｂの水１００ｍＬに対する溶解度は、０．３ｇ以上である、＜１＞から＜６＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜８＞ 洗浄剤組成物の使用時における成分Ｂの含有量は、０．０１質量％以上が好ましく、０．０５質量％以上がより好ましく、０．１質量％以上が更に好ましく、０．２質量％以上がより更に好ましい、＜１＞から＜７＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜９＞ 洗浄剤組成物の使用時における成分Ｂの含有量は、３質量％以下が好ましく、２質量％以下がより好ましく、１質量％以下が更に好ましく、０．５質量％以下がより更に好ましい、＜１＞から＜８＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１０＞ 洗浄剤組成物における成分Ｂに対する成分Ａの質量比（Ａ／Ｂ）は、１以上６０以下であって、１．１以上が好ましく、１．２以上がより好ましく、１．５以上が更に好ましく、２以上がより更に好ましく、３以上がより更に好ましく、５以上がより更に好ましく、１０以上がより更に好ましく、１５以上がより更に好ましい、＜１＞から＜９＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１１＞ 洗浄剤組成物における成分Ｂに対する成分Ａの質量比（Ａ／Ｂ）は、５０以下が好ましく、４０以下がより好ましく、３０以下が更に好ましく、２０以下がより更に好ましい、＜１＞から＜１０＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１２＞ 洗浄剤組成物の使用時における成分Ｃの含有量は、９０質量％以上が好ましく、９５質量％以上がより好ましい、＜１＞から＜１１＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１３＞ 洗浄剤組成物の使用時における成分Ｃの含有量は、９９質量％以下が好ましく、９８質量％以下がより好ましく、９７質量％以下が更に好ましい、＜１＞から＜１２＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１４＞ 洗浄剤組成物の使用時における任意成分の合計含有量は、０質量％以上２．０質量％以下が好ましく、０質量％以上１．５質量％以下がより好ましく、０質量％以上１．３質量％以下が更に好ましく、０質量％以上１．０質量％以下がより更に好ましい、＜１＞から＜１３＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１５＞ 洗浄剤組成物中の有機物の総含有量は、３質量％以下が好ましく、２質量％以下がより好ましく、１質量％以下が更に好ましく、０．５質量％以下がより更に好ましい、＜１＞から＜１４＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１６＞ 洗浄剤組成物中の有機物の総含有量は、０．０１質量％以上が好ましく、０．０５質量％以上がより好ましく、０．１質量％以上が更に好ましい、＜１＞から＜１５＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１７＞ 窒素含有化合物及びリン含有化合物を実質的に含まない、＜１＞から＜１６＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１８＞ 洗浄剤組成物中の窒素含有化合物及びリン含有化合物の合計含有量が、０．１質量％未満であり、０．０５質量％以下が好ましく、０．０１質量％がより好ましく、０質量％が更に好ましい、＜１＞から＜１７＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜１９＞ 洗浄剤組成物の使用時のｐＨは、１０．０以上が好ましく、１０．５以上がより好ましい、＜１＞から＜１８＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２０＞ 洗浄剤組成物の使用時のｐＨは、１４以下が好ましく、１３．９以下がより好ましく、１３．７以下が更に好ましい、＜１＞から＜１９＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２１＞ 洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物中の成分Ａの含有量は、１質量％以上が好ましく、２質量％以上がより好ましく、５質量％以上が更に好ましく、１０質量％以上がより更に好ましい、＜１＞から＜２０＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２２＞ 洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物中の成分Ａの含有量は、４０質量％以下が好ましく、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましく、１０質量％以下がより更に好ましい、＜１＞から＜２１＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２３＞ 洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物中の成分Ｂの含有量は、０．１質量％以上が好ましく、０．２質量％以上がより好ましく、０．５質量％以上が更に好ましく、１質量％以上がより更に好ましい、＜１＞から＜２２＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２４＞ 洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物中の成分Ｂの含有量は、１０質量％以下が好ましく、５質量％以下がより好ましく、２質量％以下が更に好ましく、１．５質量％以下がより更に好ましい、＜１＞から＜２３＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２５＞ 洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物中の成分Ｃの含有量は、５０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましく、７０質量％以上が更に好ましい、＜１＞から＜２４＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２６＞ 洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物中の成分Ｃの含有量は、９５質量％以下が好ましく、９０質量％以下がより好ましく、８５質量％以下が更に好ましい、＜１＞から＜２５＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２７＞ 洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物のｐＨは、１０．０以上が好ましく、１０．５以上がより好ましい、＜１＞から＜２６＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２８＞ 洗浄剤組成物が濃縮物である場合、洗浄剤組成物の濃縮物のｐＨは、１４以下が好ましい、＜１＞から＜２７＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜２９＞ 樹脂マスクが、露光及び現像の少なくとも一方の処理が施されたネガ型ドライフィルムレジストである、＜１＞から＜２８＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
＜３０＞ 樹脂マスクが付着した被洗浄物を＜１＞から＜２９＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物で洗浄する工程を含む、樹脂マスクの洗浄方法。
＜３１＞ 被洗浄物が、電子部品の製造中間物である、＜３０＞に記載の洗浄方法。
＜３２＞ 樹脂マスクが付着した被洗浄物を＜１＞又は＜２９＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物で洗浄する工程を含む、電子部品の製造方法。
＜３３＞ ＜１＞から＜２９＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物の、電子部品の製造への使用。
＜３４＞ ＜３０＞又は＜３１＞の洗浄方法及び＜３２＞に記載の電子部品の製造方法のいずれかに使用するためのキットであって、＜１＞から＜２９＞のいずれかに記載の洗浄剤組成物を構成する成分Ａ〜Ｃのうちの少なくとも１成分を他の成分と混合されない状態で含む、キット。
＜３５＞ 成分Ａを含有する溶液（第１液）と、成分Ｂを含有する溶液（第２液）とを、相互に混合されない状態で含み、第１液及び第２液の少なくとも一方は、成分Ｃをさらに含有し、第１液及び第２液が使用時に混合される、＜３４＞に記載のキット。

以下に、実施例により本開示を具体的に説明するが、本開示はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。

１．溶剤（成分Ｂ）の物性（ＨＳＰの座標及び距離）について
各溶媒Ｂ１〜１２のＨＳＰの座標（δｄ₁、δｐ₁、δｈ₁）は、パソコン用ソフトウエア「HSPiP：Hansen Solubility Parameters in Practice」を用いて算出した。そして、成分ＢのＨＳＰの座標（δｄ₁、δｐ₁、δｈ₁）と成分座標（δｄ＝１７．５、δｐ＝５．０、δｈ＝１１．５）との距離を下記式により算出した。算出結果を表１に示す。
距離＝［（δｄ₁−１７．５）²＋（δｐ₁−５．０）²＋（δｈ₁−１１．５）²］^0.5

２．洗浄剤組成物の調製（実施例１〜２９及び比較例１〜２２）
［実施例１〜２６及び比較例１〜１９の洗浄剤組成物の調製］
５００ｍＬガラスビーカーに有効分換算で水酸化ナトリウム（成分Ａ）１７．５ｇ、プロピレングリコールフェニルエーテル（成分Ｂ）１．０ｇ及び水（成分Ｃ）４８１．５ｇを添加し、それを攪拌して均一に混合することにより、実施例１の洗浄剤組成物を調製した。そして、実施例２〜２６及び比較例１〜１９の洗浄剤組成物を、実施例１と同様の方法により、表２及び表３に示す有効分になる組成比で調製した。各洗浄剤組成物の各成分の含有量（質量％）及び質量比Ａ／Ｂを表２及び表３に示した。表２中、混合有機溶剤としてのＨＳＰの距離については、「HSPiP：Hansen Solubility Parameters in Practice」の混合有機溶剤のＨＳＰ算出機能を用いて算出した。

［実施例２７〜２９及び比較例２０〜２２の洗浄剤組成物］
１０Ｌステンレスビーカーに有効分換算で水酸化ナトリウム（成分Ａ）１７５ｇ、プロピレングリコールフェニルエーテル（成分Ｂ）１０ｇ及び水（成分Ｃ）４８１５ｇを添加し、それを攪拌して均一に混合することにより、実施例２７の洗浄剤組成物を調製した。そして、実施例２８〜２９及び比較例２０〜２２の洗浄剤組成物を、実施例２７と同様の方法により、表４に示す有効分になる組成比で調製した。各洗浄剤組成物の各成分の含有量（質量％）を表４に示した。

実施例１〜２９及び比較例１〜２２の洗浄剤組成物の成分としては下記のものを使用した。
・水酸化ナトリウム（成分Ａ）（関東化学株式会社製、鹿特級、固形分４８質量％）
・水酸化カリウム（成分Ａ）（関東化学株式会社製、鹿特級、固形分４８質量％）
・テトラメチルアンモニウムヒドロキシド（非成分Ａ）（昭和電工株式会社製、ＴＭＡＨ（２５％））
・プロピレングリコールフェニルエーテル（成分Ｂ）（日本乳化剤株式会社製、フェニルプロピレングリコール（ＰｈＦＧ））
・１−メチルシクロヘキサノール（成分Ｂ）（東京化成工業株式会社製）
・３−メチルシクロヘキサノール（成分Ｂ）（メルク株式会社製）
・４−メチルシクロヘキサノール（成分Ｂ）（東京化成工業株式会社製）
・エチレングリコールモノベンジルエーテル（成分Ｂ）（日本乳化剤株式会社製、ベンジルグリコール（ＢｚＧ））
・１−フェニル−１−プロパノール（成分Ｂ）（東京化成工業株式会社製）
・２−フェニル−１−プロパノール（成分Ｂ）（東京化成工業株式会社製）
・エチレングリコールモノｎ−ヘキシルエーテル（成分Ｂ）（日本乳化剤株式会社製、ヘキシルグリコール（ＨｅＧ））
・エチレングリコールモノブチルエーテル（非成分Ｂ）（日本乳化剤株式会社製、ブチルグリコール（ＢＧ））
・エチレングリコールモノ２−エチルヘキシルエーテル（非成分Ｂ）（日本乳化剤株式会社製、２エチルヘキシルグリコール（ＥＨＧ））
・ｏ−メトキシフェノール（非成分Ｂ）（東京化成工業株式会社製、グアヤコール）
・シクロヘキサノール（非成分Ｂ）（和工純薬工業株式会社製）
・ジエチレングリコールモノブチルエーテル（非成分Ｂ）（日本乳化剤株式会社製、ブチルジグリコール（ＢＤＧ））
・ベンジルアルコール（非成分Ｂ）（ランクセス株式会社製）
・２−フェノキシエタノール（非成分Ｂ）（東京化成工業株式会社製）
・プロピレングリコールモノブチルエーテル（非成分Ｂ）（日本乳化剤株式会社製、ブチルプロピレングリコール（ＢＦＧ））
・モノエタノールアミン（非成分Ｂ）（株式会社日本触媒製）
・プロピレングリコールモノメチルエーテル（非成分Ｂ）（日本乳化剤株式会社製、メチルプロピレングリコール（ＭＦＧ））
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（非成分Ｂ）（日本乳化剤株式会社製、メチルプロピレングリコールアセテート（ＭＦＧ−ＡＣ））
・ジメチルスホキシド（非成分Ｂ）（ナカライテスク株式会社製）
・水（成分Ｃ）（オルガノ株式会社製純水装置Ｇ−１０ＤＳＴＳＥＴで製造した１μＳ/ｃｍ以下の純水）

３．洗浄剤組成物の評価
調製した実施例１〜２９及び比較例１〜２２の洗浄剤組成物の樹脂マスク除去性を評価した。

［テストピースの作製］
ダイレクトイメージング（直接描画）用感光性フィルム（日立化成株式会社製、フォテック ＲＤ−１２１５、ネガ型ドライフィルムレジスト）をガラスエポキシ多層基板（日立化成株式会社製、ＭＣＬ−Ｅ−６７９ＦＧ)の表面に下記条件でラミネートし、選択的に露光処理して露光部を硬化した後（露光工程）、現像処理することで未露光部を除去し（現像工程）、レジストパターン（下記３つのパターン形状のネガ型樹脂マスク）を有する基板を得た。そして、前記現像処理で未露光部が除去された領域を銅メッキ処理することで、テストピース（４ｃｍ×４．５ｃｍ）を得た。
（１）ラミネート：クリーンローラー（株式会社レヨーン工業製、ＲＹ−５０５Ｚ）及び真空アプリケータ（ローム＆ハース社製、ＶＡ７０２４／ＨＰ５）を用いてローラー温度５０℃、ローラー圧１．４Ｂａｒ、処理時間３０秒で行う。
（２）露光：プリント基板用直接描画装置（株式会社ＳＣＲＥＥＮグラフィックアンドプレシジョンソリューションズ製、Ｍｅｒｃｕｒｅｘ ＬＩ−９５００）を用い、露光量１５ｍＪ／ｃｍ²で露光を行う。
（３）パターン形状：下記の３パターン
・ベタ：３０μｍ×３０μｍ以上の面積を有する部分
・縞状パターン１：ライン幅Ｌとライン間隔Ｓとの比（Ｌ／Ｓ）＝２０μｍ／２０μｍの縞状パターン
・縞状パターン２：Ｌ／Ｓ＝１５μｍ／１５μｍの縞状パターン
（４）現像：基板用現像装置（揚博科技株式会社製、ＬＴ−９８０３６６）、３０℃の１％の炭酸ナトリウムを用いて、スプレー圧０．２ＭＰａ、４７秒間で、未露光部の樹脂マスクを除去する。

［洗浄試験１（浸漬洗浄）］（実施例１〜２６及び比較例１〜１９）
１００ｍＬガラスビーカーに、実施例１〜２６及び比較例１〜１９の各洗浄剤組成物を１００ｇ添加して６０℃に加温し、回転子（フッ素樹脂（ＰＴＦＥ）、φ８ｍｍ×２５ｍｍ）を用いて回転数４００ｒｐｍで撹拌した状態で、テストピースを３分間浸漬する。そして、１００ｍＬガラスビーカーに水を１００ｇ添加したすすぎ槽へ浸漬してすすいだ後、自然乾燥する。さらに、実施例１８〜２６及び比較例１７〜１９の洗浄剤組成物については、浸漬時間を３分間、６分間、２５分間、３０分間とした洗浄試験を行った。

［洗浄試験２（スプレー洗浄）］（実施例２７〜２９及び比較例２０〜２２）
１０Ｌステンレスビーカーに、実施例２７〜２９及び比較例２０〜２２の各洗浄剤組成物を１０ｋｇ添加して６０℃に加温し、１流体ノズル（充円錐）ＪＪＸＰ０３０（株式会社いけうち製）をスプレーノズルとして取り付けたボックス型スプレー洗浄機にて流量３Ｌ／分で循環しながら、テストピースを３分間スプレー（圧力：０．２ＭＰａ、スプレー距離：８ｃｍ）する。そして、１００ｍＬガラスビーカーに水を１００ｇ添加したすすぎ槽へ浸漬してすすいだ後、窒素ブローにて乾燥する。

［樹脂マスク除去性評価１］（実施例１〜１７、２７〜２９及び比較例１〜１６、２０〜２２）
実施例１〜１７、２７〜２９及び比較例１〜１６、２０〜２２の洗浄剤組成物を用いて洗浄した後のテストピースの樹脂マスク除去性について下記条件で評価した。
光学顕微鏡「デジタルマイクロスコープＶＨＸ−２０００」（株式会社キーエンス製）を用いて、乾燥後のテストピースの各部位に残存する樹脂マスクの有無を３００倍に拡大して目視確認し、樹脂マスク除去性を評価する。完全に除去できた場合は「１」、わずかでも残存する場合は「２」とし、表２及び表４に結果を示す。表２及び表４中、「ベタの剥離性」とは、レジストパターンがベタである場合の樹脂マスクの剥離性を示し、「縞状パターン１の剥離性」は、レジストパターンが縞状パターン１（Ｌ／Ｓ＝２０μｍ／２０μｍ）の場合の樹脂マスクの剥離性を示し、「縞状パターン２の剥離性」は、レジストパターンが縞状パターン２（Ｌ／Ｓ＝１５μｍ／１５μｍ）の場合の剥離性を示す。

［樹脂マスク除去性評価２］（実施例１、４、８、１８〜２６及び比較例１７〜１９）
実施例１、４、８、１８〜２６及び比較例１７〜１９の洗浄剤組成物を用いて洗浄した後のテストピースの樹脂マスク除去性について下記条件で評価した。
光学顕微鏡「デジタルマイクロスコープＶＨＸ−２０００」（株式会社キーエンス製）を用いて、乾燥後のテストピースの各部位に残存する樹脂マスクの有無を３００倍に拡大して目視確認し、樹脂マスク除去性を評価する。樹脂マスクが完全に剥離するまでに要した洗浄剤組成物への浸漬時間の最短時間を下記のように評価し、表３に結果を示す。浸漬時間が短いほど、樹脂マスク除去性が高いことを示す。表３中、「ベタの剥離性」とは、レジストパターンがベタである場合の樹脂マスクの剥離性を示し、「縞状パターン１の剥離性」は、レジストパターンが縞状パターン１（Ｌ／Ｓ＝２０μｍ／２０μｍ）の場合の樹脂マスクの剥離性を示し、「縞状パターン２の剥離性」は、レジストパターンが縞状パターン２（Ｌ／Ｓ＝１５μｍ／１５μｍ）の場合の剥離性を示す。
＜評価基準＞
１：浸漬時間３分間で完全剥離達成
２：浸漬時間６分間で完全剥離達成
３：浸漬時間２５分間で完全剥離達成
４：浸漬時間３０分間であっても剥離残あり

［スタミナ性評価］（実施例１、３及び４）
３００ｍＬガラスビーカーに、実施例１、３及び４の各洗浄液組成物３００ｇを入れ、６０℃のウォーターバスで保温し、回転子（フッ素樹脂（ＰＴＦＥ）、φ８ｍｍ×４０ｍｍ）を用いて回転数３００ｒｐｍで撹拌する。蒸発により低下した液量を水の添加で補い、５時間後の各洗浄剤組成物の全有機炭素（ＴＯＣ）を平沼全有機炭素測定装置ＴＯＣ−２０００（平沼産業株式会社製）で測定し、ＴＯＣの変化を下記式にて算出する。残存有機炭素率が１００％に近いほど、有効成分（成分Ｂ）の変化が少なくスタミナ性が良いと評価できる。ここで、「有効成分の変化」とは、洗浄剤組成物の長時間使用中に成分Ｂが飛散、揮発又は蒸発することにより、洗浄剤組成物中の成分Ｂの含有量が減少することをいう。
残存有機炭素率（％）＝試験後のＴＯＣ÷試験前のＴＯＣ×１００

［濃縮性評価］（実施例１〜８）
実施例１〜８の各洗浄剤組成物の水以外の成分に水を添加し、目視にて濁りや析出物がなく均一透明になるまでの濃縮倍率を測定する。測定は１０倍濃縮から開始した。
＜濃度倍率の測定方法＞
１００ｍＬビーカー（空重量測定）に４８％ＮａＯＨ（７．２９ｇ＝有効分で３．５０ｇ）及び各溶剤（０．２０ｇ）を添加し、そこへ均一透明になるまで水を添加して、重量測定（最終重量）し、濃縮倍率を算出する。
濃縮倍率＝１００÷（最終重量−ビーカー空重量）

上記表２〜４に示すとおり、実施例１〜２９の洗浄剤組成物は、所定の溶媒（成分Ｂ）を含まない比較例１〜１６、無機アルカリ（成分Ａ）を含まない比較例１７〜２２に比べて、メッキ処理された樹脂マスクを効率よく除去できていた。すなわち、実施例１〜２９の洗浄剤組成物は、比較例１〜２２に比べて、樹脂マスク除去性に優れていた。

本開示を用いることにより、排水処理負荷を大きくすることなく、樹脂マスクを効率よく除去できる。よって、本開示の洗浄剤組成物は、電子部品の製造工程で用いられる洗浄剤組成物として有用であり、樹脂マスクが付着した電子部品の洗浄工程の短縮化及び製造される電子部品の性能・信頼性の向上が可能となり、半導体装置の生産性を向上できる。

Claims (12)

1. 無機アルカリ（成分Ａ）、有機溶剤（成分Ｂ）及び水（成分Ｃ）を含有し、
   成分Ｂのハンセン溶解度パラメータの座標が、δｄ＝１７．５、δｐ＝５．０、δｈ＝１１．５を中心とする半径１．５ＭＰａ^0.5の球の範囲内であり、
   洗浄剤組成物の使用時における成分Ｃの含有量が、８５質量％以上であり、
   成分Ｂに対する成分Ａの質量比（Ａ／Ｂ）が、１以上６０以下である、樹脂マスク剥離用洗浄剤組成物。
2. 洗浄剤組成物の使用時における成分Ａの含有量が、０．１質量％以上１５質量％以下であり、
   洗浄剤組成物の使用時における成分Ｂの含有量が、０．０１質量％以上３質量％以下である、請求項１に記載の洗浄剤組成物。
3. 成分Ｂの沸点が、１６０℃以上である、請求項１又は２に記載の洗浄剤組成物。
4. 成分Ｂの２５℃の水１００ｍＬに対する溶解度が、０．３ｇ以上である、請求項１から３のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
5. 洗浄剤組成物中の有機物の総含有量が、３質量％以下である、請求項１から４のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
6. 窒素含有化合物及びリン含有化合物を実質的に含まない、請求項１から５のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
7. 樹脂マスクが、露光及び現像の少なくとも一方の処理が施されたネガ型ドライフィルムレジストである、請求項１から６のいずれかに記載の洗浄剤組成物。
8. 樹脂マスクが付着した被洗浄物を請求項１から７のいずれかに記載の洗浄剤組成物で洗浄する工程を含む、樹脂マスクの洗浄方法。
9. 被洗浄物が、電子部品の製造中間物である、請求項８に記載の洗浄方法。
10. 樹脂マスクが付着した被洗浄物を請求項１から７のいずれかに記載の洗浄剤組成物で洗浄する工程を含む、電子部品の製造方法。
11. 請求項１から７のいずれかに記載の洗浄剤組成物の、電子部品の製造への使用。
12. 請求項８又は９の洗浄方法及び請求項１０に記載の電子部品の製造方法のいずれかに使用するためのキットであって、
    請求項１から７のいずれかに記載の洗浄剤組成物を構成する成分Ａ〜Ｃのうちの少なくとも１成分を、他の成分と混合されない状態で含む、キット。