JP2018026404A - マスク保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10 :定盤
10a :下面
10b、10c:凹部
10d :支持面
10e :上面
10f :溝
10g、10h:側面
10i :底面
14f :板部
20 :撮像部
21 :柱
22、22a、22b:カメラ
23a、23b :照射部
24 :取付部材
30 :移動部
31 :移動部材本体
31a、31b:側面
31c、31d:穴
31e、31f:孔
32、33 :側面エアパッド
32a、33a:先端面
32b :結合部
33b :摺動部
32c、33c:エアパッド部
32d、33d:貫通孔
32e、33e:オリフィス
33f :先端面
34、341、342 :下面エアパッド
34a :貫通孔
34b :オリフィス
34c :下面
34d :側面
34e :穴
34f :開口部
35 :凸部
36 :弾性部材
37 :プラグ
38、39 :配管
40 :マスク保持部
41 :フレーム
41a :爪部
41b、41c:リフレクター
41d :下枠部分
41e :上枠部分
41f :保持部
41g :保持部材
42 :調整機構
42a :第1ブロック
42b :第2ブロック
43 :回転機構
51、52 :除振台
53 :光源
54 :導光部材
61 :下部リニアモータ
61a :可動子
62 :上部リニアモータ
62a :可動子
63 :可動子ガイド
64 :ブレーキ機構
65 :弾性部材
71 :上部枠
72 :位置決め用ピン
73 :板部
74 :柱
141 :入出力装置
142 :ネットワーク
143 :記憶媒体
151 :CPU
151a :制御部
152 :RAM
153 :ROM
154 :入出力インターフェース
155 :通信インターフェース
156 :メディアインターフェース
163 :目標座標算出部
431 :回転駆動部
431a :出力軸
432A :第1のネジ部材
432B :第2のネジ部材
433A :第1のナット部材
433B :第2のナット部材
434、434a、435、436:スプロケット
437、437a、437b:動力伝達部
438A :第1のピン
438B :第2のピン
438a :球状部
438b :棒状部
438c :穴
439A :第1の軸受
439B :第2の軸受
Claims (6)
- 定盤と、
被検査対象のマスクを略鉛直方向に保持する略枠状のフレームと、前記フレームを回転させる回転機構と、を有するマスク保持部と、
前記定盤に載置されるともに、前記マスク保持部が載置される移動部であって、前記定盤の長手方向に沿って移動可能に設けられた移動部と、を備え、
前記回転機構は、前記フレームの下側に位置する枠部分の両端近傍に設けられた第1のナット部材及び第2のナット部材と、前記第1のナット部材及び前記第2のナット部材とそれぞれ螺合する第1のネジ部材及び第2のネジ部材と、前記第1のネジ部材と前記第2のネジ部材とを異なる量だけ回転させる回転駆動部と、を有し、
前記移動部には、第1のピン及び第2のピンが略鉛直方向に設けられ、
前記第1のネジ部材は、前記第1のピンの上方に、平面視において前記第1のピンと重なる位置に設けられ、
前記第2のネジ部材は、前記第2のピンの上方に、平面視において前記第2のピンと重なる位置に設けられる
ことを特徴とするマスク保持装置。 - 前記フレームの側面には、光を入射方向に戻すための反射鏡が設けられ、
前記回転駆動部は、アクチュエータと、前記第1のネジと同軸に設けられ、前記第1のネジを回転させる第1のスプロケットと、前記第2のネジと同軸に設けられ、前記第2のネジを回転させる第2のスプロケットと、アクチュエータの駆動軸と、前記第1のスプロケット及び前記第2のスプロケットとを連結する動力伝達部と、を有し、
平面視において、前記反射鏡と前記第2のネジとの距離を距離Aとし、前記反射鏡と前記第1のネジとの距離を距離Bとすると、前記第1のスプロケットの歯数αと、前記第2のスプロケットの歯数βとは、歯数α:歯数β=距離A:距離Bの関係を有する
ことを特徴とする請求項1に記載のマスク保持装置。 - 前記定盤の上面には、前記定盤の長手方向に沿った溝が形成され、
前記移動部は、前記溝の底面に向けて空気を吐出する下面エアパッドと、前記溝の側面に向けて空気を吐出する側面エアパッドと、前記下面エアパッド及び前記側面エアパッドが設けられる移動部材本体と、を有し、
前記第1のピン及び前記第2のピンは、下端が前記下面エアパッドに設けられ、かつ上端が前記移動部材本体に設けられ、
前記第1のネジ及び前記第2のネジは、下端が前記移動部材本体に設けられ、
前記移動部材本体は、前記溝に沿って移動する
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のマスク保持装置。 - 前記下面エアパッドは、前記移動部材本体の第1の端近傍に設けられた第1下面エアパッドと、前記移動部材本体の前記第1の端と反対側の第2の端近傍に設けられた第2下面エアパッドと、を有し、
前記第1下面エアパッドの底面略中央部には、空気を吐出する第1開口部が形成され、
前記第2下面エアパッドの底面略中央部には、空気を吐出する第2開口部が形成され、
前記第1のネジ及び前記第1のピンは、平面視において、前記第1開口部と重なる位置に設けられ、
前記第2のネジ及び前記第2のピンは、平面視において、前記第2開口部と重なる位置に設けられる
ことを特徴とする請求項3に記載のマスク保持装置。 - 前記移動部材本体の上面側には、前記第1のピンと中心軸が略一致する位置に第1のアンギュラ玉軸受が設けられ、前記第2のピンと中心軸が略一致する位置に第2のアンギュラ玉軸受がそれぞれ設けられ、
前記第1のネジの下端は、前記第1のアンギュラ玉軸受に軸支され、前記第2のネジの下端は、前記第2のアンギュラ玉軸受に軸支される
ことを特徴とする請求項3に記載のマスク保持装置。 - 前記移動部を前記定盤の長手方向に沿って移動させる第1のリニアモータと、前記第1のリニアモータに追随して駆動される第2のリニアモータと、を有し、
前記移動部には、前記第1のリニアモータの可動子が設けられ、
前記フレームの上側には、ガイド部材が水平方向に対して傾いて設けられ、
前記ガイド部材には、前記第2のリニアモータの可動子が前記ガイド部材に沿って移動可能に設けられるとともに、前記第2のリニアモータの可動子を前記ガイド部材に対して固定する固定部材が設けられる
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のマスク保持装置。
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