CN101582387B - 基片和掩膜的夹持装置及使用该夹持装置的夹持方法 - Google Patents

基片和掩膜的夹持装置及使用该夹持装置的夹持方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种基片和掩膜的夹持装置，夹持装置包括夹持板、磁力吸板、磁力吸板驱动装置、夹子组、夹持驱动装置；夹持板四周侧面上具有凸部及凹部且交替分布呈规则的连续方波状；磁力吸板位于夹持板的正上方且其上分布有均匀的永磁体；磁力吸板驱动装置控制磁力吸板与夹持板的脱离与贴合；夹子组包括安装于夹持板凹部的内夹子及凸部的外夹子，内夹子用于夹持基片，外夹子用于夹持具有磁性的掩膜；夹持驱动装置包括控制内夹子开闭的内夹持驱动装置和控制外夹子开闭的外夹持驱动装置。本发明夹持装置基片和掩膜贴合定位精度高、效果好、操作简单、成本低且可同时对基片和掩膜进行对位夹持，另本发明还提供了使用该夹持装置的夹持方法。

Description

基片和掩膜的夹持装置及使用该夹持装置的夹持方法
技术领域
本发明涉及一种夹持装置，尤其涉及一种用于夹持有机发光显示屏行业中的基片和掩膜的夹持装置。
背景技术
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。
例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏(有机发光显示屏)与传统的TFT-LCD显示屏(液晶显示屏)并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大，并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏的所有设备必须要保证OLED显示屏的精度要求。OLED显示屏是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO玻璃上蒸镀一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方有一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产生光辐射。
为了使其能够全彩色显示装置，发光层应被图案化。通常发光层图案化是利用精细金属掩膜(MASK)贴合在导电玻璃基片上，使蒸发源中的有机材料在基板上沉积为所要求的图案。在整个蒸镀过程中需要一种特殊的夹持装置来抓取基片和掩膜，并需要一个定位压合装置将基片和掩膜贴合在一起。传统的做法是是利用机械手分别抓取掩膜和基片，并将其放置在蒸发源上方的掩膜托板上，再利用机械手进行对位。
目前国内外关于对基片和/掩膜的夹持装置的技术主要体现在以下两个专利中：如，中国发明专利公开号为CN1901155A，发明创造的名称为用于制造有机发光显示器的夹持器，该专利公开了一种具有多个台阶支撑板的夹持器，利用支撑板的侧壁夹持物件，该夹持器可同时支撑基底、膜托盘和掩膜，并且在传送基底、膜托盘和掩膜的同时夹持基底、膜托盘和掩膜。利用上述台阶支撑板式的夹持器来夹持基片和/或掩膜时，因其对基片或/和掩膜的约束只有在周边上且基片或/和掩膜与约束侧壁具有间隙，所以其传输方式只能在平面内传输，不能实现翻转或倾斜传输，同时台阶的设计使基片和掩膜间存在距离差，使基片和掩膜在贴合时位置精确度难以保证，同时在传输时有相互磨损的可能性，影响生产的成品率；中国发明专利公开号为CN1411026A，发明名称为夹持基片的方法和装置，该申请公开了一种以静电方法夹紧和夹持基片的静电卡盘，并能够计算夹紧力和基片每时刻经受的加速度，从而改变夹紧电源的夹紧电压输出，使静电卡盘产生合适的夹紧力。用静电技术和计算机技术集成的夹持技术每次只能夹持基片或掩膜，不能对基片和掩膜进行同时夹持，其技术形式相当于将传统技术的参数化，且成本较为昂贵，工作环境要求较高，不利于自动化设备量产的应用。
因此，急需一种基片和掩膜的贴合定位精确度高、贴合效果好、操作简单、成本低且可同时对基片和掩膜进行对位夹持的夹持装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基片和掩膜的贴合定位精确度高、贴合效果好、操作简单、成本低且可同时对基片和掩膜进行对位夹持的基片和掩膜的夹持装置。
本发明的另一目的在于提供一种使用基片和掩膜的夹持装置的夹持方法，该夹持方法使基片和掩膜的贴合定位精确度高、贴合效果好、操作简单、成本低且可同时对基片和掩膜进行对位夹持。
为了实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种基片和掩膜的夹持装置，所述掩膜为磁性掩膜，所述夹持装置包括：夹持板、磁力吸板、磁力吸板驱动装置、夹子组、夹持驱动装置；所述夹持板四周侧面均具有交替分布的凸部及凹部，所述凸部与所述凹部交替分布呈规则的连续方波状，位于所述夹持板的同一侧面的所述凸部与所述凹部均至少为两个；所述磁力吸板位于所述夹持板的正上方，且所述磁力吸板上具有均匀分布的永磁体；所述磁力吸板驱动装置与所述磁力吸板连接，用于控制所述磁力吸板与所述夹持板的贴合和脱离；所述夹子组包括内夹子及与所述内夹子相同的外夹子，所述内夹子安装于所述夹持板的凹部处且突出于所述夹持板的下表面，所述内夹子用于夹持基片，所述外夹子安装于所述夹持板的凸部处且突出于所述夹持板的下表面，所述外夹子用于夹持掩膜；所述夹持驱动装置包括内夹持驱动装置和与所述内夹持驱动装置相同的外夹持驱动装置，所述内夹持驱动装置控制内夹子的打开和关闭，所述外夹持驱动装置控制外夹子的打开和关闭。
较佳地，所述永磁体突出均匀分布于所述磁力吸板的下表面，所述夹持板上具有容置突出的永磁体的凹槽。当所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板与所述夹持板贴合时，永磁体凹于所述夹持板的凹槽内，使得所述磁力吸板产生的磁力对掩膜的吸引力更大，从而使掩膜和基片贴合的更加紧密，贴合效果更好。
较佳地，所述夹持板的上表面具有突出的异形凸条，所述磁力吸板具有容置异形条的异形槽，且所述异形槽对称的分布在所述磁力吸板上。设置于所述磁力吸板上的异形槽可以有效地减轻磁力吸板的重量，从而方便所述磁力吸板与所述夹持板脱离和贴合；所述异形槽的对称分布可以防止磁力吸板的重心改变，使得磁力吸板可以准确地与所述夹持板对位贴合；另，所述异形槽的对称分布还保证了所述永磁体在所述磁力吸板上分布均匀。
较佳地，所述夹持板的上表面具有向外延伸的对位销，所述磁力吸板具有容置所述对位销的对位孔。所述对位孔和对位销可以防止磁力吸板与所述夹持板贴合时产生错位。
较佳地，所述内夹子包括左底座、右底座、两扭转弹簧、夹持块、夹子顶柱及转动轴，所述左底座与所述右底座位于所述夹持块两侧，所述转动轴穿过所述夹持块且所述夹持块的两端分别与所述左底座及右底座枢接，所述扭转弹簧呈圆柱形，所述两扭转弹簧均穿于所述转动轴之上且分别抵触于左底座与夹持块和右底座与夹持块之间，所述夹子顶柱一端与所述内夹持驱动装置连接，另一端悬置于所述夹持块的顶部正上方，所述夹持块的底部向内弯折形成夹持部，所述左底座与所述右底座连接于所述夹持板的凹部。当需要打开所述内夹子时，所述内夹持驱动装置驱动所述夹子顶柱下压接触所述内夹子顶部，在压力作用下，所述转动轴旋转且所述夹持部向下开合使得所述内夹子打开；当需要关闭所述内夹子时，所述内夹持驱动装置驱动所述内夹子顶柱复位，在两扭转弹簧的作用下，所述转动轴旋转复位，所述夹持部向上闭合使得所述内夹子关闭。
较佳地，所述磁力吸板的下表面的四角具有向外延伸的磁力吸板顶柱，所述夹持板具有供所述磁力吸板顶柱穿过的定位孔，所述磁力吸板顶柱穿过所述定位孔与所述磁力吸板驱动装置连接，所述磁力吸板驱动装置通过驱动所述磁力吸板顶柱控制所述磁力吸板与所述夹持板的贴合和脱离。
本发明使用基片和掩膜的夹持装置的夹持方法，包括以下步骤：(1)所述磁力吸板位于所述夹持板的正上方且与所述夹持板脱离，控制所述内夹持驱动装置打开内夹子，所述内夹子形成一个内夹持区；(2)将所述基片升至所述内夹子打开所形成的内夹持区内，控制所述内夹持驱动装置闭合所述内夹子；(3)控制所述外夹持驱动装置打开所述外夹子，所述外夹子形成一个外夹持区；(4)将所述掩膜升至所述外夹子打开所形成的外加持区内，控制所述外夹持驱动装置将所述外夹子闭合；及(5)控制所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板与所述夹持板对位贴合，并通过磁力吸板的磁力吸引所述掩膜和所述基片贴合。
较佳地，所述步骤(5)之后还包括以下步骤：(6)将所述步骤(5)中通过磁力吸引贴合的掩膜和基片放置在指定位置；(7)控制所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板与所述夹持板脱离；(8)控制所述内夹持装置打开所述内夹子；(9)控制所述外夹持装置打开所述外夹子。通过上述步骤可以将已贴合的基片和掩膜放置在指定的位置上。
与现有技术相比，由于本发明基片和掩膜的夹持装置包括夹持板、磁力吸板、均匀分布在夹持板四周的内夹子和外夹子、控制磁力吸板与夹持板脱离的磁力吸板驱动装置、控制内夹子和外夹子打开和关闭的夹持驱动装置，使得采用本发明基板和掩膜的夹持装置对基板和掩膜进行夹持时，可使夹持板上的内夹子和外夹子同时分别对基板和掩膜进行夹持，从而有效地降低设备的生产周期，同时还简化了设备的布局与控制；另，又由于基片与掩膜四边都采用整周均匀分布的内夹子与外夹子进行机械夹持，辅助使用匀称的磁力进行基片与掩膜的贴合，使基片和掩膜的对位贴合达到较高的定位精度且基片与掩膜贴合效果好，从而使得生产成品率高，性能优越，并且保证夹持的基片和掩膜在传送、翻转时不会产生错位，确保被夹持的基片不会被划损。
附图说明
图1是本发明基片和掩膜的夹持装置的结构示意图。
图2是本发明基片和掩膜的夹持装置中的磁力吸板的结构示意图。
图3是本发明基片和掩膜的夹持装置中的夹持板和夹子组的结构示意图。
图4是本发明基片和掩膜的夹持装置的工作示意图。
图5是图4中A部分的放大示意图。
图6是本发明基片和掩膜的夹持装置夹持基片和掩膜的夹持方法的流程图。
具体实施方式
如图1所示，本发明基片和掩膜的夹持装置包括夹持板200、磁力吸板100、磁力吸板驱动装置(图中未示)、夹子组、夹持驱动装置；所述夹持板200四周侧面均具有交替分布的凸部302a及凹部301a，所述凸部302a与所述凹部301a交替分布呈规则的连续方波状，位于所述夹持板200的同一侧面的所述凸部302a与所述凹部301a均至少为两个；所述磁力吸板100位于所述夹持板200的正上方，且所述磁力吸板100上具有均匀分布的永磁体103；所述磁力吸板驱动装置与所述磁力吸板100连接，所述磁力吸板驱动装置用于控制所述磁力吸板100与所述夹持板200的贴合和脱离；所述夹子组包括内夹子301及与所述内夹子相同的外夹子302，所述内夹子301安装于所述夹持板200的凹部301a处且突出于所述夹持板200的下表面，所述内夹子301用于夹持基片400，所述外夹子302安装于所述夹持板200的凸部302a处且突出于所述夹持板200的下表面，所述外夹子302用于夹持磁性掩膜500，所述掩膜500为磁性掩膜500；所述夹持驱动装置包括内夹持驱动装置(图中未示)和与所述内夹持驱动装置相同的外夹持驱动装置(图中未示)，所述内夹持驱动装置与所述内夹子相连并控制内夹子301的打开和关闭，所述外夹持驱动装置与所述外夹子相连并控制外夹子302的打开和关闭。更具体地，结合图2、图3、图4及图5所示如下：
较佳者，所述永磁体103突出均匀分布于所述磁力吸板100的下表面，所述夹持板200上具有容置突出的永磁体103的凹槽203。当所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板100与所述夹持板200贴合时，永磁体103容置于所述夹持板200的凹槽203内，使得所述磁力吸板100产生的磁力对掩膜500的吸引力更大、更均匀，从而使掩膜500和基片400贴合的更加紧密，贴合效果更好。
较佳者，所述夹持板200的上表面具有突出的异形凸条201，所述磁力吸板100具有容置异形条的异形槽101；其中，所述异形槽101绕开所述永磁体103的部位且对称地分布在所述磁力吸板100上，在减轻所述磁力吸板100重量的同时保证了所述磁力吸板的重心不变且磁力均匀。更具体地，所述夹持板200的上表面具有向外延伸的对位销102，所述磁力吸板100具有容置所述对位销102的对位孔202。通过所述对位孔202与所述对位销102的配合使得磁力吸板100与所述夹持板200贴合更精准，有效的防止了磁力吸板100与所述夹持板200贴合时产生错位。
较佳者，所述内夹子301包括左底座311、右底座312、两扭转弹簧313、夹持块314、夹子顶柱315及转动轴316，所述左底座311与所述右底座312位于所述夹持块314两侧，所述转动轴316穿过所述夹持块314且所述夹持块314的两端分别与所述左底座311及右底座312枢接，所述扭转弹簧313呈圆柱形，所述两扭转弹簧313均穿于所述转动轴316之上且分别抵触于左底座311与夹持块314和右底座312与夹持块314之间，所述夹子顶柱315一端与所述内夹持驱动装置连接，另一端悬置于所述夹持块314的顶部正上方，所述夹持块314的底部向内弯折形成夹持部301b，所述左底座311与所述右底座312连接于所述夹持板200的凹部301a。当需要打开所述内夹子301时，所述内夹持驱动装置驱动所述夹子顶柱315下压并接触所述内夹子301的夹持块314的顶部，所述夹持块314在压力作用下绕转动轴316转动，所述夹持块314绕所述转动轴316旋转使得所述内夹子301打开并形成内夹持区301c，所述内夹持区301c用于夹持基片400，具体地，所述基片400承载于形成所述内夹持区301c的夹持部301b上；当需要关闭所述内夹子301时，所述内夹持驱动装置驱动所述夹子顶柱315复位，在两扭转弹簧313的作用下，所述转动轴316旋转复位，所述夹持块314旋转使得所述内夹子301关闭。更具体地，所述外夹子302与所述内夹子301结构相同，所述外夹子302包括左底座321、右底座322、两扭转弹簧323、夹持块324、夹子顶柱325及转动轴326，所述夹子顶柱325一端与所述外夹持驱动装置连接，另一端悬置于夹持块324的顶部正上方，所述左底座321与所述右底座322连接于所述夹持板200的凸部302a。当需要打开所述外夹子302时，所述外夹持驱动装置驱动所述夹子顶柱325下压并接触所述外夹子302的夹持块324的顶部，所述夹持块324在压力作用下绕转动轴326转动，所述夹持块324绕所述转动轴326旋转使得所述外夹子302打开并形成外夹持区302c，所述外夹持区302c用于夹持掩膜500，具体地，所述掩膜500承载于形成所述外夹持区301c的夹持部302b上；当需要关闭所述外夹子302时，所述外夹持驱动装置驱动所述夹子顶柱325复位，在两扭转弹簧323的作用下，所述转动轴326旋转复位，所述夹持块324旋转使得所述外夹子302关闭。
较佳者，所述磁力吸板100的下表面的四角具有向外延伸的磁力吸板顶柱600，所述夹持板200具有供所述磁力吸板顶柱600穿过的定位孔200a，所述磁力吸板顶柱600穿过所述定位孔200a与所述磁力吸板驱动装置连接，所述磁力吸板驱动装置通过驱动所述磁力吸板顶柱600控制所述磁力吸板100与所述夹持板200的贴合和脱离。
结合图6所示，对使用本发明基片和掩膜的夹持装置夹持对基片400和掩膜500进行夹持的夹持方法做详细的说明，具体步骤如下：
(S1)所述磁力吸板位于所述夹持板的正上方且与所述夹持板脱离，控制所述内夹持驱动装置打开内夹子，所述内夹子形成一个内夹持区；
(S2)将所述基片升至所述内夹子打开所形成的内夹持区内，控制所述内夹持驱动装置闭合所述内夹子；
(S3)控制所述外夹持驱动装置打开所述外夹子，所述外夹子形成一个外夹持区；
(S4)将所述掩膜升至所述外夹子打开所形成的外加持区内，控制所述外夹持驱动装置将所述外夹子闭合；及
(S5)控制所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板与所述夹持板对位贴合，并通过磁力吸板的磁力吸引所述掩膜和所述基片贴合。
较佳者，当需要对贴合好的掩膜和基片进行下一步工序时，还需将贴合好的掩膜和基片从本发明基片和掩膜的夹持装置中脱离，因此，上述步骤(S5)之后还包括如下步骤：
(S6)将所述步骤(S5)中通过磁力吸引贴合的掩膜和基片放置在指定位置；
(S7)控制所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板与所述夹持板脱离；
(S8)控制所述内夹持装置打开所述内夹子；
(S9)控制所述外夹持装置打开所述外夹子，将所述基片和所述掩膜同时放下。
结合图1至图6对本发明基片和掩膜的夹持装置的工作原理和过程作一下详细的说明：
本发明基片和掩膜的夹持装置处于初始状态时，即所述磁力吸板100通过所述磁力吸板顶柱600悬于所述夹持板200正上方，所述内夹子301通过所述夹子顶柱315与所述内夹持驱动装置相连且所述内夹子301处于关闭状态，所述外夹子302通过所述夹子顶柱325与所述外夹持驱动装置相连且所述外夹子302处于关闭状态，当对基片400和掩膜500进行夹持时，所述内夹持驱动装置驱动所述夹子顶柱315压触内夹子301的夹持块314的顶部，使内夹子301的夹持块314绕转轴316转动，从而使得内夹子301处于打开状态，所述内夹子301打开形成夹持所述基片400的内夹持区301c，此时升高基片400至所述内夹持区301c处，再使所述内夹持驱动装置驱动所述夹子顶柱315复位，所述内夹子301在所述内夹持驱动装置的作用下关闭，此时所述基片400承载于所述形成所述内夹持区301c的夹持部301b上，从而完成对基片400的抓取夹持；所述外夹持驱动装置驱动所述外夹子302的夹子顶柱325压触外夹子302的夹持块324的顶部，使外夹子302的夹持块32绕转轴326转动，从而使得外夹子302处于打开状态，所述外夹子302打开形成夹持所述掩膜500的外夹持区302c，此时升高掩膜500至所述外夹持区302c处，再使所述外夹持驱动装置驱动所述夹子顶柱325复位，所述外夹子302在所述外夹持驱动装置的作用下关闭，此时所述掩膜500承载于所述形成所述外夹持区302c的夹持部302b上，从而完成对掩膜500的抓取夹持；所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板顶柱600动作，使磁力吸板100对位贴合在夹持板200上，磁力吸板100上产生均匀的磁力吸引磁性掩膜500使掩膜500与基片400贴合，完成基片400和掩膜500的夹持贴合过程。
根据实际需要，将已贴合的基片400和掩膜500放置在确定位置后，控制磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板100与夹持板200脱离，然后先打开内夹子301，再打开外夹子302，使得基片400和掩膜500同时放下，最后使内夹子301和外夹子302闭合，从而完成将贴合的基片400和掩膜500放置在指定的工作位置，为下一步对基片400和掩膜500的工序提供良好的贴合精度和性能。
本发明基片和掩膜的夹持装置包括夹持板200、磁力吸板100、均匀分布在夹持板200四周的内夹子301和外夹子302、控制磁力吸板100与夹持板200脱离与贴合的磁力吸板驱动装置、控制内夹子301和外夹子302打开和关闭的夹持驱动装置，使得采用本发明基板和掩膜的夹持装置对基板400和具有磁性的掩膜500进行夹持时，可使夹持板200上的内夹子301和外夹子302同时分别对基板400和掩膜500进行夹持，从而有效地降低设备的生产周期，同时还简化了设备的布局与控制；另，又由于基片400与掩膜500四边都采用整周均匀分布的内夹子301与外夹子302进行机械夹持，辅助使用匀称的磁力进行基片400与掩膜500的贴合，使基片400和掩膜500的对位贴合达到较高的定位精度且基片400与掩膜500贴合效果好，从而使得生产成品率高，性能优越，并且保证夹持的基片和掩膜在传送、翻转时不会产生错位，确保被夹持的基片不会被划损。
本发明基片和掩膜的夹持装置所涉及的夹持驱动装置及磁力吸板驱动装置的工作原理和过程，均为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。
以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (8)

1.一种基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述掩膜为磁性掩膜，所述夹持装置包括：
夹持板，所述夹持板四周侧面均具有交替分布的凸部及凹部，所述凸部与所述凹部交替分布呈规则的连续方波状，位于所述夹持板的同一侧面的所述凸部与所述凹部均至少为两个；
磁力吸板，所述磁力吸板位于所述夹持板的正上方，所述磁力吸板上具有均匀分布的永磁体；
与所述磁力吸板连接的磁力吸板驱动装置，所述磁力吸板驱动装置用于控制所述磁力吸板与所述夹持板的贴合和脱离；
夹子组，所述夹子组包括内夹子及与所述内夹子相同的外夹子，所述内夹子安装于所述夹持板的凹部处且突出于所述夹持板的下表面，所述内夹子用于夹持基片，所述外夹子安装于所述夹持板的凸部处且突出于所述夹持板的下表面，所述外夹子用于夹持掩膜；及
夹持驱动装置，所述夹持驱动装置包括内夹持驱动装置和与所述内夹持驱动装置相同的外夹持驱动装置，所述内夹持驱动装置控制内夹子的打开和关闭，所述外夹持驱动装置控制外夹子的打开和关闭。
2.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述永磁体突出均匀分布于所述磁力吸板的下表面，所述夹持板上具有容置突出的永磁体的凹槽。
3.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述夹持板的上表面具有突出的异形凸条，所述磁力吸板具有容置异形条的异形槽，且所述异形槽对称的分布在所述磁力吸板上。
4.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述夹持板的上表面具有向外延伸的对位销，所述磁力吸板具有容置所述对位销的对位孔。
5.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述内夹子包括左底座、右底座、两扭转弹簧、夹持块、夹子顶柱及转动轴，所述左底座与所述右底座位于所述夹持块两侧，所述转动轴穿过所述夹持块且所述夹持块的两端分别与所述左底座及右底座枢接，所述扭转弹簧呈圆柱形，所述两扭转弹簧均穿于所述转动轴之上且分别抵触于左底座与夹持块和右底座与夹持块之间，所述夹子顶柱一端与所述内夹持驱动装置连接，另一端悬置于所述夹持块的顶部正上方，所述夹持块的底部向内弯折形成夹持部，所述左底座与所述右底座连接于所述夹持板的凹部。
6.如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置，其特征在于：所述磁力吸板的下表面的四角具有向外延伸的磁力吸板顶柱，所述夹持板具有供所述磁力吸板顶柱穿过的定位孔，所述磁力吸板顶柱穿过所述定位孔与所述磁力吸板驱动装置连接，所述磁力吸板驱动装置通过驱动所述磁力吸板顶柱控制所述磁力吸板与所述夹持板的贴合和脱离。
7.一种使用如权利要求1所述的基片和掩膜的夹持装置的夹持方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)所述磁力吸板位于所述夹持板的正上方且与所述夹持板脱离，控制所述内夹持驱动装置打开内夹子，所述内夹子形成一个内夹持区；
(2)将所述基片升至所述内夹子打开所形成的内夹持区内，控制所述内夹持驱动装置闭合所述内夹子；
(3)控制所述外夹持驱动装置打开所述外夹子，所述外夹子形成一个外夹持区；
(4)将所述掩膜升至所述外夹子打开所形成的外加持区内，控制所述外夹持驱动装置将所述外夹子闭合；及
(5)控制所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板与所述夹持板对位贴合，并通过磁力吸板的磁力吸引所述掩膜和所述基片贴合。
8.如权利要求7所述的夹持基片和掩膜的夹持方法，其特征在于：所述步骤
(5)之后还包括以下步骤：
(6)将所述步骤(5)中通过磁力吸引贴合的掩膜和基片放置在指定位置；
(7)控制所述磁力吸板驱动装置驱动所述磁力吸板与所述夹持板脱离；
(8)控制所述内夹持装置打开所述内夹子；
(9)控制所述外夹持装置打开所述外夹子。
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