JP2018024946A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018024946A5
JP2018024946A5 JP2017212942A JP2017212942A JP2018024946A5 JP 2018024946 A5 JP2018024946 A5 JP 2018024946A5 JP 2017212942 A JP2017212942 A JP 2017212942A JP 2017212942 A JP2017212942 A JP 2017212942A JP 2018024946 A5 JP2018024946 A5 JP 2018024946A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal plate
width direction
surface distance
length
differential expansion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017212942A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2018024946A (ja
JP6939431B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2017541417A external-priority patent/JP6237972B1/ja
Application filed filed Critical
Publication of JP2018024946A publication Critical patent/JP2018024946A/ja
Publication of JP2018024946A5 publication Critical patent/JP2018024946A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6939431B2 publication Critical patent/JP6939431B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2017212942A 2016-04-14 2017-11-02 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法 Active JP6939431B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016081362 2016-04-14
JP2016081362 2016-04-14
JP2017541417A JP6237972B1 (ja) 2016-04-14 2017-04-14 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017541417A Division JP6237972B1 (ja) 2016-04-14 2017-04-14 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018024946A JP2018024946A (ja) 2018-02-15
JP2018024946A5 true JP2018024946A5 (enExample) 2020-05-28
JP6939431B2 JP6939431B2 (ja) 2021-09-22

Family

ID=60041847

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017541417A Active JP6237972B1 (ja) 2016-04-14 2017-04-14 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法
JP2017212942A Active JP6939431B2 (ja) 2016-04-14 2017-11-02 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017541417A Active JP6237972B1 (ja) 2016-04-14 2017-04-14 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、および、蒸着マスクの製造方法

Country Status (7)

Country Link
US (2) US10767266B2 (enExample)
JP (2) JP6237972B1 (enExample)
KR (2) KR102115724B1 (enExample)
CN (2) CN107849682B (enExample)
DE (1) DE112017002022B4 (enExample)
TW (2) TWI713899B (enExample)
WO (1) WO2017179719A1 (enExample)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102115724B1 (ko) 2016-04-14 2020-05-27 도판 인사츠 가부시키가이샤 증착 마스크용 기재, 증착 마스크용 기재의 제조 방법, 및, 증착 마스크의 제조 방법
DE102016122198A1 (de) * 2016-11-18 2018-05-24 Wickeder Westfalenstahl Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Verbundwerkstoffes, sowie Verbundwerkstoff
JP6319505B1 (ja) 2017-09-08 2018-05-09 凸版印刷株式会社 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法および表示装置の製造方法
JP6984529B2 (ja) * 2017-09-08 2021-12-22 凸版印刷株式会社 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法および表示装置の製造方法
WO2019054462A1 (ja) * 2017-09-15 2019-03-21 凸版印刷株式会社 蒸着マスクの製造方法、表示装置の製造方法、および、蒸着マスク
JP6981302B2 (ja) * 2017-10-13 2021-12-15 凸版印刷株式会社 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法
JP6299922B1 (ja) * 2017-10-13 2018-03-28 凸版印刷株式会社 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法
JP6299921B1 (ja) 2017-10-13 2018-03-28 凸版印刷株式会社 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法
JP6988565B2 (ja) * 2017-10-13 2022-01-05 凸版印刷株式会社 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法
KR102700135B1 (ko) * 2017-11-16 2024-08-29 엘지이노텍 주식회사 증착용 마스크 및 이의 제조 방법
CN110997970A (zh) * 2018-04-11 2020-04-10 凸版印刷株式会社 蒸镀掩模用基材、蒸镀掩模用基材的制造方法、蒸镀掩模的制造方法以及显示装置的制造方法
WO2019235647A1 (ja) * 2018-06-08 2019-12-12 大日本印刷株式会社 金属板の巻回体、巻回体を備える梱包体、巻回体の梱包方法、巻回体の保管方法、巻回体の金属板を用いた蒸着マスクの製造方法及び金属板
JP7137793B2 (ja) * 2018-07-09 2022-09-15 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの良否判定方法、蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク装置の製造方法、蒸着マスクの選定方法および蒸着マスク
KR102188948B1 (ko) * 2019-02-12 2020-12-09 주식회사 오럼머티리얼 프레임 일체형 마스크의 제조 방법
KR20200074341A (ko) * 2018-12-14 2020-06-25 삼성디스플레이 주식회사 금속 마스크, 이의 제조 방법, 및 표시 패널 제조 방법
JP7449485B2 (ja) * 2019-03-28 2024-03-14 大日本印刷株式会社 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
JP2021042439A (ja) * 2019-09-11 2021-03-18 株式会社ジャパンディスプレイ 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
CN112126893B (zh) * 2020-09-29 2023-05-12 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板,掩膜板组件及其制造方法
KR102501481B1 (ko) 2022-07-12 2023-02-21 (주)세우인코퍼레이션 초고해상도 급 증착용 fmm 제조 방법
TW202513177A (zh) * 2023-09-13 2025-04-01 日商大日本印刷股份有限公司 金屬板及其製造方法、以及金屬遮罩之製造方法
US20250222500A1 (en) * 2024-01-10 2025-07-10 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Metal plate, method for manufacturing metal plate, and method for manufacturing metal mask

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5839377A (ja) 1981-09-02 1983-03-08 Toshiba Corp 文字認識装置
JPH05290724A (ja) 1992-04-10 1993-11-05 Toshiba Corp シャドウマスクの製造方法
JP3487471B2 (ja) 1996-01-30 2004-01-19 日立金属株式会社 エッチング加工性に優れたFe−Ni系合金薄板
JPH11140667A (ja) 1997-11-13 1999-05-25 Dainippon Printing Co Ltd エッチング用基材、エッチング加工方法およびエッチング加工製品
JPH11229040A (ja) 1998-02-16 1999-08-24 Nkk Corp Fe−Ni合金鋼ストリップの形状矯正を伴なう焼鈍方法及び焼鈍装置
KR100534580B1 (ko) 2003-03-27 2005-12-07 삼성에스디아이 주식회사 표시장치용 증착 마스크 및 그의 제조방법
JP4337437B2 (ja) * 2003-07-14 2009-09-30 Jfeスチール株式会社 圧延材形状制御方法
JP4341382B2 (ja) 2003-11-21 2009-10-07 凸版印刷株式会社 蒸着マスクの製造方法
TW200622491A (en) * 2004-09-28 2006-07-01 Fuji Photo Film Co Ltd Pattern-forming material, pattern-forming device and pattern-forming method
KR100708654B1 (ko) 2004-11-18 2007-04-18 삼성에스디아이 주식회사 마스크 조립체 및 이를 이용한 마스크 프레임 조립체
JP4609187B2 (ja) 2005-05-30 2011-01-12 凸版印刷株式会社 多面付けメタルマスクの製造方法
KR101433899B1 (ko) * 2008-04-03 2014-08-29 삼성전자주식회사 기판 식각부의 금속층 형성방법 및 이를 이용하여 형성된금속층을 갖는 기판 및 구조물
JP2009299170A (ja) 2008-06-17 2009-12-24 Toppan Printing Co Ltd エッチング部品の製造方法
JP5294072B2 (ja) 2009-03-18 2013-09-18 日立金属株式会社 エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材
JP2013055039A (ja) 2011-08-11 2013-03-21 Canon Inc El発光装置の製造方法および蒸着装置
CN105821375A (zh) 2012-01-12 2016-08-03 大日本印刷株式会社 蒸镀掩模的制造方法及有机半导体元件的制造方法
JP5811051B2 (ja) * 2012-06-29 2015-11-11 新日鐵住金株式会社 金属板の冷間圧延方法及び金属板の製造方法
JP2014088594A (ja) * 2012-10-30 2014-05-15 V Technology Co Ltd 蒸着マスク
JP5382257B1 (ja) * 2013-01-10 2014-01-08 大日本印刷株式会社 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法
JP5382259B1 (ja) * 2013-01-10 2014-01-08 大日本印刷株式会社 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法
JP5455099B1 (ja) * 2013-09-13 2014-03-26 大日本印刷株式会社 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法
JP5516816B1 (ja) 2013-10-15 2014-06-11 大日本印刷株式会社 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いて蒸着マスクを製造する方法
WO2015083660A1 (ja) 2013-12-06 2015-06-11 コニカミノルタ株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子
JP2015129334A (ja) 2014-01-08 2015-07-16 大日本印刷株式会社 積層マスクの製造方法、積層マスクおよび保護フィルム付き積層マスク
JP2015193871A (ja) 2014-03-31 2015-11-05 日立金属株式会社 Fe−Ni系合金薄板及びその製造方法
JP6511908B2 (ja) 2014-03-31 2019-05-15 大日本印刷株式会社 蒸着マスクの引張方法、フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、及び引張装置
JP6354358B2 (ja) 2014-06-11 2018-07-11 凸版印刷株式会社 メタルマスクの搬送治具およびメタルマスクの検査方法
CN205974646U (zh) 2015-07-17 2017-02-22 凸版印刷株式会社 蒸镀用金属掩模
JP6598007B2 (ja) 2015-09-30 2019-10-30 日立金属株式会社 Fe−Ni系合金薄板の製造方法
JP2017064764A (ja) 2015-09-30 2017-04-06 日立金属株式会社 Fe−Ni系合金薄板及びその製造方法
JP6631173B2 (ja) 2015-11-05 2020-01-15 凸版印刷株式会社 蒸着マスク、マスク基材の補修方法、および、マスク基材の補修装置
CN108713067B (zh) 2016-03-09 2020-11-20 日立金属株式会社 马氏体系不锈钢箔及其制造方法
JP6852270B2 (ja) 2016-03-31 2021-03-31 凸版印刷株式会社 金属加工板の製造方法
JP6759666B2 (ja) 2016-03-31 2020-09-23 凸版印刷株式会社 エッチング保護用感光性組成物および金属加工板の製造方法
KR102115724B1 (ko) 2016-04-14 2020-05-27 도판 인사츠 가부시키가이샤 증착 마스크용 기재, 증착 마스크용 기재의 제조 방법, 및, 증착 마스크의 제조 방법
JP6319505B1 (ja) 2017-09-08 2018-05-09 凸版印刷株式会社 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法および表示装置の製造方法
JP6299922B1 (ja) 2017-10-13 2018-03-28 凸版印刷株式会社 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法
JP6299921B1 (ja) 2017-10-13 2018-03-28 凸版印刷株式会社 蒸着マスク用基材、蒸着マスク用基材の製造方法、蒸着マスクの製造方法、および、表示装置の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2018024946A5 (enExample)
CN105331928B (zh) 蒸镀掩模装置及有机半导体元件的制造方法
JP2019212659A5 (enExample)
JP2022075760A5 (ja) 蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
JP2009267398A5 (enExample)
JP2017210657A5 (enExample)
JP2016009118A5 (enExample)
CN105665573B (zh) 针状翅片成形方法
JP2011162854A5 (enExample)
WO2008139848A1 (ja) フォトマスク用基板、フォトマスク用基板の成形部材、フォトマスク用基板の製造方法、フォトマスク、およびフォトマスクを用いた露光方法
JP2014503996A5 (enExample)
JP2016507801A5 (enExample)
CN103572205A (zh) 金属遮罩
JP2013008523A5 (ja) 電池用電極及びその製造方法及び二次電池
JP2017005117A5 (enExample)
JP2015017308A (ja) 蒸着マスク、樹脂層付き金属マスク、および有機半導体素子の製造方法
JPWO2020098645A5 (enExample)
JP2023168410A5 (ja) ばね部材用金属箔、および、電子機器用ばね部材の製造方法
JP5812248B2 (ja) 抵抗器の製造方法
JP2018530451A5 (enExample)
WO2019031149A1 (ja) 抵抗器の製造方法
JP2015014547A5 (enExample)
JP2019073792A5 (enExample)
JP2017044533A5 (enExample)
TWI472631B (zh) 遮罩條