JP2017538963A - 光源内の外乱の補償 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (31)
- 光源内の外乱を補償する方法であって、
光源から放出される、時間繰り返し率に関連付けられたパルス光ビームを受信することと、
前記パルス光ビームの前記時間繰り返し率に伴って変動するエイリアシングされた周波数である、前記光源内の外乱の周波数を決定することと、
前記エイリアシングされた周波数に基づいて補正波形を生成することと、
前記生成された補正波形に基づいて前記パルス光ビームの特性を修正することで前記光源内の前記外乱を補償することと、を含む方法。 - 前記生成された補正波形に基づいて前記パルス光ビームの特性を修正することで前記光源内の前記外乱を補償することは、前記光源内を伝搬する光と相互作用するように位置決めされた光学素子を含む光学アセンブリに前記補正波形を適用することを含み、前記光学アセンブリに対する前記補正波形の適用は、前記光学素子を移動させるために十分な適用である、請求項1に記載の方法。
- 前記パルス光ビームの前記特性は、前記パルス光ビームの波長を含む、請求項2に記載の方法。
- 前記補正波形は、前記外乱の振幅と実質的に同一の振幅を含み、かつ、前記外乱の位相に対してシフトされた位相を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記補正波形の前記位相は、前記外乱の前記位相に対して180度シフトされる、請求項4に記載の方法。
- 前記外乱の前記周波数は、互いに異なる別個の複数の周波数を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記複数の周波数は、前記外乱と関連付けられた基本周波数と、該基本周波数の1つまたは複数の高調波とを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記決定された、前記光源内の前記外乱のエイリアシングされた周波数に基づいて、前記外乱に関連付けられる状態を推定することをさらに含み、
前記エイリアシングされた周波数に基づいて補正波形を生成することは、前記外乱に関連付けられる前記推定された状態に基づいて補正波形を生成することを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記外乱に関連付けられる前記状態は、第1の状態と第2の状態とを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記第1の状態が同相成分を含み、前記第2の状態が直交成分を含む、請求項9に記載の方法。
- 前記推定された状態に基づいて補正波形を生成することは、前記同相および直交成分のベクトル和に基づく大きさと、前記直交成分の前記同相成分に対する比に基づく位相とを有する波形を生成することを含む、請求項10に記載の方法。
- 前記外乱の補償前に、前記光源から放出される前記パルス光ビームの第1の周波数スペクトルを決定することと、
前記外乱の補償後に、前記光源からの放出される第2のパルス光ビームの第2の周波数スペクトルを決定することと、をさらに含み、
前記第1の周波数スペクトルは、前記外乱の前記周波数において第1の量のパワーを含み、
前記第2の周波数スペクトルは、前記外乱の前記周波数において前記第1の量のパワーより少ない第2の量のパワーを含む、請求項1に記載の方法。 - 前記第2の量のパワーは、前記補償された外乱の前記周波数において、前記第1の量のパワーより少なくとも5デシベル(dB)少ない、請求項12に記載の方法。
- 前記時間繰り返し率を測定することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記時間繰り返し率を含むデータを受信することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記光源内の前記外乱の前記周波数は、前記パルス光ビームの前記時間繰り返し率に基づいて決定される、請求項1に記載の方法。
- 前記時間繰り返し率に基づいて前記外乱の前記周波数を決定することは、
前記外乱の周波数を時間繰り返し率の関数として含む周波数マップにアクセスすることと、
前記アクセスされた周波数マップから、アクセスされた前記時間繰り返し率に関連付けられた前記外乱の前記周波数を決定することと、を含む、請求項16に記載の方法。 - 前記周波数マップは、それぞれの時間繰り返し率に関して複数の周波数を含む、請求項17に記載の方法。
- 前記外乱の前記周波数を決定することは、前記外乱の前記周波数の値を含むデータを受信することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記光学素子は、前記チャンバ内を伝搬する前記光のスペクトル特性を選択するように位置決めされ、前記光学素子を移動させることで、前記光の前記選択されたスペクトル特性が変更される、請求項2に記載の方法。
- 前記スペクトル特性は、前記チャンバ内を伝搬する前記光の波長を含む、請求項20に記載の方法。
- 前記光学素子は、前記チャンバ内を伝搬する光を透過する光学素子を含む、請求項2に記載の方法。
- 前記光学素子は、プリズムを含む、請求項22に記載の方法。
- 前記光源は、利得媒体を含み、
前記光源内を伝搬する前記光は、前記ビーム経路に沿って、かつ、前記利得媒体の中を伝搬し、
前記光学素子は、前記ビーム経路に沿って位置決めされ、
前記光源内の前記外乱は、前記ビーム経路に沿って前記利得媒体中に不均一部分を作り出す外乱を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記光源内の前記外乱は、前記チャンバ内で前記利得媒体を循環させるファンの動きによって引き起こされる音響外乱を含む、請求項24に記載の方法。
- 前記光源内の前記外乱は、二次外乱をさらに含み、
前記方法はさらに、
前記パルス光ビームにおける複数のパルスに関する波長エラーを含む、前記パルス光ビームの波長測定値を受信することと、
前記光源内の二次外乱を表すモデルにアクセスすることと、
前記アクチュエータの動態を表すモデルにアクセスすることと、
前記波長エラー、前記二次外乱のモデル、および前記アクチュエータの動態を表すモデルのうちの1つまたは複数に基づいて第2の補正波形を生成することと、を含み、
前記光学アセンブリに前記補正波形を適用することは、前記光学アセンブリに前記第2の補正波形を適用することをさらに含む、請求項2に記載の方法。 - 波長測定値を受信したかどうかにかかわらず、前記第2の補正波形が生成される、請求項26に記載の方法。
- 光源内の外乱を補償する方法であって、
光源から放出される、時間繰り返し率に関連付けられたパルス光ビームを受信することと、
前記光源内の外乱の周波数を決定することと、
前記外乱の特性を表す少なくとも1つの状態の値を繰り返し推定することであって、その推定値は、前記時間繰り返し率と等しいか、またはそれより大きい制御事象周波数で更新される、推定することと、
前記少なくとも1つの状態の各推定値に関する補正波形のインスタンスを、前記制御事象周波数で生成することと、
前記補正波形のインスタンスを前記光源に適用することで前記光源内の前記外乱を補償し、該補償が前記制御事象周波数で前記光源に適用されることと、を含む方法。 - 前記光源内の前記外乱は、複数の異なる周波数に関連付けられる、請求項28に記載の方法。
- 機械読取り可能な非一時的記憶媒体に有形に具現化されたコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータプログラム製品は命令を含み、前記命令は、実行されると、1つまたは複数の電子プロセッサに、
時間繰り返し率を有するパルス光ビームを放出する光源内の外乱の、前記パルス光ビームの前記時間繰り返し率に伴って変動するエイリアシングされた周波数である周波数を決定することと、
前記エイリアシングされた周波数に基づいて補正波形を生成することと、
前記生成された補正波形に基づいて前記パルス光ビームの特性を修正することで前記光源内の前記外乱を補償することと、を実行させる、コンピュータプログラム製品。 - 機械読取り可能な非一時的記憶媒体に有形に具現化されたコンピュータプログラム製品であって、前記コンピュータプログラム製品は命令を含み、前記命令は、実行されると、1つまたは複数の電子プロセッサに、
時間繰り返し率を有するパルス光ビームを放出する光源内の外乱の周波数を決定することと、
前記外乱の特性を表す少なくとも1つの状態の値を繰り返し推定することであって、その推定値は、前記時間繰り返し率と等しいか、またはそれより大きい制御事象周波数で更新される、推定することと、
前記少なくとも1つの状態の各推定値に関する補正波形のインスタンスを、前記制御事象周波数で生成することと、
前記補正波形のインスタンスを前記光源に適用することで前記光源内の前記外乱を補償し、該補償が前記制御事象周波数で前記光学素子に適用されることと、を実行させる、コンピュータプログラム製品。
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