JP2017523566A - イオン源の動的温度制御装置 - Google Patents
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Description
Claims (15)
- チャンバを画定する複数の壁を有するイオン源と、
前記チャンバの外部に前記壁の少なくとも一つに近接して配置された可動熱シールドとを備え、前記可動熱シールドは第1の量の熱を前記チャンバの方へ反射して戻す第1の位置及び前記第1の量より少ない第2の量の熱を反射して戻す第2の位置を有する、
装置。 - 前記複数の壁は底壁、開口を有する上壁、2つの端壁及び2つの側壁を備え、陰極が前記2つの端壁の一つに近接して配置され、且つ前記可動熱シールドが前記2つの端壁の一つに近接して配置されている、請求項1記載の装置。
- 前記可動熱シールドは前記2つの端壁の内の第1の端壁の平面に平行な方向に移動し、前記第1の位置において、前記可動熱シールドは前記第1の端壁の一部分とオーバラップし、前記第2の位置において、前記可動熱シールドは前記第1の端壁のより小さい部分とオーバラップする、請求項2記載の装置。
- 前記可動熱シールドは前記2つの端壁の内の第1の端壁に近接する枢支点を中心に回転し、前記第1の位置に置いて、前記可動熱シールドは前記第1の端壁と第1の角度を成し、前記第2の位置において、前記可動熱シールドは前記第1の端壁と前記第1の角度より大きい第2の角度を成す、請求項2記載の装置。
- 前記複数の壁は底壁、開口を有する上壁、2つの端壁及び2つの側壁を備え、陰極が前記2つの端壁の一つに近接して配置され、且つ前記可動熱シールドが前記2つの側壁の一つに近接して配置されている、請求項1記載の装置。
- 前記可動熱シールドは前記2つの側壁の内の第1の側壁の平面に平行な方向に移動し、前記第1の位置において、前記可動熱シールドは前記第1の側壁の一部分とオーバラップし、前記第2の位置において、前記可動熱シールドは前記第1の側壁のより小さい部分とオーバラップする、請求項5記載の装置。
- 前記可動熱シールドは前記2つの側壁の内の第1の側壁に近接する枢支点を中心に回転し、前記第1の位置に置いて、前記可動熱シールドは前記第1の側壁と第1の角度を成し、前記第2の位置において、前記可動熱シールドは前記第1の側壁と前記第1の角度より大きい第2の角度を成す、請求項5記載の装置。
- 前記可動熱シールドを前記第1の位置と前記第2の位置の間で移動させるために前記可動熱シールドと連動するアクチュエータを更に備える、請求項1記載の装置。
- チャンバを画定する複数の壁を有するイオン源を備え、前記複数の壁は底壁、開口を有する上壁、2つの端壁及び2つの側壁を有し、陰極が前記2つの端壁の一つに近接して配置され、
前記チャンバの外部に前記2つの側壁のそれぞれに近接して各々が配置された2つの可動熱シールドを備え、前記2つの可動熱シールドの各々は第1の量の熱を前記チャンバの方へ反射して戻す第1の位置及び前記第1の量より少ない第2の量の熱を前記チャンバの方へ反射して戻す第2の位置を有し、且つ
前記可動熱シールドの各々と連動し、前記可動熱シールドの各々を前記第1の位置と前記第2の位置の間で前記側壁の平面に平行な方向に移動させるアクチュエータを備え、前記第1の位置において、前記可動熱シールドが前記側壁の一部分とオーバラップし、前記第2の位置において、前記可動熱シールドが前記側壁のより小さい部分とオーバラップする、
装置。 - 前記アクチュエータが前記可動熱シールドを独立に移動させる、請求項9記載の装置。
- 前記アクチュエータが前記可動熱シールドの各々を前記第1の位置と前記第2の位置の間の少なくとも一つの中間位置に移動させる、請求項9記載の装置。
- 前記可動熱シールドを前記第1の位置と前記第2の位置の間の所望の通路に沿って案内するレールを更に備える、請求項9記載の装置。
- チャンバを画定する複数の壁を有するイオン源を備え、前記複数の壁は底壁、開口を有する上壁、2つの端壁及び2つの側壁を有し、陰極が前記2つの端壁の一つに近接して配置され、
前記チャンバの外部に前記2つの側壁のそれぞれに近接して各々が配置された2つの可動熱シールドを備え、前記2つの可動熱シールドの各々は第1の量の熱を前記チャンバの方へ反射して戻す第1の位置及び前記第1の量より少ない第2の量の熱を前記チャンバの方へ反射して戻す第2の位置を有し、且つ
前記可動熱シールドの各々と連動し、前記可動熱シールドの各々をそれぞれの枢支点を中心に回転させるアクチュエータを備え、前記第1の位置において、前記可動熱シールドはそれぞれの側壁と第1の角度を成し、前記第2の位置において、前記可動熱シールドはそれぞれの側壁と第1の角度より小さい第2の角度を成す、
装置。 - 前記アクチュエータは前記可動熱シールドを独立に回転させる、請求項13記載の装置。
- 前記アクチュエータは前記可動熱シールドの各々を前記第1の位置と前記第2の位置の間の少なくとも一つの中間位置に回転させる、請求項13記載の装置。
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