WO2011001797A1 - ガス電界電離イオン源装置およびこれを搭載した走査荷電粒子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 針状の陽極エミッタ(1)と、このエミッタ(1)の先端部にてガス分子をイオン化して引き出す電界を形成する引き出し電極(3)と、上記エミッタ(1)及び引き出し電極(3)が内部に配置されたイオン源室と、上記エミッタの傾斜角度を調整するための傾斜手段(13)とを有するガス電界電離イオン源装置であって、
上記傾斜手段(13)は、上記イオン源室の内部に配置され、上記エミッタ(1)の先端部の位置をほぼ一定とした状態で上記エミッタ(1)の傾斜角度が、上記傾斜手段(13)により調整されることを特徴とするガス電界電離イオン源装置。 - 請求項1に記載のガス電界電離イオン源装置において、上記傾斜手段(13)は、上記エミッタ(1)に接続され、エミッタ(1)と共に傾斜する可動部(13a)と、この可動部(13a)をすべり面(14)を介して移動させる非可動部(13b)とを有することを特徴とするガス電界電離イオン源装置。
- 請求項2に記載のガス電界電離イオン源装置において、上記傾斜手段(13)の上記すべり面は、上記エミッタ(1)の先端を通る直線を中心軸とする円筒面の一部を形成する形状の面であることを特徴とするガス電界電離イオン源装置。
- 請求項3に記載のガス電界電離イオン源装置において、上記傾斜手段(13)の上記可動部(13a)は、上記非可動部(13b)により第1のすべり面(14b)を介して駆動される第1の可動部(17d)と、この第1の可動部(17d)と第2のすべり面(14a)を介して上記第1の可動部(17d)に駆動される第2の可動部(17c)とを有し、上記第1のすべり面(14b)は、上記エミッタ(1)の先端を通り、かつ、上記エミッタ(1)のイオン放出方向とほぼ直交する第1の直線を中心軸とする円筒面の一部を形成する形状の面であり、上記第2のすべり面(14a)は、上記第1の直線とほぼ直交する第2の直線を中心軸とする円筒面の一部を形成する形状の面であることを特徴とするガス電界電離イオン源装置。
- 請求項4に記載のガス電界電離イオン源装置において、上記傾斜手段(13)の上記非可動部(13b)は、上記第1の可動部(17d)を駆動する第1のピエゾ素子を有し、上記傾斜手段の上記第1の可動部は、上記第2の可動部(17c)を駆動する第2のピエゾ素子を有することを特徴とするガス電界電離イオン源装置。
- 針状の陽極エミッタ(1)と、このエミッタ(1)の先端部にてガス分子をイオン化し引き出し、放出させる電界を形成する引き出し電極(3)と、上記エミッタ(1)が内部に配置され、イオン材料であるガスが導入されるエミッタ室とを有するガス電界電離イオン源装置であって、
上記エミッタ室の少なくとも一部は光を透過する透明部材で形成され、この透明部材を透過した上記エミッタ(1)の放出光に基づいて上記エミッタ(1)の温度を測定する放射光利用温度測定手段(9)を備えることを特徴とするガス電界電離イオン源装置。 - 針状の陽極エミッタ(1)と、このエミッタ(1)の先端部にてガス分子をイオン化して引き出す電界を形成する引き出し電極(3)と、上記エミッタ(1)が内部に配置され、イオン材料であるガスが導入されるエミッタ室と、上記エミッタ室及び引き出し電極(3)が内部に配置されたイオン源室と、上記エミッタ(1)の傾斜角度を調整するための傾斜手段(13)とを有するガス電界電離イオン源装置であって、
上記傾斜手段(13)は、上記イオン源室の内部に配置され、上記エミッタ(1)の先端部の位置をほぼ一定とした状態で上記エミッタ(1)の傾斜角度が、上記傾斜手段(13)により調整され、
上記エミッタ室の少なくとも一部は光を透過する透明部材で形成され、この透明部材を透過した上記エミッタ(1)の放出光に基づいて上記エミッタ(1)の温度を測定する放射光利用温度測定手段(9)を備えることを特徴とするガス電界電離イオン源装置。 - 請求項7に記載のガス電界電離イオン源装置において、上記傾斜手段(13)の可動部(13a)は、非可動部(13b)により第1のすべり面(14b)を介して駆動される第1の可動部(17d)と、この第1の可動部(17d)と第2のすべり面(14a)を介して上記第1の可動部(17d)に駆動される第2の可動部(17c)とを有し、上記第1のすべり面(14b)は、上記エミッタ(1)の先端を通り、かつ、上記エミッタ(1)のイオン放出方向とほぼ直交する第1の直線を中心軸とする円筒面の一部を形成する形状の面であり、上記第2のすべり面(14a)は、上記第1の直線とほぼ直交する第2の直線を中心軸とする円筒面の一部を形成する形状の面であることを特徴とするガス電界電離イオン源装置。
- 請求項1から8のうちのいずれか一項に記載されたガス電界電離イオン源装置と、このガス電界電離イオン源装置からのイオンを加速し、集束して試料上に照射するレンズ系と、上記試料から放出される荷電粒子を検出する荷電粒子検出器とを備える走査荷電粒子顕微鏡。
- 請求項9に記載の走査荷電粒子顕微鏡において、上記ガス電界電離イオン源装置からのイオンは、ヘリウムイオンであることを特徴とする走査荷電粒子顕微鏡。
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