CN106575593A - 离子源动态温度控制装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于控制离子源的温度的装置。离子源包含多个壁，所述多个壁界定离子在其中生成的腔室。为了控制离子源的温度，一个或多个挡热板安置到腔室外部。挡热板由设计为将热量反射回到离子源的高温和/或耐火材料制成。在第一位置时，这些挡热板经安置以将第一量的热量反射回到离子源。在第二位置时，这些挡热板经安置以将较少的第二量的热量反射回到离子源。在一些实施例中，挡热板可以安置在位于第一位置与第二位置之间的一个或多个中间位置中。

Description

离子源动态温度控制装置

本申请要求保护在2014年7月2日所提申的美国专利申请序号14/322357的优先权，其公开内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明涉及一种用于控制离子源的温度的装置，且特别涉及一种用于动态改变离子源的温度的装置。

背景技术

离子源用于对引入到离子源的腔室中的气体进行离子化。通常，离子源具有界定腔室的多个壁。气体被引入到此腔室中。所述腔室还具有离子生成机构。在一些情况下，此离子生成机构可以是间热式阴极，其发出用来在腔室中对气体进行离子化的电子。

不同气体最好在不同温度下离子化。举例来说，较大的分子优选地在较低温度下离子化以确保形成大分子离子，而非较小离子。类似地，其它物质，例如，碳类的物质，最好在较高温度下离子化。另外，离子源的温度也可能影响离子源的使用寿命或射束电流。比如碳等物质如果在低温下离子化，那么可能在腔室中形成残留物。

因此，有利的将是具有在相对热的温度与冷的温度之间改变离子源的温度而无需要求手动干涉的装置。

发明内容

本发明公开了一种用于控制离子源的温度的装置。离子源包含多个壁，所述多个壁界定离子在其中生成的腔室。为了控制离子源的温度，一个或多个挡热板安置到腔室外部。挡热板由设计为将热量反射回到离子源的高温和/或耐火材料制成。在第一位置时，这些挡热板经安置以将第一量的热量反射回到离子源。在第二位置时，这些挡热板经安置以将较少的第二量的热量反射回到离子源。在一些实施例中，挡热板可以安置在位于第一位置与第二位置之间的一个或多个中间位置中。

根据第一实施例，本发明公开了一种装置。所述装置包括：离子源，其具有界定腔室的多个壁；以及可移动挡热板，其安置在所述腔室外部并且靠近至少一个壁，其中所述可移动挡热板在第一位置时，第一量的热量反射回到腔室；以及在第二位置时，第二量的热量反射回到腔室，第二量的热量小于第一量的热量。

根据第二实施例，本发明公开了一种装置。所述装置包括：离子源，其具有界定腔室的多个壁，其中所述多个壁包括底壁、具有孔隙的顶壁、两个端壁和两个侧壁，其中阴极经安置而接近于两个端壁中的一个；两个可移动挡热板，其各自安置在所述腔室外部并且靠近两个侧壁中的相应一个，其中所述两个可移动挡热板中的每一个在第一位置时，第一量的热量反射回到腔室；以及在第二位置时，第二量的热量反射回到腔室，其中第二量小于第一量；以及驱动器，其与所述可移动挡热板中的每一个通信，以在平行于侧壁的平面的方向上在所述第一位置与所述第二位置之间移动所述可移动挡热板，其中在所述第一位置时，所述可移动挡热板与所述侧壁的一部分重叠，并且在所述第二位置时，所述可移动挡热板与所述侧壁的较小部分重叠。

根据第三实施例，本发明公开了一种装置。所述装置包括：离子源，其具有界定腔室的多个壁，其中所述多个壁包括底壁、具有孔隙的顶壁、两个端壁和两个侧壁，其中阴极经安置而接近于两个端壁中的一个；两个可移动挡热板，其各自安置在所述腔室外部并且靠近两个侧壁中的相应一个，其中所述可移动挡热板中的每一个在第一位置时，第一量的热量反射回到腔室；以及在第二位置时，第二量的热量反射回到腔室，第二量小于第一量；以及驱动器，其与所述可移动挡热板中的每一个通信，以使所述可移动挡热板各自围绕对应的枢转点旋转，其中在所述第一位置时，所述可移动挡热板与对应的侧壁形成第一角度，并且在所述第二位置时，所述可移动挡热板与所述对应的侧壁形成第二角度，所述第二角度大于所述第一角度。

附图说明

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所示附图作详细说明如下。

图1A到图1D示出了根据第一实施例的装置；

图2A到图2C示出了根据第二实施例的装置；

图3A到图3D示出了根据第三实施例的装置；

图4A到图4D示出了根据第四实施例的装置。

具体实施方式

如上文所述，离子源包括界定腔室的多个壁。在一些实施例中，一种或多种气体被引入到腔室中并且被离子化。在其它实施例中，固体材料可以安置在腔室中并且经溅镀以产生离子。在这些实施例中的每一个中，离子是在腔室中生成的。壁中的一个中的孔隙允许离子被提取出并且导向工件。

图1A到图1C示出了装置10的第一实施例。装置10包含离子源100以及一个或多个挡热板170、175。离子源100具有界定腔室120的多个壁。离子源100可以成形为具有一定高度、长度和宽度的矩形棱柱。离子源100具有底壁111、相对的顶壁112、两个相对的侧壁113、114(参见图2A)，以及两个相对的端壁115、116。这些壁可以在其中界定腔室。在其它实施例中，所述腔室可以分成多个隔室。虽然使用术语“顶部”、“底部”、“侧面”和“端部”，但是它们并不指示离子源放置在特定取向上。实际上，出于便利性使用这些描述。

顶壁112可以具有孔隙130，通过所述孔隙130提取离子。孔隙130外部的是一个或多个电极(未示出)。这些电极是以电气方式加偏压的以便从离子源100中穿过孔隙130且朝向工件(未示出)吸引阳离子。

阴极140可以安置在一个端壁115上。通常，细丝(未示出)安置在阴极140后面，以便分离它与腔室120的其余部分。细丝是带电的，使它产生电子。这些电子撞击阴极140，使它生成电子并且将电子发射到腔室120中。阴极140可以是加负偏压的以朝向腔室120排斥电子。

反射极150可以安置在相对端壁116上。反射极150也可以是加负偏压的以便向后朝向腔室120的中心排斥发射的电子。以此方式，发射的电子在两个端壁115、116处被排斥，使每一个电子将与气体分子碰撞并且形成离子的概率最大化。

如上文所述，离子源100的温度可能影响离子源100的使用寿命以及选定气体的离子化。图1A示出了具有与驱动器180通信的两个可移动挡热板170、175的装置10。第一可移动挡热板170经安置而接近于具有阴极140的端壁115。第二可移动挡热板175经安置而接近于具有反射极150的端壁116。

在本文中描述的所有实施例中，这些可移动挡热板170、175可以使用具有低热导率的高度耐火材料制造。举例来说，可移动挡热板170、175可以由钨、钼、镍、钽、其合金或类似材料构造。替代地，具有发射和热传导特性这两者的材料的夹层可用于促进所述过程。这些材料可以单独使用或者可以安装到基板以用于改进效率。这些材料可以呈单个片材或多个层的形式。可以使用例如，钨、钛和不锈钢等材料要么作为组合件要么可以附着到基板。当然，其它配置也是可能的。挡热板由可用于将热量反射回到离子源100的任何高温、高折射材料组成。另外，如果需要，这些材料可以堆栈成层状或附着到基板。

图1A示出了具有都处于第一位置的可移动挡热板170、175的装置10，其中所述可移动挡热板170、175经布置以将第一量的热量反射回到离子源100。这可以在可移动挡热板170、175邻近于对应的端壁115、116的大部分或全部或与对应的端壁115、116的大部分或全部重叠时发生。虽然图1A示出了可移动挡热板170、175覆盖或重叠对应的端壁115、116的全部，但是其它实施例也是可能的。举例来说，可移动挡热板170、175可以仅覆盖或重叠处于第一位置的对应的端壁115、116的一部分。可以选择第一位置以获得离子源100的最大所需温度。

所反射的热量的量是基于可移动挡热板170、175与对应的端壁115、116之间的重叠的量。它也可以基于端壁115、116与可移动挡热板170、175之间的距离。端壁与其对应的可移动挡热板之间的间隙越小，反射的热量的量就越大。另外，端壁115、116与可移动挡热板170、175之间的角度越小，反射的热量的量就越大。换句话说，当端壁和其对应的可移动挡热板的平面是彼此平行的时，可以出现最大热反射。然而，这些组件不必是完全平行的。实际上，任何角度可以形成于端壁与对应的可移动挡热板之间。然而较大角度可以引起较少热量反射回到腔室120。

在第一位置时，由于可移动挡热板170、175的位置，第一量的热量反射回到离子源100，造成腔室120处于第一可操作温度。在一些实施例中，此第一可操作温度可以是最大的所需温度。

图1B示出具有都处于第二位置的可移动挡热板170、175的装置10。此第二位置经选择以朝向离子源100反射第二量的热量，其中第二量小于第一量。在此第二位置时，与第一位置相比存在较少重叠。在一些实施例中，可能存在端壁115、116与可移动挡热板170、175之间的较少重叠或不存在重叠。这减少了反射的热量。在此第二位置中，腔室120的温度可以是最小所需温度。换句话说，在第一位置时，可移动挡热板170、175重叠对应的端壁115、116的一部分，而在第二位置时，可移动挡热板170、175重叠对应的端壁115、116的较小部分。

在一些实施例中，驱动器180用于在第一位置与第二位置之间移动可移动挡热板170、175。此驱动器180可以是任何传统的电机，例如，步进式电机、伺服电机或具有固定冲程或多次冲程的气压缸。在用气缸的情况下，第一位置和第二位置可以界定冲程的端点。

在利用线性运动的任何实施例中，可移动挡热板可以与一组轨道或衬套通信，所述轨道或衬套确保挡热板沿着所需路径行进。举例来说，在图1A到图1D中，一组轨道或衬套可以安置在每个可移动挡热板170、175的每一侧上，使得挡热板沿着所需路径滑动。

因此，运动可以多种方式实现。举例来说，运动可以是气动的、基于齿轮的或步进式运动。因此，驱动器180可以是能够沿所需路径平移可移动挡热板170、175的任何设备。

另外，此运动可以是非导引的，或者可以通过轨道或通过衬套导引。在一些实施例中，不使用驱动器180，实际上运动是通过可移动挡热板170、175的手动移动实现的。

在一些实施例中，针对每个可移动挡热板恰好存在两个位置：图1A到图1B所示。在一些实施例中，两个可移动挡热板170、175一致地移动。另外，在其它实施例中，第一可移动挡热板170和第二可移动挡热板175可以独立地移动，使得它们可以位于不同位置中。

举例来说，图1C示出了装置10的配置，其中第一可移动挡热板170处于第一位置，而第二可移动挡热板175处于第二位置。在此配置中，腔室120的温度可以介于在图1A的配置中实现的与在图1B的配置中实现的温度之间。替代地，在另一配置中，第一可移动挡热板170可以在第二位置，而第二可移动挡热板175处于第一位置。因此，使用各自恰好具有两个操作位置的两个独立地控制的可移动挡热板，可以形成四个不同的配置。

在另一实施例中，可移动挡热板170、175中的每一个可以移动到位于第一位置与第二位置之间的至少一个中间位置。图1D示出了可移动挡热板170、175安置在位于第一位置(如图1A中所示)与第二位置(如图1B中所示)之间的中间位置中的配置。在此配置中，腔室120可以获得的温度介于在图1A中实现的温度与在图1B中实现的温度之间。在一些实施例中，存在至少一个此类中间位置。在其它实施例中，存在多个中间位置，允许腔室120的温度的更精细的控制。举例来说，使用步进式电机，可为可能的是将可移动挡热板170、175移动到位于第一位置与第二位置之间的任何位置。在中间位置时，可移动挡热板170、175重叠对应的端壁115、116的一部分，这小于在第一位置时重叠的部分但是大于在第二位置时重叠的部分。

虽然图1A到图1D示出了使用经安置而接近于对应的端壁115、116的两个可移动挡热板170、175的装置10，但是其它实施例也是可能的。举例来说，在一些实施例中，仅一个可移动挡热板经安置而接近于端壁115、116中的一个。在一个实施例中，可移动挡热板175安置在端壁116附近安置反射极150处，因为此端壁116可以处于与相对端壁相比的较低温度下。在另一实施例中，可移动挡热板170安置在端壁115附近阴极140所在处。

此外，图1A到1D说明用于通过改变每个端壁与对应的可移动挡热板之间的重叠的量来控制离子源100的温度的装置10。这通过在与端壁115、116的平面平行或几乎平行的方向上移动可移动挡热板执行。在图1A到图1D中所示的配置中，可移动挡热板170、175在竖直方向上移动。

然而，可以使用其它机构来控制反射回到离子源的热量的量。举例来说，在图2A到图2C中所示的另一实施例中，示出装置20，其中端壁与其对应的挡热板之间的距离发生改变。换句话说，并非竖直地移动(如图1A到图1D中示出)以便改变重叠的量，装置20的可移动挡热板170、175横向地移动。换句话说，可移动挡热板170、175在垂直于端壁115、116的平面的方向上移动。

当端壁115、116与对应的可移动挡热板170、175之间的距离位于如图2A中示出的第一位置处时，第一量的热量反射回到离子源。相比之下，当端壁115、116与对应的可移动挡热板170、175之间的距离位于如图2B中示出的第二位置处时，第二量的热量反射回到离子源，其中第二量的热量小于第一量的热量。如上文所述，在一些实施例中，可能存在位于第一位置与第二位置之间的中间位置，如图2C中示出。

因此，在装置20中，并非控制可移动挡热板170、175与对应的端壁115、116之间的重叠的量，而是控制这些组件之间的分离的量。

在一些实施例中，可移动挡热板170、175可为独立地控制的，使得它们可以位于不同位置。举例来说，一个挡热板可以位于第一位置而第二挡热板位于第二位置。在如上文所述的另一实施例中，可以仅存在唯一一个挡热板。在又一实施例中，所述挡热板既可以竖直地移动又可以横向地移动。

如上文所述，虽然图2A到图2C示出了两个挡热板170、175，但是存在其中采用唯一一个挡热板的其它实施例。

虽然图1A到图1D和图2A到图2C示出了经安置而接近于对应的端壁115、116的可移动挡热板170、175，但是其它实施例也是可能的。举例来说，图3A到图3D示出了其中可移动挡热板200、205经安置而接近于对应的侧壁113、114的装置30。在一些实施例中，侧壁113、114可以具有与端壁115、116相比较大的表面积。因此，可移动挡热板的效果在这些实施例中可能更加显著。

图3A示出了其中可移动挡热板200、205位于第一位置的装置30，其中第一量的热量反射回到离子源100。图3B示出了可移动挡热板200、205位于第二位置，其中第二量的热量反射回到离子源100，其中第二量小于第一量。可移动挡热板200、205重叠对应的侧壁113、114的一部分，其中在第一位置重叠的量大于在第二位置重叠的量。类似于图1A到图1D和图2A到图2C的实施例，驱动器180可用于在第一位置与第二位置之间移动可移动挡热板200、205。如上文所述，可移动挡热板200、205的移动可以平行或几乎平行于对应的侧壁113、114的平面。

如图3C中示出，在一些实施例中，可移动挡热板200、205可以独立控制，使得第一可移动挡热板200可以位于第一位置而第二可移动挡热板205位于第二位置。替代地，第二可移动挡热板205可以位于第一位置而第一可移动挡热板200可以位于第二位置。

图3D示出了具有位于第一位置与第二位置之间的中间位置中的可移动挡热板200、205的装置30。如上文所述，在一些实施例中，存在至少一个此类中间位置。在其它实施例中，存在多个中间位置，允许腔室120的温度的更精细的控制。

虽然未示出，但是可移动挡热板200、205可以横向地(或垂直于侧壁113、114的平面)移动，类似于图2A到图2C中所示的机构。

虽然未示出，但是可以采用具有唯一一个挡热板的装置30的实施例。

另外，图1A到图1D和图3A到图3D的实施例中所示的装置可以组合，使得挡热板接近于端壁115、116以及侧壁113、114而被提供。在一个实施例中，这些可移动挡热板170、175、200、205可以全部独立地移动。在另一实施例中，挡热板可以成对移动，使得可移动挡热板170、175一致地移动并且可移动挡热板200、205一致地移动。在一个替代实施例中，挡热板可以平行于端壁和侧壁的平面的方向(即竖直地，如图1A到图1D和图3A到图3D中示出)移动。在另一实施例中，挡热板可以垂直于端壁和侧壁的平面的方向(即，横向地)，如图2A到图2C中示出移动。

另外，如果需要，挡热板可以经安置而接近于底壁111。对于任何挡热板，它可以平行于底壁111的平面的方向或垂直于该平面移动。

图1A到图1D、图2A到图2C和图3A到图3D的实施例中所示的装置全部示出了挡热板沿线性路径移动。然而，其它实施例也是可能的。举例来说，图4A到图4D示出了其中可移动挡热板300、305枢转地旋转的装置40。在图4A中，装置40的可移动挡热板300、305处于第一位置，其中第一量的热量反射回到腔室120。在一个实施例中，可移动挡热板300、305平行于侧壁113、114的平面，然而其它角度也是可能的。此外，虽然图4A到图4D示出了具有经安置而接近于侧壁113、114的可移动挡热板300、305的装置40，但是应理解这些挡热板可以经安置而接近于端壁115、116。在另一实施例中，如果需要，挡热板可以经安置而接近于这些壁中的全部四个。

图4B示出了可移动挡热板300、305位于第二位置的装置40，其中第二量的热量反射回到腔室120，其中第二量小于第一量。这通过增加形成于侧壁113、114与其对应的可移动挡热板300、305之间的角度实现。虽然图4B示出了近似45°的角度，但是其它角度也是可能的。第二位置的角度可以经选择以获得所需最小温度。

换句话说，在第一位置时，可移动挡热板300、305与它们的对应的侧壁113、114形成第一角度。在第二位置时，可移动挡热板300、305与它们的对应的侧壁113、114形成第二角度，其中第二角度大于第一角度。

此旋转移动是使用与可移动挡热板300、305通信的驱动器180实现的。可移动挡热板300、305可以各自可旋转地附接到对应的枢转点。这可以包括轮轴、铰链或其它可枢转机构。当角度增大时，更多的热量在并不到达腔室120的方向上反射。因此，增大的角度可以将较少热量反射回到腔室120，引起较低温度。

如上文所述，装置40的可移动挡热板300、305可以独立地移动。图4C示出了第一可移动挡热板300位于第一位置，而第二可移动挡热板305位于第二位置。替代地，第一可移动挡热板300可以位于第二位置，而第二可移动挡热板305位于第一位置。

在一些实施例中，可移动挡热板300、305可以移动到位于第一位置与第二位置之间的中间位置，如图4D中示出。如上文所述，在一些实施例中，存在多个中间位置，允许腔室120的温度的更精细的控制。在中间位置中，由可移动挡热板300、305与它们的对应的侧壁113、114形成的角度介于第一角度与第二角度之间。

虽然未示出，但是可以采用具有唯一一个挡热板的装置40的实施例。

本文中描述的实施例在希望具有在多个不同温度下操作的离子源的情况中是有益的。通过移动可移动挡热板，离子源100可以在多个温度下操作。另外，可移动挡热板的使用可以形成在相对冷的温度与相对热的温度之间过渡的将比其它可能的方式短的多的所需的时间。此外，这可以无需离子源的改变而执行。

另外，虽然以上实施例示出了具有阴极和反射极的离子源，但是本发明不限于此实施例。所述装置可以采用其它类型的离子源，其中离子在腔室内生成。举例来说，在一些实施例中，RF能量可用于在离子源中形成离子。在此实施例中同样可移动挡热板可以经安置而接近于一个或多个壁。

虽然本发明已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更改与润饰，故本发明的保护范围当视后附的权利要求所界定的为准。

Claims (15)

1.一种装置，包括：

离子源，其具有界定腔室的多个壁；以及

可移动挡热板，其安置在所述腔室外部并且靠近所述壁中的至少一个，其中所述可移动挡热板在第一位置时，第一量的热量反射回到所述腔室；以及在第二位置时，第二量的热量反射回到所述腔室，所述第二量的热量小于所述第一量的热量。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个壁包括底壁、具有孔隙的顶壁、两个端壁和两个侧壁，其中阴极经安置而接近于所述两个端壁中的一个，并且其中所述可移动挡热板经安置而接近于所述两个端壁中的一个。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述可移动挡热板在平行于所述两个端壁中的第一个的平面的方向上移动，并且在所述第一位置时，所述可移动挡热板与第一端壁的一部分重叠，并且在所述第二位置时，所述可移动挡热板与所述第一端壁的较小部分重叠。

4.根据权利要求2所述的装置，其中所述可移动挡热板围绕靠近所述两个端壁中的第一个的枢转点旋转，并且在所述第一位置时，所述可移动挡热板与第一端壁形成第一角度，并且在所述第二位置时，所述可移动挡热板与所述第一端壁形成第二角度，所述第二角度大于所述第一角度。

5.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个壁包括底壁、具有孔隙的顶壁、两个端壁和两个侧壁，其中阴极经安置而接近于所述两个端壁中的一个；并且其中所述两个可移动挡热板经安置而接近于所述两个侧壁中的一个。

6.根据权利要求5所述的装置，其中所述可移动挡热板在平行于所述侧壁中的第一个的平面的方向上移动，并且在所述第一位置时，所述可移动挡热板与所述第一侧壁的一部分重叠，并且在所述第二位置时，所述可移动挡热板与所述第一侧壁的较小部分重叠。

7.根据权利要求5所述的装置，其中所述可移动挡热板围绕靠近所述侧壁中的第一个的枢转点旋转，并且在所述第一位置时，所述可移动挡热板与所述第一侧壁形成第一角度，并且在所述第二位置时，所述可移动挡热板与所述第一侧壁形成第二角度，所述第二角度大于所述第一角度。

8.根据权利要求1所述的装置，其进一步包括驱动器，所述驱动器与所述可移动挡热板通信以在所述第一位置与所述第二位置之间移动所述可移动挡热板。

9.一种装置，包括：

离子源，其具有界定腔室的多个壁，其中所述多个壁包括底壁、具有孔隙的顶壁、两个端壁和两个侧壁，其中阴极经安置而接近于所述两个端壁中的一个；

两个可移动挡热板，其各自安置在所述腔室外部并且靠近所述两个侧壁中的相应一个，其中所述两个可移动挡热板中的每一个在第一位置时，第一量的热量反射回到所述腔室；以及在第二位置时，第二量的热量反射回到所述腔室，其中所述第二量小于所述第一量；以及

驱动器，其与所述可移动挡热板中的每一个通信，以在平行于所述侧壁的平面的方向上在所述第一位置与所述第二位置之间移动所述可移动挡热板中的每一个，其中在所述第一位置时，所述可移动挡热板与所述侧壁的一部分重叠，并且在所述第二位置时，所述可移动挡热板与所述侧壁的较小部分重叠。

10.根据权利要求9所述的装置，其中所述驱动器独立地移动所述可移动挡热板。

11.根据权利要求9所述的装置，其中所述驱动器移动所述可移动挡热板中的每一个到位于所述第一位置与所述第二位置之间的至少一个中间位置。

12.根据权利要求9所述的装置，其进一步包括轨道以沿所述第一位置与所述第二位置之间的所需路径导引所述可移动挡热板。

13.一种装置，包括：

离子源，其具有界定腔室的多个壁，其中所述多个壁包括底壁、具有孔隙的顶壁、两个端壁和两个侧壁，其中阴极经安置而接近于所述两个端壁中的一个；

两个可移动挡热板，其各自安置在所述腔室外部并且靠近所述两个侧壁中的相应一个，其中所述可移动挡热板中的每一个在第一位置时，第一量的热量反射回到所述腔室；以及在第二位置时，第二量的热量反射回到所述腔室，所述第二量小于所述第一量；以及

驱动器，其与所述可移动挡热板中的每一个通信，以围绕对应的枢转点使所述可移动挡热板中的每一个旋转，其中在所述第一位置时，所述可移动挡热板与对应的侧壁形成第一角度，并且在所述第二位置时，所述可移动挡热板与所述对应的侧壁形成第二角度，所述第二角度大于所述第一角度。

14.根据权利要求13所述的装置，其中所述驱动器使所述可移动挡热板独立地旋转。

15.根据权利要求13所述的装置，其中所述驱动器使所述可移动挡热板中的每一个旋转到位于所述第一位置与所述第二位置之间的至少一个中间位。