JP2017515295A - 受動デバイスを有するロープロファイルパッケージ - Google Patents
受動デバイスを有するロープロファイルパッケージ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017515295A JP2017515295A JP2016552347A JP2016552347A JP2017515295A JP 2017515295 A JP2017515295 A JP 2017515295A JP 2016552347 A JP2016552347 A JP 2016552347A JP 2016552347 A JP2016552347 A JP 2016552347A JP 2017515295 A JP2017515295 A JP 2017515295A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- recess
- interconnect
- package
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 248
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 68
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 19
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 18
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 15
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 12
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 12
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims 5
- 230000005226 mechanical processes and functions Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/182—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F17/00—Fixed inductances of the signal type
- H01F17/0006—Printed inductances
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
- H01L21/4853—Connection or disconnection of other leads to or from a metallisation, e.g. pins, wires, bumps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/48—Manufacture or treatment of parts, e.g. containers, prior to assembly of the devices, using processes not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326
- H01L21/4814—Conductive parts
- H01L21/4846—Leads on or in insulating or insulated substrates, e.g. metallisation
- H01L21/486—Via connections through the substrate with or without pins
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/13—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49827—Via connections through the substrates, e.g. pins going through the substrate, coaxial cables
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49866—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers characterised by the materials
- H01L23/49894—Materials of the insulating layers or coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/10—Inductors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K1/115—Via connections; Lands around holes or via connections
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
- H05K1/165—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed inductors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/4038—Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
- H01L23/49816—Spherical bumps on the substrate for external connection, e.g. ball grid arrays [BGA]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1515—Shape
- H01L2924/15158—Shape the die mounting substrate being other than a cuboid
- H01L2924/15159—Side view
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/156—Material
- H01L2924/157—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/156—Material
- H01L2924/15786—Material with a principal constituent of the material being a non metallic, non metalloid inorganic material
- H01L2924/15788—Glasses, e.g. amorphous oxides, nitrides or fluorides
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10007—Types of components
- H05K2201/10015—Non-printed capacitor
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10227—Other objects, e.g. metallic pieces
- H05K2201/10242—Metallic cylinders
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10613—Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
- H05K2201/10954—Other details of electrical connections
- H05K2201/10984—Component carrying a connection agent, e.g. solder, adhesive
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/49155—Manufacturing circuit on or in base
- Y10T29/49165—Manufacturing circuit on or in base by forming conductive walled aperture in base
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
- Ceramic Capacitors (AREA)
Abstract
Description
本出願は、2014年2月18日に出願された米国仮特許出願第61/941,308号の出願日の利益を主張し、それは2014年3月7日に出願された米国特許出願第14/200,684号の出願日の利益を主張し、両方とも全体が参照により明細書に組み込まれる。
図2は、従来の受動オンパッケージ100に関して記載された最小の厚さTを有する基板204を含む例示的な受動オンパッケージ200を示す。たとえば、基板204がガラスから成る場合、基板204が所望の基板レベル信頼性(BLR)を提供するために十分頑強であるように、厚さTは、たとえば、少なくとも100ミクロンとすることができる。一般に、最小の厚さTは、基板204の特性に依存する。たとえば、より頑強なタイプのガラスは、100ミクロン以上まで薄くなり得る。反対に、ガラスは、厚さTが150ミクロン以上でなければならないように、あまり頑強でなくてよい。基板204がたとえばシリコンなど半導体基板である場合、厚さTに対する類似の制限が生じることになる。あるいは、基板204は、有機基板から成り得る。回路基板または別のパッケージ基板に対する相互配線のためのはんだボール212など複数の相互配線は、従来の受動オンパッケージ100に関して記載される同じ最小の厚さd1を有することもできる。はんだボール212の最小の厚さd1は、その組成に依存する。たとえば、はんだボール212が無鉛はんだから成る場合、それらはよりもろく、したがって、鉛を含む実施形態と比較して、より大きい最小の厚さd1を必要とすることになる。これらの最小の寸法が満たされているにもかかわらず、基板204が基板204における第1の側部208において形成された対応するブラインドビアまたは凹部214においてはんだボール212を受けるので、受動オンパッケージ200は、受動オンパッケージ100の高さH1と比較して低減された高さH2を有する。したがって、受動オンパッケージ200の高さH2は、ほぼブラインドビアまたは凹部214の深さだけ低減される。
以下の説明は、受動オンパッケージにおける受動構成要素を支持するために使用される基板が個々のパッケージに刻まれる前にウエハ(またはパネル)の一部として加工されるウエハレベルプロセス(WLP)の実施形態を対象とする。しかし、本明細書に記載したプロセスは、ユニットとしてウエハ(またはパネル)を処理することと比較して、ウエハからさいの目に切られた基板に個々に適用されてもよいことを諒解されよう。低減した高さを達成するために受動オンパッケージを製造するのにWLPプロセスが使用されるかどうかにかかわらず、本明細書で開示する低減された高さの受動オンパッケージは、たとえば対応するブラインドビアまたは凹部内のはんだボールなど、相互配線を受ける。
例示的な製造方法のためのフローチャートが図5に示される。方法は、第1の凹部を基板の第1の面上に形成するステップ500を含む。ステップ505は、基板を貫通して延びる複数の第1の基板貫通ビアを形成することを含む。図2のビア202a〜202dは、そのような第1の基板貫通ビアの例である。ステップ510は、第1の面上に再分配層を形成することを含む。最後に、ステップ515は、第1の凹部に相互配線を結合することを含み、そこにおいて、再分配層を形成することは、第1の相互配線を第1の基板貫通ビアのうちの対応する1つに結合する導体を形成する。たとえば、図2の再分配層220を形成することは、凹部214aにおけるはんだボール212と第1の貫通基板ビア202bとの間に導体216aを結合する。その点において、図3Aの凹部214dなどいくつかの凹部が、任意の再分配層の導体を介して任意の基板貫通ビアに結合しないはんだボール212を受けることに留意されたい。次に、ロープロファイル受動オンパッケージを有利に組み込むことができるいくつかの例示的な電子システムについて説明する。
本明細書で開示される受動オンパッケージは、多種多様な電子システムに組み込むことができる。たとえば、図6に示すように、携帯電話600、ラップトップ605、およびタブレットPC610はすべて、本開示に従って構築されたロープロファイル受動オンパッケージを含むことができる。音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、通信デバイス、およびパーソナルコンピュータなどの他の例示的な電子システムも、本開示に従って構築された受動オンパッケージを用いて構成することができる。
102 基板貫通ビア
103 埋込み形インダクタ
104 基板
106 対向する面
108 基板対向面
112 はんだボール
200 受動オンパッケージ
202 第1の貫通基板ビア
203 導体
204 基板
206 第2の面
207 キャパシタ
208 第1の側部
210 凹部パッド
212 はんだボール
214 凹部
215 埋込み形インダクタ
216 再分配層の導体
217 埋込み形インダクタ
218 パッド開口
219 パッド
220 再分配層
230 パッシベーション層
300 受動オンパッケージ
600 携帯電話
605 ラップトップ
610 タブレットPC
Claims (30)
- 基板と、
前記基板の第1の面上の第1の凹部と、
前記基板を貫通して延びる複数の第1の基板貫通ビアと、
第1の相互配線であり、前記第1の凹部によって受けられる第1の相互配線と、
前記基板の前記第1の面上の再分配層であり、前記第1の相互配線を前記第1の基板貫通ビアのうちの対応する1つに電気的に結合するように構成される再分配層と
を備えるデバイス。 - 前記基板の前記第1の面上の第2の凹部と、
前記第2の凹部から前記基板を貫通して延びる第2の基板貫通ビアと
をさらに含む、請求項1に記載のデバイス。 - 前記基板の対向する第2の面に隣接するキャパシタをさらに備え、前記第2の基板貫通ビアが前記キャパシタに電気的に結合する、請求項1に記載のデバイス。
- 埋込み形インダクタをさらに備え、前記埋込み形インダクタが、前記第1の基板貫通ビアのうちの少なくとも2つを備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記埋込み形インダクタが複数の埋込み形インダクタを含む、請求項4に記載のデバイス。
- 各埋込み形インダクタが、前記基板の対向する第2の面に隣接する導体を介して電気的に一緒に結合される2つの第1の基板貫通ビアを備える、請求項5に記載のデバイス。
- 前記基板がガラス基板を備え、前記第1の相互配線がはんだボールを備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記基板が半導体基板を備え、前記第1の相互配線が金属柱を備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記基板が有機基板を備え、前記第1の相互配線がはんだボールを備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記基板の前記第1の面上の第2の凹部と、
前記第2の凹部によって受けられる第2の相互配線とをさらに備え、前記第1および第2の相互配線が、はんだボールを備え、前記第2のはんだボールが、前記デバイスを回路基板に固定することに関する機械的機能のみを有する
請求項1に記載のデバイス。 - 基板の第1の面上に第1の凹部を形成するステップと、
前記基板を貫通して延びる複数の第1の基板貫通ビアを形成するステップと、
前記基板の前記第1の面に隣接した再分配層を形成するステップと、
前記第1の凹部に第1の相互配線を結合するステップであり、前記再分配層を形成するステップが、前記第1の相互配線を前記第1の基板貫通ビアのうちの対応する1つに結合する導体を形成する、ステップと
を含む方法。 - 前記再分配層を形成するステップが、前記第1の面における金属層をパターニングするステップを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記金属層をパターニングするステップが、前記第1の凹部におけるパッドをパターニングするステップをさらに含む、請求項12に記載の方法。
- 前記金属層をパターニングするステップが、銅の金属層をパターニングするステップを含む、請求項13に記載の方法。
- 第1の凹部を形成するステップが、前記基板の前記第1の面上に第2の凹部を形成するステップをさらに含み、前記方法が、
前記第2の凹部から前記基板を貫通して延びる第2の基板貫通ビアを形成するステップ
をさらに含む、請求項11に記載の方法。 - 前記第2の凹部を形成するステップが、複数の第2の凹部を形成するステップを含み、前記第2の基板貫通ビアを形成するステップが、前記複数の第2の凹部に対応する複数の第2の基板貫通ビアを形成するステップを含み、各第2の基板貫通ビアが、前記対応する第2の凹部から前記基板を貫通して延びる、請求項15に記載の方法。
- 前記第2の基板貫通ビアのうちの少なくとも1つに結合される前記基板の対向する第2の表面上にキャパシタを形成するステップをさらに含む、請求項15に記載の方法。
- 前記基板の前記第1の面上、および前記基板の対向する第2の面上にパッシベーション層を堆積するステップをさらに含む、請求項14に記載の方法。
- 前記凹部を形成するステップが、ガラス基板の前記第1の側部にエッチングするステップを含む、請求項14に記載の方法。
- 各凹部において相互配線を取り付けるステップが、はんだボールを各凹部にドロップするステップを含む、請求項14に記載の方法。
- 基板と、
前記基板を貫通して延びる埋込み形インダクタと、
前記基板の第1の面上の第1の凹部と、
前記基板の前記第1の面上の第2の凹部と、
前記第1の凹部によって受けられる第1の相互配線と、
前記第2の凹部によって受けられる第2の相互配線と、
前記第1の相互配線を前記埋込み形インダクタに電気的に結合するため、および前記第2の相互配線を前記埋込み形インダクタに電気的に結合するための手段と
を備えるデバイス。 - 前記第1の相互配線および前記第2の相互配線がはんだボールを備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記基板が少なくとも100ミクロンの厚さを有するガラス基板を備える、請求項21に記載のデバイス。
- 前記ガラス基板が少なくとも150ミクロンの厚さを有する、請求項23に記載のデバイス。
- 前記手段が少なくとも1つのパターニングされた金属層を備える、請求項21に記載のデバイス。
- パッケージであって、
基板厚さによって対向する第2の側部から分離される第1の側部を有する基板と、
前記基板の第1の側部上の複数の凹部と、
前記複数の凹部に対応する複数のはんだボールであり、各はんだボールが、はんだボール直径を有し、各凹部が、前記対応するはんだボールを受け、したがって、前記パッケージのパッケージ高さが、前記基板厚さおよび前記はんだボール直径の合計未満である、複数のはんだボールと、
前記第1の側部から延び、前記基板厚さに実質的に等しい長さを各々有する複数の基板貫通ビアと、
前記はんだボールうちのいくつかのものを前記基板貫通ビアの対応するものに電気的に結合するように構成される再分配層と
を備えるパッケージ。 - 前記パッケージが、携帯電話、ラップトップ、タブレット、音楽プレーヤ、通信デバイス、コンピュータ、およびビデオプレーヤのうちの少なくとも1つに組み込まれる、請求項26に記載のパッケージ。
- 前記基板は、ガラス基板である、請求項26に記載のパッケージ。
- 埋込み形インダクタをさらに備え、前記埋込み形インダクタが、1対の前記基板貫通ビアを含む、請求項26に記載のパッケージ。
- 前記基板が、半導体基板である、請求項26に記載のパッケージ。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201461941308P | 2014-02-18 | 2014-02-18 | |
US61/941,308 | 2014-02-18 | ||
US14/200,684 US20150237732A1 (en) | 2014-02-18 | 2014-03-07 | Low-profile package with passive device |
US14/200,684 | 2014-03-07 | ||
PCT/US2015/014895 WO2015126640A1 (en) | 2014-02-18 | 2015-02-06 | Low-profile package with passive device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017515295A true JP2017515295A (ja) | 2017-06-08 |
JP2017515295A5 JP2017515295A5 (ja) | 2018-03-01 |
Family
ID=53799402
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016552347A Pending JP2017515295A (ja) | 2014-02-18 | 2015-02-06 | 受動デバイスを有するロープロファイルパッケージ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20150237732A1 (ja) |
EP (1) | EP3108502A1 (ja) |
JP (1) | JP2017515295A (ja) |
KR (1) | KR20160123322A (ja) |
CN (1) | CN106030782B (ja) |
WO (1) | WO2015126640A1 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI607539B (zh) * | 2015-02-16 | 2017-12-01 | 精材科技股份有限公司 | 晶片封裝體及其製造方法 |
US10321575B2 (en) | 2015-09-01 | 2019-06-11 | Qualcomm Incorporated | Integrated circuit (IC) module comprising an integrated circuit (IC) package and an interposer with embedded passive components |
US10074625B2 (en) | 2015-09-20 | 2018-09-11 | Qualcomm Incorporated | Wafer level package (WLP) ball support using cavity structure |
US20170092594A1 (en) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | Qualcomm Incorporated | Low profile package with passive device |
US10044390B2 (en) | 2016-07-21 | 2018-08-07 | Qualcomm Incorporated | Glass substrate including passive-on-glass device and semiconductor die |
US20180061775A1 (en) * | 2016-08-31 | 2018-03-01 | Qualcomm Incorporated | LOW PROFILE PASSIVE ON GLASS (PoG) DEVICE COMPRISING A DIE |
DE102016116499B4 (de) * | 2016-09-02 | 2022-06-15 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Bilden von Halbleiterbauelementen und Halbleiterbauelemente |
US10194529B2 (en) * | 2016-09-16 | 2019-01-29 | Qualcomm Incorporated | Partial metal fill for preventing extreme-low-k dielectric delamination |
US10861840B2 (en) * | 2017-08-30 | 2020-12-08 | Advanced Semiconductor Engineering, Inc. | Integrated passive component and method for manufacturing the same |
KR102513078B1 (ko) * | 2018-10-12 | 2023-03-23 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 |
CN110312363B (zh) * | 2019-06-24 | 2020-10-16 | 维沃移动通信有限公司 | 一种印刷电路板组件及终端 |
CN111834341B (zh) * | 2020-06-17 | 2021-09-21 | 珠海越亚半导体股份有限公司 | 电容电感嵌埋结构及其制作方法和基板 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10340929A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-12-22 | Hitachi Aic Inc | 電子部品搭載用配線基板 |
JP2000068399A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-03-03 | Hitachi Denshi Ltd | 半導体装置 |
JP2002280490A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Fujitsu Ltd | 配線基板とその製造方法並びにそれを用いた半導体装置 |
JP2004273622A (ja) * | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Fujitsu Ltd | コネクタ基板の製造方法 |
WO2007129526A1 (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-15 | Ibiden Co., Ltd. | インダクタ及びこれを利用した電源回路 |
JP2013538010A (ja) * | 2010-09-23 | 2013-10-07 | クゥアルコム・メムス・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 集積化された受動素子と電力増幅器 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4074342A (en) * | 1974-12-20 | 1978-02-14 | International Business Machines Corporation | Electrical package for lsi devices and assembly process therefor |
CA2034703A1 (en) * | 1990-01-23 | 1991-07-24 | Masanori Nishiguchi | Substrate for packaging a semiconductor device |
US6569604B1 (en) * | 1999-06-30 | 2003-05-27 | International Business Machines Corporation | Blind via formation in a photoimageable dielectric material |
US20030205799A1 (en) * | 2002-05-03 | 2003-11-06 | Mohammad Yunus | Method and device for assembly of ball grid array packages |
US20040036170A1 (en) * | 2002-08-20 | 2004-02-26 | Lee Teck Kheng | Double bumping of flexible substrate for first and second level interconnects |
JP2004207542A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Kyocera Corp | 発光素子収納用パッケージおよび発光装置 |
JP4082220B2 (ja) * | 2003-01-16 | 2008-04-30 | セイコーエプソン株式会社 | 配線基板、半導体モジュールおよび半導体モジュールの製造方法 |
US7327554B2 (en) * | 2003-03-19 | 2008-02-05 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Assembly of semiconductor device, interposer and substrate |
JP2004349457A (ja) * | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Lsiパッケージ |
US8084854B2 (en) * | 2007-12-28 | 2011-12-27 | Micron Technology, Inc. | Pass-through 3D interconnect for microelectronic dies and associated systems and methods |
US20110050334A1 (en) * | 2009-09-02 | 2011-03-03 | Qualcomm Incorporated | Integrated Voltage Regulator with Embedded Passive Device(s) |
US20130026609A1 (en) * | 2010-01-18 | 2013-01-31 | Marvell World Trade Ltd. | Package assembly including a semiconductor substrate with stress relief structure |
US20110186960A1 (en) * | 2010-02-03 | 2011-08-04 | Albert Wu | Techniques and configurations for recessed semiconductor substrates |
US8558392B2 (en) * | 2010-05-14 | 2013-10-15 | Stats Chippac, Ltd. | Semiconductor device and method of forming interconnect structure and mounting semiconductor die in recessed encapsulant |
US9579738B2 (en) * | 2011-02-25 | 2017-02-28 | International Business Machines Corporation | Flux composition and techniques for use thereof |
US9058973B2 (en) * | 2011-04-13 | 2015-06-16 | International Business Machines Corporation | Passive devices fabricated on glass substrates, methods of manufacture and design structures |
US9105627B2 (en) * | 2011-11-04 | 2015-08-11 | International Business Machines Corporation | Coil inductor for on-chip or on-chip stack |
CN102723306B (zh) * | 2012-06-28 | 2014-10-08 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种利用穿硅通孔的微波多芯片封装结构及其制作方法 |
US10312007B2 (en) * | 2012-12-11 | 2019-06-04 | Intel Corporation | Inductor formed in substrate |
US9130016B2 (en) * | 2013-04-15 | 2015-09-08 | Schott Corporation | Method of manufacturing through-glass vias |
-
2014
- 2014-03-07 US US14/200,684 patent/US20150237732A1/en not_active Abandoned
-
2015
- 2015-02-06 EP EP15706104.5A patent/EP3108502A1/en not_active Withdrawn
- 2015-02-06 JP JP2016552347A patent/JP2017515295A/ja active Pending
- 2015-02-06 CN CN201580008888.6A patent/CN106030782B/zh active Active
- 2015-02-06 KR KR1020167024477A patent/KR20160123322A/ko not_active Application Discontinuation
- 2015-02-06 WO PCT/US2015/014895 patent/WO2015126640A1/en active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10340929A (ja) * | 1997-04-10 | 1998-12-22 | Hitachi Aic Inc | 電子部品搭載用配線基板 |
JP2000068399A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-03-03 | Hitachi Denshi Ltd | 半導体装置 |
JP2002280490A (ja) * | 2001-03-21 | 2002-09-27 | Fujitsu Ltd | 配線基板とその製造方法並びにそれを用いた半導体装置 |
JP2004273622A (ja) * | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Fujitsu Ltd | コネクタ基板の製造方法 |
WO2007129526A1 (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-15 | Ibiden Co., Ltd. | インダクタ及びこれを利用した電源回路 |
JP2013538010A (ja) * | 2010-09-23 | 2013-10-07 | クゥアルコム・メムス・テクノロジーズ・インコーポレイテッド | 集積化された受動素子と電力増幅器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106030782B (zh) | 2020-01-14 |
US20150237732A1 (en) | 2015-08-20 |
KR20160123322A (ko) | 2016-10-25 |
EP3108502A1 (en) | 2016-12-28 |
CN106030782A (zh) | 2016-10-12 |
WO2015126640A1 (en) | 2015-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017515295A (ja) | 受動デバイスを有するロープロファイルパッケージ | |
US11049798B2 (en) | Embedded bridge with through-silicon Vias | |
TWI637672B (zh) | 在芯片和基板之間的新型端接和連接 | |
US9646926B2 (en) | Wiring substrate and method of manufacturing the same | |
US9693458B2 (en) | Printed wiring board, method for manufacturing printed wiring board and package-on-package | |
TW201010005A (en) | Hybrid conductive vias including small dimension active surface ends and larger dimension back side ends, semiconductor devices including the same, and associated methods | |
KR20120000690A (ko) | 반도체 소자 및 그 제조 방법 | |
JP6489460B2 (ja) | 超微細ピッチフリップチップバンプを備えた基板 | |
KR101732471B1 (ko) | 다층 복합 전자 구조체 및 그 일면을 종결시키는 방법 | |
US10187971B2 (en) | Wiring board and method of manufacturing wiring board | |
CN102832210B (zh) | 低阻衬底上的多表面集成器件 | |
US20130258623A1 (en) | Package structure having embedded electronic element and fabrication method thereof | |
US20080142964A1 (en) | Tubular-shaped bumps for integrated circuit devices and methods of fabrication | |
KR101341619B1 (ko) | 반도체 패키지 및 그의 제조 방법 | |
JP2009135147A (ja) | 配線基板及び電子素子の接続構造及び電子装置 | |
US10643949B2 (en) | Component carrier and method for manufacturing the same | |
TW201640976A (zh) | 堆疊電子裝置及其製造方法 | |
TWI652864B (zh) | Insert frame with polymer matrix and manufacturing method thereof | |
KR20120124302A (ko) | 실리콘 인터포저 및 그의 제조 방법 | |
TW201110299A (en) | Multilayer semiconductor device and method for manufacturing multilayer semiconductor device | |
US20240203921A1 (en) | Semiconductor substrate structure, semiconductor structure and manufacturing method thereof | |
KR20140114932A (ko) | 복합기판을 이용한 패키지 및 그 제조방법 | |
CN115250569A (zh) | 一种高频线路板及其制备方法 | |
JP2016134392A (ja) | インターポーザ、半導体装置、およびそれらの製造方法 | |
JP2013149692A (ja) | シリコンインターポーザ及びそれを用いる半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160819 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180118 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190204 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190909 |