JP2017511974A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 直線の列に配置された複数の孔が内部に形成された、光透過性の部材と、
   前記光透過性の部材に連結され、前記光透過性の部材の直径に対して直角に垂直に前記複数の孔から延伸する複数のチューブと、
   前記複数のチューブのうちの少なくとも１つに連結されたフランジプレートと
   を備える、ガス供給装置。
2. 前記複数のチューブのうちの各チューブが石英を含む、請求項１に記載の装置。
3. 前記チューブのうちの各チューブが、前記光透過性の部材と前記フランジプレートとの間でチューブ上に配置された断熱部材を備える、請求項２に記載の装置。
4. 各断熱部材が放射遮断部材を含む、請求項３に記載の装置。
5. 前記フランジプレートの少なくとも１部を取り囲む金属製クランプ部材をさらに備える、請求項１に記載の装置。
6. 前記フランジプレートと前記金属製クランプ部材との間に適合部材が配置されている、請求項５に記載の装置。
7. 処理チャンバ本体と、
   前記処理チャンバ本体に連結された光透過性の部材と、
   前記光透過性の部材を貫通するように形成された複数の孔であって、前記複数の孔は直線の列に配置され、且つ前記光透過性の部材の直径に対して平行にオフセットして配置されている、複数の孔と、
   第１の端部において前記光透過性の部材に連結され、前記複数の孔から延伸する複数のチューブと、
   前記複数のチューブの第２の端部に連結されたフランジプレートと、
   前記チャンバ本体に連結され、前記光透過性の部材と前記フランジプレートの間に配置されたリフレクタプレートと、
   を備える、基板処理のための装置。
8. 前記複数のチューブが、前記リフレクタプレートを貫通して延伸している、請求項７に記載の装置。
9. 前記リフレクタプレートが、第１の部材と、前記複数のチューブが前記リフレクタプレートを貫通して延伸する領域において前記第１の部材に接合された第２の部材とを備える、請求項７に記載の装置。
10. 前記複数の孔が、第１の孔及び複数の第２の孔を含む直線の列に配列され、前記第１の孔が前記光透過性の部材の中央エリアにあり、前記複数の第２の孔のそれぞれが前記第１の孔から異なる距離にある、請求項７に記載の装置。
11. 各チューブが断熱部材を含む、請求項７に記載の装置。
12. 各チューブが、前記光透過性の部材から前記断熱部材まで延伸する第１の石英部分、及び前記断熱部材から前記フランジプレートまで延伸する第２の部分を備える、請求項１１に記載の装置。
13. 処理チャンバ本体と、
    前記処理チャンバ本体に連結された第１のドームと、
    前記第１のドームの反対側で前記チャンバ本体に連結された第２のドームであって、前記チャンバ本体、第１のドーム、及び前記第２のドームが処理容積を画成する第２のドームと、
    前記処理容積内に配置された基板支持体と、
    前記処理容積の外部で前記チャンバ本体に連結されたランプアレイと、
    前記第２のドームを貫通して形成された複数の孔と、
    前記複数の孔のそれぞれに連結され、各孔から、前記処理容積から離れる方に延伸するチューブと、
    各チューブに連結されたフランジプレートと、
    前記チャンバ本体に連結され、前記第２のドームと前記フランジプレートの間に配置されたリフレクタプレートと
    を備える、基板処理のための装置。
14. 断熱部材が、前記リフレクタプレートと前記フランジプレートとの間で各チューブに連結されている、請求項１３に記載の装置。
15. 前記フランジプレートを部分的に取り囲むクランプ部材、及び前記クランプ部材と前記フランジプレートの間に配置された適合部材をさらに備える、請求項１３に記載の装置。