JP2017220929A5 - 分波器と分波モジュール - Google Patents

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  1. 分波器であって、
    共通接点、第1信号接点及び第2信号接点と、
    前記共通接点及び前記第1信号接点間に接続されて第1通過帯域を有する第1フィルタと、
    前記共通接点及び前記第2信号接点間に接続されて前記第1通過帯域とは異なる第2通過帯域を有する第2フィルタと
    を含み、
    前記第1フィルタは、
    第1圧電基板と、
    前記第1圧電基板の一表面上に形成された弾性表面波(SAW)フィルタと、
    前記第1圧電基板の前記一表面上に形成されて前記共通接点及び前記SAWフィルタ間に直列接続された第1SAW共振器と、
    前記第1圧電基板の前記一表面を覆いかつ前記SAWフィルタ及び第1SAW共振器を覆うように形成された誘電膜と
    を含み、
    前記誘電膜は、前記SAWフィルタに対応する第1領域に第1厚さを有し、前記第1SAW共振器に対応する第2領域に第2厚さを有し、
    前記第1厚さは前記第2厚さよりも大きく、
    前記誘電膜の前記第1厚さと前記第2厚さとの差が、前記誘電膜の前記第1領域におけるラム波の伝播により生成される前記第2通過帯域におけるスプリアスを抑制するべく選択される、分波器。
  2. 前記第2通過帯域の中心周波数は、前記第1通過帯域の中心周波数よりも1.2から1.4倍大きな範囲にある、請求項1の分波器。
  3. 前記第2通過帯域の中心周波数は、前記第2通過帯域の中心周波数よりも1.25から1.3倍大きな範囲にある、請求項2の分波器。
  4. 前記第1SAW共振器と前記SAWフィルタとが一緒になってラダー形フィルタを形成し、
    前記SAWフィルタは、
    前記第1信号接点と前記第1SAW共振器との間に直列に接続された複数の直列SAW共振器と、
    少なくとも一つのグランド接点に接続された複数の並列SAW共振器と
    を含む、請求項1の分波器。
  5. 前記誘電膜は二酸化ケイ素からなる、請求項1の分波器。
  6. 前記第1SAW共振器に対応する前記第2領域における前記誘電膜の第2厚さは、前記第1フィルタにおいて励振される弾性表面波の波長で規格化した場合に26%よりも小さくなるように構成される、請求項1の分波器。
  7. 前記SAWフィルタに対応する前記第1領域の前記誘電膜の第1厚さは、前記第1フィルタにおいて励振される弾性表面波の波長で規格化した場合に29%よりも大きくなるように構成される、請求項6の分波器。
  8. 前記第1圧電基板はニオブ酸リチウム及びタンタル酸リチウムの一方からなる、請求項1の分波器。
  9. 前記第2フィルタは、前記第1圧電基板に配置された複数の弾性波素子を含む、請求項1の分波器。
  10. 前記第2フィルタは、第2圧電基板と、前記第2圧電基板に配置された複数の弾性波素子とを含む、請求項1の分波器。
  11. 前記複数の弾性波素子は、弾性表面波素子、バルク弾性波素子及び薄膜バルク弾性共振器の少なくとも一つを含む、請求項10の分波器。
  12. 前記第1圧電基板は第1材料からなり、前記第2圧電基板は前記第1材料とは異なる第2材料からなる、請求項10の分波器。
  13. 前記第1SAW共振器の反共振周波数は、前記第1通過帯域の高周波数側に最も近いところにある減衰極の周波数よりも高い、請求項1の分波器。
  14. 分波器であって、
    共通接点、第1信号接点及び第2信号接点と、
    前記共通接点及び前記第1信号接点間に接続されて第1通過帯域を有する第1フィルタと、
    前記共通接点及び前記第2信号接点間に接続されて前記第1通過帯域とは異なる第2通過帯域を有する第2フィルタと
    を含み、
    前記第1フィルタは、
    第1圧電基板と、前記第1圧電基板の一表面上に形成されて弾性表面波を励振するべく構成された弾性表面波(SAW)フィルタと、
    前記第1圧電基板の前記一表面上に形成されて前記共通接点及び前記SAWフィルタ間に直列接続されたSAW共振器と、
    前記第1圧電基板の前記一表面を覆いかつ前記SAWフィルタ及び前記SAW共振器を覆うように形成された誘電膜と
    を含み、
    前記誘電膜は、前記SAWフィルタに対応する第1領域に第1厚さを有し、前記SAW共振器に対応する第2領域に第2厚さを有し、
    前記第1厚さは、前記弾性表面波の波長で規格化した場合に29%よりも大きくなるように構成され、
    前記第2厚さは、前記弾性表面波の波長で規格化した場合に26%よりも小さくなるように構成される、分波器。
  15. 前記第2通過帯域の中心周波数は、前記第1通過帯域の中心周波数よりも1.2から1.4倍大きな範囲にある、請求項14の分波器。
  16. 前記第2通過帯域の中心周波数は、前記第1通過帯域の中心周波数よりも1.25から1.3倍大きな範囲にある、請求項15の分波器。
  17. 前記誘電膜は二酸化ケイ素からなる、請求項14の分波器。
  18. 前記第2フィルタは、前記第1圧電基板に配置された複数の弾性波素子を含む、請求項14の分波器。
  19. 前記第2フィルタは、第2圧電基板と、前記第2圧電基板に配置された複数の弾性波素子とを含む、請求項14の分波器。
  20. 前記第1圧電基板は第1材料からなり、前記第2圧電基板は前記第1材料とは異なる第2材料からなる、請求項19の分波器。
  21. 分波器であって、
    共通接点、第1信号接点及び第2信号接点と、
    前記共通接点及び前記第1信号接点間に接続されて第1通過帯域を有する第1フィルタと、
    前記共通接点及び前記第2信号接点間に接続されて前記第1通過帯域とは異なる第2通過帯域を有する第2フィルタと
    を含み、
    前記第1フィルタは、
    第1圧電基板と、
    前記第1圧電基板の一表面上に形成された弾性表面波(SAW)フィルタと、
    前記第1圧電基板の前記一表面上に形成されて前記共通接点及び前記SAWフィルタ間に直列接続されたSAW共振器と、
    前記第1圧電基板の前記一表面を覆いかつ前記SAWフィルタ及び前記SAW共振器を覆うように形成された誘電膜と
    を含み、
    前記誘電膜は、前記SAWフィルタに対応する第1領域に第1厚さを有し、前記SAW共振器に対応する第2領域に第2厚さを有し、
    前記第1厚さは前記第2厚さよりも大きく、
    前記第2通過帯域の中心周波数は、前記第1通過帯域の中心周波数よりも1.2から1.4倍大きな範囲にある、分波器。
  22. 前記SAW共振器及び前記SAWフィルタは一緒になって第1ラダー型フィルタを形成し、
    前記SAWフィルタは、グランド接点に接続された少なくとも一つの並列共振器を含む、請求項21の分波器。
  23. 前記SAWフィルタは二重モード型SAWフィルタである、請求項21の分波器。
  24. 前記第2通過帯域の中心周波数は、前記第1通過帯域の中心周波数よりも1.25から1.3倍大きな範囲にある、請求項21の分波器。
  25. 前記誘電膜は二酸化ケイ素からなる、請求項21の分波器。
  26. 前記SAW共振器に対応する前記第2領域における前記誘電膜の第2厚さは、前記第1フィルタにおいて励振される弾性表面波の波長で規格化した場合に26%よりも小さくなるように構成される、請求項21の分波器。
  27. 前記SAWフィルタに対応する前記第1領域の前記誘電膜の第1厚さは、前記第1フィルタにおいて励振される弾性表面波の波長で規格化した場合に29%よりも大きくなるように構成される、請求項26の分波器。
  28. 前記誘電膜の第1厚さと第2厚さとの差は、前記第1フィルタにおいて励振される弾性表面波の波長で規格化した場合に3%よりも大きくなるように構成される、請求項26の分波器。
  29. 前記SAWフィルタに対応する前記第1領域における前記誘電膜の第1厚さは、前記第1フィルタにおいて励振される弾性表面波の波長で規格化した場合に29%よりも大きくなるように構成される、請求項21の分波器。
  30. 前記誘電膜の第1厚さと第2厚さとの差は、前記第1フィルタにおいて励振される弾性表面波の波長で規格化した場合に3%よりも大きくなるように構成される、請求項21の分波器。
  31. 前記第2フィルタは、前記第1圧電基板に配置された複数の弾性波素子を含む、請求項21の分波器。
  32. 前記第2フィルタは第2圧電基板を含む、請求項21の分波器。
  33. 前記第2フィルタは、前記第2圧電基板に配置された複数の弾性波素子を含む、請求項32の分波器。
  34. 前記第1圧電基板は第1材料からなり、前記第2圧電基板は前記第1材料とは異なる第2材料からなる、請求項32の分波器。
  35. 前記第1圧電基板はニオブ酸リチウムからなる、請求項21の分波器。
  36. 前記第1圧電基板はタンタル酸リチウムからなる、請求項21の分波器。
  37. 分波モジュールであって、
    パッケージング基板と、
    前記パッケージング基板上に配置されて共通接点、第1信号接点及び第2信号接点を有するフィルタダイと、
    前記パッケージング基板上に配置された複数の接続パッドと
    を含み、
    前記フィルタダイは、前記共通接点及び前記第1信号接点間に接続されて第1通過帯域を有する第1フィルタを含み、
    前記第1フィルタは、
    圧電基板と、
    前記圧電基板の一表面上に形成された弾性表面波(SAW)フィルタと、
    前記圧電基板の前記一表面上に形成されて前記共通接点及び前記SAWフィルタ間に直列接続されたSAW共振器と、
    前記圧電基板の前記一表面を覆うようにかつ前記SAWフィルタ及び前記SAW共振器を覆うように形成された誘電膜と
    を含み、
    前記誘電膜は、前記SAWフィルタに対応する第1領域に第1厚さを有し、前記SAW共振器に対応する第2領域に第2厚さを有し、
    前記第1厚さは前記第2厚さよりも大きく、
    前記フィルタダイはさらに、前記共通接点及び前記第2信号接点間に接続されて前記第1通過帯域とは異なる第2通過帯域を有する第2フィルタを含み、
    前記第2通過帯域の中心周波数は、前記第1通過帯域の中心周波数よりも1.2から1.4倍大きな範囲にあり、
    前記フィルタダイの前記共通接点、前記第1信号接点及び前記第2信号接点は、前記複数の接続パッドの対応するそれぞれに電気コネクタによって接続される、分波モジュール。
  38. 前記第2通過帯域の中心周波数は、前記第1通過帯域の中心周波数よりも1.25から1.3倍大きな範囲にある、請求項37の分波モジュール。
  39. 前記誘電膜は二酸化ケイ素からなる、請求項37の分波モジュール。
  40. 前記電気コネクタはワイヤボンドである、請求項37の分波モジュール。
  41. 前記電気コネクタは半田バンプである、請求項37の分波モジュール。
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Families Citing this family (59)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6913619B2 (ja) * 2017-12-12 2021-08-04 株式会社村田製作所 マルチプレクサ、高周波フロントエンド回路及び通信装置
US20210328574A1 (en) 2020-04-20 2021-10-21 Resonant Inc. Small transversely-excited film bulk acoustic resonators with enhanced q-factor
US11936358B2 (en) 2020-11-11 2024-03-19 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with low thermal impedance
US20220116015A1 (en) 2018-06-15 2022-04-14 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with optimized electrode thickness, mark, and pitch
US11323089B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Filter using piezoelectric film bonded to high resistivity silicon substrate with trap-rich layer
US11509279B2 (en) 2020-07-18 2022-11-22 Resonant Inc. Acoustic resonators and filters with reduced temperature coefficient of frequency
US11206009B2 (en) 2019-08-28 2021-12-21 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with interdigital transducer with varied mark and pitch
US10790802B2 (en) 2018-06-15 2020-09-29 Resonant Inc. Transversely excited film bulk acoustic resonator using rotated Y-X cut lithium niobate
US11323096B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with periodic etched holes
US11929731B2 (en) 2018-02-18 2024-03-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with optimized electrode mark, and pitch
US11323090B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator using Y-X-cut lithium niobate for high power applications
US11146232B2 (en) 2018-06-15 2021-10-12 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with reduced spurious modes
US10756697B2 (en) 2018-06-15 2020-08-25 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator
CN110601677A (zh) 2018-06-13 2019-12-20 天工方案公司 铌酸锂滤波器中添加高速层的杂散剪切水平模式频率控制
US11228296B2 (en) 2018-06-15 2022-01-18 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with a cavity having a curved perimeter
US11201601B2 (en) 2018-06-15 2021-12-14 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multiple diaphragm thicknesses and fabrication method
US10992284B2 (en) * 2018-06-15 2021-04-27 Resonant Inc. Filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators with multiple frequency setting layers
US11916539B2 (en) 2020-02-28 2024-02-27 Murata Manufacturing Co., Ltd. Split-ladder band N77 filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators
US11329628B2 (en) 2020-06-17 2022-05-10 Resonant Inc. Filter using lithium niobate and lithium tantalate transversely-excited film bulk acoustic resonators
US11349452B2 (en) 2018-06-15 2022-05-31 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic filters with symmetric layout
US11323095B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Rotation in XY plane to suppress spurious modes in XBAR devices
US11876498B2 (en) 2018-06-15 2024-01-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multiple diaphragm thicknesses and fabrication method
US11967945B2 (en) 2018-06-15 2024-04-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversly-excited film bulk acoustic resonators and filters
US11996822B2 (en) 2018-06-15 2024-05-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Wide bandwidth time division duplex transceiver
US11888463B2 (en) 2018-06-15 2024-01-30 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multi-port filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators
US11171629B2 (en) 2018-06-15 2021-11-09 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator using pre-formed cavities
US11901878B2 (en) 2018-06-15 2024-02-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes with a wider top layer
US11374549B2 (en) 2018-06-15 2022-06-28 Resonant Inc. Filter using transversely-excited film bulk acoustic resonators with divided frequency-setting dielectric layers
US11264966B2 (en) 2018-06-15 2022-03-01 Resonant Inc. Solidly-mounted transversely-excited film bulk acoustic resonator with diamond layers in Bragg reflector stack
US11909381B2 (en) 2018-06-15 2024-02-20 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with two-layer electrodes having a narrower top layer
US11146238B2 (en) 2018-06-15 2021-10-12 Resonant Inc. Film bulk acoustic resonator fabrication method
US11728785B2 (en) 2018-06-15 2023-08-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator using pre-formed cavities
US12009798B2 (en) 2018-06-15 2024-06-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with electrodes having irregular hexagon cross-sectional shapes
US10826462B2 (en) 2018-06-15 2020-11-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with molybdenum conductors
US10998877B2 (en) * 2018-06-15 2021-05-04 Resonant Inc. Film bulk acoustic resonator fabrication method with frequency trimming based on electric measurements prior to cavity etch
US11349450B2 (en) 2018-06-15 2022-05-31 Resonant Inc. Symmetric transversely-excited film bulk acoustic resonators with reduced spurious modes
US11323091B2 (en) 2018-06-15 2022-05-03 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with diaphragm support pedestals
US11949402B2 (en) 2020-08-31 2024-04-02 Murata Manufacturing Co., Ltd. Resonators with different membrane thicknesses on the same die
CN113615083A (zh) 2019-03-14 2021-11-05 谐振公司 带有半λ介电层的横向激励的薄膜体声波谐振器
US11901873B2 (en) 2019-03-14 2024-02-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with partial BRAGG reflectors
US20210273629A1 (en) 2020-02-28 2021-09-02 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with multi-pitch interdigital transducer
US11811391B2 (en) 2020-05-04 2023-11-07 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with etched conductor patterns
US11469733B2 (en) 2020-05-06 2022-10-11 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with interdigital transducer configured to reduce diaphragm stress
US11817845B2 (en) 2020-07-09 2023-11-14 Murata Manufacturing Co., Ltd. Method for making transversely-excited film bulk acoustic resonators with piezoelectric diaphragm supported by piezoelectric substrate
US11264969B1 (en) 2020-08-06 2022-03-01 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator comprising small cells
US11271539B1 (en) 2020-08-19 2022-03-08 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator with tether-supported diaphragm
US11671070B2 (en) 2020-08-19 2023-06-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonators using multiple dielectric layer thicknesses to suppress spurious modes
CN111969978B (zh) * 2020-08-31 2022-03-15 诺思(天津)微系统有限责任公司 滤波器设计方法和滤波器、多工器、通信设备
US11894835B2 (en) 2020-09-21 2024-02-06 Murata Manufacturing Co., Ltd. Sandwiched XBAR for third harmonic operation
US11476834B2 (en) 2020-10-05 2022-10-18 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with switches in parallel with sub-filter shunt capacitors
US11929733B2 (en) 2020-10-05 2024-03-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with input and output impedances matched to radio frequency front end elements
US11405017B2 (en) 2020-10-05 2022-08-02 Resonant Inc. Acoustic matrix filters and radios using acoustic matrix filters
US11728784B2 (en) 2020-10-05 2023-08-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with split die sub-filters
US11658639B2 (en) 2020-10-05 2023-05-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. Transversely-excited film bulk acoustic resonator matrix filters with noncontiguous passband
US12003226B2 (en) 2020-11-11 2024-06-04 Murata Manufacturing Co., Ltd Transversely-excited film bulk acoustic resonator with low thermal impedance
US11496113B2 (en) 2020-11-13 2022-11-08 Resonant Inc. XBAR devices with excess piezoelectric material removed
US11405020B2 (en) 2020-11-26 2022-08-02 Resonant Inc. Transversely-excited film bulk acoustic resonators with structures to reduce acoustic energy leakage
US11239816B1 (en) 2021-01-15 2022-02-01 Resonant Inc. Decoupled transversely-excited film bulk acoustic resonators
WO2023085189A1 (ja) * 2021-11-09 2023-05-19 株式会社村田製作所 フィルタ装置

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4063414B2 (ja) 1998-08-25 2008-03-19 沖電気工業株式会社 弾性表面波フィルタ
JP3317274B2 (ja) * 1999-05-26 2002-08-26 株式会社村田製作所 弾性表面波装置及び弾性表面波装置の製造方法
JP2000349591A (ja) * 1999-06-08 2000-12-15 Oki Electric Ind Co Ltd 弾性表面波フィルタを用いた分波器
JP2005124139A (ja) * 2003-09-25 2005-05-12 Murata Mfg Co Ltd 分波器、通信機
JP4718352B2 (ja) * 2006-03-20 2011-07-06 京セラ株式会社 弾性表面波装置および弾性表面波装置の製造方法
JP4917396B2 (ja) * 2006-09-25 2012-04-18 太陽誘電株式会社 フィルタおよび分波器
JP5339582B2 (ja) * 2008-07-31 2013-11-13 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス
FR2947398B1 (fr) * 2009-06-30 2013-07-05 Commissariat Energie Atomique Dispositif resonant a ondes acoustiques guidees et procede de realisation du dispositif
CN104702239B (zh) * 2011-06-23 2017-09-22 天工滤波方案日本有限公司 梯型弹性波滤波器及使用该弹性波滤波器的天线双工器
WO2013080461A1 (ja) * 2011-11-30 2013-06-06 パナソニック株式会社 ラダー型弾性波フィルタと、これを用いたアンテナ共用器
DE102012111121A1 (de) 2012-11-19 2014-05-22 Epcos Ag Elektroakustisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung
DE102013100286B3 (de) * 2013-01-11 2014-06-05 Epcos Ag Breitbandiges Filter in Abzweigtechnik
JP5891198B2 (ja) * 2013-04-12 2016-03-22 スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 アンテナ共用器およびこれを用いた電子機器
WO2014196245A1 (ja) * 2013-06-04 2014-12-11 京セラ株式会社 分波器および通信モジュール
CN105284048B (zh) * 2013-06-13 2017-10-31 株式会社村田制作所 声表面波滤波器、声表面波滤波器装置以及双工器
WO2016017104A1 (en) * 2014-07-31 2016-02-04 Skyworks Panasonic Filter Solutions Japan Co., Ltd. Acoustic wave filters and duplexers using same
JP6497018B2 (ja) * 2014-09-30 2019-04-10 株式会社村田製作所 デュプレクサ及びその製造方法

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