JP2017211178A5 - - Google Patents

Description

実施形態に係る基板処理装置は、
処理室と、
前記処理室内に設けられ、基板を搬送する搬送部と、
前記処理室内に前記基板が搬送される搬送路を挟むように前記搬送路の上下に個別に設けられ、それぞれ前記搬送路に向けて気体を吹き付ける第１の気体供給部及び第２の気体供給部と、
前記処理室内に設けられ、気体の流れを整える整流板と、
を備え、
前記第１の気体供給部及び前記第２の気体供給部は、それぞれ、前記気体を吹き出す長尺の吹出口を有し、前記吹出口の長手方向が水平面内で前記基板の搬送方向に対して同じ方向に傾けられ、前記吹出口が前記基板の搬送方向の上流側に前記気体を吹き出すように設けられており、
前記整流板は、前記搬送路の下方に、前記基板の搬送方向に水平面内で直交するように複数、かつ前記第１の気体供給部または前記第２の気体供給部の前記吹出口の長手方向に沿うように前記基板の搬送方向にずらされて並べられ、各整流板は、第１面及びその第１面の反対面である第２面を有し、前記基板の搬送方向の下流側に倒されることで前記第１面が前記処理室の底面に対向するように配置され、気体の流れを前記第１面に沿う流れと前記第２面に沿う流れにわけるように設けられることを特徴とする。

Claims (7)

1. 処理室と、
   前記処理室内に設けられ、基板を搬送する搬送部と、
   前記処理室内に前記基板が搬送される搬送路を挟むように前記搬送路の上下に個別に設けられ、それぞれ前記搬送路に向けて気体を吹き付ける第１の気体供給部及び第２の気体供給部と、
   前記処理室内に設けられ、気体の流れを整える整流板と、
   を備え、
   前記第１の気体供給部及び前記第２の気体供給部は、それぞれ、前記気体を吹き出す長尺の吹出口を有し、前記吹出口の長手方向が水平面内で前記基板の搬送方向に対して同じ方向に傾けられ、前記吹出口が前記基板の搬送方向の上流側に前記気体を吹き出すように設けられており、
   前記整流板は、前記搬送路の下方に、前記基板の搬送方向に水平面内で直交するように複数、かつ前記第１の気体供給部または前記第２の気体供給部の前記吹出口の長手方向に沿うように前記基板の搬送方向にずらされて並べられ、各整流板は、第１面及びその第１面の反対面である第２面を有し、前記基板の搬送方向の下流側に倒されることで前記第１面が前記処理室の底面に対向するように配置され、気体の流れを前記第１面に沿う流れと前記第２面に沿う流れにわけるように設けられることを特徴とする基板処理装置。
2. 前記整流板は、前記処理室の前記底面に、この底面との間に隙間が存在しない状態で設けられることを特徴とする請求項１に記載の基板処理装置。
3. 前記第１の気体供給部は、前記搬送路の上方に位置しており、
   前記処理室は、
   前記整流板より前記基板の搬送方向の上流側に位置付けられ、前記処理室の前記底面であって前記第１の気体供給部の前記吹出口に対向する箇所に形成され、前記整流板により整流された前記気体を排出する複数の排気口を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の基板処理装置。
4. 前記第１の気体供給部は、前記搬送路の上方に位置しており、
   前記処理室は、
   前記整流板より前記基板の搬送方向の上流側に位置付けられ、前記処理室の前記底面であって前記第１の気体供給部の前記吹出口に対向する箇所に形成され、前記整流板により整流された前記気体が溜まる空間を形成する底室を有することを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の基板処理装置。
5. 前記処理室は、
   前記底室に設けられ、前記整流板により整流された前記気体を排出する複数の排気口を有することを特徴とする請求項４に記載の基板処理装置。
6. 前記底室に設けられ、前記底室内の気体が上方に戻ることを抑える抑制板を有することを特徴とする請求項４または請求項５に記載の基板処理装置。
7. 前記底室の上方に設けられ、前記底室に向かって飛散した液を受け止める液回収板を有することを特徴とする請求項４ないし請求項６のいずれか一項に記載の基板処理装置。