JP2017196787A - 液体噴射ヘッドの製造方法及びmemsデバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
前記コンタクト部に対応する領域が開口された第1のレジスト層を形成し、エッチングにより当該第1のレジスト層の開口における圧電体層を除去する第1のエッチング工程と、
少なくとも前記第2の電極層の一部を前記コンタクト部から前記圧力室に対応する領域に亘って形成する第2の電極層積層工程と、
隣り合う前記圧電素子の間に対応する領域が開口された第2のレジスト層を形成し、エッチングにより当該第2のレジスト層の開口における圧電体層を除去する第2のエッチング工程と、を含み、
前記第2の電極層積層工程は、前記第1のエッチング工程の後であって、前記第2のエッチング工程の前に行われることを特徴とする。
前記コンタクト部に対応する領域が開口された第1のレジスト層を形成し、エッチングにより当該第1のレジスト層の開口における圧電体層を除去する第1のエッチング工程と、
少なくとも前記第2の電極層の一部を前記コンタクト部から前記空間に対応する領域に亘って形成する第2の電極層積層工程と、
隣り合う前記可動素子の間に対応する領域が開口された第2のレジスト層を形成し、エッチングにより当該第2のレジスト層の開口における圧電体層を除去する第2のエッチング工程と、を含み、
前記第2の電極層積層工程は、前記第1のエッチング工程の後であって、前記第2のエッチング工程の前に行われることを特徴とする。
Claims (2)
- 圧力室が形成される基板と、前記圧力室に対応する領域において前記基板側から順に第1の電極層、圧電体層及び第2の電極層が形成されてなる圧電素子と、前記圧電素子から外れた領域において前記圧電体層が除去されて前記第1の電極層と前記第2の電極層とが接続されたコンタクト部と、を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記コンタクト部に対応する領域が開口された第1のレジスト層を形成し、エッチングにより当該第1のレジスト層の開口における圧電体層を除去する第1のエッチング工程と、
少なくとも前記第2の電極層の一部を前記コンタクト部から前記圧力室に対応する領域に亘って形成する第2の電極層積層工程と、
隣り合う前記圧電素子の間に対応する領域が開口された第2のレジスト層を形成し、エッチングにより当該第2のレジスト層の開口における圧電体層を除去する第2のエッチング工程と、を含み、
前記第2の電極層積層工程は、前記第1のエッチング工程の後であって、前記第2のエッチング工程の前に行われることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 可動素子の変形を許容する空間が形成される基板と、前記空間に対応する領域において前記基板側から順に第1の電極層、圧電体層及び第2の電極層が形成されてなる前記可動素子と、前記可動素子から外れた領域において前記圧電体層が除去されて前記第1の電極層と前記第2の電極層とが接続されたコンタクト部と、を備えたMEMSデバイスの製造方法であって、
前記コンタクト部に対応する領域が開口された第1のレジスト層を形成し、エッチングにより当該第1のレジスト層の開口における圧電体層を除去する第1のエッチング工程と、
少なくとも前記第2の電極層の一部を前記コンタクト部から前記空間に対応する領域に亘って形成する第2の電極層積層工程と、
隣り合う前記可動素子の間に対応する領域が開口された第2のレジスト層を形成し、エッチングにより当該第2のレジスト層の開口における圧電体層を除去する第2のエッチング工程と、を含み、
前記第2の電極層積層工程は、前記第1のエッチング工程の後であって、前記第2のエッチング工程の前に行われることを特徴とするMEMSデバイスの製造方法。
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