JP2017187264A - クリーンルーム装置および空気循環ユニット - Google Patents
クリーンルーム装置および空気循環ユニット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017187264A JP2017187264A JP2016108663A JP2016108663A JP2017187264A JP 2017187264 A JP2017187264 A JP 2017187264A JP 2016108663 A JP2016108663 A JP 2016108663A JP 2016108663 A JP2016108663 A JP 2016108663A JP 2017187264 A JP2017187264 A JP 2017187264A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- clean room
- circulation unit
- air supply
- clean
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】クリーンルーム10内に配置され、クリーンルーム10内の空気を循環させる空気循環ユニット30を備え、空気循環ユニット30には、クリーンルーム10の内部であって空調領域11よりも上方の位置でクリーンルーム10内の空気を吸い込む吸気口31と、空気循環ユニット30の前面において空調領域11と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、空調領域11に向けて横向きに給気する複数の給気口32が設けられ、空気循環ユニット30の内部には、冷却器35および高性能フィルタ36と、クリーンルーム10内の空気を吸気口31から吸い込み、冷却器35および高性能フィルタ36を通過させて給気口32に向けて送風するファン37を備えることを特徴とする、クリーンルーム装置。
【選択図】図1
Description
SA 給気
EA 排気
CA 清浄空気
1 クリーンルーム装置
10 クリーンルーム
11 空調領域
12 機器
13 局排ダクト
14 排気ファン
20 給気口(清浄空気CA)
21 外調機
22 給気ダクト
23 粗フィルタ
24 冷却器
25 給気ファン
26 高性能フィルタ
30 空気循環ユニット
31 吸気口
32 給気口
35 冷却器
36 高性能フィルタ
37 ファン
40 邪魔板
41 開口部41
45 フィン
50 機械室
51 制御機器
52 ケーブル
53 配管
55 ドレインパン
Claims (6)
- クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つ非層流方式のクリーンルーム装置であって、
前記クリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットを備え、
前記空気循環ユニットには、前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
前記空気循環ユニットの内部には、冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを備えることを特徴とする、クリーンルーム装置。 - 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項1に記載のクリーンルーム装置。
- 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項1または2に記載のクリーンルーム装置。
- クリーンルームの下部に形成される空調領域を清浄に保つ非層流方式のクリーンルーム内に配置され、前記クリーンルーム内の空気を循環させる空気循環ユニットであって、
前記クリーンルームの内部であって前記空調領域よりも上方の位置で前記クリーンルーム内の空気を吸い込む吸気口と、前記空気循環ユニットの前面において前記空調領域と向かい合う高さまでの領域に分布して配置されて、前記空調領域に向けて横向きに給気する複数の給気口が設けられ、
冷却器および高性能フィルタと、前記クリーンルーム内の空気を前記吸気口から吸い込み、前記冷却器および前記高性能フィルタを通過させて前記給気口に向けて送風するファンを内部に備えることを特徴とする、空気循環ユニット - 前記複数の給気口には、前記空調領域に向けて横向きに給気される空気に対して旋回成分を与えるフィンが設けられていることを特徴とする、請求項4に記載の空気循環ユニット。
- 前記冷却器および高性能フィルタは、前記複数の給気口の内側全体を覆う位置に配置されていることを特徴とする、請求項4または5に記載の空気循環ユニット。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016108663A JP6636859B2 (ja) | 2016-05-31 | 2016-05-31 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
JP2019229676A JP6909850B2 (ja) | 2016-05-31 | 2019-12-19 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016108663A JP6636859B2 (ja) | 2016-05-31 | 2016-05-31 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Related Child Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019200819A Division JP6878552B2 (ja) | 2019-11-05 | 2019-11-05 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
JP2019229676A Division JP6909850B2 (ja) | 2016-05-31 | 2019-12-19 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
JP2019229685A Division JP7068261B2 (ja) | 2019-12-19 | 2019-12-19 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017187264A true JP2017187264A (ja) | 2017-10-12 |
JP6636859B2 JP6636859B2 (ja) | 2020-01-29 |
Family
ID=60046345
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016108663A Active JP6636859B2 (ja) | 2016-05-31 | 2016-05-31 | クリーンルーム装置および空気循環ユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6636859B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020106230A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | 高砂熱学工業株式会社 | クリーンルームシステム及び空気排出方法 |
JP2020106231A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | 高砂熱学工業株式会社 | クリーンルームシステム及び空気排出方法 |
JP2021011966A (ja) * | 2019-07-04 | 2021-02-04 | 株式会社Trinc | クリーンルームユニットおよびクリーンルーム |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6238533U (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-07 | ||
JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
JP2000291989A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調設備および空調方法 |
JP2005257258A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-09-22 | Fuji Electric Systems Co Ltd | ファンフィルタユニット |
JP2011085351A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 大型空間室の置換換気設備 |
JP5361140B2 (ja) * | 2007-03-13 | 2013-12-04 | 高砂熱学工業株式会社 | 非層流方式のクリーンルーム装置 |
-
2016
- 2016-05-31 JP JP2016108663A patent/JP6636859B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6238533U (ja) * | 1985-08-28 | 1987-03-07 | ||
JPH1089724A (ja) * | 1996-09-10 | 1998-04-10 | Taikisha Ltd | 空調設備 |
JP2000291989A (ja) * | 1999-04-07 | 2000-10-20 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 空調設備および空調方法 |
JP2005257258A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-09-22 | Fuji Electric Systems Co Ltd | ファンフィルタユニット |
JP5361140B2 (ja) * | 2007-03-13 | 2013-12-04 | 高砂熱学工業株式会社 | 非層流方式のクリーンルーム装置 |
JP2011085351A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | 大型空間室の置換換気設備 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020106230A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | 高砂熱学工業株式会社 | クリーンルームシステム及び空気排出方法 |
JP2020106231A (ja) * | 2018-12-27 | 2020-07-09 | 高砂熱学工業株式会社 | クリーンルームシステム及び空気排出方法 |
JP7332290B2 (ja) | 2018-12-27 | 2023-08-23 | 高砂熱学工業株式会社 | クリーンルームシステム及び空気排出方法 |
JP7332289B2 (ja) | 2018-12-27 | 2023-08-23 | 高砂熱学工業株式会社 | クリーンルームシステム及び空気排出方法 |
JP2021011966A (ja) * | 2019-07-04 | 2021-02-04 | 株式会社Trinc | クリーンルームユニットおよびクリーンルーム |
JP7319663B2 (ja) | 2019-07-04 | 2023-08-02 | 株式会社Trinc | クリーンルームユニットおよびクリーンルーム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6636859B2 (ja) | 2020-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5361140B2 (ja) | 非層流方式のクリーンルーム装置 | |
JP7436556B2 (ja) | クリーンルーム装置 | |
JP5490485B2 (ja) | 大型空間室の置換換気設備 | |
JP5053686B2 (ja) | 空調方法 | |
WO2015033467A1 (ja) | 空気調和機 | |
JP2012202558A (ja) | クリーンルーム空調システム | |
JP2011226770A (ja) | 空調システム | |
JP2017187264A (ja) | クリーンルーム装置および空気循環ユニット | |
JP4006196B2 (ja) | 置換換気システム及び置換換気方法 | |
JP6961374B2 (ja) | 空調方法および空調システム | |
JP2001124386A (ja) | クリーンルーム | |
JP2011196671A (ja) | 高負荷空調システム | |
JP2010261645A (ja) | 置換換気システムおよび置換換気方法 | |
JP5785633B2 (ja) | 給気装置 | |
JP2014214915A (ja) | 清浄化空調システム | |
JP2011002108A (ja) | 局所清浄化空調システム | |
JP6878552B2 (ja) | クリーンルーム装置および空気循環ユニット | |
JP6909850B2 (ja) | クリーンルーム装置および空気循環ユニット | |
JP2012251745A (ja) | 高負荷空調システム | |
JP7332289B2 (ja) | クリーンルームシステム及び空気排出方法 | |
JP7332290B2 (ja) | クリーンルームシステム及び空気排出方法 | |
KR102601433B1 (ko) | 수냉식 냉난방 및 바이러스 케어 기능을 갖는 하이브리드 타입의 열회수형 환기장치 | |
JP3963660B2 (ja) | クリーンルーム用空調システム | |
JP2007071407A (ja) | 床面誘導気流空調システム | |
JPS62739A (ja) | 半導体製造用空気調和方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190116 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20190222 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190318 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190903 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191105 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6636859 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |