JP2021011966A - クリーンルームユニットおよびクリーンルーム - Google Patents

Abstract

【課題】 既存の建築物のクリーンルームへの転用を含め、多様な態様のクリーンルームを実現でき、クリーンルームのコストダウン、柔軟な仕様設定、変更および多様な稼働状態を可能にする。【解決手段】 クリーンルームユニットは、空間内の空気を吸引して浄化する集塵装置と、集塵装置で浄化された空気を清浄風として空間に吹き出す清浄風吹き出し装置と、を有する空気浄化ユニットと、空気浄化ユニットに連結され、空間内にイオンを放射するイオン発生ユニットとを備え、クリーンルームは、クリーンルームユニットが１個または複数設置される。【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルームユニットおよびクリーンルームに関する。

特許文献１記載のクリーンルームが大手総合建設業者によって出願されているように、従来のクリーンルームは建築構造物であり、一般に大掛かりな設備投資を伴い、稼働後のレイアウト変更、増設、縮小は容易に行えず、分散的設備とすることも困難であった。また、設備の部分的稼働は一般に困難であり、常に全体を稼働させて電力を浪費していた。
そこで、特許文献２記載のクリーンルームは、清浄度を確保すべき領域が異なる３種のクリーンルームユニットを準備しておき、その組み合わせによって、ブロック住宅のように、仕様を多様化するブロック式のクリーンルームを提案している。

しかし、特許文献２のブロック式のクリーンルームも、建築構造物を構築しようという発想は特許文献１と同様であり、コストダウン、柔軟な仕様設定、変更および多様な稼働状態を実現することはできなかった。

特開２００６−３１７０４８号公報 特開２０１８−１１５４８７号公報

本発明は、既存の建築物のクリーンルームへの転用を含め、多様な態様のクリーンルームを提供することを目的とする。

本発明に係るクリーンルームユニットは、空間内の空気を吸引して浄化する集塵装置と、集塵装置で浄化された空気を清浄風として空間に吹き出す清浄風吹き出し装置と、を有する空気浄化ユニットと、空気浄化ユニットに連結され、空間内にイオンを放射するイオン発生ユニットとを備え、本発明に係るクリーンルームは、前記クリーンルームユニットを単位ユニットとして、１個または複数設置したものである。

本発明によれば、既存の建築物のクリーンルームへの転用を含め、多様な態様のクリーンルームを実現でき、クリーンルームのコストダウン、柔軟な仕様設定、変更および多様な稼働状態が可能である。

本発明に係るクリーンルームユニット（実施例１）を使用したクリーンルーム（実施例１）を示す斜視図である。 図１のイオン発生ユニットを示す縦断面ブロック図である。 本発明に係るクリーンルームユニットの実施例２を示す正面図である。 図３の部分破断右側面図である。 図３の斜視図である。 本発明に係るクリーンルームユニットの実施例３を示す斜視図である。 本発明に係るクリーンルームユニットの実施例４を示す斜視図である。 本発明に係るクリーンルームの実施例２を示す斜視図である。 本発明に係るクリーンルームの制御系を示すブロック図である。

［クリーンルームユニット（単位ユニット）実施例１］
［クリーンルーム実施例１］
次に、本発明に係るクリーンルームユニット（単位ユニット）の実施例１を用いた、クリーンルーム（実施例１）を図１に基づいて説明する。

クリーンルームＣＲは、既存建築物の部屋Ｒの左右壁面Ｗ１、Ｗ２に単位ユニットＣＵを複数設置しており、各単位ユニットＣＵは、空気浄化ユニット１００およびイオン発生ユニット２００を備える。
空気浄化ユニット１００は、清浄風吹き出し装置１１０、集塵装置１２０を備え、清浄風吹き出し装置１１０は、集塵装置１２０によって浄化された空気（清浄風）ＣＡをダクト１１２によって上方に送り、部屋Ｒの上部、例えば天井ＣＥ近傍に設けられた中空直方体状あるいは中空角柱状の送気チャンバ１１４の送気孔１１５から下方、側方（含む前方）に向かって吹き出す。送気チャンバ１１４は部屋Ｒの壁面Ｗ１に対して略垂直に、ダクト１１２から離間する方向、すなわち壁面Ｗ１から離間する方向（以下、この方向を「前方」とする。）に延びる、細長い形状を有する。そして、単位ユニットＣＵにおける、「前方」の反対側の面を「背面」とし、「前方」側の面を「前面」とする。

集塵装置１２０は、ファン１２２を有し、部屋Ｒの下部、例えば床面ＦＬに設けられた、中空直方体状あるいは中空角柱状の吸気チャンバ１２４の吸気孔１２５から、部屋Ｒ内の汚染空気ＩＡを吸引し、フィルター１２６によって浄化する。吸気チャンバ１２４は部屋Ｒの壁面Ｗ１に対して略垂直に、壁面Ｗ１から離間する方向（前方）に延びる細長い形状を有する。ファン１２２およびフィルター１２６は、壁面Ｗ１の近傍で（ただし、壁側に通路を設ける場合は、通路から離れるため）、ダクト１１２の下端に連接されたケーシング１２８内に設けられ、フィルター１２６はその上下に配置されている。ファン１２２は下側のフィルター１２６で浄化された汚染空気ＩＡを吸引して上方に圧送して、上側のフィルター１２６に導き、さらに空気を浄化してダクト１１２に送る。従って、送気チャンバ１１４には２段階で清浄化された空気が供給され、浄化度の高い風が送気チャンバ１１４から吹き出すことになる。

送気チャンバ１１４および吸気チャンバ１２４は、略水平に前方に突出し、かつ、同一鉛直面上に並列配置されており、さらに、両チャンバ１１４、１２４は天井ＣＥと床面ＦＬという上下方向に離間されている。これによって、送気チャンバ１１４から吹き出した清浄風は壁面Ｗ１、Ｗ２から、少なくとも送気チャンバ１１４、吸気チャンバ１２４の長さの範囲で充分な高さの領域において、清浄風ＣＡを吹き出して、清浄風ＣＡをその外側に拡散し、さらに上記領域およびその周辺の汚染空気ＩＡを清浄化して、清浄風ＣＡを生成する。

イオン発生ユニット２００の構成は、例えば本願発明者の発明に係る特許第４３５８００８号に類似した構成を有し、概要を図２に示すように、イオン放出口２２２が下面に穿設された円柱状のケーシング２２０内に、各イオン放出口２２２に対応して配置された針状電極２３０を収納し、針状電極２３０に高電圧供給ライン２３２を介して高電圧電源２３４から高圧電圧を印加し、イオンＩＮを下方に抄出する。
イオン発生ユニット２００は、送気チャンバ１１４と略平行になるよう、送気チャンバ１１４の下側に、スペーサ２１０を介して固着され、送気チャンバ１１４から吹き出す清浄風ＣＡおよび周囲の空気をイオン化する。これによって部屋Ｒ内の作業者Ｍ１、Ｍ２等の物体や浮遊異物（図示省略）の静電気が中和され、異物の付着現象が阻止され、異物付着による不良品発生が防止される。

イオン発生ユニット２００は円柱状であり、送気チャンバ１１４と略同一長さで、送気チャンバ１１４と平行に配置され、送気チャンバ１１４から吹き出した清浄風ＣＡの大部分に対してイオンＩＮを放射し得る。これによって、イオンＩＮは清浄風ＣＡによって搬送され、広範囲に拡散される。

ファン１２２、上下のフィルター１２６は集塵装置１２０の構成要素であり、清浄風吹き出し装置１１０においてはファン１２２、上側のフィルター１２６を集塵装置１２０と共用する構成要素とし、さらに、ダクト１１２、送気チャンバ１１４が構成要素となる。ファン１２２、上側のフィルター１２６を集塵装置１２０と共用することよって、清浄風吹き出し装置１１０は単純化され、コスト節減が図られている。

清浄風吹き出し装置１１０において、天井ＣＥ近傍に送気チャンバ１１４を配置したことにより、清浄風ＣＡが床面ＦＬのダスト等異物を巻き上げることを防止でき、部屋Ｒの清浄化を促進する。

本実施例のクリーンルームＣＲは、空気浄化ユニット１００とイオン発生ユニット２００との協働により、内部での異物付着現象を強力に抑制しつつ、空気を清浄化するので、部屋Ｒ内部が強力に清浄化される。従来、図１のドアＤＯ等の開閉に際して外部からの異物侵入を防止するため、内部の気圧を高めることが多かったが、本実施例は浄化作用が強力であり、イオンＩＮによる空間除電効果により、たとえ異物が浮遊していても、異物付着現象を抑え得るため、内圧を上げて外部からの異物侵入を阻止する必要はなく、外部と同じ気圧に設定することができる。これによって昇圧設備、稼働のコストを節減し得るとともに、作業環境を改善し得る。
各単位ユニットＣＵは個々に稼働状況を設定でき、設置個所の状況に応じて稼働、停止し得ることはいうまでもない。なお、その制御態様については、実施例２で詳述する。

単位ユニットＣＵは、既存建築物の部屋Ｒに設置、撤去可能に設置されるものであり、部屋ＲをクリーンルームＣＲ以外の用途に使用することになれば、撤去でき、他のクリーンルームに転用することも可能である。また、クリーンルームＣＲの仕様変更に際しては、単位ユニットＣＵの移動、増減も容易である。
なお、単位ユニットＣＵの設置は、アンカーボルト（図示省略）等により、送気チャンバ１１４を天井ＣＥに、ダクト１１２、ケーシング１２８を壁面Ｗ１、Ｗ２に、吸気チャンバ１２４を床面ＦＬに固定する方法や、単位ユニットＣＵを全体的に自立可能な剛な構造とし、送気チャンバ１１４において全体を壁面Ｗ１、Ｗ２に懸架する方法等、多様な方法を採用し得る。
［クリーンルームユニット（単位ユニット）実施例２］

次に単位ユニットの実施例２を説明する。なお実施例１と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。

図３〜５において、単位ユニットＣＵは壁面Ｗに取り付けられた懸架具３００によって懸架されている。これによって、単位ユニットＣＵを極めて単純かつ容易な作業で、設置し得る。
懸架具３００は壁面Ｗに固着され、単位ユニットＣＵの送気チャンバ１１４の上面における壁面Ｗに接する端部が懸架具３００に連結されている。このように懸架具３００により吊り支持されたことにより、単位ユニットＣＵは、自立する程度の剛な構成は必須ではない。
さらに、集塵装置１２０におけるケーシング１２８の両側には、床面ＦＬおよび壁面Ｗに沿う方向（以下、「左右方向」とする。）に張り出す支持脚４００が設けられ、壁面Ｗに沿ったモーメントに対する反力が確保されている。単位ユニットＣＵは、支持脚４００および懸架具３００の協働によって、安定に保持され、地震等の不測の衝撃に対しても安全である。
本実施例の単位ユニットＣＵにおいては、送気チャンバ１１４は、上面が平面、下面が円筒面の、半円筒状とされ、送気孔１１５は下面に穿設されている。これによって、送気チャンバ１１４の各横断面について下向きの全方向に均等に清浄風ＣＡを吹き出すことができる。同様に、吸気チャンバ１２４は、下面が平面、上面が円筒面の、半円筒状とされ、吸気孔１２５は上面に穿設されている。これによって、吸気チャンバ１２４の各横断面及び先端の全方向から均等に汚染空気ＩＡを吸引することができる。
［クリーンルームユニット（単位ユニット）実施例３］

次に単位ユニットの実施例３を説明する。なお実施例１または２と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。

図６において、単位ユニットＣＵは、ダクト１１２上端部から水平前方に延在するアーム５００を有し、アーム５００の先端部には、アーム５００に対して左右対称に、左右方向に延在する送気チャンバ１１４が設けられている。すなわち、送気チャンバ１１４は、ダクト１１２に対してねじれの位置にあり、送気チャンバ１１４の背面方向への投影はダクト１１２に直交する。ケーシング１２８の下端部には、ケーシング１２８に対して左右対称に、左右方向に延在する吸気チャンバ１２４が設けられ、さらに、前方に向かって、水平に延在する支持脚４００が設けられている。
アーム５００は中空であり、ダクト１１２から上方に送られた清浄風ＣＡはアーム５００から送気チャンバ１１４に送給される。

送気チャンバ１１４の下側にはスペーサ２１０を介して、送気チャンバ１１４と平行にイオン発生ユニット２００が取り付けられ、清浄風ＣＡおよび周囲の空気をイオン化する。

送気チャンバ１１４、イオン発生ユニット２００が、前方に張り出したアーム５００の先端部で左右方向に延び、吸気チャンバ１２４も左右方向に延びているので、左右方向および前方に広がる領域において、空気が浄化されるとともに、異物付着現象が防止される。

実施例３は送気チャンバ１１４が左右方向に張り出しているので、上方から見たとき、文字「Ｔ」の印象が強いので、以下実施例３の単位ユニットＣＵを「Ｔ型」とする。これに対して実施例１、２の単位ユニットＣＵは上方から見たときに文字「Ｉ」の印象が強いので、以下実施例１、２を「Ｉ型」とする。
［クリーンルームユニット（単位ユニット）実施例４］

次に単位ユニットの実施例４を説明する。なお実施例１〜３と同一もしくは相当部分には同一符号を付し、説明を省略する。

図７において、実施例４は、実施例３の単位ユニットＣＵにおける吸気チャンバ１２４、支持脚４００の構成を変更したものである。

単位ユニットＣＵは、実施例３と同様、ダクト１１２上端部から水平前方に延在するアーム５００、アーム５００の先端部から左右に延在する送気チャンバ１１４が設けられ、送気チャンバ１１４の下側に送気チャンバ１１４と平行にイオン発生ユニット２００が取り付けられている。

実施例３では、吸気チャンバ１２４は、左右一対設けられていたが、本実施例では一体構造であり、ケーシング１２８から前方に伸びる水平ダクト６００の先端で、吸気チャンバ１２４の上方において、水平ダクト６００に対して左右対称に、左右方向に延在する。すなわち、送気チャンバ１１４、吸気チャンバ１２４両者がダクト１１２に対してねじれの位置にあり、かつ両者の背面方向への投影はダクト１１２と直交する。
これによって、ケーシング１２８から離間した左右に広がる広範囲の領域において、汚染空気ＩＡを吸引でき、効果的な除塵が可能である。
水平ダクト６００は吸気チャンバ１２４から吸引された汚染空気ＩＡをケーシング１２８方向に送る。

ケーシング１２８には、実施例２と同様の支持脚４００が左右に設けられ、左右方向のモーメントに対する反力が確保されておあり、さらに、水平ダクト６００、その先端の吸気チャンバ１２４によって前後方向のモーメントに対しても反力が確保されている。
［クリーンルーム実施例２］

図８はクリーンルームＣＲの実施例２を示すもので、既存の部屋Ｒにおいて、Ｉ型の単位ユニットＣＵ１〜ＣＵ１２とＴ型の単位ユニットＣＵＴ１〜ＣＵＴ１２を併用している。

部屋Ｒの壁面Ｗ１に背面を接して、Ｉ型の単位ユニットＣＵ１〜ＣＵ６が、送気チャンバ１１４、吸気チャンバ１２４を壁面Ｗ１から垂直に突出するように、配列されており、壁面Ｗ１に対向する壁面Ｗ３に背面を接して、単位ユニットＣＵ７〜ＣＵ１２が、送気チャンバ１１４、吸気チャンバ１２４を壁面Ｗ３から垂直に突出するように、配列されている。
すなわち、単位ユニットＣＵ１〜ＣＵ６の列、単位ユニットＣＵ７〜ＣＵ１２の列によって、壁面Ｗ１、Ｗ３全面から、送気チャンバ１１４、吸気チャンバ１２４の突出量に対応した空間、およびその周辺の空気が清浄化される。

部屋Ｒは長方形であり、壁面Ｗ１、Ｗ３の間の、壁面Ｗ１、Ｗ３から離間した空間には、壁面Ｗ１、Ｗ３に平行に、単位ユニットＣＵＴ１〜ＣＵＴ６、単位ユニットＣＵＴ７〜ＣＵＴ１２が配列されている。
壁面Ｗ４には、壁面Ｗ１、Ｗ３からそれぞれ離間して、単位ユニットＣＵＴ１、ＣＵＴ１２が、背面を壁面Ｗ４に接しつつ、壁面Ｗ２方向にアーム５００を突出するように配置され、壁面Ｗ２には、単位ユニットＣＵＴ１、ＣＵＴ１２にそれぞれ対向して、単位ユニットＣＵＴ６、ＣＵＴ７が、背面を壁面Ｗ２に接しつつ、壁面Ｗ４方向にアーム５００を突出するように配置されている。

単位ユニットＣＵＴ１、ＣＵＴ６の間には、単位ユニットＣＵＴ２、ＣＵＴ３の対、単位ユニットＣＵＴ４、ＣＵＴ５の対が、背面を相互に接し、あるいは近接しつつ、壁面Ｗ４、Ｗ２方向にアーム５００を突出するように、１列に配列されている。
単位ユニットＣＵＴ２は前面が単位ユニットＣＵＴ１の前面に対向しており、その間の空間は、左右に張り出す送気チャンバ１１４、吸気チャンバ１２４、イオン発生ユニット２００によって、左右に広がった領域で、空気が清浄化される。同様に、単位ユニットＣＵＴ３、ＣＵＴ４間の空間、単位ユニットＣＵＴ５、ＣＵＴ６間の空間も、左右に広がった領域で、空気が清浄化される。

単位ユニットＣＵＴ７、ＣＵＴ１２の間には、単位ユニットＣＵＴ８、ＣＵＴ９の対、単位ユニットＣＵＴ１０、ＣＵＴ１１の対が、背面を相互に接しつつ、壁面Ｗ２、Ｗ４方向にアーム５００を突出するように、１列に配列されている。
単位ユニットＣＵＴ８は前面が単位ユニットＣＵＴ７の前面に対向しており、その間の空間は、左右に張り出す送気チャンバ１１４、吸気チャンバ１２４、イオン発生ユニット２００によって、左右に広がった領域で、空気が清浄化される。同様に、単位ユニットＣＵＴ９、ＣＵＴ１０間の空間、単位ユニットＣＵＴ１１、ＣＵＴ１２間の空間も、左右に広がった領域で、空気が清浄化される。
従って、壁面Ｗ１、Ｗ３の間の空間は、単位ユニットＣＵＴ１〜ＣＵＴ６の列、単位ユニットＣＵＴ７〜ＣＵＴ１２の列によって、左右に広がる領域で空気が清浄化され、壁面Ｗ１、Ｗ３に接する空間は単位ユニットＣＵ１〜ＣＵ６の列、単位ユニットＣＵ７〜ＣＵ１２の列によって空気が清浄化され、部屋Ｒ全体がむらなく清浄化される。
なお、Ｉ型、Ｔ型のクリーンルームユニットＣＵ、ＣＵＴの配置個数、Ｔ型クリーンユニット対の配置個数を部屋Ｒの状況に応じて任意に選択し得ることはいうまでもない。
［クリーンルームの実施例３］

次に、Ｉ型、Ｔ型の単位ユニットが混在する複数のクリーンルームＣＲ１〜ＣＲ４を設けた実施例３を説明する。

図９において、クリーンルームＣＲ１には総数ａ個の単位ユニットＣＵ１１〜ＣＵ１ａが設置され、クリーンルームＣＲ２には総数ｂ個の単位ユニットＣＵ２１〜ＣＵ２ｂが設置され、クリーンルームＣＲ３には総数ｃ個の単位ユニットＣＵ３１〜ＣＵ３ｃが設置され、クリーンルームＣＲ４には総数ｄ個の単位ユニットＣＵ４１〜ＣＵ４ｄが設置されている。これら単位ユニットＣＵ１１〜ＣＵ１ａ、ＣＵ２１〜ＣＵ２ｂ、ＣＵ３１〜ＣＵ３ｃ、ＣＵ４１〜ＣＵ４ｄは、それぞれ制御装置ＣＮＴに接続され、制御装置ＣＮＴは各単位ユニットを適正な条件で稼働させ、かつその稼働状況を検知する。

例えば、稼働しないクリーンルームがあればそのクリーンルーム内の単位ユニットは全て停止し、強力な浄化を要するクリーンルームでは単位ユニットを全て作動させ、また清浄度が低い状況でよければ、単位ユニットを間引きできるなど、稼働電力を節減できる。

各クリーンルームＣＲ１、ＣＲ２、ＣＲ３、ＣＲ４には、１個または複数の汚染度計測器を設置することが可能である。例えば、各単位ユニットの設置個所に、単位ユニットＣＵ１１、ＣＵ１２、・・・、ＣＵ１ａ、ＣＵ２１、ＣＵ２２、・・・、ＣＵ２ｂ、ＣＵ３１、ＣＵ３２、・・・、ＣＵ３ｃ、ＣＵ４１、ＣＵ４２、・・・、ＣＵ４ｄに対応して、汚染度計測器ＩＭ１１、ＩＭ１２、・・・、ＩＭ１ａ、ＩＭ２１、ＩＭ２２、・・・、ＩＭ２ｂ、ＩＭ３１、ＩＭ３２、・・・、ＩＭ３ｃ、ＩＭ４１、ＩＭ４２、・・・、ＩＭ４ｄを設置し、各汚染度計測器を制御装置ＣＮＴに接続する。制御装置ＣＮＴは各汚染度計測器の計測値に基づいて、対応した単位ユニットの稼働状況を制御する。これによって、全体のクリーンルームＣＲ１〜ＣＲ４の最適稼働が可能である。

以上のとおり、各単位ユニットＣＵ、ＣＵＴは必要最小限の構成によって、限定された領域に対して、単独で、空気浄化、清浄風吹き出し、除電を実行でき、単位ユニットの増減によって、自由に空気浄化、清浄風吹き出し、除電の範囲を調節し得るので、多様な空間に対して、最適な空気浄化、清浄風吹き出し、除電を提供し得る。

以上の実施例では、送気チャンバ１１４、吸気チャンバ１２４は直線的な形状で、相互に略平行に配置されていたが、円筒面、球面等の曲線的な壁面に適合すべく、曲線的形状も採用でき、また、相互の位置関係にねじれ等与えることも可能であることはいうまでもない。
また、以上の実施例では、集塵装置１２０のファン１２２の推力を、清浄風吹き出し装置の吹き出し力に利用しているが、別個のファンを設けて推力を高めることも可能である。

ＣＡ 清浄風
ＣＥ 天井
ＣＮＴ 制御装置
ＣＵ 単位ユニット
ＣＵ１〜ＣＵ１２ 単位ユニット
ＣＵ１１、ＣＵ１２、・・・、ＣＵ１ａ 単位ユニット
ＣＵ２１、ＣＵ２２、・・・、ＣＵ２ｂ 単位ユニット
ＣＵ３１、ＣＵ３２、・・・、ＣＵ３ｃ 単位ユニット
ＣＵ４１、ＣＵ４２、・・・、ＣＵ４ｄ 単位ユニット
ＣＵＴ１〜ＣＵＴ１２ 単位ユニット
ＣＲ、ＣＲ１、ＣＲ２、ＣＲ３、ＣＲ４ クリーンルーム
ＤＯ ドア
ＦＬ 床面
ＩＡ 汚染空気
ＩＭ１１、ＩＭ１２、・・・、ＩＭ１ａ 汚染度計測器
ＩＭ２１、ＩＭ２２、・・・、ＩＭ２ｂ 汚染度計測器
ＩＭ３１、ＩＭ３２、・・・、ＩＭ３ｃ 汚染度計測器
ＩＭ４１、ＩＭ４２、・・・、ＩＭ４ｄ 汚染度計測器
ＩＮ イオン
Ｒ、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ４ 部屋
Ｗ、Ｗ１〜Ｗ４ 壁面
１００ 空気浄化ユニット
１１０ 清浄風吹き出し装置
１１２ ダクト
１１４ 送気チャンバ
１１５ 送気孔
１２０ 集塵装置
１２２ ファン
１２４ 吸気チャンバ
１２５ 吸気孔
１２６ フィルター
１２８ ケーシング
２００ イオン発生ユニット
２１０ スペーサ
２２０ ケーシング
２２２ イオン放出口
２３０ 針状電極
２３２ 高電圧供給ライン
２３４ 高電圧電源
３００ 懸架具
４００ 支持脚
５００ アーム
６００ 水平ダクト

Claims (15)

1. 空間内の空気を吸引して浄化する集塵装置と、前記集塵装置で浄化された空気を清浄風として前記空間に吹き出す清浄風吹き出し装置と、を有する空気浄化ユニットと、
   前記空気浄化ユニットに連結され、前記空間内にイオンを放射するイオン発生ユニットと、
   を備えたクリーンルームユニット。
2. 前記清浄風吹き出し装置は、
   前記集塵装置によって浄化された空気を上方に送るダクトと、
   前記ダクトで送られた空気を、前記空間の上部に吹き出す送気チャンバと、
   を備えた請求項１記載のクリーンルームユニット。
3. 前記集塵装置は、
   前記空間の下部で空気を吸引する吸気チャンバと、
   前記吸気チャンバから空気を吸引し、前記ダクトに送るファンと、
   前記吸気チャンバから吸引された空気を浄化するフィルターと、
   を備えた請求項１または２に記載のクリーンルームユニット。
4. 前記送気チャンバと前記吸気チャンバは、相互に略平行に配置されている請求項３記載のクリーンルームユニット。
5. 前記送気チャンバおよび吸気チャンバは、前記ダクトから離間する方向に延在している請求項４記載のクリーンルームユニット。
6. 前記送気チャンバは前記ダクトに対してねじれの位置にあり、かつ背面方向の投影が前記ダクトと直交する請求項２乃至４のいずれか１項に記載のクリーンルームユニット。
7. 前記吸気チャンバは前記ダクトに対してねじれの位置にあり、かつ背面方向の投影が前記ダクトと直交する請求項３、４または６のいずれか１項に記載のクリーンルームユニット。
8. 前記イオン発生ユニットは、前記送気チャンバと略等しい長さの細長形状を有し、前記送気チャンバに略平行に配置されている、請求項２乃至７のいずれか１項に記載のクリーンルームユニット。
9. 前記吸気チャンバは、前記送気チャンバと略同一長さである、請求項３乃至８のいずれか１項に記載のクリーンルームユニット。
10. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載されたクリーンルームユニットが、所定空間内に１個または複数設置されたクリーンルーム。
11. 請求項６または７に記載のクリーンルームユニットの、背面が接しあるいは近接して配置された対が、１個または複数配置されたクリーンルーム。
12. 複数の前記単位ユニットが接続された制御装置をさらに備えた、請求項１０または１１に記載のクリーンルーム。
13. 前記クリーンルームユニットは、前記空間に対して設置、撤去可能である請求項１０乃至１２のいずれか１項に記載のクリーンルーム。
14. 設置されたクリーンルームが、外部の気圧と等しい気圧に設定される、請求項１乃至９のいずれか１項に記載のクリーンルームユニット。
15. 前記空間は、外部の気圧と等しい気圧に設定される、請求項１０乃至１３のいずれか１項に記載のクリーンルーム。