JP2017186240A - ガラス基板の製造方法、ガラス基板に孔を形成する方法、およびガラス基板に孔を形成する装置 - Google Patents
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Abstract
Description
CO2レーザ発振器から発振されたレーザビームを、照射時間t(μsec)の時間で、ガラス基板に照射して、該ガラス基板に孔を形成する工程
を有し、
前記レーザビームは、集光レンズで集光されてから前記ガラス基板に照射され、
前記集光レンズに入射する直前の前記レーザビームのパワーおよびビーム断面積を、それぞれ、P0およびSとしたとき、以下の(1)式
Pd=P0/S (1)式
で表されるパワー密度Pd(W/cm2)は、600W/cm2以下であり、
前記照射時間t(μsec)は、
t≧10×d/(Pd)1/2 (2)式
を満たす、製造方法が提供される。
CO2レーザ発振器から発振されたレーザビームを、照射時間t(μsec)の時間で、ガラス基板に照射して、該ガラス基板に孔を形成する工程
を有し、
前記レーザビームは、集光レンズで集光されてから前記ガラス基板に照射され、
前記集光レンズに入射する直前の前記レーザビームのパワーおよびビーム断面積を、それぞれ、P0およびSとしたとき、以下の(1)式
Pd=P0/S (1)式
で表されるパワー密度Pd(W/cm2)は、600W/cm2以下であり、
前記照射時間t(μsec)は、
t≧10×d/(Pd)1/2 (2)式
を満たす、方法が提供される。
レーザビームを発振するCO2レーザ発振器と、
前記レーザビームをガラス基板に集光する集光レンズと、
を有し、
前記レーザビームが照射時間t(μsec)の時間でガラス基板に照射されることにより、該ガラス基板に孔が形成され、
前記集光レンズに入射する直前の前記レーザビームのパワーおよびビーム断面積を、それぞれ、P0およびSとしたとき、以下の(1)式
Pd=P0/S (1)式
で表されるパワー密度Pd(W/cm2)は、600W/cm2以下であり、
前記照射時間t(μsec)は、
t≧10×d/(Pd)1/2 (2)式
を満たす、装置が提供される。
本発明の一実施形態では、所望の深さd(μm)以上の孔を有するガラス基板の製造方法(以下、「第1の製造方法」という)が提供される。
CO2レーザ発振器から発振されたレーザビームを、照射時間t(μsec)以上の時間で、ガラス基板に照射して、該ガラス基板に所望の深さd(μm)以上の孔を形成する工程
を有する。
図1には、第1の製造方法を実施する際に使用することができる孔形成装置(以下、「第1の孔形成装置」という)の構成を概略的に示す。
Pd=P0/S3 (3)式
で表されるレーザビーム143のパワー密度Pd(W/cm2)が、600W/cm2以下であるという特徴を有する。
t≧10×d/(Pd)1/2 (4)式
を満たすという特徴を有する。ここで、Pdは、前述のパワー密度Pd(W/cm2)である。
前述のように、第1の孔形成装置は、CO2レーザ発振器110を有し、このレーザ発振器110は、連続波CO2レーザ発振器であっても、パルスCO2レーザ発振器であっても良い。
前述の図1に示したような第1の孔形成装置を用いて、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さ(貫通/未貫通)を評価した。孔の深さは、次のように評価した。所望の孔の深さdを、ガラス基板の厚さに設定する。ガラス基板に形成された孔は、貫通していれば所望の深さdが得られたと判定し、未貫通であれば所望の深さdが得られなかったと判定した。
例1と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
例1と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
例3と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
例1と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
例5と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
例5と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
例7と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
例5と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
例9と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
(例11)
例1と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
例10と同様の方法により、ガラス基板に孔を形成し、孔含有ガラス基板を製造した。また、得られたガラス基板において、クラックの有無および孔の深さを評価した。
110 レーザ発振器
113 レーザビーム
120 ビームエクスパンダー
123 レーザビーム
130 波長板
133 レーザビーム
140 アパーチャ
143 レーザビーム
150 集光レンズ
153 集束レーザビーム
160 ステージ
190 ガラス基板
192 第1の表面
194 第2の表面
196 照射位置
198 貫通孔
212 レーザビーム
214 レーザビーム
Claims (16)
- 深さd(μm)以上の孔を有するガラス基板の製造方法であって、
CO2レーザ発振器から発振されたレーザビームを、照射時間t(μsec)の時間で、ガラス基板に照射して、該ガラス基板に孔を形成する工程
を有し、
前記レーザビームは、集光レンズで集光されてから前記ガラス基板に照射され、
前記集光レンズに入射する直前の前記レーザビームのパワーおよびビーム断面積を、それぞれ、P0およびSとしたとき、以下の(1)式
Pd=P0/S (1)式
で表されるパワー密度Pd(W/cm2)は、600W/cm2以下であり、
前記照射時間t(μsec)は、
t≧10×d/(Pd)1/2 (2)式
を満たす、製造方法。 - 前記CO2レーザ発振器は、連続波CO2レーザ発振器である、請求項1に記載の製造方法。
- 前記CO2レーザ発振器は、パルスCO2レーザ発振器である、請求項1に記載の製造方法。
- 前記CO2レーザ発振器から発振されたレーザビームの波長は、9.2μm〜9.8μmの範囲である、請求項1に記載の製造方法。
- 前記孔は貫通孔である、請求項1乃至3のいずれか一つに記載の製造方法。
- ガラス基板に、深さd(μm)以上の孔を形成する方法であって、
CO2レーザ発振器から発振されたレーザビームを、照射時間t(μsec)の時間で、ガラス基板に照射して、該ガラス基板に孔を形成する工程
を有し、
前記レーザビームは、集光レンズで集光されてから前記ガラス基板に照射され、
前記集光レンズに入射する直前の前記レーザビームのパワーおよびビーム断面積を、それぞれ、P0およびSとしたとき、以下の(1)式
Pd=P0/S (1)式
で表されるパワー密度Pd(W/cm2)は、600W/cm2以下であり、
前記照射時間t(μsec)は、
t≧10×d/(Pd)1/2 (2)式
を満たす、方法。 - 前記CO2レーザ発振器は、連続波CO2レーザ発振器である、請求項6に記載の方法。
- 前記CO2レーザ発振器は、パルスCO2レーザ発振器である、請求項6に記載の方法。
- 前記孔は貫通孔である、請求項6乃至8のいずれか一つに記載の方法。
- ガラス基板に深さd(μm)以上の孔を形成する装置であって、
レーザビームを発振するCO2レーザ発振器と、
前記レーザビームをガラス基板に集光する集光レンズと、
を有し、
前記レーザビームが照射時間t(μsec)の時間でガラス基板に照射されることにより、該ガラス基板に孔が形成され、
前記集光レンズに入射する直前の前記レーザビームのパワーおよびビーム断面積を、それぞれ、P0およびSとしたとき、以下の(1)式
Pd=P0/S (1)式
で表されるパワー密度Pd(W/cm2)は、600W/cm2以下であり、
前記照射時間t(μsec)は、
t≧10×d/(Pd)1/2 (2)式
を満たす、装置。 - 前記CO2レーザ発振器は、連続波CO2レーザ発振器である、請求項10に記載の装置。
- 前記CO2レーザ発振器は、パルスCO2レーザ発振器である、請求項10に記載の装置。
- 前記レーザビームは、9.2μm〜9.8μmの範囲の波長を有する、請求項10乃至12のいずれか一つに記載の装置。
- さらに、前記CO2レーザ発振器と前記集光レンズの間に、
前記レーザビームのビーム断面積を調整するアパーチャを備える、請求項10乃至13のいずれか一つに記載の装置。 - さらに、前記CO2レーザ発振器と前記アパーチャの間にλ/4波長板を備える、請求項14に記載の装置。
- 前記孔は貫通孔である、請求項10乃至15のいずれか一つに記載の装置。
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