JP2015199114A - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザビーム2を発するレーザ発振器1と、レーザビーム2を集光する集光レンズ7を備えたレーザ加工ヘッド4と、レーザ発振器1から出射されるレーザビーム2をレーザ加工ヘッド4に導く伝搬光学系3と、を有し、集光レンズ7でレーザビーム2を被加工材10に集光して被加工材10にピアス加工を施すレーザ加工装置であって、集光レンズ7へ入射するレーザビーム2のビーム径Dを変化させるビーム径可変光学系6と、ピアス加工の進展に伴い、レーザビーム2の集光点13における集光径Sが大きくなるようにビーム径可変光学系6を制御するコントローラ20とを有する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るレーザ加工装置の構成を示す断面図である。レーザ加工装置は、レーザ発振器1、伝搬光学系3、レーザ加工ヘッド4及びコントローラ20を有する。伝搬光学系3は、レーザ発振器1から発せられたレーザビーム2をレーザ加工ヘッド4に導くための光学系であり、例えば光ファイバである。伝搬光学系3の出力側のファイバ端3aには光コネクタ3bが設けられており、光コネクタ3bを介してレーザ加工ヘッド4にレーザビーム2を導光している。
図9は、本発明の実施の形態2に係るレーザ加工装置の構成を示す断面図である。図10は、ビーム径可変光学系のレンズ位置を変えることで、集光レンズへ入射するビーム径を小さくした状態のレーザ加工装置を示す図である。実施の形態1においては、伝搬光学系3を光ファイバで構成したが、本実施の形態では、ミラーなどを用いて空間伝搬することで伝搬光学系3を構成する。
図13は、本発明の実施の形態3に係るレーザ加工装置の光学系の構成を示す図である。実施の形態1,2では、レーザ加工ヘッド4の中にビーム径可変光学系6を配置した構成を例としたが、本実施の形態では、伝搬光学系3を複数のミラーによって構成し、伝搬光学系3内の凹面曲率ミラー6c,6d間の距離をコントローラ20が変化させることによってビーム径可変光学系6を構成している。図13(a)は、レーザ発振器1から発せられたレーザビーム2が凹面曲率ミラー6c,6dで反射された後に、ミラー6eで反射されて集光レンズ7に入射する状態を示し、図13(b)は、凹面曲率ミラー6c,6dの間隔が図13(a)よりも広い状態を示す。凹面曲率ミラー6c,6dの間隔を広げることにより、凹面曲率ミラー6dからミラー6eに入射するレーザビーム2のビーム径が小さくなり、集光レンズ7に入射するレーザビーム2のビーム径Dは小さくなり、集光点13でのレーザビーム2の集光径Sは大きくなる。
Claims (7)
- レーザビームを発するレーザ発振器と、レーザビームを集光する集光レンズを備えたレーザ加工ヘッドと、前記レーザ発振器から出射されるレーザビームを前記レーザ加工ヘッドに導く伝搬光学系とを有し、前記集光レンズでレーザビームを被加工材に集光して該被加工材にピアス加工を施すレーザ加工装置であって、
前記集光レンズへ入射するレーザビームのビーム径を変化させるビーム径可変光学系と、
前記ピアス加工の進展に伴い、レーザビームの集光点における集光径が大きくなるように前記ビーム径可変光学系を制御するコントローラとを有することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記ビーム径可変光学系は、前記レーザ加工ヘッド内に配置された、間隔を変更可能な複数のレンズによって構成されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記伝搬光学系が光ファイバであることを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
- 前記伝搬光学系は、複数の曲率ミラーによって構成されており、
前記ビーム径可変光学系は、前記複数の曲率ミラーの間隔を変更可能とすることによって、前記伝搬光学系内に構成されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記伝搬光学系は、複数の曲率ミラーによって構成されており、
前記ビーム径可変光学系は、前記複数の曲率ミラーのうちの少なくとも一つを可変曲率ミラーとすることによって、前記伝搬光学系内に構成されることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記コントローラは、前記ピアス加工の進展に伴い、前記レーザビームの集光位置を加工穴の穴底方向に移動させることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- レーザ発振器から発せられるレーザビームを、伝搬光学系によりレーザ加工ヘッド内の集光レンズに導光し、該集光レンズにより前記レーザビームを被加工材に集光してピアス加工を行うレーザ加工方法であって、
前記集光レンズへ入射するレーザビームのビーム径を変化させるビーム径可変光学系を用いて、前記ピアス加工の進展に伴い、前記被加工材に集光するレーザビームの集光径を大きくすることを特徴とするレーザ加工方法。
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JP2014081188A JP2015199114A (ja) | 2014-04-10 | 2014-04-10 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
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2014
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