JP2013241301A - ガラス微細穴加工用レーザ加工機及びガラス微細穴加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加工対象物であるガラス28を搭載するステージ台27と、レーザビーム22を発振するレーザ発振器21と、発振されたレーザビーム22のビーム径の大きさやビーム形状を調整するビーム調整光学系23と、調整後のレーザビーム22の進行方向をガラス28に向けて調整する導光ミラー24と、導光されたレーザビーム22を成形するマスク25と、成形されたレーザビーム22をガラス28のレーザビーム入射面に集光する集光レンズ26とを備え、レーザビーム22のパルス幅を5μs以下に調整する。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施の形態1に係るガラス微細穴加工用レーザ加工機について説明する。ガラスの微細穴あけ加工の用途としては、例えば、半導体チップとパッケージ基板を導通接続するための中間基板用薄板貫通電極が挙げられる。電子機器の高性能化・高機能化に伴い、プリント基板の高密度化が進んでいる。基板の主な材料は樹脂であるが、代替材料として、熱膨張率が低く、高絶縁性を有するガラスが期待されている。
マスク25は銅などの材料で構成されている。マスク25の中心には、マスク25に照射されるレーザ径よりも小さな円や楕円などの形状の穴が設けられており、レーザビーム22がマスク25を通過することで上記形状に成形される。
(1)電気光学素子(EO:Electro‐Optic)や音響光学素子(AO:Acousto‐Optic)によるスイッチングによる方法。
(2)シャッターや音響光学素子を発振器外部に設置して、連続発振されたレーザビームをパルス化する方法。
(3)励起放電を断続的に発生させてレーザをパルス状に発振する方法。
しかし、Qスイッチ方式で用いるQスイッチ素子は、CO2レーザの波長である赤外域に対応できる材料が少なく、高価である。また、大出力でのスイッチングでは損傷してしまい、小出力では素子の損傷がなくとも、材料の屈折率温度依存性により熱レンズ効果が生じ、ビーム径が変化するなどの加工性能の低下につながるため、微細ガラス穴あけには使用できない。
(2)の方式では、連続発振のレーザを時間的に遮断するもので、高ピーク出力のレーザを得ることができず、微細ガラス穴あけには使用できない。
(3)の方式は、ゲインスイッチによるパルスを発生させる方式で、(2)に比べてピーク出力が高くなる。また、励起放電を断続的に動作させ、単パルス発振後に放電電極間に残った消耗ガスを新しいレーザガスで充填し、次の励起放電で次のパルスを発生させることで、パルス発振をおこなう。励起放電の動作のみとなるため動作方法が簡単であり、(1)のQスイッチ式よりも多くのパルスCO2レーザで適用されている。
ガラス28の厚みは約50〜300μm程度で、貫通電極の穴径は約Φ10〜100μmである。
ゲインスイッチ式三軸直交型パルスCO2レーザにより、厚さ150μmのホウ珪酸ガラスに対して、約Φ100μmの微細穴を加工した例を示す。
加工条件は、照射ビーム径Φ100μm、繰り返し周波数1Hz、エネルギー密度15J/cm2である。この加工条件において、パルス幅を調整して連続照射加工を実施した。
ガラスのレーザ微細穴形成には、パルスエネルギー密度が2J/cm2以上である必要がある。
パルスのエネルギー密度が低い場合、クラック51を発生させずにガラス28は加工されるが、図5に示すように、加工穴29の周囲に、盛り上がり部54や熱影響層53が発生する。
そのため、熱影響層53を低減するには、高エネルギーで加工する必要がある。
エネルギー密度は、一般的に照射ビーム径を小さくするだけでなく、平均出力を大きくするほど高くなる。貫通穴形成時は高エネルギーであるほど加工穴のテーパ率が高くなる。
テーパ率とは、ガラス表面の加工穴径に対する裏面の加工穴径の割合を示す。テーパ率100%は表面の加工穴径と裏面の加工穴径が同じ大きさである場合を示す。
また、ガラス28に貫通穴を形成する場合、照射側の裏面はステージ台27に接さずに加工する。
これは、貫通穴加工時にガラスの溶融物が穴の内側から外側へ排出されるが、上記裏面が接していた場合は排出し難い状態となり、裏面の加工穴周囲に飛散物の付着が多くなる。また、熱が排出できずに熱影響層やクラックが発生する場合もある。
そのため、ステージ台27に溝を設けるなどの方法で裏面が接触しない状態にして加工をおこなう必要がある。
加工穴周辺の溶融物除去には、アシストガスによる除去以外に、水洗により除去する方法がある。これに加え、あらかじめ加工する面に保護膜を成膜し、加工後に洗浄することで溶融物ごと膜を除去する方法もある。保護膜は成膜の簡易性と環境面の点から水溶性であることが望ましい。
本発明の実施の形態2に係るガラス微細穴加工用レーザ加工機の全体の構成は、上述の実施の形態1で図1に示した構成と基本的に同じである。異なる点は、本実施の形態2においては、レーザ発振器21が量子カスケードレーザ発振器から構成されている点である。他の構成及び動作については、実施の形態1と同じであるため、ここでは説明を省略し、以下では、異なる点を中心に説明する。
Claims (6)
- ガラスから構成された加工対象物に微細穴を形成するためのガラス微細穴加工用レーザ加工機であって、
前記加工対象物を搭載するステージ台と、
レーザビームを発振するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から発振された前記レーザビームのビーム径の大きさやビーム形状を調整するビーム調整光学系と、
前記ビーム調整光学系から出力された調整後の前記レーザビームの進行方向を前記ステージ台に搭載された前記加工対象物に向けて調整する導光ミラーと、
前記導光ミラーにより導光された前記レーザビームを前記加工対象物のレーザビーム入射面に集光する集光レンズと
を備え、
前記加工対象物のレーザビーム入射面に入射される前記レーザビームのパルス幅が5μs以下になるように、前記レーザ発振器から発振される前記レーザビームのパルス幅を調整する
ことを特徴とするガラス微細穴加工用レーザ加工機。 - 前記レーザ発振器は、ゲインスイッチによってパルスを発生させる三軸直交型パルスCO2レーザ発振器から構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のガラス微細穴加工用レーザ加工機。 - 前記レーザ発振器は、量子カスケードレーザから構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のガラス微細穴加工用レーザ加工機。 - 前記レーザ発振器から発振される前記レーザビームの波長は9.0〜11.0μmの範囲に設定されている
ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のガラス微細穴加工用レーザ加工機。 - 前記レーザ発振器から発振される前記レーザビームのパルスエネルギー密度は2J/cm2以上に設定されている
ことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のガラス微細穴加工用レーザ加工機。 - ガラスから構成された加工対象物に微細穴を形成するためのガラス微細穴加工方法であって、
前記加工対象物をステージ台に搭載するステップと、
パルス幅を5μs以下に設定して、レーザビームをレーザ発振器から発振するステップと、
前記レーザ発振器から発振された前記レーザビームのビーム径の大きさやビーム形状を調整するステップと、
調整後の前記レーザビームの進行方向を前記ステージ台に搭載された前記加工対象物に向けて調整するステップと、
導光された前記レーザビームを前記加工対象物のレーザビーム入射面に集光するステップと
を備えたことを特徴とするガラス微細穴加工方法。
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