JP2017163100A - 半導体製造装置の制御装置および制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一の実施形態によれば、半導体製造装置の制御装置は、半導体製造装置による基板の加工音を収集する音収集部を備える。前記制御装置はさらに、前記加工音のパワースペクトルの変化量を算出する変化量算出部を備える。前記制御装置はさらに、前記変化量に基づいて、前記基板の加工の変化点を判定する変化点判定部を備える。
【選択図】図1
Description
図1は、第1実施形態の半導体製造システムの構成を模式的に示す断面図である。
図5は、第2実施形態の半導体製造システムの構成を模式的に示す断面図である。
図8は、第3実施形態の終点検知方法を説明するためのグラフである。第3実施形態の終点検知方法は、図1の半導体製造システム内の制御装置2により実行される。
11:ウェハ、12:研磨パッド、13:研磨ヘッド、
14:駆動部、15:研磨テーブル、16:回転部、
17:スラリ供給部、18:音響センサ、19:校正用スピーカ、
21:音収集部、22:特徴抽出部、23:終点判定部、
24:出力部、25:周波数帯域判断部、26:記録部、
31:校正部、32:装置状態判断部、33:入出力部、
41:特徴周波数帯域抽出部、42:監視周波数帯域変更部
Claims (10)
- 半導体製造装置による基板の加工音を収集する音収集部と、
前記加工音のパワースペクトルの変化量を算出する変化量算出部と、
前記変化量に基づいて、前記基板の加工の変化点を判定する変化点判定部と、
を備える半導体製造装置の制御装置。 - 前記変化量算出部は、第1の周波数帯域における前記変化量に基づいて、第1の値を算出し、第2の周波数帯域における前記変化量に基づいて、第2の値を算出し、
前記変化点判定部は、前記第1および第2の値に基づいて、前記変化点を判定する、
請求項1に記載の半導体製造装置の制御装置。 - 前記第1の値は、前記第1の周波数帯域における前記変化量の平均値であり、
前記第2の値は、前記第2の周波数帯域における前記変化量の平均値である、
請求項2に記載の半導体製造装置の制御装置。 - 前記変化量算出部は、前記基板に関する情報に基づいて、前記第1および第2の周波数帯域を変更する、請求項2または3に記載の半導体製造装置の制御装置。
- 前記変化量算出部は、前記第1および第2の値に基づいて、前記加工音のS/N比(信号雑音比)を算出し、
前記変化点判定部は、前記S/N比に基づいて、前記変化点を判定する、
請求項2から4のいずれか1項に記載の半導体製造装置の制御装置。 - 前記音収集部は、音響センサから、前記加工音と、前記音響センサの校正用の基準音とを収集し、
さらに、
収集された前記基準音を利用して、前記基準音の周波数の測定値を取得する取得部と、
前記基準音の周波数の設定値を記録部から読み出す読出部と、
前記基準音の周波数の測定値と、前記基準音の周波数の設定値とに基づいて、前記音響センサを校正する校正部と、
を備える請求項1に記載の半導体製造装置の制御装置。 - 前記変化点判定部は、所定の周波数帯域における前記変化量に基づいて、前記変化点を判定し、
さらに、
第1の基板の加工時に収集された前記加工音に基づいて、前記所定の周波数帯域の設定を決定する決定部と、
第2の基板の加工時に、前記所定の周波数帯域を前記設定に応じて変更する変更部と、
を備える請求項1に記載の半導体製造装置の制御装置。 - 前記決定部は、
前記第1の基板の加工時に収集された前記加工音の前記パワースペクトルと時間との関係を示す第1の画像データを生成する画像生成部と、
前記第1の画像データと、前記変化点における前記パワースペクトルと時間との関係を示す第2の画像データとを照合して、前記所定の周波数帯域の前記設定を決定する画像照合部と、
を備える請求項7に記載の半導体製造装置の制御装置。 - さらに、前記変化点判定部により前記変化点が検知された場合に、前記基板の加工を終了するように前記半導体製造装置を制御する終了制御部を備える、請求項1から8のいずれか1項に記載の半導体製造装置の制御装置。
- 半導体製造装置による基板の加工音を収集し、
前記加工音のパワースペクトルの変化量を算出し、
前記変化量に基づいて、前記基板の加工の変化点を判定する、
ことを含む半導体製造装置の制御方法。
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