JP2017132212A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017132212A JP2017132212A JP2016016286A JP2016016286A JP2017132212A JP 2017132212 A JP2017132212 A JP 2017132212A JP 2016016286 A JP2016016286 A JP 2016016286A JP 2016016286 A JP2016016286 A JP 2016016286A JP 2017132212 A JP2017132212 A JP 2017132212A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- supply path
- inclined surface
- recessed portion
- dummy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14145—Structure of the manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/045—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by pressure, e.g. electromechanical transducers
- B41J2/04501—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits
- B41J2/0453—Control methods or devices therefor, e.g. driver circuits, control circuits controlling a head having a dummy chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14032—Structure of the pressure chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
- B41J2002/14241—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm having a cover around the piezoelectric thin film element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2002/14306—Flow passage between manifold and chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14491—Electrical connection
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/11—Embodiments of or processes related to ink-jet heads characterised by specific geometrical characteristics
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
Description
かかる態様では、第2傾斜面のピッチを供給路のピッチよりも小さくすることで、傾斜面に沿って移動する気泡の引っ掛かりを抑制して、傾斜面に沿って気泡を移動させ易くすることができる。また、供給路を第1凹部の底面に開口させることで、供給路の長さを確保して、圧力損失を低減して吐出効率を向上することができる。さらに、第2凹部を設けることで、マニホールドの容積を確保することができると共に小型化することができる。
かかる態様では、圧力損失を低減して吐出効率を向上することができると共に気泡排出性を向上した液体噴射装置を実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、記録ヘッドの流路形成基板の平面図であり、図3は、図2のA−A′線断面図であり、図4は、図3の要部を拡大した断面図であり、図5は、図2のB−B′線断面図であり、図6は、連通板の平面図であり、図7は、連通板の要部を切り欠いた斜視図である。
また、第2マニホールド部18は、連通板15を第3の方向Zに貫通することなく、連通板15のノズルプレート20側に開口して設けられた凹部となっている。
図16は、本発明の実施形態2に係る連通板の平面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
Claims (6)
- 液体を吐出するノズル開口に連通する圧力発生室が形成された流路形成基板と、
複数の前記圧力発生室に共通して連通するマニホールドと前記圧力発生室とを連通する供給路を有する連通板と、
を具備し、
前記連通板には、前記マニホールドの少なくとも一部を構成する凹部が、前記流路形成基板とは反対面側に開口して設けられており、
前記凹部は、第1凹部と、該第1凹部よりも深さの深い第2凹部とを具備し、
前記供給路は、前記第1凹部の底面に開口して、第1の方向に並設されており、
前記第1凹部と前記第2凹部との間には、前記第1凹部の底面から前記第2凹部の底面に向けて傾斜した傾斜面が前記第1の方向に沿って設けられており、
前記傾斜面は、角度の異なる第1傾斜面と第2傾斜面とが交互に繰り返し並設されて構成され、
互いに隣り合う前記第2傾斜面のピッチは、互いの隣り合う前記供給路のピッチよりも小さいことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記連通板は、表面の結晶面方位が{110}面となるシリコン基板であり、
前記第1凹部及び前記第2凹部の底面は、結晶面方位が{110}面で形成されており、
前記第1傾斜面は、前記{110}面に対して傾斜した任意の面で形成され、
前記第2傾斜面は、前記{110}面と、当該{110}面に対して垂直な第1の{111}面とに対して傾斜した第3の{111}面で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記第2傾斜面の前記ピッチが、42.4μm以下であることを特徴とする請求項1又は2記載の液体噴射ヘッド。
- 前記供給路は、前記ノズル開口から液体を吐出する吐出用圧力発生室に連通する吐出用供給路と、前記ノズル開口から液体を吐出しないダミー圧力発生室に連通するダミー用供給路と、を具備し、
前記ダミー用供給路が、前記第1の方向の端部側に少なくとも1以上設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。 - 前記ダミー用供給路が、前記第1の方向の両端部にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項4記載の液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016016286A JP6597968B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
US15/416,296 US10000060B2 (en) | 2016-01-29 | 2017-01-26 | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016016286A JP6597968B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017132212A true JP2017132212A (ja) | 2017-08-03 |
JP6597968B2 JP6597968B2 (ja) | 2019-10-30 |
Family
ID=59386005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016016286A Active JP6597968B2 (ja) | 2016-01-29 | 2016-01-29 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10000060B2 (ja) |
JP (1) | JP6597968B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020001369A (ja) * | 2018-06-20 | 2020-01-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6776545B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2020-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP7183809B2 (ja) * | 2019-01-23 | 2022-12-06 | ブラザー工業株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP7259472B2 (ja) * | 2019-03-27 | 2023-04-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、液体噴射ヘッドおよび液体噴射ヘッドの製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07132595A (ja) * | 1993-11-09 | 1995-05-23 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 |
JPH09246234A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-19 | Seiko Epson Corp | シリコンウェハーの加工方法及びそのシリコンウェハーを用いた電子機器 |
JP2006130742A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
US20080129798A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Restrictors with structure to prevent back flow and inkjet head having the same |
JP2009029011A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009255316A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Seiko Epson Corp | 流体噴射ヘッド及び流体噴射装置 |
JP2013063588A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
JP2013184467A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004345226A (ja) | 2003-05-22 | 2004-12-09 | Toshiba Tec Corp | インクジェット記録ヘッド及び記録装置 |
US8403454B2 (en) | 2010-07-14 | 2013-03-26 | Seiko Epson Corporation | Liquid ejecting apparatus |
JP2014034138A (ja) | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
EP2889141B1 (en) | 2012-08-17 | 2018-02-21 | Seiko Epson Corporation | Liquid jetting device |
JP2014037133A (ja) | 2013-03-13 | 2014-02-27 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
JP6217217B2 (ja) | 2013-08-01 | 2017-10-25 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出ヘッド、及び、液体吐出装置 |
JP6767666B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2020-10-14 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射装置の製造方法 |
JP6776545B2 (ja) * | 2016-01-29 | 2020-10-28 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
-
2016
- 2016-01-29 JP JP2016016286A patent/JP6597968B2/ja active Active
-
2017
- 2017-01-26 US US15/416,296 patent/US10000060B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07132595A (ja) * | 1993-11-09 | 1995-05-23 | Seiko Epson Corp | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法 |
JPH09246234A (ja) * | 1996-03-12 | 1997-09-19 | Seiko Epson Corp | シリコンウェハーの加工方法及びそのシリコンウェハーを用いた電子機器 |
JP2006130742A (ja) * | 2004-11-04 | 2006-05-25 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
US20080129798A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-06-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Restrictors with structure to prevent back flow and inkjet head having the same |
JP2009029011A (ja) * | 2007-07-26 | 2009-02-12 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2009255316A (ja) * | 2008-04-14 | 2009-11-05 | Seiko Epson Corp | 流体噴射ヘッド及び流体噴射装置 |
JP2013063588A (ja) * | 2011-09-16 | 2013-04-11 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
JP2013184467A (ja) * | 2012-03-12 | 2013-09-19 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020001369A (ja) * | 2018-06-20 | 2020-01-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10000060B2 (en) | 2018-06-19 |
US20170217173A1 (en) | 2017-08-03 |
JP6597968B2 (ja) | 2019-10-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6776545B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP6767666B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに液体噴射装置の製造方法 | |
JP5668482B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP6028944B2 (ja) | 液体噴射装置 | |
JP6558104B2 (ja) | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 | |
CN107020809B (zh) | 液体喷射头以及液体喷射装置 | |
JP6597968B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2013107256A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP6897086B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
US10081181B2 (en) | Liquid ejecting head and liquid ejecting apparatus | |
JP2007145014A (ja) | 液滴噴射装置 | |
JP2016049726A (ja) | 流路部品、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 | |
JP2014034138A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 | |
JP2014113787A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2018140599A (ja) | 液体噴射装置及びクリーニング方法 | |
TW201714757A (zh) | 電子裝置、液體噴出頭、液體噴出裝置及電子裝置之製造方法 | |
JP2012218188A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP2004082623A (ja) | 液体噴射ヘッド | |
JP2016172335A (ja) | 液体噴射装置 | |
JP2018069675A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2018196930A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JPH11291497A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置 | |
JP2019199015A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2019196016A (ja) | 圧電デバイス、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 | |
JP2019123257A (ja) | 液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181116 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190826 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190904 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190917 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6597968 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |