JP2017119911A - SnAg合金めっき液 - Google Patents

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Abstract

【課題】長期間にわたって使用もしくは保存しても、めっき液中で銀が金属、または不溶性の塩として析出しにくく、SnAg合金めっき膜を安定して形成することが可能なSnAg合金めっき液を提供する。
【解決手段】水溶性錫化合物と水溶性銀化合物とを含むSnAg合金めっき液であって、前記水溶性銀化合物中の銀1モルに対して0.25モル以上10モル以下の範囲で特定のスルフィド化合物を含むことを特徴とするSnAg合金めっき液。
【選択図】なし

Description

本発明は、錫と銀とを含むSnAg合金のめっき膜を形成するためのSnAg合金めっき液に関する。
SnAg合金はんだは、PbSnはんだの代替材料として、半導体基板(ウエハ)やプリント基板用の接合材に使用されている。SnAg合金をめっき法で形成するためのAgSn合金めっき液は、錫化合物と銀化合物が溶解した水溶液からなる。このSnAg合金めっき液中に溶解している錫あるいは銀が金属、または不溶性の塩としてめっき液中に析出すると、被めっき物上に形成されるSnAg合金めっき膜の合金組成が狙い通りの組成となりにくくなる他、めっき膜の光沢不良やむらの原因となる。SnAg合金めっき液では、錫よりも銀が貴な金属であるため、めっき液中でSn2+イオンの酸化とAgイオンの還元反応が起こり、銀が析出し易い傾向がある。このため、SnAg合金めっき液中の銀化合物を安定に溶解させるために、メルカプト基を有する複素環化合物やスルフィド化合物などの硫黄含有化合物を錯体化剤として添加して、銀の錯体を形成させることが行われている。
特許文献1には、メルカプト基で置換された窒素含有複素環化合物を含むめっき液が開示されている。この特許文献1には、窒素含有複素環化合物として、1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプト−1,2,3,4−テトラゾールが例示されている。
特許文献2には、メルカプトテトラゾール誘導体とジチアアルキルジオールとを含むめっき液が開示されている。
特許文献3には、分子内に1個以上の塩基性窒素原子を有する2,2′−ジピリジルスルフィド、2,2′−ジピペラジニルジスルフィドなどの特定スルフィド系化合物を含むめっき液と、1−アザ−7−オキサ−4,10−ジチアシクロドデカンなどの特定チオクラウンエーテル化合物を含むめっき液とが開示されている。
特許文献4には、窒素、硫黄、酸素から選ばれた原子の少なくとも一種を1〜5個含む特定の単環式複素環基又は縮合複素環基を有し、且つ、当該複素環基に隣接してスルフィド基又はメルカプト基が結合した含硫黄化合物を含むめっき液が開示されている。
米国特許第8888984号明細書 特開2015−92022号公報(実施例) 特開平11−269691号公報 特開2014−122410号公報
SnAg合金めっき液は、長期間にわたって使用もしくは保存しても、安定してSnAg合金めっき膜を形成することが可能なものであることが望ましい。しかしながら、従来の硫黄含有化合物を添加したSnAg合金めっき液は、長期間にわたって使用もしくは保存すると、めっき液中で銀が金属、または不溶性の塩として析出してしまい、安定にSnAg合金めっき膜を形成することが困難となることがあった。例えば、上記の特許文献1に記載されているメルカプト基を有する複素環化合物は、水溶性は高いが、分子中に硫黄原子を1個しか有していないため、銀の錯体を形成させる効果は低い傾向があった。上記特許文献2に記載されているジチアアルキルジオールは、分子中に硫黄原子を2個有しているので、銀の錯体を形成させる効果は高いが、水中で自己分解しやすく、水溶性が悪くなることがあった。上記特許文献3には硫黄原子を2個以上有するスルフィド系化合物とチオクラウンエーテル化合物が記載され、特許文献4には、硫黄原子を2個以上有する含硫黄化合物が記載されているが、これらの特許文献に記載されている硫黄含有化合物は水溶性が低い傾向があった。
この発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、長期間にわたって使用もしくは保存しても、めっき液中で銀が金属、または不溶性の塩として析出しにくく、SnAg合金めっき膜を安定して形成することが可能なSnAg合金めっき液を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するために、本発明のSnAg合金めっき液は、水溶性錫化合物と水溶性銀化合物とを含むSnAg合金めっき液であって、前記水溶性銀化合物中の銀1モルに対して0.25モル以上10モル以下の範囲のスルフィド化合物を含み、前記スルフィド化合物は、下記の式(I)または式(II)で表される化合物であることを特徴とする。
Figure 2017119911
式(I)中、Rは、単結合または2価の連結基を表し、Rは、水素原子、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、アリール基、アラルキル基またはアルコキシ基を表す。
Figure 2017119911
式(II)中、nは、2〜4の数を表し、Rは、n価の連結基を表す。
この構成のSnAg合金めっき液によれば、上記式(I)もしくは式(II)で表されるスルフィド化合物を水溶性銀化合物中の銀1モルに対して0.25モル以上の量にて含むので、長期間にわたって使用もしくは保存しても、めっき液中で銀が金属、または不溶性の塩として析出しにくく、安定してSnAg合金めっき膜を形成することが可能となる。すなわち、式(I)もしくは式(II)のスルフィド化合物は分子中に、銀に配位し易い硫黄原子を2個以上持つと共に、水溶性に優れるジメチルアミノアルキル基を有するテトラゾール基を持つ。このため、式(I)および式(II)のスルフィド化合物は、SnAg合金めっき液中に溶解し易く、また銀に配位して安定な錯体を形成しやすい。従って、本発明のSnAg合金めっき液では、銀が長期間にわたって安定な錯体として水溶液中に存在し、めっき液中で銀が金属、または不溶性の塩として析出しにくくなると考えられる。
また、前記スルフィド化合物の含有量が、前記水溶性銀化合物中の銀1モルに対して10モル以下とされているので、SnAg合金めっき膜の形成時には、銀を錫と共に被めっき物に安定に電着させることができる。従って、SnAg合金めっき膜を安定して形成することが可能となる。
本発明のSnAg合金めっき液において、前記スルフィド化合物が前記式(I)で表される化合物である場合、Rが、単結合または2価の連結基を表し、2価の連結基としてのRは、置換基を有していてもよい炭化水素基、置換基を有していてもよい複素環基、カルボニル基(−CO−)、オキシ基(−O−)、炭素原子数が1〜8の範囲にあるアルキル基で置換されていてもよいイミノ基(−NR−:但し、Rは、水素原子もしくは炭素原子数が1〜8個の範囲にあるアルキル基である)、チオ基(−S−)、スルフィニル基(−SO−)、スルホニル基(−SO−)、−PO−基およびこれらを組合せた基からなる群より選ばれる2価の連結基であることが好ましい。
この構成のSnAg合金めっき液によれば、スルフィド化合物の水溶性が高いので、確実に安定な銀の錯体を形成させることができる。
本発明のSnAg合金めっき液において、前記スルフィド化合物が前記式(II)で表される化合物であって、nが2である場合は、2価の連結基としてのRは、置換基を有していてもよい炭化水素基,置換基を有していてもよい複素環基、カルボニル基(−CO−)、オキシ基(−O−)、炭素原子数が1〜8の範囲にあるアルキル基で置換されていてもよいイミノ基(−NR−:但し、Rは、水素原子もしくは炭素原子数が1〜8個の範囲にあるアルキル基である)、チオ基(−S−)、スルフィニル基(−SO−)、スルホニル基(−SO−)、−PO−基およびこれらを組合せた基からなる群より選ばれる2価の連結基であることが好ましい。
この構成のSnAg合金めっき液によれば、スルフィド化合物の水溶性が高いので、確実に安定な銀の錯体を形成させることができる。
本発明のSnAg合金めっき液において、前記スルフィド化合物が、前記式(II)で表される化合物であって、nが3である場合は、Rは、3価の連結基であるか、または3価の連結基と2価の連結基とを組合せた基であることが好ましい。
この構成のSnAg合金めっき液によれば、スルフィド化合物の水溶性が高いので、確実に安定な銀の錯体を形成させることができる。
本発明のSnAg合金めっき液において、前記スルフィド化合物が、前記式(II)で表される化合物であって、nが4である場合は、Rが、4価の連結基であるか、または4価の連結基と2価の連結基とを組合せた基であることが好ましい。
この構成のSnAg合金めっき液によれば、スルフィド化合物の水溶性が高いので、確実に安定な銀の錯体を形成させることができる。
以上のように、本発明によれば、長期間にわたって使用もしくは保存しても、めっき液中で銀が金属、または不溶性の塩として析出しにくく、SnAg合金めっき膜を安定して形成することが可能なSnAg合金めっき液を提供することができる。
以下に、本発明の一実施形態に係るSnAg合金めっき液について説明する。
本実施形態であるSnAg合金めっき液は、半導体基板やプリント基板などの被めっき物にSnAg合金めっき膜を形成するためのめっき液として利用される。SnAg合金めっき膜は、半導体基板やプリント基板の接合材であるSnAg合金はんだとして利用される。
本実施形態のSnAg合金めっき液は、水溶性錫化合物、水溶性銀化合物、そして特定のスルフィド化合物を含む。
本実施形態のSnAg合金めっき液において用いる水溶性錫化合物は、水に溶解して2価の錫イオンを生成する化合物である。水溶性錫化合物の例としては、錫のハロゲン化物、硫酸塩、酸化物、アルカンスルホン酸塩、アリールスルホン酸塩およびアルカノールスルホン酸塩を挙げることができる。アルカンスルホン酸塩の具体例としては、メタンスルホン酸塩およびエタンスルホン酸塩を挙げることができる。アリールスルホン酸塩の具体例としては、ベンゼンスルホン酸塩、フェノールスルホン酸塩、クレゾールスルホン酸塩およびトルエンスルホン酸塩を挙げることができる。アルカノールスルホン酸塩の具体例としては、イセチオン酸塩を挙げることができる。水溶性錫化合物は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本実施形態のSnAg合金めっき液における水溶性錫化合物の含有量は、錫の含有量に換算して、一般に1g/L以上200g/L以下の範囲、好ましくは10g/L以上120g/L以下の範囲、より好ましくは20g/L以上100g/Lの範囲である。
本実施形態のSnAg合金めっき液において用いる水溶性銀化合物の例としては、銀のハロゲン化物、硫酸塩、酸化物、アルカンスルホン酸塩、アリールスルホン酸塩およびアルカノールスルホン酸塩を挙げることができる。アルカンスルホン酸塩、アリールスルホン酸塩およびアルカノールスルホン酸塩の具体例は、水溶性錫化合物で例示したものと同じである。水溶性銀化合物は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本実施形態のSnAg合金めっき液における水溶性錫化合物の含有量は、銀の含有量に換算して、一般に0.01g/L以上20g/L以下の範囲、好ましくは0.1g/L以上10g/L以下の範囲、より好ましくは0.1g/L以上5g/Lの範囲である。
本実施形態のSnAg合金めっき液は、さらに錫および銀以外の金属の水溶性化合物を含んでいてもよい。錫および銀以外の金属としては、金、銅、ビスマス、インジウム、亜鉛、アンチモンおよびマンガンを挙げることができる。上記金属の水溶性化合物の例としては、上記金属のハロゲン化物、硫酸塩、酸化物、アルカンスルホン酸塩、アリールスルホン酸塩およびアルカノールスルホン酸塩を挙げることができる。アルカンスルホン酸塩、アリールスルホン酸塩およびアルカノールスルホン酸塩の具体例は、水溶性錫化合物で例示したものと同じである。錫および銀以外の金属の水溶性化合物は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本実施形態のSnAgめっき液における錫および銀以外の金属の水溶性化合物の含有量は、一般に0.01g/L以上20g/L以下の範囲、好ましくは0.1g/L以上10g/L以下の範囲、より好ましくは0.1g/L以上5g/L以下の範囲である。
本実施形態のSnAg合金めっき液において用いるスルフィド化合物は、下記の式(I)もしくは式(II)で表される化合物である。
Figure 2017119911
式(I)中、Rは、単結合または2価の連結基を表す。2価の連結基の例としては、置換基を有してもよい炭化水素基、置換基を有していてもよい複素環基、カルボニル基(−CO−)、オキシ基(−O−)、炭素原子数が1〜8の範囲にあるアルキル基で置換されていてもよいイミノ基(−NR−:但し、Rは、水素原子もしくは炭素原子数が1〜8個の範囲にあるアルキル基である)、チオ基(−S−)、スルフィニル基(−SO−)、スルホニル基(−SO−)、−PO−基およびこれらを組合せた基が挙げられる。
炭化水素基は、不飽和炭化水素基および飽和炭化水素基を含む。炭化水素基は、分岐を有していてもよい鎖状炭化水素基および環状炭化水素基を含む。炭化水素基の例としては、炭素原子数が1〜8個の範囲にあるアルキレン基、炭素原子数が2〜8個の範囲にあるアルケニレン基、炭素原子数が2〜8個の範囲にあるアルキニレン基および炭素原子数が6〜18個の範囲にあるアリーレン基が挙げられる。アルキレン基の具体例としては、それぞれ置換基を有していてもよい、メチレン基、エチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基、ヘキサメチレン基およびオクタメチレン基などの鎖状アルキレン基、シクロプロピレン基、シクロブチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、シクロヘプチレン基およびシクロオクチレン基などの環状アルキレンが挙げられる。アルケニレン基の具体例としては、それぞれ置換基を有していてもよい、エテニレン基およびプロペニレン基が挙げられる。アルキニレン基の具体例としては、それぞれ置換基を有していてもよい、エチニレン基およびプロピニレン基が挙げられる。アリーレン基の具体例としては、それぞれ置換基を有していてもよい、フェニレン基およびナフチレン基が挙げられる。
複素環基の例としては、窒素原子、酸素原子、硫黄原子もしくはリン原子を含む、芳香族または脂肪族の複素環化合物から2個の水素原子を取り除いた基が挙げられる。芳香族複素環化合物の具体例としては、それぞれ置換基を有していてもよい、ピロール、イミダゾール、ピラゾール、フラン、オキサゾール、イソオキサゾール、チオフェン、チアゾール、イソチアゾール、ピリジン、ピリミジン、ピリダジン、ピラジン、1,2,3−トリアジン、キノリン、イソキノリン、キナゾリン、フタラジン、プテリジン、クマリン、クロモン、1,4−ベンゾアゼピン、インドール、ベンズイミダゾール、ベンゾフラン、プリン、アクリジン、フェノキサジンおよびフェノチアジンが挙げられる。脂肪族複素環化合物の具体例としては、それぞれ置換基を有していてもよい、ピペリジン、ピペラジン、モルホリン、キヌクリジン、ピロリジン、アゼチジン、オキタセン、アゼチジン−2−オンおよびトロパンが挙げられる。
炭化水素基および複素環基の置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、アミノ基、アルキル基、アリール基、アラルキル基およびはアルコキシ基が挙げられる。ハロゲン原子の具体例としては、フッ素および塩素が挙げられる。アルキル基は、炭素原子数が1〜8個の範囲にあることが好ましい。アルキル基は、鎖状アルキル基および環状アルキル基を含む。アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基などの鎖状アルキル基、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基およびシクロヘキシル基などの環状アルキル基が挙げられる。アリール基は、炭素原子数が6〜18個の範囲にあることが好ましい。アリール基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基が挙げられる。アラルキル基は、炭素原子数が7〜30個の範囲にあることが好ましい。アラルキル基の具体例としては、ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基およびナフチルエチルが挙げられる。アルコキシ基は、炭素原子数が1〜8個の範囲にあることが好ましい。アルコキシ基の具体例としては、メトキシ基、エトキシ基、ヒドロキシエトキシ基、プロポキシ基、ヒドロキシプロポキシ基およびブトキシ基が挙げられる。
連結基を組合せた基の例としては、2価の炭化水素基の間に−CO−、−S−、−O−、−CO−、−O−、−NR−、−S−、−SO−、−SO−、−PO−、−CO−O−、−CO−NR−を介在させた基が挙げられる。2価の炭化水素基と−S−とを組合せた基は、硫黄原子数が2〜5個の範囲にあるポリスルフィド基を含む。
は、水素原子、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、アリール基、アラルキル基またはアルコキシ基を表す。アルキル基は、分岐を有していてもよい鎖状アルキル基および環状アルキル基を含む。アルキル基は炭素原子数が1〜8個の範囲にあることが好ましい。ヒドロキシアルキル基は、末端の炭素原子にヒドロキシ基が結合しているアルキル基を意味する。ヒドロキシアルキル基のアルキル基は、炭素原子数が1〜8個の範囲にあることが好ましい。アリール基は、炭素原子数が6〜18個の範囲にあることが好ましい。アラルキル基は、炭素原子数が7〜18個の範囲にあることが好ましい。アルコキシ基は、炭素原子数が1〜8個の範囲にあることが好ましい。アルキル基、アリール基、アラルキル基およびアルコキシ基の具体例は、Rで表される炭化水素基および複素環基の置換基として例示したものと同様である。
Figure 2017119911
式(II)中、nは、2〜4の数を表し、Rは、n価の連結基を表す。
nが2の場合、Rは2価の連結基である。2価の連結基の例は、前記式(I)のRの場合と同様である。
nが3の場合、Rは、3価の連結基であるか、または3価の連結基と2価の連結基とを組合せた基である。3価の連結基の例としては、置換基を有してもよい炭化水素基および置換基を有していてもよい複素環基が挙げられる。2価の連結基の例は、前記式(I)のRの場合と同様である。
置換基を有してもよい3価の炭化水素基の例としては、置換基を有していてもよい炭化水素化合物から3個の水素原子を取り除いた基が挙げられる。炭化水素化合物は、不飽和炭化水素化合物および飽和炭化水素化合物を含む。炭化水素化合物は、分岐を有していてもよい鎖状炭化水素化合物および環状炭化水素化合物を含む。炭化水素化合物の例としては、炭素原子数が1〜8個の範囲にあるアルカン、炭素原子数が2〜8個の範囲にあるアルケン、炭素原子数が2〜8個の範囲にあるアルキンおよび炭素原子数が6〜18個の範囲にある芳香族炭化水素が挙げられる。アルカンの具体例としては、それぞれ置換基を有していてもよい、メタン、エタンおよびプロパンなどの鎖状アルカン、シクロプロパン、シクロブタン、シクロペンタン、シクロヘキサン、シクロヘプタンおよびシクロオクタンなどの環状アルカンが挙げられる。アルケンの具体例としては、それぞれ置換基を有していてもよい、エチレンおよびプロピレンが挙げられる。アルキンの具体例としては、それぞれ置換基を有していてもよい、アセチレンおよびプロピンが挙げられる。
置換基を有してもよい3価の複素環基の例としては、複素環式化合物から3個の水素原子を取り除いた基が挙げられる。複素環式化合物の例は、前記式(I)のRの2価の複素環基を形成する複素環化合物として例示したものと同様である(但し、水素原子の数が2個以下の複素環式化合物を除く)。
3価の炭化水素基および3価の複素環基の置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、アミノ基、アルキル基、アリール基、アラルキル基およびアルコキシ基が挙げられる。ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基およびアルコキシ基の具体例は、前記式(I)のRで表される炭化水素基および複素環基の置換基として例示したものと同様である。
nが3である場合のRの例としては、下記の式(III)で表される基が挙げられる。
Figure 2017119911
式(III)中、R、RおよびRは、それぞれ独立して、単結合または2価の連結基を表す。2価の連結基の例は、前記式(I)のRと同様である。
nが4の場合、Rは4価の連結基であるか、または4価の連結基と2価の連結基とを組合せた基である。4価の連結基の例としては、置換基を有してもよい炭化水素基および置換基を有していてもよい複素環基が挙げられる。2価の連結基の例は、前記式(I)のRの場合と同様である。
置換基を有してもよい4価の炭化水素基の例としては、置換基を有していてもよい炭化水素化合物から4個の水素原子を取り除いた基が挙げられる。炭化水素化合物の例は、3価の炭化水素基を形成する炭化水素化合物として例示したものと同様である。
置換基を有してもよい4価の複素環基の例としては、複素環式化合物から4個の水素原子を取り除いた基が挙げられる。複素環式化合物の例は、前記式(I)のRの2価の複素環基を形成する複素環化合物として例示したものと同様である(但し、水素原子の数が3個以下の複素環式化合物を除く)。
4価の炭化水素基および4価の複素環基の置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、アミノ基、アルキル基、アリール基、アラルキル基およびアルコキシ基が挙げられる。ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アラルキル基およびアルコキシ基の具体例は、前記式(I)のRで表される炭化水素基および複素環基の置換基として例示したものと同様である。
nが4である場合のRの例としては、下記の式(IV)で表される基が挙げられる。
Figure 2017119911
式(IV)中、R、R、RおよびR10は、それぞれ独立して、単結合または2価の連結基を表す。2価の連結基は、前記式(I)のRと同様である。
式(I)のスルフィド化合物は、例えば、硫黄原子を1個以上有する硫黄含有アルコールと、1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾールとを脱水縮合させる方法によって合成することができる。また、硫黄原子を1個以上有し、ハロゲン原子を1個有するハロゲン化物と、1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾールとを塩基性条件下で反応させる方法によっても合成することができる。
硫黄含有アルコールの例としては、次の化合物が挙げられる。
Figure 2017119911
式(II)のスルフィド化合物は、例えば、n価のアルコールと、1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾールとを脱水縮合させる方法によって合成することができる。また、ハロゲン原子をn個有するハロゲン化物と、1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾールとを塩基性条件下で反応させる方法によっても合成することができる。
本実施形態のSnAg合金めっき液において、上記のスルフィド化合物は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本実施形態のSnAg合金めっき液におけるスルフィド化合物の含有量は、SnAg合金めっき液に含まれる水溶性銀化合物中の銀1モルに対して0.25モル以上の量、好ましくは0.5以上である。スルフィド化合物の含有量が少なくなりすぎると、銀が析出し易くなるおそれがある。一方、スルフィド化合物の含有量が多くなりすぎると、SnAg合金めっき膜の形成時に、銀が過度に被めっき物に電着しにくくなり、SnAg合金めっき膜中の合金組成を狙い通りに形成することが困難となるおそれがある。この理由から、本実施形態のSnAg合金めっき液におけるスルフィド化合物の含有量は、水溶性銀化合物中の銀1モルに対して10モル以下の量とされている。
SnAg合金めっき液全体に対するスルフィド化合物の含有量は、好ましくは0.0001モル/L以上2モル/L以下の範囲、より好ましくは0.001モル/L以上1モル/L以下の範囲である。
また、SnAg合金めっき液中のスルフィド化合物の含有量は、下記の式を満足することが好ましい。この場合、銀に配位し易い硫黄原子の数が、銀と同等以上となるので、銀がより析出しにくくなる。
スルフィド化合物の1分子中の硫黄原子数×スルフィド化合物のモル数≧銀のモル数
本実施形態のSnAg合金めっき液は、さらに、電解質、酸化防止剤、界面活性剤、錫用の錯体化剤、pH調整剤、光沢化剤を含んでいてもよい。
電解質(遊離酸)は、SnAg合金めっき液の導電性を高める作用がある。電解質の例としては、塩化水素、臭化水素、硫酸、アルカンスルホン酸、アリールスルホン酸およびアルカノールスルホン酸を挙げることができる。アルカンスルホン酸の具体例としては、メタンスルホン酸およびエタンスルホン酸を挙げることができる。アリールスルホン酸の具体例としては、ベンゼンスルホン酸、フェノールスルホン酸、クレゾールスルホン酸およびトルエンスルホン酸を挙げることができる。アルカノールスルホン酸の具体例としては、イセチオン酸を挙げることができる。
電解質は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本実施形態のSnAg合金めっき液における電解質の添加量は、一般に1g/L以上600g/L以下の範囲、好ましくは10g/L以上400g/L以下の範囲である。
酸化防止剤はSnAg合金めっき液中のSn2+の酸化防止を目的としたものである。酸化防止剤の例としては、アスコルビン酸又はその塩、ヒドロキノン、カテコール、クレゾールスルホン酸又はその塩、カテコールスルホン酸又はその塩、ヒドロキノンスルホン酸又はその塩などが挙げられる。例えば、酸性浴では、ヒドロキノンスルホン酸又はその塩、中性浴ではアスコルビン酸又はその塩などが好ましい。
酸化防止剤は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本実施形態のSnAg合金めっき液における酸化防止剤の添加量は、一般に0.01g/L以上20g/L以下の範囲、好ましくは0.1g/L以上10g/L以下の範囲、より好ましくは0.1g/L以上5g/L以下の範囲である。
界面活性剤は、SnAg合金めっき液と被めっき物との親和性を高める作用と、SnAg合金めっき膜形成時にめっき膜の表面に吸着してめっき膜内のSnAg合金の結晶成長を抑制して、結晶を微細化することにより、めっき膜の外観向上、被めっき物との密着性向上、膜厚均一化などの作用がある。界面活性剤としては、アニオン界面活性剤、カチオン界面活性剤、非イオン系界面活性剤および両性界面活性剤などの各種界面活性剤を使用できる。
アニオン界面活性剤の具体例としては、アルキル硫酸塩、ポリオキシエチレンアルキルエーテル硫酸塩、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル硫酸塩、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルナフタレンスルホン酸塩などが挙げられる。カチオン界面活性剤の具体例としては、モノ〜トリアルキルアミン塩、ジメチルジアルキルアンモニウム塩、トリメチルアルキルアンモニウム塩などが挙げられる。非イオン系活性剤の具体例としては、炭素原子数が1〜20個のアルカノール、フェノール、ナフトール、ビスフェノール類、炭素原子数が1〜25個のアルキルフェノール、アリールアルキルフェノール、炭素原子数が1〜25個のアルキルナフトール、炭素原子数が1〜25個のアルコキシルリン酸(塩)、ソルビタンエステル、ポリアルキレングリコール、炭素原子数が1〜22個の脂肪族アミドなどにエチレンオキシド(EO)および/またはプロピレンオキシド(PO)を2〜300モル付加縮合させたものなどが挙げられる。両性界面活性剤の具体例としては、カルボキシベタイン、イミダゾリンベタイン、アミノカルボン酸などが挙げられる。
界面活性剤は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本実施形態のSnAg合金めっき液における界面活性剤の添加量は、一般に0.01g/L以上50g/L以下の範囲、好ましくは0.1g/L以上20g/L以下の範囲、より好ましくは1g/L以上10g/L以下の範囲である。
本実施形態のSnAg合金めっき液は、酸性、弱酸性、中性などの任意のpH領域の錫又は錫合金メッキ浴に適用できる。Sn2+イオンは酸性では安定であるが、中性付近では白色沈澱を生じ易い傾向がある。このため、本実施形態のSnAg合金めっき液を中性付近の錫めっき浴に適用する場合には、Sn2+イオンを安定化させる目的で、錫用の錯体化剤を添加するのが好ましい。
錫用の錯体化剤としては、オキシカルボン酸、ポリカルボン酸、モノカルボン酸を使用できる。具体例としては、グルコン酸、クエン酸、グルコヘプトン酸、グルコノラクトン、酢酸、プロピオン酸、酪酸、アスコルビン酸、シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グリコール酸、リンゴ酸、酒石酸、或はこれらの塩などが挙げられる。好ましくは、グルコン酸、クエン酸、グルコヘプトン酸、グルコノラクトン、グルコヘプトラクトン、或はこれらの塩などである。また、エチレンジアミン、エチレンジアミン四酢酸(EDTA)、ジエチレントリアミン五酢酸(DTPA)、ニトリロ三酢酸(NTA)、イミノジ酢酸(IDA)、イミノジプロピオン酸(IDP)、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸(HEDTA)、トリエチレンテトラミン六酢酸(TTHA)、エチレンジオキシビス(エチルアミン)−N,N,N′,N′−テトラ酢酸、グリシン類、ニトリロトリメチルホスホン酸、1−ヒドロキシエタン−1,1−ジホスホン酸、或はこれらの塩などのポリアミンやアミノカルボン酸類も錯体化剤として有効である。
錫用の錯体化剤は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本実施形態のSnAg合金めっき液における錫用の錯体化剤の添加量は、SnAg合金めっき液に含まれる水溶性錫化合物中の錫1モルに対して、一般に0.25モル以上10モル以下の範囲、好ましくは0.25モル以上5モル以下の範囲、より好ましくは0.5モル以上2モル以下の範囲である。
pH調整剤の例としては、塩酸、硫酸等の各種の酸、アンモニア水、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸水素ナトリウム等の各種の塩基などが挙げられる。また、pH調整剤としては、酢酸、プロピオン酸などのモノカルボン酸類、ホウ酸類、リン酸類、シュウ酸、コハク酸などのジカルボン酸類、乳酸、酒石酸などのオキシカルボン酸類なども有効である。
光沢化剤としては、芳香族カルボニル化合物が好ましい。芳香族カルボニル化合物は、SnAg合金めっき膜中のSnAg合金の結晶粒子を微細化する作用がある。芳香族カルボニル化合物は、芳香族炭化水素の炭素原子にカルボニル基(−CO−X:但し、Xは、水素原子、ヒドロキシ基、炭素原子数が1〜6個の範囲にあるアルキル基または炭素原子数が1〜6個の範囲にあるアルコキシ基を意味する)が結合した化合物である。芳香族炭化水素は、ベンゼン環、ナフタレン環およびアントラセン環を含む。芳香族炭化水素は、置換基を有してもよい。置換基の例としては、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素原子数が1〜6個の範囲にあるアルキル基および炭素原子数が1〜6個の範囲にあるアルコキシ基を挙げることができる。カルボニル基は、芳香族炭化水素に直結していてもよいし、炭素原子数が1個以上6個以下の範囲にあるアルキレン基を介して結合してもよい。芳香族カルボニル化合物の具体例としては、ベンザルアセトン、桂皮酸、シンナムアルデヒド、ベンズアルデヒドを挙げることができる。
芳香族カルボニル化合物は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本実施形態のSnAg合金めっき液における芳香族カルボニル化合物の添加量は、一般に0.01mg/L以上500mg/Lの範囲、好ましくは0.1mg/L以上100mg/L以下の範囲、より好ましくは1mg/L以上50mg/L以下の範囲である。
本実施形態のSnAg合金めっき液は、例えば、水溶性錫化合物、水溶性銀化合物、スルフィド化合物およびその他の成分と、水とを混合することによって調製することができる。Sn2+イオンの酸化とAgイオンの還元反応を抑制するため、水溶性銀化合物は、水溶性錫化合物の溶液にスルフィド化合物を投入した後に、混合することが好ましい。
本実施形態のSnAg合金めっき液を用いたSnAg合金めっき膜の形成方法としては、電解めっきを用いることができる。
電解めっきによるSnAg合金めっき膜の形成は、10〜50℃の液温で、0.1〜50A/dmの電流密度で行うことが好ましい。より好ましくは、20〜30℃の液温で1〜20A/dmの電流密度である。
以上のような構成とされた本実施形態であるSnAg合金めっき液によれば、上述の式(I)または式(II)で表されるスルフィド化合物を、水溶性銀化合物中の銀1モルに対して0.25モル以上10モル以下の範囲の量にて含むので、長期間にわたって使用もしくは保存しても、めっき液中で銀が金属、または不溶性の塩として析出しにくく、SnAg合金めっき膜を安定して形成することが可能となる。
[スルフィド化合物の合成]
(合成例1)
濃硫酸200gと水100gとを混合して硫酸水容液を調製した。この硫酸水容液を10℃以下に氷冷しながら、3,6−ジチア−1,8−オクタンジオール(原料1)を18g加えて、撹拌混合した。得られた混合液を氷冷下で撹拌を続けながら、1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾール(原料2)を34g(1モルの原料1に対して2モルとなる量)、30分かけて加えて、スルフィド化合物が生成した反応混合液を得た。その後、反応混合液の温度を一度室温まで上げ、次いで氷水で希釈した後、スルフィド化合物をエーテル抽出し、MgSOを用いて乾燥後、分留して、下記の式で表されるスルフィド化合物(A)を得た(収率:83%)。
Figure 2017119911
(合成例2)
撹拌機と環流冷却機を付けた1Lの丸底フラスコに、1,2−ジブロモエタン(原料1)を187g、1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾール(原料2)を350g(1モルの原料1に対して2モルとなる量)、メタノールを400mL、ピリジンを85mLそれぞれ投入した。撹拌しながら、16時間煮沸還流した後、0℃にまで冷却した。冷却によって析出したスルフィド化合物をろ過・洗浄して、下記の式で表されるスルフィド化合物(B)を得た(収率:86%)。
Figure 2017119911
(合成例3〜7)
合成例1において、原料1として、3,6−ジチア−1,8−オクタンジオールの代わりに、下記の表1に記載の化合物を用い、原料1と原料2[1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾール]の配合比(モル比)を、下記の表1に記載の量としたこと以外は、合成例1と同様にして下記式で表されるスルフィド化合物(C)〜(G)を合成した。得られたスルフィド化合物の収率を表1に示す。
Figure 2017119911
Figure 2017119911
Figure 2017119911
Figure 2017119911
Figure 2017119911
Figure 2017119911
(合成例8〜22)
合成例2において、原料1として、1,2−ジブロモエタンの代わりに、下記の表2に記載の化合物を用い、原料1と原料2[1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾール]の配合比(モル比)を、下記の表2に記載の量としたこと以外は、合成例2と同様にして記式で表されるスルフィド化合物(H)〜(V)を得た。得られたスルフィド化合物の収率を表2に示す。
Figure 2017119911
Figure 2017119911
Figure 2017119911
Figure 2017119911
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Figure 2017119911
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Figure 2017119911
Figure 2017119911
[本発明例1〜4、比較例1、2]
(SnAg合金めっき液の作製)
遊離酸としてのメタンスルホン酸に、メタンスルホン酸Sn水溶液と、カテコールと、スルフィド化合物(A)もしくはスルフィド化合物(B)とを溶解させた後、メタンスルホン酸Ag水溶液を加え、そして最後にイオン交換水を加えて、下記表3に記載の組成のSnAg合金めっき液を作製した。なお、メタンスルホン酸Sn水溶液およびメタンスルホン酸Ag水溶液は、それぞれ金属Sn板、金属Ag板をメタンスルホン酸水溶液中で電解溶解させることにより調製した。
(評価)
作製したSnAg合金めっき液をガラス製の密封ボトルに入れ、Panasonic社製クリーンオーブン内にて、50℃で1カ月間保管した。保管後のSnAg合金めっき液の外観を観察し、作製初期の透明が維持されているか確認を行った。その結果を表3に示す。
Figure 2017119911
表3の評価結果から、SnAg合金めっき液中のAg1モルに対して、スルフィド化合物(A)を0.25モル以上加えることによって、保管に対する安定性が向上することが確認された。また、SnAg合金めっき液中のAg1モルに対して、スルフィド化合物(B)を0.5モル加えた場合も保管に対する安定性が向上することが確認された。これは、スルフィド化合物(A)およびスルフィド化合物(B)の場合、1分子内に硫黄原子を2個以上有するため、Agに対して少量であってもAgを安定化させることが出来たと考えられる。
[本発明例5]
(SnAg合金めっき液の作製)
遊離酸としてのメタンスルホン酸に、メタンスルホン酸Sn水溶液と、カテコールと、スルフィド化合物(A)とを溶解させた後、メタンスルホン酸Ag水溶液を加え、そして最後にイオン交換水を加えて、下記の組成のSnAg合金めっき液を作製した。
メタンスルホン酸Sn:50g/L(Sn2+として)
メタンスルホン酸Ag:0.5g/L(Agとして)
メタンスルホン酸:200g/L(遊離酸として)
カテコール:1g/L
スルフィド化合物(A):2モル(Ag1モルに対して)
イオン交換水:残部
[本発明例6〜26]
(SnAg合金めっき液の作製)
スルフィド化合物(A)の代わりに、錯体化剤としてスルフィド化合物(B)〜(V)を、それぞれAg1モルに対して2モルとなる量にて加えたこと以外は、本発明例5と同様にしてSnAg合金めっき液を作製した。
[比較例3]
(SnAg合金めっき液の作製)
スルフィド化合物(A)の代わりに、錯体化剤として5−メルカプト−1−フェニル−1H−テトラゾールをAg1モルに対して2モルとなるように加えたこと以外は、本発明例5と同様にしてSnAg合金めっき液を作製した。
[比較例4]
(SnAg合金めっき液の作製)
スルフィド化合物(A)の代わりに、錯体化剤として1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾールをAg1モルに対して2モルとなるように加えたこと以外は、本発明例5と同様にしてSnAg合金めっき液を作製した。
[比較例5]
(SnAg合金めっき液の作製)
スルフィド化合物(A)の代わりに、錯体化剤として3,6−ジチア−1,8−オクタンジオールをAg1モルに対して2モルとなるように加えたこと以外は、本発明例5と同様にしてSnAg合金めっき液を作製した。
[比較例6]
(SnAg合金めっき液の作製)
スルフィド化合物(A)の代わりに、錯体化剤として2,2’−ジチオジエタノールをAg1モルに対して2モルとなるように加えたこと以外は、本発明例5と同様にしてSnAg合金めっき液を作製した。
[比較例7]
(SnAg合金めっき液の作製)
スルフィド化合物(A)の代わりに、錯体化剤として1−(2−ジメチルアミノエチル)−5−メルカプトテトラゾールと3,6−ジチア−1,8−オクタンジオールとを、それぞれAg1モルに対して1モルずつとなるように加えたこと以外は、本発明例5と同様にしてSnAg合金めっき液を作製した。
(評価)
本発明例5〜26と比較例3〜7にて作製したSnAg合金めっき液について、経時安定性と電解安定性とを下記のようにして評価した。その結果を、SnAg合金めっき液に加えた錯体化剤の種類と共に表4に示す。
(1)経時安定性
作製したSnAg合金めっき液をガラス製の密封ボトルに入れ、Panasonic社製クリーンオーブン内にて50℃で6カ月間保管した。保管後のSnAg合金めっき液中に溶存しているAg濃度を、ICP発行分光装置を用いて分析した。そして、得られた保管後のAg濃度から下記の式より残存Ag量を算出した。
残存Ag量(%)=保管後のAg濃度/保管前のAg濃度×100
(2)電解安定性
作製したSnAg合金めっき液(10L)を、Pt板をアノード、SUS板をカソードとして25℃、5A/dmの条件で電解を行い、5Ah/L毎に電解で減少したのと同量の錫、および銀を補給する操作を繰り返し、200Ah/Lまで電解した。電解後のSnAg合金めっき液中に残存する錯体化剤の濃度を下記の方法により測定した。そして、得られた電解後の錯体化剤濃度から下記の式より残存Ag量を算出した。
残存錯体化剤量(%)=電解後の錯体化剤濃度/電解前の錯体化剤濃度×100
(錯体化剤の濃度測定方法)
電解後のSnAg合金めっき液をディスポーザブルシリンジでろ過した。得られたろ液の錯体化剤の濃度を、島津製作所製のHPLC装置を用いて測定した。HPLC装置の移動相はMeOHを用い、カラムは40℃に保温したL−Column ODSを用いて、流量1mL/min、注入量10μLの条件で測定を行った。
Figure 2017119911
表4の評価結果から、錯体化剤として、2個以上の硫黄原子と、ジメチルアミノアルキル基を有するテトラゾール基とを有するスルフィド化合物を含む本発明例5〜26のSnAg合金めっき液は、いずれも保管後の残存Ag量が90%以上と高く、また、電解後の残存錯体化剤量が80%以上と高いことがわかる。一方、錯体化剤として、1個の硫黄原子を有するテトラゾール(比較例3)、1個の硫黄原子とジメチルアミノアルキル基を有するテトラゾール(比較例4)、硫黄原子を2個有するジオール(比較例5)、硫黄原子を2個有するアルコール(比較例6)、1個の硫黄原子とジメチルアミノアルキル基を有するテトラゾールと硫黄原子を2個有するジオール(比較例7)とを含むSnAg合金めっき液は、いずれも保管後の残存Ag量が60%よりも低く、また、電解後の残存錯体化剤量が50%よりも低かった。
以上の評価結果から、本発明例5〜26のSnAg合金めっき液は、長期間にわたって使用もしくは保存しても、銀が不溶性の塩として析出しにくく、SnAg合金めっき膜を安定して形成することが可能となることが確認された。

Claims (5)

  1. 水溶性錫化合物と水溶性銀化合物とを含むSnAg合金めっき液であって、前記水溶性銀化合物中の銀1モルに対して0.25モル以上10モル以下の範囲のスルフィド化合物を含み、
    前記スルフィド化合物は、下記の式(I)または式(II)で表される化合物であることを特徴とするSnAg合金めっき液:
    Figure 2017119911
    式(I)中、Rは、単結合または2価の連結基を表し、Rは、水素原子、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、アリール基、アラルキル基またはアルコキシ基を表し、
    Figure 2017119911
    式(II)中、nは、2〜4の数を表し、Rは、n価の連結基を表す。
  2. 前記スルフィド化合物が、前記式(I)で表される化合物であって、Rが、単結合または2価の連結基を表し、2価の連結基としてのRは、置換基を有していてもよい炭化水素基,置換基を有していてもよい複素環基、カルボニル基(−CO−)、オキシ基(−O−)、炭素原子数が1〜8の範囲にあるアルキル基で置換されていてもよいイミノ基(−NR−:但し、Rは、水素原子もしくは炭素原子数が1〜8個の範囲にあるアルキル基である)、チオ基(−S−)、スルフィニル基(−SO−)、スルホニル基(−SO−)、−PO−基およびこれらを組合せた基からなる群より選ばれる2価の連結基であることを特徴とする請求項1に記載のSnAg合金めっき液。
  3. 前記スルフィド化合物が、前記式(II)で表される化合物であって、nが2であり、2価の連結基としてのRは、置換基を有していてもよい炭化水素基、置換基を有していてもよい複素環基、カルボニル基(−CO−)、オキシ基(−O−)、炭素原子数が1〜8の範囲にあるアルキル基で置換されていてもよいイミノ基(−NR−:但し、Rは、水素原子もしくは炭素原子数が1〜8個の範囲にあるアルキル基である)、チオ基(−S−)、スルフィニル基(−SO−)、スルホニル基(−SO−)、−PO−基およびこれらを組合せた基からなる群より選ばれる2価の連結基であることを特徴とする請求項1に記載のSnAg合金めっき液。
  4. 前記スルフィド化合物が、前記式(II)で表される化合物であって、nが3であり、Rが、3価の連結基であるか、または3価の連結基と2価の連結基とを組合せた基であることを特徴とする請求項1に記載のSnAg合金めっき液。
  5. 前記スルフィド化合物が、前記式(II)で表される化合物であって、nが4であり、Rが、4価の連結基であるか、または4価の連結基と2価の連結基とを組合せた基であることを特徴とする請求項1に記載のSnAg合金めっき液。
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