JP2017102194A - 電子写真感光体の製造方法における検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電子写真感光体の第二中間層の膜厚ムラや第二中間層を塗布した後に第二中間層の一部を剥離した場合の膜残りを精度よく欠陥として判断できる電子写真感光体の製造方法における検査方法を提供する。【解決手段】支持体、第一中間層、第二中間層、電荷発生層、表面層をこの順に有し、第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９であり、該電子写真感光体に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射し、該電子写真感光体に照射した光の反射光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の光を検出し、該検出された光の強度差により、電子写真感光体の欠陥の有無を検査する検査工程を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法における検査方法。【選択図】なし

Description

本発明は、電子写真感光体の製造方法における第二中間層の検査方法及び第二の層の検査方法に関する。

電子写真装置に用いられる電子写真感光体（以下、感光体ともいう）として、支持体上に導電性を有する第一中間層と、第一中間層上に電荷を輸送できる材料を含有する第二中間層、電荷発生物質を含有する電荷発生層及び電荷輸送物質を含有する表面層を有する電子写真感光体が用いられている。

このような電子写真感光体は、均一な画像を形成するために均一に塗布する（膜厚を均一にする）ことが求められる。塗布方法としては一般的には、塗布液中に円筒状基体を浸漬し、引き上げることにより、塗布膜を形成する浸漬塗布方法が挙げられる。しかしこの浸漬塗布方法においては、塗布工程における塗布液の淀み、指触及び乾燥工程における溶剤揮発、または、感光体の下端領域の剥離時の溶剤揮発による膜厚ムラや、剥離時の剥離残りが発生する場合がある。この膜厚ムラは、程度が大きくなると薄膜部分において耐久中にリークしてしまうことがあるため、電子写真感光体製造時の検査工程において選別する必要があり、特に第二中間層の膜厚ムラをなくすことは重要である。リークとは、電子写真感光体の局所部分で絶縁破壊が発生し、その部分に過剰な電流が流れる現象のことである。リークが発生すると、電子写真感光体を十分に帯電することができず、黒点、横黒スジなどの画像不良につながる。横黒スジとは、電子写真感光体の回転方向（周方向）に直交する方向の黒いスジである。
また、電子写真感光体の外周面の一部を剥離するときの、膜残りは、直上の塗膜との密着性低下を引き起こす場合がある。特に第二中間層の膜残りが多い場合は電子写真感光体の耐久性に影響する場合がある。

電子写真感光体の外観検査の方法としては、目視による検査や電子写真感光体に光を照射し、その反射光を受光手段で受光して検査する方法が挙げられる。特許文献１には、感光層を有する電子写真感光体に白色光を照射し、その反射光の波長範囲のうち特定波長以下の波長をカットする光学フィルタを通った反射光をＣＣＤイメージセンサが受光して、電子写真感光体の外観を検査する装置が開示されている。

特開２００４−１９１４６１号公報

しかしながら、本発明者らの検討の結果、検査の対象が、電子写真感光体の場合に、白色光を照射し、その反射光の波長範囲を変更しても、第二中間層の膜厚ムラや第二中間層を塗布した後に第二中間層の一部を剥離した場合の膜残りを精度よく欠陥として判断するには不充分であることがわかった。

すなわち、検査の対象が、電子写真感光体表面の場合、リークの原因になりやすい第二中間層の膜厚ムラや耐久性低下の原因になりやすい第二中間層の膜残りを欠陥と判断したいが、電荷発生層の膜厚ムラまたは表面層の膜厚ムラと区別できない場合があることがわかった。電荷発生層の膜厚ムラは、特に電荷発生層塗工下端側に発生しやすいため、そのような電荷発生層の直下の第二中間層において膜厚ムラまたは剥離残りがあるのかを判別することが困難であった。また、表面層の膜厚ムラは、表面層塗工上下端近傍で、塗膜の立ち上がりやダレなどで所望の膜厚がつかないことが多く、そのような表面層の下にある第二中間層において、膜厚ムラまたは剥離残りがあるのかを判別することが困難であった。

耐リーク性を向上させることに関しては、これらの電荷発生層および表面層の膜厚ムラは画像域外である場合が多く、画像への弊害は少ないが、外部から帯電はされているため、第二中間層の膜厚ムラを欠陥として判定する必要がある。

耐久性を向上させるためには、第二中間層の膜残りを低減して、直上の塗膜との密着性を向上させたいため、第二中間層の膜残りを欠陥として判定する必要がある。

検査の対象が、第二中間層の表面の場合であっても、膜厚ムラや膜残りを精度よく欠陥として判断するには不充分であることがわかり、欠陥があっても電荷発生層、表面層を塗工してしまう場合があった。

従って、第二中間層の表面の検査で、欠陥なしと判定されたもののみを次の工程に使用することが重要である。

また検査の対象が、任意に検査用として抜き取った第二の層（第二中間層とする）の表面の場合であっても、膜厚ムラや膜残りを精度よく欠陥として判断するには不充分であることがわかり、生産の安定性を確認できなかった。

従って、任意に抜き取った第二の層の表面の検査で、欠陥なしと判定された場合に、生産が安定していると推測できることが１つの指標となる。

本発明の一態様では、
支持体、該支持体の直上に第一中間層、第二中間層、電荷発生層、表面層をこの順に有する電子写真感光体の製造方法における検査方法であって、
第一中間層が金属酸化物を含有し、かつ第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）と第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）の比が、第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９ であり、
該電子写真感光体に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射し、
該電子写真感光体に照射した光の反射光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を検出し、該検出された光の強度差により、電子写真感光体の欠陥の有無を検査する検査工程を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法における検査方法を提供することにある。

また別の態様によれば、支持体、該支持体の直上に第一中間層、第二中間層、電荷発生層、表面層をこの順に有する電子写真感光体の製造方法であって、
第一中間層、第二中間層を形成する第一の工程、
該第一の工程後、被検査物である該第二中間層に光を照射し、その反射光を受光手段で受光し、該第二中間層の欠陥の有無を検査して、該被検査物を、下記（ａ）及び（ｂ）：
（ａ）該第二中間層に欠陥が有る被検査物、
（ｂ）該第二中間層に欠陥が無い被検査物、
のいずれかに判定する第二の工程、並びに
該第二の工程後、該第二中間層に欠陥が無い被検査物であると判定された被検査物に対して、電荷発生層、表面層をこの順に塗布する第三の工程を有し、
第一中間層が金属酸化物を含有し、かつ第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）と第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）の比が、第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９ であり、
該第二中間層に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射し、
該第二中間層に照射した光の反射光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を検出し、該検出された光の強度差により、第二中間層の欠陥の有無を検査する検査工程を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法を提供することにある。

また別の態様によれば、
第一の層、該第一の層の直上に第二の層を有する被検査物の該第二の層を検査する方法であって、
第一の層が金属酸化物を含有し、かつ第一の層の表面粗さ（Ｒｚ）と第二の層の表面粗さ（Ｒｚ）の比が、第二の層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一の層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９５ であり、かつ第二の層が、架橋剤を含む組成物の重合物を含有する硬化性樹脂膜であり、
該検査方法は、
該第二の層に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射し、
該第二の層に照射した光の反射光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を検出し、該検出された光の強度差により、第二の層の欠陥の有無を検査する検査工程を有することを特徴とする第二の層の検査方法を提供することにある。

本発明によれば、第二中間層の膜厚ムラまたは剥離部の膜残りを精度よく欠陥として判別できる電子写真感光体の製造方法における検査方法又は第二中間層を直接検査する電子写真感光体の製造方法における検査方法または第一の層の直上にある第二の層の膜厚ムラまたは剥離残りを精度よく判別できる検査方法を提供できる。

電子写真感光体の検査装置の概念的側面図を示す図である。 被検査物の電子写真感光体の断面の一例を示す図である。 被検査物の第一中間層上に第二中間層の塗膜を設けた場合の断面の一例を示す図である。

（検査方法）
本発明の検査方法は、
第一中間層が金属酸化物を含有することで、乱反射が引き起こされ、反射光が弱くなり、結果、反射光の出力画像上、暗い画像として取得される。

一方で、第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９であることで、第二中間層の粗さが相対的に小さいため、第二中間層からの乱反射が減り、その分、反射光の出力画像上で明るい画像として取得される。

第二中間層に膜厚ムラがある場合、第二中間層がより薄い部分で、第一中間層の暗さを反映しやすくなるため、より暗い画像となる。

第二中間層の膜残りがある場合、第二中間層が残存している部分は明るく、第二中間層が剥離されている部分（剥離部）は暗い画像となる。

このように、暗さと明るさの差（以下、反射光の強度差）を大きくすることができる手法として、被検査物に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射することが必要である。この領域にピークを有する照射光は、被検査物が、電子写真感光体である場合には、表面層、電荷発生層中の乱反射が抑制され、第二中間層に到達する光が多くなるため、第二中間層の欠陥を精度よく判定できる。

なお、上記波長域の波長にピークを有する照射光は電荷発生層の吸収を有する場合もあるが、電荷発生層を透過する量が多いため、第二中間層の欠陥を判定することが出来る。なお電荷発生層に膜厚ムラがあった場合でも、電荷発生層を透過する量が多いため、第二中間層の膜厚ムラや膜残りを精度よく判定できる。

このような照射光源としては、ＬＥＤや、キセノン、水銀・キセノンの輝線を用いることが挙げられ、欠陥を判定する精度が向上する。必要に応じて、放射輝度的に上記波長域の光が最も強ければ、上記以外の波長域の光は存在していてもよい。

また、被検査物からの反射光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を検出することで、反射光の強度差を高めることができる。これは第二中間層からの反射光を透過性の高い５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光とすることで、より明るく見えると考えている。

反射光を受光する装置としては、市販のラインセンサカメラを使用することが好ましい。受光素子としては３ＣＣＤカメラや、ＣＭＯＳなどが挙げられ、２００万〜５００万画素が好ましい。ＣＭＯＳを用いる場合は、受光素子の手前にカラーフィルタを設置して、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長を多く含む光とする。なお必要に応じて、上記波長領域を最も多く取り込むことができればよく、それ以外の波長域を含んでも良い。

反射光の強度差を算出する方法としては、反射光の最大輝度信号が飽和しない光量下において、特定輝度差を閾値として、特定輝度差の低い側の面積または、高い側の面積を算出して判定する方法が好ましい。

本発明は、また、第一中間層、第二中間層を形成する第一の工程で被検査物を作製し、
被検査物を、下記（ａ）及び（ｂ）：
（ａ）該第二中間層に欠陥が有る被検査物、
（ｂ）該第二中間層に欠陥が無い被検査物、
のいずれかに判定する第二の工程を設けて、第二中間層に欠陥が無い被検査物に対して、電荷発生層、表面層をこの順に塗布する第三の工程を有する。

この場合、検査の時点では、被検査物の直上に、電発生層や表面層がないため、表面層の透過性などを気にする必要はない。第二中間層の欠陥を直接見る方法であるため、精度が高い。

またこのような被検査物であっても第一中間層が金属酸化物を含有し、かつ第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９ であり、
第二中間層に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射し、
第二中間層に照射した光の反射光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を検出し、検出された光の強度差により、第二中間層の欠陥の有無を検査する検査工程を有することは、検査の精度という観点で、必要になっている。

本発明はまた、最終的な電子写真感光体にならない場合も含むため、第一の層、第二の層とも表現している。例えば、第一の層の直上に第二の層を有する被検査物として、第二の層を第二中間層とした場合、生産時に第二中間層まで作製した被検査物を検査用に抜き取り、欠陥の有無を判定し、最終的な製品までの生産の安定性を推測することができる。

またこのような被検査物であっても第一の層が金属酸化物を含有し、かつ第二の層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一の層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９であり、かつ第二の層が、架橋剤を含む組成物の重合物を含有する硬化性樹脂膜であり、
検査方法は、
第二の層に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射し、
第二の層に照射した光の反射光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を検出し、検出された光の強度差により、第二の層の欠陥の有無を検査する検査工程を有することは、検査の精度という観点で、必要になっている。

なお、支持体または第一中間層、電荷発生層、表面層の膜厚ムラを含む欠陥全般（例えば、得られる画像における、ポチ、傷、色ムラ等）は別の検査工程で行っても良い。

次に、本発明の検査工程について詳細を説明する。
まず、図１に、本発明の検査工程において検査される支持体ならびに検査に用いられる光源および受光手段を上からみたときの概略図の１例を示す。

図１中の支持体上には、第一中間層（不図示）と第一中間層の直上には第二中間層（不図示）、電荷発生層（不図示）、表面層（不図示）がこの順で形成されている。これが、被検査物の一例である。

支持体１を矢印Ａの方向に回転させながら、光源２から支持体１に対して光を矢印Ｂの方向に照射する。照射する光は、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有する光である。
照射された光は、矢印Ｃの方向に反射されて受光手段３で受光される。受光した光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を選択的に取り込むことで、第二中間層の膜厚ムラや膜残りがある場合は、反射光の強度に差が生じるため、その反射光の強度差を解析することで第二中間層に膜厚ムラや膜残りがあるかどうかを判断する。

図２は、この被検査物の構成を示す断面図である。被検査物は、図２中の支持体４上に、第一中間層５と第一中間層の直上には第二中間層６、電荷発生層７、表面層８がこの順で形成されている。

図３は、被検査物の第一中間層５上に第二中間層６の塗膜を設けた場合の断面の一例を示す図である。

〔支持体〕
支持体としては、導電性を有するもの（導電性支持体）が好ましい。例えば、アルミニウム、鉄、ニッケル、銅、金などの金属又は合金製の支持体を用いることができる。ポリエステル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリイミド樹脂、ガラスなどの絶縁性支持体上にアルミニウム、クロム、銀、金などの金属の薄膜を形成した支持体が挙げられる。

〔第一中間層〕
支持体上には、第一中間層が設けられる。
第一中間層は、金属酸化物粒子を含有する。第一中間層は、溶剤、結着樹脂などを用いて金属酸化物粒子を含有する第一中間層用塗布液を支持体上に塗布して塗膜を形成し、得られた塗膜を乾燥及び／又は硬化させることによって形成することができる。

第一中間層用塗布液の分散方法としては、例えば、ペイントシェーカー、サンドミル、ボールミル、液衝突型高速分散機を用いた方法が挙げられる。

結着樹脂としては、フェノール樹脂、ウレタン樹脂またはアミノ樹脂が挙げられる。

第一中間層用塗布液に用いられる溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノールなどのアルコールや、アセトン、メチルエチルケトン、シクロへキサノンなどのケトンや、テトラヒドロフラン、ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどのエーテルや、酢酸メチル、酢酸エチルなどのエステルや、トルエン、キシレンなどの芳香族炭化水素が挙げられる。

また、第一中間層の表面で反射した光が干渉して出力画像に干渉縞が発生することを抑制するため、第一中間層用塗布液には、第一中間層の表面を粗面化するための表面粗し付与材を含有させてもよい。表面粗し付与材としては、平均粒径が１μｍ以上５μｍ以下の樹脂粒子が好ましい。樹脂粒子としては、例えば、硬化性ゴム、ポリウレタン、エポキシ樹脂、アルキド樹脂、フェノール樹脂、ポリエステル、シリコーン樹脂、アクリル−メラミン樹脂などの硬化性樹脂の粒子が挙げられる。これらの中でも、凝集しにくいシリコーン樹脂の粒子が好ましい。また、第一中間層用塗布液には、第一中間層の表面性を高めるためのレベリング剤を含有させてもよい。また、第一中間層用塗布液には、第一中間層の隠蔽性をより向上させるため、顔料粒子を含有させてもよい。

金属酸化物粒子と結着樹脂の質量比率は５／１〜０．５／１が好ましく、より好ましくは３／１〜１／１の比率が好ましい。

また、第一中間層の膜厚は２〜４０μｍ、好ましくは１０〜３０μｍとするのが適当である。

第一中間層の基準長さ０．８ｍｍでの十点平均粗さＲｚｊｉｓは、０．５μｍ以上２．５μｍ以下であることが耐リーク性という観点で好ましい。

〔第二中間層〕
第一中間層上には、第二中間層が設けられる。
第二中間層は、樹脂を含有し、例えば、ポリビニルアルコール、ポリビニルメチルエーテル、ポリアクリル酸類、メチルセルロース、エチルセルロース、ポリグルタミン酸、カゼイン、でんぷんなどの水溶性樹脂や、ポリアミド、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド酸、メラミン樹脂、エポキシ樹脂、ポリウレタン、ポリグルタミン酸エステル、などが挙げられる。

また第二中間層は、有機電子輸送物質を含有してもよく、キノン化合物、イミド化合物、ベンズイミダゾール化合物、シクロペンタジエニリデン化合物が挙げられる。有機電子輸送物質は、電荷発生層への溶出を抑制するため、重合物に組み込まれていることが好ましいため、重合性官能基を有する電子輸送物質であることが好ましい。重合性官能基としては、ヒドロキシ基、チオール基、アミノ基、カルボキシル基、又はメトキシ基が挙げられる。以下に、電子輸送物質の具体例として、下記式（Ａ１）〜（Ａ１１）のいずれかで示される化合物を示す。

式（Ａ１）〜（Ａ１１）中、Ｒ^１１〜Ｒ^１６、Ｒ^２１〜Ｒ^３０、Ｒ^３１〜Ｒ^３８、Ｒ^４１〜Ｒ^４８、Ｒ^５１〜Ｒ^６０、Ｒ^６１〜Ｒ^６６、Ｒ^７１〜Ｒ^７８、Ｒ^８１〜Ｒ^９０、Ｒ^９１〜Ｒ^９８、Ｒ^１０１〜Ｒ^１１０、Ｒ^１１１〜Ｒ^１２０は、それぞれ独立に、下記式（Ａ）で示される１価の基、水素原子、シアノ基、ニトロ基、ハロゲン原子、アルコキシカルボニル基、置換もしくは無置換のアルキル基、置換もしくは無置換のアリール基、又は置換もしくは無置換の複素環を示す。アルキル基の主鎖中のＣＨ_２の１つがＯ、Ｓ、ＮＨ又はＮＲ^１２１（Ｒ^１２１はアルキル基）で置き換わっていても良い。Ｒ^１１〜Ｒ^１６の少なくとも１つ、Ｒ^２１〜Ｒ^３０の少なくとも１つ、Ｒ^３１〜Ｒ^３８の少なくとも１つ、Ｒ^４１〜Ｒ^４８の少なくとも１つ、Ｒ^５１〜Ｒ^６０の少なくとも１つ、Ｒ^６１〜Ｒ^６６の少なくとも１つ、Ｒ^７１〜Ｒ^７８の少なくとも１つ、Ｒ^８１〜Ｒ^９０の少なくとも１つ、Ｒ^９１〜Ｒ^９８の少なくとも１つ、Ｒ^１０１〜Ｒ^１１０の少なくとも１つ、Ｒ^１１１〜Ｒ^１２０の少なくとも１つは、式（Ａ）で示される１価の基を有する。

置換のアルキル基の置換基は、アルキル基、アリール基、ハロゲン原子、アルコキシカルボニル基である。置換のアリール基の置換基、置換の複素環基の置換基は、ハロゲン原子、ニトロ基、シアノ基、アルキル基、ハロゲン置換アルキル基、アルコキシ基である。Ｚ^２１、Ｚ^３１、Ｚ^４１及びＺ^５１は、それぞれ独立に、炭素原子、窒素原子、又は酸素原子を示す。Ｚ^２１が酸素原子である場合はＲ^２９及びＲ^３０は存在せず、Ｚ^２１が窒素原子である場合はＲ^３０は存在しない。Ｚ^３１が酸素原子である場合はＲ^３７及びＲ^３８は存在せず、Ｚ^３１が窒素原子である場合はＲ^３８は存在しない。Ｚ^４１が酸素原子である場合はＲ^４７及びＲ^４８は存在せず、Ｚ^４１が窒素原子である場合はＲ^４８は存在しない。Ｚ^５１が酸素原子である場合はＲ^５９及びＲ^６０は存在せず、Ｚ^５１が窒素原子である場合はＲ^６０は存在しない。

式（Ａ）中、α、β、及びγの少なくとも１つは置換基を有する基であり、置換基は、ヒドロキシ基、チオール基、アミノ基、カルボキシル基及びメトキシ基からなる群より選択される少なくとも１種の基である。ｌ及びｍは、それぞれ独立に、０又は１であり、ｌとｍの和は、０以上２以下である。
αは、主鎖の原子数が１〜６のアルキレン基、炭素数１〜６のアルキル基で置換された主鎖の原子数が１〜６のアルキレン基、ベンジル基で置換された主鎖の原子数１〜６のアルキレン基、アルコシキカルボニル基で置換された主鎖の原子数１〜６のアルキレン基、又はフェニル基で置換された主鎖の原子数が１〜６のアルキレン基を示す。これらの基は、置換基として、ヒドロキシ基、チオール基、アミノ基、カルボキシル基及びメトキシ基からなる群より選択される少なくとも１種の基を有しても良い。アルキレン基の主鎖中のＣＨ_２の１つは、Ｏ、Ｓ、ＮＲ^１２２（式中、Ｒ^１２２は、水素原子、又はアルキル基を示す。）で置き換わっても良い。
βは、フェニレン基、炭素数１〜６のアルキル置換フェニレン基、ニトロ置換フェニレン基、ハロゲン基置換フェニレン基、又はアルコキシ基置換フェニレン基を示す。これらの基は、置換基として、ヒドロキシ基、チオール基、アミノ基、カルボキシル基及びメトキシ基からなる群より選択される少なくとも１種の基を有しても良い。
γは、水素原子、主鎖の原子数が１〜６のアルキル基、又は炭素数１〜６のアルキル基で置換された主鎖の原子数が１〜６のアルキル基を示す。これらの基は、置換基として、ヒドロキシ基、チオール基、アミノ基、カルボキシル基及びメトキシ基からなる群より選択される少なくとも１種の基を有しても良い。アルキル基の主鎖中のＣＨ_２の１つは、Ｏ又はＳ又はＮＲ^１２３（式中、Ｒ^１２３は、水素原子又はアルキル基を示す。）で置き換わっていても良い。

具体的には、Ａ１０１で示される構造式となり、

またはＡ１０２で示される構造式などが挙げられる。

本発明では、より好ましくは、第二中間層が有機電子輸送物質を含有する重合物の組成物であることが、乱反射が抑制され、反射光の強度が高くなるため、検査の精度が向上する。

また第二中間層は必要に応じて、金属酸化物を含有しても良い。

〔電荷発生層〕
第二中間層上には、電荷発生層が形成される。
本発明に用いられる電荷発生物質としては、検査工程に用いられる光の波長を吸収する特性を有するものが用いられる。具体的には、アゾ顔料、フタロシアニン顔料、インジゴ顔料、ペリレン顔料、多環キノン顔料、スクワリリウム色素、チアピリリウム塩、トリフェニルメタン色素、キナクリドン顔料や、アズレニウム塩顔料、シアニン染料、アントアントロン顔料、ピラントロン顔料、キサンテン色素、キノンイミン色素、スチリル色素などが挙げられる。これら電荷発生物質は１種のみ用いてもよく、２種以上用いてもよい。これら電荷発生物質の中でも、感度の観点から、フタロシアニン顔料やアゾ顔料が好ましく、特にはフタロシアニン顔料がより好ましい。

フタロシアニン顔料の中でも、特にオキシチタニウムフタロシアニンあるいはクロロガリウムフタロシアニン、ヒドロキシガリウムフタロシアニンが優れた電荷発生効率を示す。さらに、ヒドロキシガリウムフタロシアニンの中でも、感度の観点から、ＣｕＫα特性Ｘ線回折におけるブラッグ角２θが７．４°±０．３°および２８．２°±０．３°にピークを有する結晶形のヒドロキシガリウムフタロシアニン結晶がより好ましい。

電荷発生層に用いられる結着樹脂としては、アクリル樹脂、アリル樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂、ジアリルフタレート樹脂、スチレン−ブタジエンコポリマー、ブチラール樹脂、ベンザール樹脂、ポリアクリレート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアリルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリプロピレン樹脂、メタクリル樹脂、ユリア樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニルコポリマー、酢酸ビニル樹脂、塩化ビニル樹脂が挙げられる。これらの中でも、特には、ブチラール樹脂が好ましい。これらは、単独、混合または共重合体として１種または２種以上用いることができる。

電荷発生層は、電荷発生物質を結着樹脂および溶剤とともに分散処理して得られる電荷発生層用塗布液を塗布し、これを乾燥させることによって形成することができる。また、電荷発生層は、電荷発生物質の蒸着膜としてもよい。

分散方法としては、ホモジナイザー、超音波分散機、ボールミル、サンドミル、ロールミル、振動ミル、アトライター、液衝突型高速分散機を用いた方法が挙げられる。

電荷発生物質と結着樹脂との割合は、結着樹脂１質量部に対して電荷発生物質が０．３質量部以上１０質量部以下であることがより好ましい。

電荷発生層用塗布液に用いられる溶剤は、アルコール系溶剤、スルホキシド系溶剤、ケトン系溶剤、エーテル系溶剤、エステル系溶剤、脂肪族ハロゲン化炭化水素系溶剤、芳香族化合物などが挙げられる。電荷発生層の膜厚は、０．０１μｍ以上５μｍ以下であることが好ましく、０．１μｍ以上２μｍ以下であることがより好ましい。また、電荷発生層には、種々の増感剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤を必要に応じて添加することもできる。

〔表面層〕
電荷発生層上には、表面層が形成される。
本発明で用いられる電荷輸送物質としては、トリアリールアミン化合物、ヒドラゾン化合物、スチリル化合物、スチルベン化合物、ブタジエン化合物などが挙げられる。これら電荷輸送物質は、１種のみ用いてもよく、２種以上用いてもよい。これらの中でも、電荷の移動度の観点から、トリアリールアミン化合物が好ましい。

積層型感光層である場合、表面層に用いられる結着樹脂としては、アクリル樹脂、アクリロニトリル樹脂、アリル樹脂、アルキッド樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアクリルアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアリルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリフェニレンオキシド樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリプロピレン樹脂、メタクリル樹脂などが挙げられる。これらの中でも、ポリアリレート樹脂、ポリカーボネート樹脂が好ましい。これらは、単独、混合または共重合体として１種または２種以上用いることができる。

表面層は、電荷輸送物質と結着樹脂を溶剤に溶解させて得られる表面層用塗布液を塗布し、これを乾燥させることによって形成することができる。表面層における電荷輸送物質と結着樹脂との割合は、結着樹脂１質量部に対して電荷輸送物質が０．３質量部以上１０質量部以下であることが好ましい。また、表面層のクラックを抑制する観点から、乾燥温度は６０℃以上１５０℃以下が好ましく、８０℃以上１２０℃以下がより好ましい。また、乾燥時間は１０分以上６０分以下が好ましい。

表面層用塗布液に用いられる溶剤としては、プロパノールやブタノールなどのアルコール系溶剤（特に炭素原子数３以上のアルコール）、アニソール、トルエン、キシレン、クロロベンゼンなどの芳香族炭化水素系溶剤、メチルシクロヘキサン、エチルシクロヘキサンなどが挙げられる。

本発明において、被検査物が電子写真感光体の場合、第二中間層まで入る光を強くしたいため、照射する光に対して、表面層の透過率が９７％以上であることが反射光の強度差が高くなり好ましい。

本発明において、表面層の膜厚ムラや膜厚が異なっていても、第二中間層の膜厚ムラや膜残りは精度よく判定できる。

電子写真感光体の表面層が１層である場合、その表面層の膜厚は５μｍ以上４０μｍ以下であることが好ましく、透過性という観点で、８μｍ以上３０μｍ以下であることがより好ましい。

表面層を積層構成とした場合、支持体側の層の膜厚は、５μｍ以上２０μｍ以下であることが好ましく、表面側の層の膜厚は、１μｍ以上８μｍ以下であることが好ましい。

積層構成とした場合の透過率は、すべての層の透過率が９７％以上であることが好ましい。

また、表面層には、酸化防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤などを必要に応じて添加することもできる。

また、電子写真感光体の表面層には、シリコーンオイル、ワックス、ポリテトラフルオロエチレン粒子などのフッ素原子含有樹脂粒子、シリカ粒子、アルミナ粒子、窒化ホウ素などの潤滑剤を含有させてもよい。

上記各層の塗布液を塗布する際には、例えば、浸漬塗布法（浸漬コーティング法）、スプレーコーティング法、スピンナーコーティング法、ローラーコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ブレードコーティング法などの塗布方法を用いることができる。

以下に、具体的な実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。ただし、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、実施例中の「部」は「質量部」を意味する。

（実施例１）
長さ２６０．５ｍｍ、直径３０ｍｍのアルミニウムシリンダー（ＪＩＳ−Ａ３００３、アルミニウム合金）を支持体（導電性支持体）とした。

第一中間層：
金属酸化物粒子としての酸素欠損型酸化スズ（ＳｎＯ_２）が被覆されている酸化チタン（ＴｉＯ_２）粒子（個数平均一次粒子径２００ｎｍ）２１４部、結着樹脂としてのフェノール樹脂（商品名：プライオーフェンＪ−３２５）１３２部、及び、
メタノール４０部、１−メトキシ−２−プロパノール５８部を、
直径０．８ｍｍのガラスビーズ４５０部を用いたサンドミルに入れ、回転数：２０００ｒｐｍ、分散処理時間：４．５時間、冷却水の設定温度：１８℃の条件で分散処理を行い、分散液を得た。この分散液からメッシュ（目開き：１５０μｍ）でガラスビーズを取り除いた。ガラスビーズを取り除いた後の分散液中の金属酸化物粒子と結着樹脂の合計質量に対して０．０１質量％になるように、レベリング剤としてのシリコーンオイル（東レダウコーニング社製、ＳＨ２８ＰＡ）及び１５質量％になるように、シリコーン樹脂粒子（モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製、トスパール１２０）を分散液に添加した。この分散液を撹拌することによって、第一中間層用塗布液を調製した。この第一中間層用塗布液を支持体上に浸漬塗布し、得られた塗膜を６０分間１６０℃で乾燥・熱硬化させることによって、膜厚が３０．２μｍの第一中間層を形成した。

第一中間層の塗膜形成の際、シリンダーは塗布液中に長手鉛直方向に浸漬するが、シリンダーの上端から２ｍｍまでの領域は未塗布とした。さらに、シリンダーの下端から２ｍｍまでの領域は、浸漬し引き上げた後、ゴムブレードで拭き取り、支持体のアルミニウム面を露出させた。また、第一中間層のシリンダー上端から１３０ｍｍ位置の表面を、表面粗さ測定器（サーフコーダーＳＥ−３４００、小坂研究所（株）製）を用いて測定し、ＪＩＳ Ｂ ０６０１：２００１における十点平均粗さ（Ｒｚｊｉｓ）評価に則った評価（基準長さ０．８ｍｍ）を行ったところ、Ｒｚは２．０μｍであった。

第二中間層：
上記第一中間層上に第二中間層を以下のように形成した。
Ｎ−メトキシメチル化ナイロン（商品名：トレジンＥＦ−３０Ｔ、ナガセケムテックス（株）（旧・帝国化学産業（株））製）４．５部および共重合ナイロン樹脂（商品名：アミランＣＭ８０００、東レ（株）製）１．５部を、メタノール６５部／ｎ−ブタノール３０部の混合溶剤に溶解させることによって、第二中間層用塗布液を調製した。この第二中間層用塗布液を上記第一中間層上に浸漬塗布し、これを６分間７０℃で乾燥させることによって、膜厚が０．４μｍの第二中間層を形成した。この状態で表面粗さを測定するとＲｚは１．８μｍであった。

電荷発生層：
ヒドロキシガリウムフタロシアニン結晶（電荷発生物質、ＣｕＫα特性Ｘ線回折におけるブラッグ角（２θ±０．２°）の７．５°、９．９°、１２．５°、１６．３°、１８．６°、２５．１°及び２８．３°にピークを有する）１０部、
ポリアセタール樹脂（商品名：エスレックＢＸ−１、積水化学工業（株）製）５部及び
シクロヘキサノン２５０部を、直径１ｍｍのガラスビーズを用いたサンドミルに入れ、１．５時間分散処理した。次に、これに酢酸エチル２５０部を加えることによって、電荷発生層用塗布液を調製した。電荷発生層用塗布液を、上記第二中間層及び露出した第一中間層面上に浸漬塗布し、得られた塗膜を１０分間１００℃で乾燥させることによって、膜厚が０．２μｍの電荷発生層を形成した。

電荷発生層の塗膜形成の際、シリンダーは塗布液中に長手鉛直方向に浸漬するが、シリンダーの上端から３ｍｍまでの領域は未塗布とした。さらに、シリンダーの下端３ｍｍまでの領域は、シリンダーを塗布液中に浸漬し引き上げた後、ゴムブレードで拭き取った。

表面層：
電荷輸送物質として下記式（１）で示されるアミン化合物７部と、
式（２）と式（３）で示される構造単位を有し、式（２）と（３）のモル比率が５／５である重量平均分子量が１２０，０００であるポリエステル樹脂１０部を、
ジメトキシメタン５０部とＯ−キシレン５０部の混合溶剤に溶解させ、さらに、シリカ微粒子（信越化学（株）製ＫＭＰＸ−１００：平均一次粒径０．１μｍ）を固形分に対して、２質量％添加し、撹拌することによって、表面層用塗布液を調製した。この表面層用塗布液を、上記電荷発生層上に浸漬塗布し、得られた塗膜を２０分間１２０℃で乾燥させることによって、膜厚が２０μｍの表面層を形成した。
表面層の塗膜形成の際、シリンダーの上端から３ｍｍまでの領域は未塗布とした。さらに、シリンダーの下端から３ｍｍまでの領域は、浸漬し引き上げた後拭き取った。

以上のようにして、支持体の上端及び下端から１５ｍｍ位置までの領域は、支持体上に第一中間層、電荷発生層、表面層をこの順に有し、かつ、支持体の上端から１５ｍｍ位置から下端から１５ｍｍ位置までの領域は、支持体上に第一中間層、第二中間層、電荷発生層及び表面層をこの順に有する電子写真感光体を製造した。透過率測定用に別途サンプルを作製し、評価した。

透過率測定用の装置として、日本分光（株）製の紫外可視分光光度計Ｖ−５７０を使用した。表面層用塗布液をガラスプレート上に同様の条件で浸漬塗布、乾燥し、膜厚２０μｍとした。
透過率は、装置の固定波長測定モードを用いて測定した。まず、ガラスプレートのみを測定位置にセットし、そのときの透過率が１００％になるようゼロ点調整を行った。
次に、表面層を形成したガラスサンプルを測定位置にセットし、照射光のピーク波長における透過率を測定した。その結果、表面層の透過率は９５％であった。

第二中間層の塗工方法として、わざと膜厚ムラを発生させるために、感光体ドラムの長手方向中央部に風を送り、膜厚ムラを作った。以下、この製法を「１Ａ製法」という。

第二中間層の塗膜形成の際、シリンダーは塗布液中に長手鉛直方向に浸漬するが、シリンダーの上端から１５ｍｍまでの領域は未塗布とし、第一中間層面を露出させた。さらに、シリンダーの下端から１５ｍｍまでの領域は、シリンダーを塗布液中へ浸漬し引き上げた後、シクロヘキサノン溶剤であらかじめ濡らした後、ゴムブレードで５秒間拭き取り、第二中間層の膜残りがある状態で、第一中間層面を一部露出させた。

検査の条件は表１に示す条件で、実施し、感光体２４本を検査して、欠陥の取り込み本数を検討して、検査の精度を見た。
検査条件
照射波長：６３３ｎｍ
照射光源：水銀・キセノンの輝線
受光波長：
２００万画素のＣＭＯＳを使用して、受光素子の入る手前でカットフィルターを装着し、６００ｎｍよりも長波長側を取り込んだ。

検査の結果、膜厚ムラ及び膜残りはそれぞれ、２４本中、２２本と２３本であった。従って、本願発明の検査の精度は高いことが明らかとなった。

（実施例２）
実施例１において、第二中間層において膜厚ムラが出ないように風を止めて、また膜残りがないように、剥離時の時間を５０秒として電子写真感光体を作製した以外は、実施例１と同様にして検査を行った。以下、この製法を「１Ｂ製法」という。

（実施例３）
実施例１において、第二中間層の膜厚を１．０μｍとし、表面層のシリカ微粒子を除き、電荷発生層の膜厚を０．１５μｍとし、かつ検査方法を以下とした以外は実施例１と同様にして電子写真感光体の検査を行った。
検査条件
照射波長：６３０ｎｍ
照射光源：赤色ＬＥＤ
受光波長：３ＣＣＤを用いて、５５０ｎｍ〜８３０ｎｍの反射光を取り込んだ。

（実施例４）
実施例３において、１Ｂ製法に代えた以外は、実施例３と同様にして電子写真感光体の検査を行った。

（実施例５）
実施例３において第一中間層用塗布液に添加するシリコーン樹脂粒子を１０質量％に変更した。さらに、第二中間層を以下に代えた以外は実施例３と同様にして電子写真感光体の検査を行った。
電子輸送物質（Ａ１０１）を４部、
架橋剤（ＳＢＮ−７０Ｄ（旭化成ケミカルズ（株）製））を５．５部、
樹脂（ＫＳ−５Ｚ（積水化学工業（株）製））を０．３部、
触媒としてのヘキサン酸亜鉛（ＩＩ）（三津和化学薬品（株）製）０．０５部を、
テトラヒドロフラン５０部と１−メトキシ−２−プロパノール５０部の混合溶媒に溶解し、撹拌することによって、第二中間層用塗布液を調製した。この第二中間層用塗布液を第一中間層上に浸漬塗布し、得られた塗膜を６０分間１６０℃で加熱し、重合させることによって、膜厚が０．７μｍの第二中間層を形成した。

（実施例６）
実施例５において、１Ｂ製法に代えた以外は、実施例５と同様にして電子写真感光体の検査を行った。

（実施例７）
実施例３において第一中間層用塗布液に添加するシリコーン樹脂粒子を添加せず、さらに、第二中間層の膜厚を１．５μｍとした以外は実施例３と同様にして電子写真感光体の検査を行った。

（実施例８）
実施例７において、１Ｂ製法に代えた以外は、実施例７と同様にして電子写真感光体の検査を行った。

（実施例９）
実施例５において第二中間層を以下に代えて、第二中間層を形成した後に検査を行った以外は実施例５と同様にして検査を行った。
第二中間層：
Ｎ−メトキシメチル化ナイロン（商品名：トレジンＥＦ−３０Ｔ、ナガセケムテックス（株）（旧・帝国化学産業（株））製）４．５部および共重合ナイロン樹脂（商品名：アミランＣＭ８０００、東レ（株）製）１．５部を、メタノール４５部／ｎ−ブタノール１０部の混合溶剤に溶解させることによって、第二中間層用塗布液を調製した。この第二中間層用塗布液を第一中間層上に浸漬塗布し、これを６分間７０℃で乾燥させることによって、膜厚が１．２μｍの第二中間層を形成した。

（実施例１０）
実施例９において、１Ｂ製法に代えた以外は、実施例９と同様にして第二中間層を形成した後に検査を行った。

（実施例１１）
実施例５において第二中間層を形成した後に検査を行った以外は実施例５と同様にして検査を行った。

（実施例１２）
実施例１１において、１Ｂ製法に代えた以外は、実施例１１と同様にして第二中間層を形成した後に検査を行った。

（比較例１）
実施例３において、検査方法を以下に変更した以外は実施例３と同様にして電子写真感光体の検査を行った。
検査条件
照射光源：水銀・キセノン（白色光）
受光波長：３ＣＣＤを用いて、５５０ｎｍ〜８３０ｎｍの反射光を取り込んだ。

（比較例２）
比較例１において、１Ｂ製法に代えた以外は、比較例１と同様にして電子写真感光体の検査を行った。

（比較例３）
実施例７において、第二中間層を以下に変更した以外は実施例７と同様にして電子写真感光体の検査を行った。
第二中間層：
Ｎ−メトキシメチル化ナイロン（商品名：トレジンＥＦ−３０Ｔ、ナガセケムテックス（株）（旧・帝国化学産業（株））製）４．５部および共重合ナイロン樹脂（商品名：アミランＣＭ８０００、東レ（株）製）１．５部を、メタノール１００部／ｎ−ブタノール２０部の混合溶剤に溶解させることによって、第二中間層用塗布液を調製した。この第二中間層用塗布液を第一中間層上に浸漬塗布し、これを６分間７０℃で乾燥させることによって、膜厚が０．２μｍの第二中間層を形成した。

（比較例４）
比較例３において、１Ｂ製法に代えた以外は、比較例３と同様にして電子写真感光体の検査を行った。

（比較例５）
実施例９において、検査方法を以下に変更した以外は実施例９と同様にして第二中間層を形成した後に検査を行った。
検査条件
照射波長：６３０ｎｍ
照射光源：赤色ＬＥＤ
受光波長：全反射領域

（比較例６）
比較例５において、１Ｂ製法に代えた以外は、比較例５と同様にして第二中間層を形成した後に検査を行った。

（比較例７）
実施例１１において、検査方法を以下に変更した以外は実施例１１と同様にして第二中間層を形成した後に検査を行った。
検査条件
照射光源：水銀・キセノン（白色光）
受光波長：全反射領域

（比較例８）
比較例７において、１Ｂ製法に代えた以外は、比較例７と同様にして第二中間層を形成した後に検査を行った。

１ 支持体 ２ 光源 ３ 受光手段
４ 支持体 ５ 第一中間層 ６ 第二中間層 ７ 電荷発生層 ８ 表面層

Claims (10)

1. 支持体、該支持体の直上に第一中間層、第二中間層、電荷発生層、表面層をこの順に有する電子写真感光体の製造方法における検査方法であって、
   該第一中間層が金属酸化物を含有し、かつ第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）と第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）の比が、第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９であり、
   該電子写真感光体に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射し、
   該電子写真感光体に照射した光の反射光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を検出し、該検出された光の強度差により、電子写真感光体の欠陥の有無を検査する検査工程を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法における検査方法。
2. 前記表面層の照射する光に対する透過率が、９７％以上である請求項１に記載の電子写真感光体の製造方法における検査方法。
3. 前記第二中間層を塗布した後、第二中間層の一部を剥離する工程を有する請求項１または２に記載の電子写真感光体の製造方法における検査方法。
4. 前記剥離する工程の後に、剥離部において、第二中間層に存在する欠陥の有無を検査する請求項３に記載の電子写真感光体の製造方法における検査方法。
5. 前記第二中間層が、有機電子輸送物質を含有する重合物の組成物である請求項１〜４のいずれか１項に記載の電子写真感光体の製造方法における検査方法。
6. 支持体、該支持体の直上に第一中間層、第二中間層、電荷発生層、表面層をこの順に有する電子写真感光体の製造方法であって、
   該第一中間層、該第二中間層を形成する第一の工程、
   該第一の工程の後、被検査物である第二中間層に光を照射し、その反射光を受光手段で受光し、該第二中間層の欠陥の有無を検査して、該被検査物を、下記（ａ）及び（ｂ）：
   （ａ）該第二中間層に欠陥が有る被検査物、
   （ｂ）該第二中間層に欠陥が無い被検査物、
   のいずれかに判定する第二の工程、並びに
   該第二の工程の後、該第二中間層に欠陥が無い被検査物であると判定された被検査物に対して、電荷発生層、表面層をこの順に塗布する第三の工程を有し、
   該第一中間層が金属酸化物を含有し、かつ第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）と第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）の比が、第二中間層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一中間層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９であり、
   該第二中間層に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射し、
   該第二中間層に照射した光の反射光のうち、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を検出し、該検出された光の強度差により、第二中間層の欠陥の有無を検査する検査工程を有することを特徴とする電子写真感光体の製造方法。
7. 前記第二中間層を塗布した後、第二中間層の一部を剥離する工程を有する請求項６に記載の電子写真感光体の製造方法。
8. 前記剥離する工程の後に、剥離部において、第二中間層に存在する欠陥の有無を検査する請求項７に記載の電子写真感光体の製造方法。
9. 前記第二中間層が、有機電子輸送物質を含有する重合物の組成物である請求項６〜８のいずれか１項に記載の電子写真感光体の製造方法。
10. 第一の層、該第一の層の直上に第二の層を有する被検査物の該第二の層を検査する方法であって、
    第一の層の表面粗さ（Ｒｚ）と第二の層の表面粗さ（Ｒｚ）の比が、第二の層の表面粗さ（Ｒｚ）／第一の層の表面粗さ（Ｒｚ）≦０．９であり、かつ第二の層が、架橋剤を含む組成物の重合物を含有する硬化性樹脂膜であり、
    該検査方法は、
    該第二の層に、６２０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長にピークを有し、かつ該ピークの半値幅が１０ｎｍ以上である光を照射し、
    該第二の層に照射した光の反射光のうち、５５０ｎｍ以上、８３０ｎｍ以下の波長の光を検出し、該検出された光の強度差により、第二の層の欠陥の有無を検査する検査工程を有することを特徴とする第二の層の検査方法。

Images