JP2017102068A - パーティクルカウンタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 照射光学系12は、光源1からの光を分岐して得られる複数の光のうちの1つの光を、流路2a内を流れる流体に照射して、検出領域を形成する。検出光学系13は、その検出領域内の流体に含まれる粒子からの散乱光のうち、照射光学系の光軸とは異なる方向の散乱光を、ビームスプリッタ17に入射させる。他方、回折光学系15およびミラー16は、その複数の光のうちの別の光を空間的に複数の光に分離し、その複数の光を複数の参照光としてビームスプリッタ17に入射させる。検出部4は、ビームスプリッタ17によって得られる、散乱光といずれかの参照光との干渉光を、その参照光に対応する受光部で受光して、その干渉光に対応する検出信号を生成し、計数部6は、その検出信号に基づいて粒子の計数を行う。
【選択図】 図1
Description
4 検出部
5 フィルタ
6 計数部
11 ビームスプリッタ
12 照射光学系
13 検出光学系
15 回折光学系(参照光学系の一例の一部)
16 ミラー(参照光学系の一例の一部)
17 ビームスプリッタ(光重畳部の一例)
21a,21b 受光素子
Claims (5)
- 光源と、
2つの光を空間的に重畳する光重畳部と、
前記光源からの光を分岐して得られる複数の光のうちの1つの光を流路内を流れる流体に照射して検出領域を形成する照射光学系と、
前記検出領域内の前記流体に含まれる粒子からの散乱光のうち、前記照射光学系の光軸とは異なる方向の散乱光を、前記光重畳部に入射させる検出光学系と、
前記複数の光のうちの別の1つの光を空間的に複数の光に分離し、前記複数の光を複数の参照光として前記光重畳部に入射させる参照光学系と、
前記複数の参照光に対応する複数の受光部を備え、前記光重畳部によって得られる、前記散乱光と前記参照光との干渉光を、その参照光に対応する前記受光部で受光して前記干渉光に対応する検出信号を生成する検出部と、
前記検出信号に基づいて前記粒子の計数を行う計数部と、
を備えることを特徴とするパーティクルカウンタ。 - 前記参照光学系は、回折格子で、前記複数の光のうちの別の1つの光を空間的に複数の光に分離することを特徴とする請求項1記載のパーティクルカウンタ。
- 前記検出光学系および前記参照光学系は、前記検出領域内の粒子からの前記散乱光の波面形状と前記複数の参照光のいずれかの波面形状が略一致するように前記散乱光および前記複数の参照光を出射することを特徴とする請求項1または請求項2記載のパーティクルカウンタ。
- 前記干渉光を、前記複数の受光部のうち、前記検出領域内の粒子の光軸からの距離に対応する前記受光部へ入射させる集光部をさらに備えることを特徴とする請求項1から請求項3のうちのいずれか1項記載のパーティクルカウンタ。
- 前記光重畳部は、ビームスプリッタであり、前記散乱光の透過成分と前記参照光の反射成分とによる第1干渉光と、前記散乱光の反射成分と前記参照光の透過成分とによる第2干渉光とを生成し、
前記検出部は、前記複数の参照光に対応する複数の受光部をそれぞれ備える2つの受光素子におけるいずれかの受光部で前記第1干渉光および前記第2干渉光をそれぞれ受光し、前記第1干渉光に対応する電気信号および前記第2干渉光に対応する電気信号の差分を前記検出信号とすること、
を特徴とする請求項1から請求項4のうちのいずれか1項記載のパーティクルカウンタ。
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