JP2017069082A - セラミックヒータ及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のセラミックヒータ11は、セラミック製の筒状のヒータ本体13と、ヒータ本体13に外嵌される金属製の環状のフランジ15とを備える。フランジ15は、第1面S1及び第2面S2を貫通する穴部27を有し、第1面S1側に凹状部分16を有する。凹状部分16には、ガラス33が充填されたガラス溜り部35を有する。ガラス溜り部35に配置されたガラス33を介して、フランジ15及びヒータ本体13が接合される。フランジ15の第2面S2側において少なくとも穴部27の周囲の表層部は、フランジ15の内層部に比べて、金属組織の結晶粒界が潰れた状態となっている。
【選択図】図6
Description
<実験例>
(2)上記手段1または2において、前記フランジを構成する金属の熱膨張係数は、前記ヒータ本体を構成するセラミックの熱膨張係数及び前記ガラスの熱膨張係数よりも大きいこと。
(3)上記手段1または2において、前記フランジを構成する金属の熱膨張係数は、前記ガラスの熱膨張係数よりも大きく、前記ガラスの熱膨張係数は、前記ヒータ本体を構成するセラミックの熱膨張係数よりも大きいこと。
(4)上記手段1または2において、前記フランジは、前記ガラス及び前記ヒータ本体に圧縮残留応力を加えていること。
(5)上記手段2において、前記機械的または物理的な加工は、ブラスト加工であること。
(6)上記手段2において、前記機械的または物理的な加工は、バレル加工であること。
(7)上記手段2において、前記機械的または物理的な加工は、サンドペーパー加工であること。
(8)上記手段2において、前記機械的または物理的な加工は、研削加工であること。
13…ヒータ本体
15…フランジ
16…凹状部分
27…穴部
33…ガラス
35…ガラス溜り部
S1…第1面
S2…第2面
Claims (8)
- セラミック製の筒状のヒータ本体と、前記ヒータ本体に外嵌されている金属製の環状のフランジとを備えたセラミックヒータにおいて、
前記フランジは、第1面及び第2面を貫通している穴部を有するとともに、前記第1面側に凹状部分を有し、
前記凹状部分には、ガラスが充填されたガラス溜り部を有するとともに、前記ガラス溜り部に配置された前記ガラスを介して、前記フランジ及び前記ヒータ本体が接合されており、
前記フランジの前記第2面側において少なくとも前記穴部の周囲の表層部は、前記フランジの内層部に比べて、金属組織の結晶粒界が潰れた状態となっている
ことを特徴とするセラミックヒータ。 - 前記フランジは、クロム及び鉄を含む金属からなり、前記穴部の周囲の表層部を無作為に10μm四方にて10箇所分析した場合において、クロム含有量/鉄含有量の最大値と、クロム含有量/鉄含有量の最小値との差が50%以下であり、かつ前記鉄含有量が45%未満であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックヒータ。
- 前記フランジは、クロム及び鉄を含む金属からなり、前記穴部の周囲の表層部を無作為に5μm四方にて10箇所分析した場合において、クロム含有量/鉄含有量の最大値と、クロム含有量/鉄含有量の最小値との差が100%以下であり、かつ前記鉄含有量が55%未満であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックヒータ。
- 前記フランジは、ステンレスからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のセラミックヒータ。
- 前記フランジは、板材が前記凹状部分を有するようにカップ形状に曲げられた状態に形成されたものであって、前記ガラスは、カップ内部の少なくとも一部を埋めた状態に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のセラミックヒータ。
- 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のセラミックヒータを製造する方法であって、
前記フランジの前記第2面側に対する機械的または物理的な加工によって、前記穴部の周囲の表層部における金属組織の結晶粒界を潰す工程と、
前記ガラスの材料を溶着温度に加熱して溶融させた後に冷却することによって、前記ガラスを介して前記フランジと前記ヒータ本体とを溶着する工程と
を含むことを特徴とするセラミックヒータの製造方法。 - 前記穴部の周囲の表層部における金属組織の結晶粒界を潰す工程を行った後、前記ガラスを介して前記フランジと前記ヒータ本体とを溶着する工程と行うことを特徴とする請求項6に記載のセラミックヒータの製造方法。
- 前記フランジは、クロムを含む金属からなり、前記ガラスを前記溶着温度に加熱することによって、前記穴部の周囲の表層部にクロムを析出させることを特徴とする請求項6または7に記載のセラミックヒータの製造方法。
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