JP2017062136A - 処理装置、波形表示装置および検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電気部品を確実かつ容易に検査する。【解決手段】電気部品に対する検査用信号の供給時に生じる振動波形を波形データに変換する変換部と、波形データに基づいて電気部品を検査するための検査用画像Ｇｃを表示させる画像データを生成する処理部とを備え、処理部は、波形データに基づいて振動波形の周期を特定して、特定した周期と同じ周期で、かつ振動波形における最大波高と同じ波高で、かつ振動波形と同位相の正弦波を特定し、振動波形および正弦波における各パラメータによって特定される座標点をＸＹ平面にプロットして得られるリサージュ曲線を特定し、リサージュ曲線に基づく検査用曲線を特定する特定処理を、検査対象の電気部品および良品の電気部品に対してそれぞれ実行し、検査用画像Ｇｃとしての検査対象の電気部品についての検査用曲線Ｃｏおよび良品の電気部品についての検査用曲線Ｃｓを表示させる画像データを生成する。【選択図】図１２

Description

本発明は、電気部品に対する検査用信号の供給時または供給停止時に生じる振動波形に基づいて電気部品を検査するための検査用画像を表示させる画像データを生成する処理装置、その処理装置を備えた波形表示装置、およびその波形表示装置を備えた検査装置に関するものである。

この種の検査装置として、下記特許文献１に開示された非破壊試験装置が知られている。この非破壊試験装置は、直流電源、半導体スイッチ、制御部および波形観測・解析部などを備え、被試験コイルに電流を流した後に電流を高速で遮断したときの被試験コイルの両端間における減衰振動電圧波形から被試験コイルの良否（レイヤーショートの有無）を検査可能に構成されている。この場合、レイヤーショートが存在している被試験コイルの減衰振動電圧波形（以下、「被試験波形」ともいう）は、レイヤーショートが存在していない良品のコイルの減衰振動電圧波形（以下、「基準波形」ともいう）と比較して、急激に減衰し、減衰振動の始まりからｎ個目の頂点に達するまでの時間が短い（つまり、振動の周期が短い）傾向がある。このため、被試験波形と基準波形とを比較することで、被試験コイルの良否（レイヤーショートの有無）を判定することが可能となっている。

特開２００５−３３１３４０号公報（第５−７頁、第１−２図）

ところが、上記した従来の非破壊試験装置には、以下の問題点がある。すなわち、この非破壊試験装置では、被試験コイルの減衰振動電圧波形（被試験波形）と良品のコイルの減衰振動電圧波形（基準波形）とを比較することで、被試験コイルの良否を判定している。しかしながら、レイヤーショートが存在していたとしても、被試験波形および基準波形の減衰の仕方や、振動の周期の相違は一般的に微差であるため、被試験波形および基準波形を見比べるだけでは、両波形が相違しているか否かを判定することは困難である。このため、従来の非破壊試験装置には、被試験コイルの良否を確実かつ容易に判定することが困難であるという問題点が存在する。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、電気部品を確実かつ容易に検査し得る処理装置、波形表示装置および検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の処理装置は、電気部品に対する検査用信号の供給時または供給停止時に生じる振動波形を波形データに変換する変換部と、前記波形データに基づいて前記電気部品を検査するための検査用画像を表示させる画像データを生成する処理部とを備えた処理装置であって、前記処理部は、前記波形データに基づいて前記振動波形の周期を特定して、当該特定した周期と同じ周期で、かつ前記振動波形における最大波高と同じ波高で、かつ前記振動波形と同位相の正弦波を特定し、前記振動波形および前記正弦波における各パラメータによって特定される座標点をＸＹ平面にプロットして得られるリサージュ曲線を特定し、当該リサージュ曲線に基づく検査用曲線を特定する特定処理を、検査対象の前記電気部品および良品の前記電気部品に対してそれぞれ実行し、前記検査用画像としての前記検査対象の電気部品についての前記検査用曲線および前記良品の電気部品についての前記検査用曲線を表示させる前記画像データを生成する。

また、請求項２記載の処理装置は、請求項１記載の処理装置において、前記処理部は、前記リサージュ曲線を前記ＸＹ平面における予め規定された規定方向に拡縮した前記検査用曲線を特定する。

また、請求項３記載の波形表示装置は、請求項２記載の処理装置において、前記処理部は、前記特定処理において、前記規定方向としての前記ＸＹ平面におけるｘ＝ｙの直線に対して直交する方向および、前記規定方向としての前記ＸＹ平面におけるｙ＝０の直線に対して直交する方向に前記リサージュ曲線を拡縮した前記検査用曲線を特定する。

また、請求項４記載の波形表示装置は、請求項１から３のいずれかに記載の処理装置と、前記検査用画像を表示する表示部とを備えている。

また、請求項５記載の検査装置は、請求項４記載の波形表示装置と、前記検査用画像に基づいて前記電気部品を検査する検査部とを備えている。

また、請求項６記載の検査装置は、請求項５記載の検査装置において、前記検査部は、前記良品の電気部品についての前記検査用曲線に予め決められた幅を設けて形成される帯状領域内に前記検査対象の電気部品についての前記検査用曲線が含まれるか否かに基づいて前記検査対象の電気部品を検査する。

請求項１記載の処理装置、請求項４記載の波形表示装置、および請求項５記載の検査装置では、検査対象の電気部品についての振動波形および良品の電気部品についての振動波形の各パラメータ、および各振動波形と同じ周期で同じ波高で同位相の正弦波のパラメータからそれぞれ得られるリサージュ曲線に基づく検査用曲線を特定し、検査用曲線を表示させる画像データを生成する。この場合、振動波形は、１つのパラメータの経時変化を表したものであって、各振動波形の振幅、減衰率、周期等が互いにわずかに異なっているだけのときには、各振動波形上の各時刻における座標点がＹ方向にわずかに異なるだけであるため、振動波形の形状の相違が現れにくい結果、各振動波形を比較しただけでは各振動波形の相違を把握することが困難である。一方、リサージュ曲線は、各時刻における２つのパラメータ（振動波形によって示されるパラメータ、および正弦波によって示されるパラメータ）をそれぞれＸ座標およびＹ座標とする座標点をプロットして描かれる曲線（つまり、２つのパラメータを合成した値の経時変化を表したもの）であるため、各振動波形の振幅、減衰率、周期等が互いにわずかに異なっているときであっても、各リサージュ曲線上の各時刻における座標点がＸ方向およびＹ方向の双方に異なることとなり、各リサージュ曲線の形状、および各リサージュ曲線に基づく各検査用曲線の形状が互いに大きく異なることとなる。したがって、この処理装置、波形表示装置および検査装置によれば、各検査用曲線の形状の相違を確実かつ容易に把握することができる結果、その相違に基づいて検査対象の電気部品の良否を確実かつ容易に判定することができる。

また、請求項２記載の処理装置、請求項４記載の波形表示装置、および請求項５記載の検査装置によれば、リサージュ曲線をＸＹ平面における規定方向に拡縮した検査用曲線を特定することにより、リサージュ曲線の形状や大きさに応じて、見やすい形状の検査用曲線や、互いの形状の相違を明確化した検査用曲線を特定することもできる。このため、この処理装置、波形表示装置および検査装置によれば、検査用曲線の形状の相違をさらに確実かつ容易に把握することができる結果、検査対象の電気部品の良否をさらに確実かつ容易に判定することができる。

また、請求項３記載の処理装置、請求項４記載の波形表示装置、および請求項５記載の検査装置によれば、ＸＹ平面におけるｘ＝ｙの直線に対して直交する方向および、ＸＹ平面におけるｙ＝０の直線に対して直交する方向にリサージュ曲線を拡縮した検査用曲線を特定することにより、拡縮の際の座標点の算出（変換）を簡易な式で行うことができるため、特定処理の効率を十分に向上させることができる。

また、請求項６記載の検査装置では、処理部が、良品の電気部品の検査用曲線に幅を設けて形成した帯状領域内に検査対象の電気部品の検査用曲線が含まれるか否かに基づいて検査対象の電気部品の良否を検査する。このため、この検査装置によれば、各検査用曲線を見比べて使用者の感覚で検査対象の電気部品の良否を検査する構成と比較して、検査対象の電気部品をさらに正確かつ容易に検査することができる。

検査装置１の構成を示す構成図である。 信号出力部１１の回路構成を示す構成図である。 基準波形Ｗｓの波形図である。 基準波形Ｗｓおよび正弦波Ｓｓの波形図である。 リサージュ曲線Ｌｓの曲線図である。 リサージュ曲線Ｌｓを第１の方向に拡大する工程を説明する説明図である。 第１の方向に拡大したリサージュ曲線Ｌｓの曲線図である。 リサージュ曲線Ｌｓを第２の方向に拡大する工程を説明する説明図である。 検査用曲線Ｃｓの曲線図である。 基準波形Ｗｓおよび検査対象波形Ｗｏの波形図である。 検査用曲線Ｃｏの曲線図である。 検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを表示部１５に表示させた表示画面図である。 検査対象波形Ｗｏの減衰率が基準波形Ｗｓの減衰率よりも小さいときの基準波形Ｗｓおよび検査対象波形Ｗｏを示す波形図である。 検査対象波形Ｗｏの減衰率が基準波形Ｗｓの減衰率よりも小さいときの検査用曲線Ｃｓおよび検査用曲線Ｃｏを示す曲線図である。 検査対象波形Ｗｏの減衰率が基準波形Ｗｓの減衰率よりも大きいときの基準波形Ｗｓおよび検査対象波形Ｗｏを示す波形図である。 検査対象波形Ｗｏの減衰率が基準波形Ｗｓの減衰率よりも大きいときの検査用曲線Ｃｓおよび検査用曲線Ｃｏを示す曲線図である。 検査対象波形Ｗｏの周期Ｔｏが基準波形Ｗｓの周期Ｔｓよりも長いときの基準波形Ｗｓおよび検査対象波形Ｗｏを示す波形図である。 検査対象波形Ｗｏの周期Ｔｏが基準波形Ｗｓの周期Ｔｓよりも長いときの検査用曲線Ｃｓおよび検査用曲線Ｃｏを示す曲線図である。 検査対象波形Ｗｏの周期Ｔｏが基準波形Ｗｓの周期Ｔｓよりも短いときの基準波形Ｗｓおよび検査対象波形Ｗｏを示す波形図である。 検査対象波形Ｗｏの周期Ｔｏが基準波形Ｗｓの周期Ｔｓよりも短いときの検査用曲線Ｃｓおよび検査用曲線Ｃｏを示す曲線図である。 検査対象波形Ｗｏに放電やノイズによる波形の乱れが生じているときの基準波形Ｗｓおよび検査対象波形Ｗｏを示す波形図である。 検査対象波形Ｗｏに放電やノイズによる波形の乱れが生じているときの検査用曲線Ｃｓおよび検査用曲線Ｃｏを示す波形図である。 帯状領域Ｅの特定方法を説明する説明図である。 帯状領域Ｅを用いた検査方法を説明する第１の説明図である。 帯状領域Ｅを用いた検査方法を説明する第２の説明図である。

以下、処理装置、波形表示装置および検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、検査装置の一例としての図１に示す検査装置１の構成について説明する。検査装置１は、同図に示すように、信号出力部１１、Ａ／Ｄ変換部１２、操作部１３、記憶部１４、表示部１５および処理部１６を備えて、電気部品（例えば、同図に示すコイル５０）の良否を検査可能に構成されている。この場合、信号出力部１１、Ａ／Ｄ変換部１２、操作部１３、記憶部１４および処理部１６によって処理装置が構成され、この処理装置と表示部１５とによって波形表示装置が構成される。

信号出力部１１は、検査用信号としての検査用電流Ｉｔを出力する。また、信号出力部１１は、図２に示すように、一例として、直流電源１１ａ、コンデンサ１１ｂ、および処理部１６の制御に従って動作するスイッチ１１ｃを備えて構成されている。この信号出力部１１では、スイッチ１１ｃがチャージ側（同図における左側）に切り替えられているときに、直流電源１１ａとコンデンサ１１ｂが接続されてコンデンサ１１ｂに電荷がチャージされ、スイッチ１１ｃが放電側（同図における右側）に切り替えられたときに、コンデンサ１１ｂにチャージされた電荷が検査用電流Ｉｔとしてコイル５０（電気部品）に供給される。

Ａ／Ｄ変換部１２は、変換部の一例であって、コイル５０に対する検査用電流Ｉｔの供給時に生じる電圧の振動波形を、予め決められたサンプリング周期でサンプリング（Ａ／Ｄ変換）して波形データＤｗを出力する。操作部１３は、各種のスイッチやボタンを備えて構成され、これらのスイッチやボタンが操作されたときに操作信号を出力する。

記憶部１４は、処理部１６の制御に従ってＡ／Ｄ変換部１２から出力された波形データＤｗや、処理部１６によって生成される後述する曲線データＤｃおよび画像データＤｇを記憶する。表示部１５は、処理部１６の制御に従って後述する検査用画像Ｇｃ（図１２参照）を表示する。

処理部１６は、操作部１３から出力される操作信号に従って各部を制御すると共に、各種の処理を実行する。具体的には、処理部１６は、Ａ／Ｄ変換部１２から出力された波形データＤｗに基づき、電気部品としてのコイル５０の良否を検査するための検査用画像Ｇｃを表示部１５に表示させる画像データＤｇを生成する。また、処理部１６は、検査部として機能し、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓおよび帯状領域Ｅに基づいてコイル５０の良否を検査する。

次に、検査装置１を用いて電気部品の一例としてのコイル５０を検査する方法、およびその際の各部の動作について、図面を参照して説明する。

検査対象のコイル５０（以下「検査対象コイル５０ａ」ともいう）の検査に先立ち、良品のコイル５０（以下「良品コイル５０ｂ」ともいう）における振動波形の波形データＤｗを取得する。具体的には、まず、操作部１３を操作して、信号出力部１１に対するチャージを指示する。この際に、操作部１３が操作信号を出力し、処理部１６が操作信号に従って信号出力部１１を制御して、スイッチ１１ｃをチャージ側（図２における左側）に切り替える。これにより、直流電源１１ａとコンデンサ１１ｂが接続されてコンデンサ１１ｂに電荷がチャージされる。

続いて、図１に示すように、良品コイル５０ｂの両端に信号出力部１１の各出力端子を接続し、次いで、操作部１３を操作して、信号出力部１１に対する検査用電流Ｉｔの出力を指示する。続いて、処理部１６が、操作部１３からの操作信号に従って信号出力部１１を制御し、スイッチ１１ｃを放電側（図２における右側）に切り替える。これにより、コンデンサ１１ｂにチャージされた電荷が検査用電流Ｉｔとして良品コイル５０ｂに供給される。この際に、検査用電流Ｉｔが良品コイル５０ｂに急激に流れることにより、図３に示すように、良品コイル５０ｂの両端間に電圧の振動波形（過渡応答波形）が生じる（以下、良品コイル５０ｂに生じる振動波形を「基準波形Ｗｓ」ともいう）。

次いで、Ａ／Ｄ変換部１２が、基準波形Ｗｓを予め決められたサンプリング周期でサンプリング（Ａ／Ｄ変換）して波形データＤｗを出力する。続いて、処理部１６は、波形データＤｗを記憶部１４に記憶させる。以上により、良品コイル５０ｂについての波形データＤｗの取得が完了する。次いで、同様の手順で、検査対象コイル５０ａの両端間に生じる電圧の振動波形（図１０参照：以下、検査対象コイル５０ａに生じる振動波形を「検査対象波形Ｗｏ」ともいい、基準波形Ｗｓと検査対象波形Ｗｏとを合わせて「波形Ｗｏ，Ｗｓ」ともいう）の波形データＤｗを取得する。

続いて、操作部１３を操作して、検査対象コイル５０ａを検査する際に用いる検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓ（図１２参照）を特定する特定処理の実行を指示する。これに応じて、処理部１６は、まず、良品コイル５０ｂについての波形データＤｗを記憶部１４から読み出して、特定処理を実行する。この特定処理では、処理部１６は、図３に示すように、波形データＤｗに基づいて基準波形Ｗｓの周期Ｔｓを特定する。次いで、処理部１６は、図４に示すように、特定した周期Ｔｓと同じ周期Ｔｓで、かつ基準波形Ｗｓにおける最大波高と同じ波高で、かつ基準波形Ｗｓと同位相の正弦波Ｓｓを特定する。

続いて、処理部１６は、基準波形Ｗｓおよび正弦波Ｓｓにおける各電圧（パラメータ）に基づくリサージュ曲線を特定する。この場合、処理部１６は、図５に示すように、波形データＤｗを生成する際のサンプリング周期毎の基準波形Ｗｓおよび正弦波Ｓｓの各電圧を特定し、基準波形Ｗｓの電圧をＸ座標とし正弦波Ｓｓにおける電圧をＹ座標とする座標点を、基準波形Ｗｓの電圧をＸ軸（同図における横軸）とすると共に正弦波Ｓｓの電圧をＹ軸（同図における縦軸）とするＸＹ平面上にプロットして得られる（描画される）リサージュ曲線Ｌｓを特定する。

次いで、処理部１６は、図６に示すように、特定したリサージュ曲線Ｌｓを、ＸＹ平面におけるｘ＝ｙの直線Ａ１に対して直交する同図に矢印で示す方向（規定方向の一例であって、以下「第１の方向」ともいう）に拡大（拡縮の一例）する（図７参照）。この場合、処理部１６は、一例として、リサージュ曲線Ｌｓ上の座標点のｘ座標およびｙ座標を次の式（１）および式（２）でそれぞれ算出したｘ’およびｙ’を新たなｘ座標およびｙ座標とする座標点に変換することによってリサージュ曲線Ｌｓを第１の方向に拡大する。
ｘ’＝ｘ−α（ｙ−ｘ）・・・式（１）
ｙ’＝ｙ＋α（ｙ−ｘ）・・・式（２）
なお、式（１）および式（２）内のαは、第１の方向への拡大の際に任意に規定することができる係数であって、図７の例では、αを４に規定している。

続いて、処理部１６は、図７に示す第１の方向に拡大したリサージュ曲線Ｌｓを、図８に示すように、ＸＹ平面におけるｙ＝０の直線Ａ２に対して直交する同図に矢印で示す方向（規定方向の他の一例であって、以下「第２の方向」ともいう）に拡大（拡縮の一例）する（図９参照）。この場合、処理部１６は、一例として、第１の方向に拡大したリサージュ曲線Ｌｓ上の座標点のｙ座標をβ倍したｙ’’を新たなｙ座標とする座標点に変換することによって第１の方向に拡大したリサージュ曲線Ｌｓを第２の方向にさらに拡大する。なお、βは、第２の方向への拡大の際に任意に規定することができる係数であって、図９の例では、βを２．５に規定している。次いで、処理部１６は、第１の方向および第２の方向に拡大した同図に示すリサージュ曲線Ｌｓを検査用曲線Ｃｓとして、この検査用曲線Ｃｓを示す曲線データＤｃを生成して記憶部１４に記憶させる。これにより、良品コイル５０ｂについての検査用曲線Ｃｓの特定が終了する。

続いて、処理部１６は、検査対象コイル５０ａの検査対象波形Ｗｏ（図１０参照）についての波形データＤｗを記憶部１４から読み出し、次いで、上記した手順と同様の手順で特定処理を実行して、正弦波Ｓｏの特定、リサージュ曲線Ｌｏの特定、およびリサージュ曲線Ｌｏの拡大を行い（いずれも図示を省略する）、図１１に示すように、検査対象コイル５０ａについての検査用曲線Ｃｏを特定する。この場合、検査対象波形Ｗｏが図１０に示す形状のときの検査用曲線Ｃｏは、図１１に示す形状となる。続いて、処理部１６は、検査用曲線Ｃｏを示す曲線データＤｃを生成して記憶部１４に記憶させる。以上により、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの特定が終了する。なお、上記したリサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓを拡大する処理は、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを見やすい形状で表示させたり、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状の相違を明確化したりするための処理であるため、リサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓの形状や大きさによっては、拡大に代えて縮小してもよい。また、リサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓの一方だけを拡大し、他方を縮小してもよい。また、規定方向も、上記した第１の方向や第２の方向に限定されずも任意に規定することができる。また、リサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓを拡縮することなく、そのまま検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓとすることもできる。

次いで、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓから検査対象コイル５０ａの良否を検査するときには、操作部１３を操作して、検査用画像Ｇｃの表示を指示する。これに応じて、処理部１６は、記憶部１４から曲線データＤｃを読み出して、検査用画像Ｇｃを表示させる画像データＤｇを曲線データＤｃに基づいて生成して、表示部１５に出力する。これにより、図１２に示すように、表示部１５に検査用画像Ｇｃが表示される。この検査用画像Ｇｃには、ＸＹ平面上に検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの双方が互いに識別可能な表示態様で（同図の例では、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの線種を互いに異ならせて）表示されている。なお、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを識別可能な表示態様として、線の色や太さを互いに異ならせることもできる。

ここで、この例では、図１２に示すように、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状が大きく異なっているため、検査対象コイル５０ａの電気特性と良品コイル５０ｂの電気特性とが異なっていると考えられる。このため、このように検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状が大きく異なっているときには、検査対象コイル５０ａが不良であると判定することができる。一方、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状が同一または近似している（大きく異なってはいない）ときには、検査対象コイル５０ａの電気特性と良品コイル５０ｂの電気特性とが同一または近似していると考えられる。このため、このように検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状が同一または近似しているときには、検査対象コイル５０ａが良好であると判定することができる。

この場合、図１０に示すように、例えば、検査対象コイル５０ａが不良である（同図に示すように、検査対象波形Ｗｏの周期Ｔｏと基準波形Ｗｓの周期Ｔｓとが異なる）としても、一般的に、波形Ｗｏ，Ｗｓの形状は大きくは異ならないため、波形Ｗｏ，Ｗｓを比較しただけでは波形Ｗｏ，Ｗｓの相違を把握することが困難である。これに対して、図１２に示すように、検査対象コイル５０ａが不良であるときには、波形Ｗｏ，Ｗｓに基づく検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状が互いに大きく異なるため、その相違を確実かつ容易に把握することができる。したがって、波形Ｗｏ，Ｗｓに基づく（対応する）検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを特定するこの処理装置、波形表示装置および検査装置１では、検査対象コイル５０ａの良否を確実かつ容易に判定することが可能となっている。

次に、波形Ｗｏ，Ｗｓが互いに相違するときの検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状の相違を、波形Ｗｏ，Ｗｓの相違のパターン別に図示して説明する。

図１３に示すように、検査対象波形Ｗｏの減衰率が基準波形Ｗｓの減衰率よりもわずかに小さいときには、波形Ｗｏ，Ｗｓに対応する検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓが、図１４に示す形状となる。また、図１５に示すように、検査対象波形Ｗｏの減衰率が基準波形Ｗｓの減衰率よりもわずかに大きいときには、波形Ｗｏ，Ｗｓに対応する検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓが、図１６に示す形状となる。

また、図１７に示すように、検査対象波形Ｗｏの周期Ｔｏが基準波形Ｗｓの周期Ｔｓよりもわずかに長いときには、波形Ｗｏ，Ｗｓに対応する検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓが、図１８に示す形状となる。また、図１９に示すように、検査対象波形Ｗｏの周期Ｔｏが基準波形Ｗｓの周期Ｔｓよりもわずかに短いときには、波形Ｗｏ，Ｗｓに対応する検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓが、図２０に示す形状となる。さらに、図２１に示すように、検査対象波形Ｗｏの一部（円で囲んだ部分）に放電やノイズによる波形のわずかに乱れが生じているときには、波形Ｗｏ，Ｗｓに対応する検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓが、図２２に示す形状となる。

上記した図１３〜図２２から明らかなように、波形Ｗｏ，Ｗｓの相違のパターン、すなわち、波形Ｗｏ，Ｗｓが相違する要因（言い換えるとコイル５０の特性が異なる要因）がどのようなものであっても、波形Ｗｏ，Ｗｓに対応する検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓは、形状が互い大きく異なるため、その相違を確実かつ容易に把握することができる。このため、この処理装置、波形表示装置および検査装置１では、検査対象コイル５０ａの特性が良品コイル５０ｂの特性と異なる要因がどのようなものであっても、その検査対象コイル５０ａの良否を確実かつ容易に判定することが可能となっている。

一方、この検査装置１では、検査対象コイル５０ａの良否検査を処理部１６に実行させること（自動検査）が可能となっている。この自動検査を実行させる際には、操作部１３を操作して自動検査の実行を指示する。これに応じて、処理部１６は、記憶部１４から曲線データＤｃを読み出し、続いて、曲線データＤｃに基づいて良品コイル５０ｂについての検査用曲線Ｃｓを特定する。次いで、処理部１６は、図２３に示すように、検査用曲線Ｃｓに予め決められた幅を設けて形成した帯状領域Ｅを特定する。

続いて、処理部１６は、曲線データＤｃに基づいて検査対象コイル５０ａについての検査用曲線Ｃｏを特定する。次いで、処理部１６は、帯状領域Ｅ内に検査用曲線Ｃｏが含まれるか否かを判別する。この場合、図２４に示すように、帯状領域Ｅ内に検査用曲線Ｃｏが含まれていない部分が存在するときには、処理部１６は、検査対象コイル５０ａが不良と判定する。一方、図２５に示すように、帯状領域Ｅ内に検査用曲線Ｃｏの全てが含まれている（帯状領域Ｅ内に含まれていない部分が存在しない）ときには、処理部１６は、検査対象コイル５０ａを良好と判定する。

この場合、図１０に示すように、検査対象コイル５０ａが不良であったとしても、一般的に、波形Ｗｏ，Ｗｓの形状は大きくは異ならない。このため、基準波形Ｗｓに幅を設けて形成した帯状領域内に検査対象波形Ｗｏが含まれるか否かを判別して、検査対象コイル５０ａの良否を判定したとしても、正確な良否判定をすることは困難である。これに対して、検査対象コイル５０ａが不良のときには、検査用曲線Ｃｏと検査用曲線Ｃｓとが大きく異なるため、検査用曲線Ｃｓに幅を設けて形成した帯状領域Ｅ内に検査用曲線Ｃｏが含まれるか否かを判別するこの検査装置１では、検査対象コイル５０ａの良否を正確に判定することが可能となっている。

このように、この処理装置、波形表示装置および検査装置１では、検査対象コイル５０ａについての検査対象波形Ｗｏおよび良品コイル５０ｂについての基準波形Ｗｓの各パラメータ（電圧）、および各波形Ｗｏ，Ｗｓと同じ周期Ｔｏ，Ｔｓで同じ波高で同位相の正弦波Ｓｏ，Ｓｓのパラメータ（電圧）からそれぞれ得られるリサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓに基づく検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを特定し、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを表示させる画像データＤｇを生成する。この場合、波形Ｗｏ，Ｗｓは、１つのパラメータ（電圧）の経時変化を表したものであって、各波形Ｗｏ，Ｗｓの振幅、減衰率、周期等が互いにわずかに異なっているだけのときには、各波形Ｗｏ，Ｗｓ上の各時刻における座標点がＹ方向に異なるだけであるため、波形Ｗｏ，Ｗｓの形状の相違が現れにくい結果、波形Ｗｏ，Ｗｓを比較しただけでは波形Ｗｏ，Ｗｓの相違を把握することが困難である。一方、リサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓは、各時刻における２つのパラメータ（波形Ｗｏ，Ｗｓによって示される電圧、および正弦波Ｓｏ，Ｓｓによって示される電圧）をＸＹ座標とする座標点をプロットして描かれる曲線（つまり、２つのパラメータの経時変化を表したもの）であるため、各波形Ｗｏ，Ｗｓの振幅、減衰率、周期等が互いにわずかに異なっているときであっても、リサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓに基づく検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓ上の各時刻における座標点がＸ方向およびＹ方向の双方において異なることとなり、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状が大きく異なることとなる。したがって、この処理装置、波形表示装置および検査装置１によれば、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状の相違を確実かつ容易に把握することができる結果、検査対象コイル５０ａの良否を確実かつ容易に判定することができる。

また、この処理装置、波形表示装置および検査装置１によれば、リサージュ曲線Ｌｏ，ＬｓをＸＹ平面における規定方向に拡縮した検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを特定することにより、リサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓの形状や大きさに応じて、見やすい形状の検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓや、互いの形状の相違を明確化した検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを特定することもできる。このため、この処理装置、波形表示装置および検査装置１によれば、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓの形状の相違をさらに確実かつ容易に把握することができる結果、検査対象コイル５０ａの良否をさらに確実かつ容易に判定することができる。

また、この処理装置、波形表示装置および検査装置１によれば、ＸＹ平面におけるｘ＝ｙの直線Ａ１に対して直交する方向および、ＸＹ平面におけるｙ＝０の直線Ａ２に対して直交する方向にリサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓを拡縮した検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを特定することにより、拡縮の際の座標点の算出（変換）を簡易な式で行うことができるため、特定処理の効率を十分に向上させることができる。

また、この検査装置１では、処理部１６が、良品コイル５０ｂの検査用曲線Ｃｓに幅を設けて形成した帯状領域Ｅ内に検査対象コイル５０ａの検査用曲線Ｃｏが含まれるか否かに基づいて検査対象コイル５０ａの良否を検査する。このため、この検査装置１によれば、検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを見比べて使用者の感覚で検査対象コイル５０ａの良否を検査する構成と比較して、検査対象コイル５０ａをさらに正確かつ容易に検査することができる。

なお、処理装置、波形表示装置および検査装置１の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、検査用信号の供給時に生じる振動波形に基づいてリサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓを特定する例について上記したが、検査用信号の供給停止時に生じる振動波形に基づいてリサージュ曲線Ｌｏ，Ｌｓを特定する構成を採用することもできる。また、電気部品としてのコイル５０を検査対象とする例について上記したが、他の種類の電気部品を対象とすることもできる。一例として、電気部品としての抵抗やコンデンサを検査対象とするときには、検査用信号としての交流信号を抵抗に供給し、その際に電気部品（抵抗やコンデンサ）の両端間に生じる交流電圧（振動波形）の波形データＤｗを取得して特定処理を実行して検査用曲線Ｃｏ，Ｃｓを特定する。これにより、上記したコイル５０を検査対象とするときと同様にして、検査対象の抵抗を確実かつ容易に検査することができる。

１ 検査装置
１２ Ａ／Ｄ変換部
１５ 表示部
１６ 処理部
５０ コイル
Ｃｓ，Ｃｏ 検査用曲線
Ｄｇ 画像データ
Ｄｗ 波形データ
Ｅ 帯状領域
Ｇｃ 検査用画像
Ｉｔ 検査用電流
Ｌｓ リサージュ曲線
Ｓｓ 正弦波
Ｗｏ 検査対象波形
Ｗｓ 基準波形

Claims (6)

1. 電気部品に対する検査用信号の供給時または供給停止時に生じる振動波形を波形データに変換する変換部と、前記波形データに基づいて前記電気部品を検査するための検査用画像を表示させる画像データを生成する処理部とを備えた処理装置であって、
   前記処理部は、前記波形データに基づいて前記振動波形の周期を特定して、当該特定した周期と同じ周期で、かつ前記振動波形における最大波高と同じ波高で、かつ前記振動波形と同位相の正弦波を特定し、前記振動波形および前記正弦波における各パラメータによって特定される座標点をＸＹ平面にプロットして得られるリサージュ曲線を特定し、当該リサージュ曲線に基づく検査用曲線を特定する特定処理を、検査対象の前記電気部品および良品の前記電気部品に対してそれぞれ実行し、前記検査用画像としての前記検査対象の電気部品についての前記検査用曲線および前記良品の電気部品についての前記検査用曲線を表示させる前記画像データを生成する処理装置。
2. 前記処理部は、前記リサージュ曲線を前記ＸＹ平面における予め規定された規定方向に拡縮した前記検査用曲線を特定する請求項１記載の処理装置。
3. 前記処理部は、前記特定処理において、前記規定方向としての前記ＸＹ平面におけるｘ＝ｙの直線に対して直交する方向および、前記規定方向としての前記ＸＹ平面におけるｙ＝０の直線に対して直交する方向に前記リサージュ曲線を拡縮した前記検査用曲線を特定する請求項２記載の処理装置。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の処理装置と、前記検査用画像を表示する表示部とを備えている波形表示装置。
5. 請求項４記載の波形表示装置と、前記検査用画像に基づいて前記電気部品を検査する検査部とを備えた検査装置。
6. 前記検査部は、前記良品の電気部品についての前記検査用曲線に予め決められた幅を設けて形成される帯状領域内に前記検査対象の電気部品についての前記検査用曲線が含まれるか否かに基づいて前記検査対象の電気部品を検査する請求項５記載の検査装置。

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