JP2017061396A - 酸化ガリウム単結晶育成用ルツボおよび酸化ガリウム単結晶の製造方法 - Google Patents
酸化ガリウム単結晶育成用ルツボおよび酸化ガリウム単結晶の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】酸化ガリウム単結晶の育成に用いられ、酸化ガリウム融液30を保持するルツボ100であって、酸化ガリウム鋳塊10からなる本体部と、該本体部の周囲に付与した酸化ガリウム粉末の成型体と、を有するルツボ100し、ルツボ100を用いて酸化ガリウム融液30を保持する工程と、酸化ガリウム融液30にシード50を接触させて、シード50を引き上げて、シード50の下端に酸化ガリウム単結晶を育成させる工程とを有する酸化ガリウム単結晶の製造方法。
【選択図】図1
Description
(1)酸化ガリウム単結晶の育成に用いられ、酸化ガリウム融液を保持するルツボであって、
酸化ガリウムから構成されることを特徴とするルツボ。
前記酸化ガリウム融液にシードを接触させて、該シードを引き上げて、該シードの下端に酸化ガリウム単結晶を育成させる工程と、
を有する酸化ガリウム単結晶の製造方法。
本発明のルツボは、酸化ガリウム(Ga2O3)単結晶の育成に用いられ、酸化ガリウム融液を保持するルツボであり、酸化ガリウムから構成されることを特徴とする。図1〜図3を参照して、その本発明のルツボの実施形態を説明する。
本実施形態の酸化ガリウム単結晶の製造方法は、図1〜図3に示すように、ルツボ100,200,300を用いて酸化ガリウム融液30を保持する工程と、酸化ガリウム融液30にシード50を接触させて、該シード50を引き上げて、該シード50の下端に酸化ガリウム単結晶を育成させる工程と、を有する。シード50は、酸化ガリウム単結晶からなる、いわゆる種結晶である。
直径2インチ、高さ50mmの円柱状のイリジウムルツボに、純度4Nの酸化ガリウム粉末を充填した。窒素100%雰囲気の中で高周波加熱によりイリジウムルツボを加熱し、酸化ガリウム粉末を完全に溶解させた。その後、高周波電源を切り、イリジウムルツボを冷却させた。次に、イリジウムルツボから、直径47mm、高さ45mmの固化した酸化ガリウム鋳塊を取り出した。円柱形状に固化した酸化ガリウム鋳塊の上部中央に、ダイヤモンドドリルを使用し、直径10mmの凹みを形成した。
実施例1の方法で、直径47mm、高さ45mmの固化した酸化ガリウム鋳塊を作製した。次に、取り出した円柱状の酸化ガリウム鋳塊を、伸縮するゴムラバーの中に入れ、さらに酸化ガリウム鋳塊を取り囲むように、酸化ガリウム粉末を詰めた。この状態でゴムラバーの口を閉め、次に冷間等方圧加圧(CIP)して、酸化ガリウム粉末を押し固めた。その結果、酸化ガリウム体の周囲に、押し固められた酸化ガリウム粉末の成型体(厚さ1.5mm)が付与された。最後に、ルツボの上面(融液を保持する凹部が形成される面)に付与された酸化ガリウム粉末の成型体の一部を削り落とし、内部から露出した酸化ガリウム鋳塊の上部中央に、ダイヤモンドドリルを使用し、直径10mmの凹みを形成した。
ゴムラバーの中に酸化ガリウム粉末を充填し、円柱状に形を整えてからラバーの口を閉めた。次に、冷間等方圧加圧(CIP)により酸化ガリウム粉末を押し固めた。押し固められた直径47mm、高さ45mmの酸化ガリウム粉末の成型体をラバーから取り出して、成型体の上部中央に、ダイヤモンドドリルを使用し、直径10mmの凹みを形成した。
10 酸化ガリウム鋳塊
20 酸化ガリウム粉末の成型体
30 酸化ガリウム融液
40 高周波コイル
50 シード
60 金属ガリウムペレット
Claims (8)
- 酸化ガリウム単結晶の育成に用いられ、酸化ガリウム融液を保持するルツボであって、
酸化ガリウムから構成されることを特徴とするルツボ。 - 酸化ガリウム鋳塊からなる、請求項1に記載のルツボ。
- 酸化ガリウム鋳塊からなる本体部と、該本体部の周囲に付与した酸化ガリウム粉末の成型体と、を有する請求項1に記載のルツボ。
- 酸化ガリウム粉末の成型体からなる、請求項1に記載のルツボ。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載のルツボを用いて酸化ガリウム融液を保持する工程と、
前記酸化ガリウム融液にシードを接触させて、該シードを引き上げて、該シードの下端に酸化ガリウム単結晶を育成させる工程と、
を有する酸化ガリウム単結晶の製造方法。 - 前記育成工程をCZ法またはEFG法により行う、請求項5に記載の酸化ガリウム単結晶の製造方法。
- 前記酸化ガリウム融液が、前記ルツボの一部を融解させたものを含む、請求項5または6に記載の酸化ガリウム単結晶の製造方法。
- 前記ルツボの中央上部に、固体または液体の金属ガリウムを保持し、該金属ガリウムを誘導加熱し、加熱された前記金属ガリウムからの熱伝導により前記ルツボの一部が融解して前記酸化ガリウム融液となる、請求項7に記載の酸化ガリウム単結晶の製造方法。
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2015
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