JP2008222481A - 化合物半導体の製造方法及び装置 - Google Patents
化合物半導体の製造方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008222481A JP2008222481A JP2007061797A JP2007061797A JP2008222481A JP 2008222481 A JP2008222481 A JP 2008222481A JP 2007061797 A JP2007061797 A JP 2007061797A JP 2007061797 A JP2007061797 A JP 2007061797A JP 2008222481 A JP2008222481 A JP 2008222481A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal
- compound semiconductor
- seed crystal
- raw material
- single crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【課題】液体封止チョクラルスキー法によるGaAs等の化合物半導体単結晶の製造方法において、転位等の結晶欠陥の少ない良質な化合物半導体単結晶の収率を大幅に向上させる化合物半導体の製造方法を提供する。
【解決手段】容器内に原料融液Lと封止剤Mを収納し、その原料融液Lに種結晶Cを接触させ、容器あるいは種結晶Sを移動し、種結晶Sに化合物半導体の単結晶Cを成長させる製造方法において、少なくとも結晶成長初期に固液界面Fが原料融液側Lに凸化するように、種結晶Sの頭部を強制冷却手段12により強制冷却する。
【選択図】図1
【解決手段】容器内に原料融液Lと封止剤Mを収納し、その原料融液Lに種結晶Cを接触させ、容器あるいは種結晶Sを移動し、種結晶Sに化合物半導体の単結晶Cを成長させる製造方法において、少なくとも結晶成長初期に固液界面Fが原料融液側Lに凸化するように、種結晶Sの頭部を強制冷却手段12により強制冷却する。
【選択図】図1
Description
本発明は、液体封止チョクラルスキー(LEC:Liquid Encapsulated Czochralski)法により化合物半導体の単結晶を製造する方法及び装置に関する。
一般的な化合物半導体の製造方法として、図6に示すように、例えば、多結晶原料を収容したPBN(Pyrolitic Boron Nitride:熱分解窒化ホウ素)製容器(るつぼ)を不活性ガスで充填した耐圧容器内に配置し、PBN製容器を加熱して多結晶原料を原料融液Lとし、種結晶Sを原料融液Lに接触させつつ種結晶SとPBN製容器を相対的に移動させて単結晶C6を成長させるLEC法がある。
また、As(ヒ素)のように解離圧が非常に高い材料を原料とする場合、原料表面を高温でも安定した材質および結晶の成長を妨げない特性を持った流体等の封止剤(例えばB2 O3 )Mで覆うことが必要となる。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、次のものがある。
結晶が成長する過程において、熱歪みに起因した転位(結晶格子のズレ)が発生し、これが集積すると得られる結晶が多結晶化してしまう。この転位は固液界面(結晶成長界面)F6に対して垂直(図6では、固液界面F6の下部おいて、両端から中心方向)に伝播していく。このため、転位が結晶中心に集積せず結晶外に出ていくような固液界面形状、すなわち原料融液L側に大きく凸化させる(固液界面の原料融液Lに接する部分に凹部を形成しない)ことが必要となる。固液界面は、成長した結晶内の熱流(熱の流れ)の向きに対して垂直となるように形成される。
しかしながら、従来の製造方法では、図6に示すように、熱流h6が結晶内だけでなく、結晶から原料融液Lへ、さらには種結晶Sから外部へ向かって発生するので、固液界面F6の一部が凹面化して(凹部61が形成されて)しまう。
固液界面を原料融液L側に大きく凸化させるためには、結晶内の熱を種結晶Sの頭部に逃がすことが重要であるが、結晶成長初期段階では種結晶Sの頭部が封止剤Mから露出していないことから、種結晶Sの頭部からの放熱が不十分となり、部分的に固液界面F6が凹面化することで多結晶化する場合が多い。
また、化合物半導体の単結晶では、固液界面F4が凹面形状の場合、容器壁から受ける圧力に起因して結晶欠陥が入りやすく、転位集積からなるリネージや亜粒界の集積に繋がり、これも多結晶化の要因となる問題点があった。
そこで、本発明の目的は、少なくとも結晶成長初期に固液界面を原料融液側に凸化させ、転位等の結晶欠陥の少ない良質な化合物半導体の単結晶の収率を大幅に向上させる化合物半導体の製造方法及び装置を提供することにある。
本発明は上記目的を達成するために創案されたものであり、請求項1の発明は、容器内に原料融液を収納し、その原料融液に種結晶を接触させ、上記容器あるいは上記種結晶を移動し、上記種結晶に化合物半導体の単結晶を成長させる製造方法において、少なくとも結晶成長初期に固液界面が上記原料融液側に凸化するように、上記種結晶の頭部を強制冷却する化合物半導体の製造方法である。
請求項2の発明は、上記化合物半導体の単結晶としてGaAs単結晶を製造する請求項1記載の化合物半導体の製造方法である。
請求項3の発明は、容器内に原料融液を収納し、その原料融液に種結晶を接触させ、上記容器あるいは上記種結晶を移動し、上記種結晶に化合物半導体の単結晶を成長させる装置において、上記種結晶の頭部を保持する引き上げ軸に、少なくとも結晶成長初期に固液界面が上記原料融液側に凸化するように、上記種結晶の頭部を強制冷却する強制冷却手段を設けた化合物半導体の製造装置である。
請求項4の発明は、上記強制冷却手段は、上記引き上げ軸に形成した中空部と、その中空部に充填した冷媒とからなる請求項3記載の化合物半導体の製造装置である。
請求項5の発明は、上記冷媒は、上記種結晶よりも熱容量が大きいオイルである請求項4記載の化合物半導体の製造装置である。
本発明によれば、結晶成長初期段階では不十分であった種結晶頭部からの放熱を促進させることにより、結晶成長界面を原料融液側に大幅に凸化させることが可能となる。
これにより、転位の集積を抑えることができ、良質な化合物半導体の単結晶の収率を上げることができる。
化合物半導体の製造方法では、結晶成長の初期段階において、種結晶からの放熱量をどれだけ大きくするかが多結晶化を防ぐ手段となるが、種結晶自体に放熱を促進するような加工ができないため、種結晶を保持する引き上げ軸をいかに冷却するかが課題となる。本発明者は、この課題について鋭意研究した結果、本発明を完成するに至った。
以下、本発明の好適な実施形態を添付図面にしたがって説明する。
まず、本発明の好適な実施形態に係る化合物半導体の製造装置を説明する。
図3に示すように、本実施形態に係る化合物半導体の製造装置1は、円筒状のチャンバー2を有する。チャンバー2内にはカップ状の昇降自在なPBN製容器3が設けられ、PBN製容器3には原料融液Lが収納される。この原料融液Lは、多結晶原料と封止剤を溶融したものである。
本実施形態では、多結晶原料としてGaAs、封止剤としてB2 O3 を用いた。多結晶原料としてはGaPやInPを、封止剤としてはBaCl2 、CaCl2 を用いてもよい。GaAsは他の半導体材料と比べ熱伝導率が高い傾向にある。例えば、常温では54W/m・Kの熱伝導率を示す。これは炭素鋼と同程度の値である。
PBN製容器3の開口端には、耐熱性の高い材料であるMo鋼製の支持部材4が設けられる。支持部材4の先端側には、グラファイト製の熱遮蔽板5が設けられ、熱遮蔽板5には、Mo製の円筒状の熱反射板6が設けられる。チャンバー2内には、PBN製容器3を電磁誘導加熱するためのコイル部7と、コイル部7を覆うように配置され、コイル部7を保護する保護部材8とが設けられる。
PBN製容器3の底部中央には、PBN製容器3を回転させ、PBN製容器3内の多結晶原料や封止剤の状態を周方向に均一にするための回転軸9が連結される。チャンバー2の上方からは、種結晶Sの頭部(上部)を保持し、化合物半導体の単結晶Cを引き上げるための昇降自在な引き上げ軸10が挿入される。引き上げ軸10の先端(下端)側には、種結晶Sが取り付けられた種結晶アダプタ11が設けられる。種結晶Sは、単結晶Cを成長させ始めるために上下方向に(100)の面方位を有する。本実施形態では、種結晶SとしてGaAs単結晶を用いた。
さて、引き上げ軸10には、少なくとも結晶成長初期に固液界面が原料融液L側に凸化するように、種結晶Sの頭部(上部)を強制冷却する強制冷却手段12が設けられる。
図2に示すように、強制冷却手段12としては、引き上げ軸10の長さ方向に沿って形成した中空部21と、その中空部21に充填した冷媒22とからなる。冷媒22としては、種結晶Sよりも熱容量が大きい(熱伝導率が高い)オイルを用いる。
中空部21に充填する冷媒22としては、融点が低く、沸点が700〜800℃以上であるものが望ましい。期待される冷媒22としては、金属ナトリウムが考えられるが、大気との反応性が極めて高く、安全上の課題も多いので、本実施形態では、Ga(融点:約30℃、沸点:約2200℃)を使用した。
次に、本実施形態に係る化合物半導体の製造方法を装置1の動作と共に説明する。
図3に示すように、まず、PBN製容器3に多結晶原料として、半導体結晶の材料となるGaAsと、封止剤であるB2 O3 とを収納し、チャンバー2内の残留気体を図示しない真空ポンプで吸引し、チャンバー2内を真空状態にする。
Arガス等の不活性ガスGをチャンバー2内に導入し、約6kg/cm2 に加圧する。コイル部7に周波数5kHzの高周波電流を流し、GaAsの溶融速度を速めるためにチャンバー2内に設けた図示しないカーボンリングを電磁誘導加熱する。
すると、PBN製容器3内に収納した固体状のGaAsおよびB2 O3 が溶融し始め、この溶融状態となったGaAs自身、高周波誘導に十分な電気伝導度を有するため、直接電磁誘導加熱される。これにより、PBN製容器3内では原料融液Lが形成される。このとき、引き上げ軸10の周囲は不活性ガスGで満たされる。GaAsおよびB2 O3 は高融点材料であり、GaAsの融点は約1500Kである。
GaAsおよびB2 O3 の多結晶が全て溶融した後、図示しない回転制御装置を作動させて回転軸9を回転させる。これにより、PBN製容器3内の原料融液Lの状態が周方向にわたって均一にされる。コイル部7を用いた電磁誘導加熱のパワーを単結晶Cの製造に適したパワーに落とす。
このとき、原料融液Lの上層には封止剤Mの融液であるB2 O3 融液層が形成されている。単結晶C成長中の原料融液Lは、B2 O3 融液層で断熱され、不活性ガスGとの温度差が数百Kに達している。B2 O3 融液層は揮発性の高い原料融液L中のAsが揮発するのを防止する。
一方、引き上げ軸10の種結晶アダプタ11に種結晶Sを保持して固定し、引き上げ軸10を下降させて原料融液Lに種結晶Sを接触させる。この状態で引き上げ軸10を所定の速度で引き上げ(あるいはPBN製容器3を下降させ)、種結晶SにGaAs単結晶などの化合物半導体の単結晶Cを成長させる。引き上げ軸10の上昇速度は、例えば20mm/h程度とする。
ここで少なくとも結晶成長初期に、図1に示すように、固液界面Fが原料融液L側に凸化するように、種結晶Sの頭部を強制冷却手段12で強制冷却する。
以上のようにして、化合物半導体の単結晶Cが得られる。
本実施形態の作用を説明する。
本実施形態に係る製造方法は、少なくとも単結晶Cの成長が不安定な結晶成長初期に、固液界面Fが原料融液L側に凸化するように、種結晶Sの頭部を強制冷却手段12で強制冷却している。
このとき、図1に示すように、強制冷却手段12によって引き上げ軸10の熱交換効率を高めることで、種結晶Sと引き上げ軸10間の温度勾配が大きくなり、種結晶Sの頭部が強制冷却される。つまり、結晶成長中における引き上げ軸10の温度は、種結晶Sが取り付けられた下部が最も高く、上部では十分に冷却されている。
熱流hは成長した単結晶C内のみで発生し、成長した単結晶Cから種結晶Sを介して引き上げ軸10の下部に向かって発生する。つまり、種結晶Cから引き上げ軸10に向かう熱流hを多くすることができ、結果的に種結晶Sを強制的に冷やすことになる。
さらに、図2に示すように、この熱流hによって運ばれた熱は、強制冷却手段12の中空部21に充填した冷媒22に、種結晶Sの頭部を強制冷却する対流xを起こす。この対流xにより、引き上げ軸10内の熱交換を促進し、引き上げ軸10に保持した種結晶Sからの放熱を引き上げ軸10を介して促進することができる。
固液界面(結晶の成長界面)は、熱流の向きに対して垂直に形成されることがわかっている。したがって、本実施形態に係る製造方法によれば、成長した単結晶C内の熱流は、上記の熱流hが支配的となるため、固液界面Fが原料融液L側に凸化する。言いかえれば、固液界面Fの原料融液Lと接する部分は、凹部がなく、種結晶Sを中心として円弧状すなわち大きな凸形状となる。
これにより、熱歪みにより発生した転位(結晶格子のズレ)は、固液界面Fに対して垂直(図1では、固液界面Fの両端から中心方向)に伝播するため、転位が集中することなく、逆に結晶表面から原料融液L側へ消滅していく形となり、転位の集積がない良好な単結晶Cを得ることが可能となる。
このように、本実施形態に係る製造方法によれば、結晶成長初期段階では不十分であった種結晶Sの頭部からの放熱を促進させることにより、結晶成長界面Fを原料融液L側へ大幅に凸化させることが可能となる。
これにより、転位の集積を抑えることができ、良質な化合物半導体の単結晶Cの収率を上げることができる。
また、本実施形態に係る化合物半導体の製造装置1は、引き上げ軸10に強制冷却手段12を設けたことで、上述した製造方法を実施でき、引き上げ軸10の冷却効率を従来よりも向上させることができる。
また、装置1の強制冷却手段12は、動力を必要とせず、極めて簡単な構造である。したがって、特許文献1のように現有設備の改造をほとんど不要としながら、特許文献1の自然冷却よりも有効な種結晶Sの強制冷却に対応することができる。つまり、装置1は、特許文献1に比べ、欠陥を作らずに化合物半導体の単結晶Cを短時間で製造できる。
上記実施形態では、強制冷却手段12として、引き上げ軸10に形成した中空部21と、その中空部21に充填した冷媒22とからなる例で説明したが、強制冷却手段としては、ヒートパイプを用いてもよい。
また、強制冷却手段としては、中空部21の上下端に、スイベルジョイント(スイベル管継手)を介して冷却流路を連結し、その冷却流路に冷媒22を流してもよい。この場合、種結晶Sの頭部を冷却したい温度に応じて、強制冷却手段12と同様に冷媒22の種類を選択する他に、冷媒22の流量を適宜調整するとよい。
ここで、本実施形態に係る製造方法と従来技術を、より詳細に比較検討した結果を説明する。
まず、従来条件(図6参照)で実際に単結晶成長中の炉内温度を測定した。温度測定位置は、図5(a)に示す位置とした。その結果を図5(b)に示す。図5(b)に示すように、単結晶肩部(種結晶Sと単結晶C6の境界部分)成長の状態では、種結晶Sおよび種結晶付近の引き上げ軸温度は700〜800℃になる。この条件で成長した単結晶C6の成長界面を観察した結果、界面の凸形状(後述する凸度)は図4(a)の●を結ぶ点線のようになる。
次に、図1の本実施形態に係る引き上げ軸10を使用して成長した単結晶Cの固液界面は、図4(a)の■を結ぶ実線のようになる。凸度は、図4(b)に示すように、単結晶Cの外径をD、単結晶Cの下方に凸になった部分の厚さをAとしてA/Dで求めた。ここでは図2において、引き上げ軸10の外径φrを30mm、強制冷却手段12の内径φcを20mm、種結晶Sの外径Sを10mm、長さを100mmとした。
図4(a)に示すように、本実施形態では、炉内の温度測定結果は従来例と比較して違いは認められなかったものの、単結晶肩部成長時点の凸度が、従来例に比べて約60〜80%も改善したことがわかる。
したがって、本実施形態に係る製造方法によれば、引き上げ軸10の冷却効果によって、種結晶Sの頭部を強制的に冷却することで、単結晶肩部の凸形状を向上できた。
1 化合物半導体の製造装置
3 容器
10 引き上げ軸
12 強制冷却手段
21 中空部
S 種結晶
C 化合物半導体の単結晶
L 固液界面
h 熱流
3 容器
10 引き上げ軸
12 強制冷却手段
21 中空部
S 種結晶
C 化合物半導体の単結晶
L 固液界面
h 熱流
Claims (5)
- 容器内に原料融液を収納し、その原料融液に種結晶を接触させ、上記容器あるいは上記種結晶を移動し、上記種結晶に化合物半導体の単結晶を成長させる製造方法において、少なくとも結晶成長初期に固液界面が上記原料融液側に凸化するように、上記種結晶の頭部を強制冷却することを特徴とする化合物半導体の製造方法。
- 上記化合物半導体の単結晶としてGaAs単結晶を製造する請求項1記載の化合物半導体の製造方法。
- 容器内に原料融液を収納し、その原料融液に種結晶を接触させ、上記容器あるいは上記種結晶を移動し、上記種結晶に化合物半導体の単結晶を成長させる装置において、上記種結晶の頭部を保持する引き上げ軸に、少なくとも結晶成長初期に固液界面が上記原料融液側に凸化するように、上記種結晶の頭部を強制冷却する強制冷却手段を設けたことを特徴とする化合物半導体の製造装置。
- 上記強制冷却手段は、上記引き上げ軸に形成した中空部と、その中空部に充填した冷媒とからなる請求項3記載の化合物半導体の製造装置。
- 上記冷媒は、上記種結晶よりも熱容量が大きいオイルである請求項4記載の化合物半導体の製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007061797A JP2008222481A (ja) | 2007-03-12 | 2007-03-12 | 化合物半導体の製造方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007061797A JP2008222481A (ja) | 2007-03-12 | 2007-03-12 | 化合物半導体の製造方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008222481A true JP2008222481A (ja) | 2008-09-25 |
Family
ID=39841526
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007061797A Pending JP2008222481A (ja) | 2007-03-12 | 2007-03-12 | 化合物半導体の製造方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008222481A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010047556A2 (ko) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | 주식회사 실트론 | 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척 |
CN102465344A (zh) * | 2010-11-18 | 2012-05-23 | 日立电线株式会社 | GaAs晶片及GaAs晶片的制造方法 |
JP2012236750A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Hitachi Cable Ltd | GaAs単結晶ウエハ及びその製造方法 |
WO2014019788A1 (de) * | 2012-08-02 | 2014-02-06 | Siltronic Ag | Vorrichtung zur herstellung eines einkristalls durch kristallisieren des einkristalls an einer schmelzenzone |
-
2007
- 2007-03-12 JP JP2007061797A patent/JP2008222481A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010047556A2 (ko) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | 주식회사 실트론 | 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척 |
WO2010047556A3 (ko) * | 2008-10-24 | 2010-07-22 | 주식회사 실트론 | 실리콘 단결정 잉곳 성장 장치의 시드척 |
CN102465344A (zh) * | 2010-11-18 | 2012-05-23 | 日立电线株式会社 | GaAs晶片及GaAs晶片的制造方法 |
JP2012106890A (ja) * | 2010-11-18 | 2012-06-07 | Hitachi Cable Ltd | GaAsウェハ及びGaAsウェハの製造方法 |
JP2012236750A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Hitachi Cable Ltd | GaAs単結晶ウエハ及びその製造方法 |
WO2014019788A1 (de) * | 2012-08-02 | 2014-02-06 | Siltronic Ag | Vorrichtung zur herstellung eines einkristalls durch kristallisieren des einkristalls an einer schmelzenzone |
KR20150013299A (ko) * | 2012-08-02 | 2015-02-04 | 실트로닉 아게 | 용융 영역에서의 단결정의 결정화에 의한 상기 단결정의 제조 장치 |
CN104540984A (zh) * | 2012-08-02 | 2015-04-22 | 硅电子股份公司 | 通过在熔化区使单晶结晶而制备单晶的装置 |
KR101683359B1 (ko) | 2012-08-02 | 2016-12-06 | 실트로닉 아게 | 용융 영역에서의 단결정의 결정화에 의한 상기 단결정의 제조 장치 |
US9932690B2 (en) | 2012-08-02 | 2018-04-03 | Siltronic Ag | Device for producing a monocrystal by crystallizing said monocrystal in a melting area |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101540225B1 (ko) | 단결정 제조장치 및 단결정의 제조방법 | |
JP2008007353A (ja) | サファイア単結晶育成装置およびそれを用いた育成方法 | |
JP6302192B2 (ja) | 単結晶の育成装置及び育成方法 | |
WO2011062092A1 (ja) | 単結晶引き上げ装置 | |
JP2017149641A (ja) | 液冷式熱交換機 | |
JP2008222481A (ja) | 化合物半導体の製造方法及び装置 | |
JP2015182944A (ja) | サファイア単結晶の製造方法 | |
JP2009132587A (ja) | 半導体結晶成長方法及び半導体結晶成長装置 | |
JP4645496B2 (ja) | 単結晶の製造装置および製造方法 | |
JP2005053722A (ja) | 単結晶製造装置及び単結晶の製造方法 | |
TW202113167A (zh) | ScAlMgO4單晶及其製作方法和自支撐基板 | |
JP2006232570A (ja) | GaAs単結晶の製造方法 | |
JP2010064936A (ja) | 半導体結晶の製造方法 | |
KR101983489B1 (ko) | SiC 단결정의 제조 방법 | |
JP6390568B2 (ja) | 酸化ガリウム単結晶育成用ルツボおよび酸化ガリウム単結晶の製造方法 | |
CN103266346B (zh) | 一种引上法生长yvo4晶体的生长设备及基于该生长设备的生长方法 | |
JP7078933B2 (ja) | 鉄ガリウム合金単結晶育成用種結晶 | |
JP5651480B2 (ja) | 3b族窒化物結晶の製法 | |
JP2011068515A (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
KR20140024140A (ko) | 사파이어 단결정 성장장치 | |
JP4399631B2 (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法、及びその製造装置 | |
JP2015140291A (ja) | サファイア単結晶育成用坩堝およびこの坩堝を用いたサファイア単結晶の製造方法 | |
JP2009057237A (ja) | 化合物半導体単結晶の製造方法 | |
JP2019043788A (ja) | 単結晶育成方法及び単結晶育成装置 | |
WO2022249614A1 (ja) | 単結晶製造装置 |