JP2017059549A - 発光装置、照明装置、及び表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
関する。
の電極の間に発光性の有機化合物を含む層を挟んだものである。この素子に電圧を印加す
ることにより、発光性の有機化合物から発光を得ることができる。
とができ、照明等に応用できる面光源としての利用価値も高い。
われている。有機EL素子を用いた表示装置は、液晶表示装置で必要であったバックライ
トを無くすことができ、薄型、高輝度、高コントラストの表示装置とすることができる。
り出す上面発光型、または下部電極層側と上部電極層側の両面から光を取り出す両面発光
型とがある。
子の上部電極や下部電極の抵抗に起因する電位降下が著しくなる傾向にある。当該電極に
おける電位降下が著しい場合、輝度の不均一が視認されてしまう問題がある。このような
問題を回避するため、当該電極に抵抗率の低い材料で形成された補助としての配線を接続
する必要がある。
ける必要性が高い。当該補助配線は、EL素子からの発光をなるべく遮らないようにレイ
アウトする必要がある。しかしながら、特に上部電極層側から発光を得る上面発光型(両
面発光型も含む)の場合、EL素子を形成した後に、補助配線を形成する必要があるため
、EL素子にダメージが加わる場合がある。例えばスパッタリング法で導電膜を形成した
後にフォトリソグラフィ法を用いて加工する場合、スパッタリングによる熱、及び物理的
なダメージや、フォトリソグラフィ法での加工における光や熱によるダメージ、レジスト
の除去時の有機溶媒などによるEL素子の溶解の問題などが挙げられる。
合物を含む層と、上部電極とを順次積層する方法としては、例えば真空蒸着法がある。真
空蒸着法を用いて島状の層を形成する方法としては、金属板に開口部を設けたメタルマス
ク(シャドーマスクともいう)を用いる方法が知られている。基板に接して蒸着源との間
に当該メタルマスクを設け、当該メタルマスクの開口部を介して基板に蒸着を行うと、開
口部の形状に応じた形状の層を形成できる。なお、メタルマスクと基板との距離が短いほ
ど、開口部に応じた明瞭な形状で、言い換えると周辺部のボケが少ない形状で、島状の層
が形成できる。
るものであるから、島状の形状とならざるを得ない。すなわち、配線パターンのように、
長く繋がった形状、あるいはループ部を含む形状を形成することは困難である。
メタルマスクの開口部にある開口端が基板表面を傷つけてしまう場合がある。具体的には
、メタルマスクを基板に接触する際に、メタルマスクが基板表面を擦り、基板上に形成済
みの他の層を破壊してしまう場合がある。また、メタルマスクに付着したゴミ(パーティ
クルと呼ばれる小さな異物を含む)をメタルマスクから基板に転写してしまう場合もある
。
様は、上部電極の抵抗に起因する電位降下が抑制され、且つ信頼性の高い発光装置を提供
することを課題の一とする。また、メタルマスクを用いずにEL層及び上部電極を形成可
能で、且つ信頼性の高い発光装置を提供することを課題の一とする。また、このような発
光装置が適用された照明装置、及び表示装置を提供することを課題の一とする。
板側に設ける構成に着眼した。発光装置が有する導電性の補助配線は基板上に設けられ、
その上部が基板に水平方向にせり出した形状とする。さらに下部電極層および補助配線を
含む領域に形成されたEL層は当該補助配線で物理的に分断され、また同様に形成された
上部電極層は少なくとも補助配線の側面の一部に電気的に接続する構成とすればよい。ま
たこのような補助配線を照明装置、及び表示装置に適用すればよい。
に分離された補助配線と、下部電極層上にEL層と、EL層上に上部電極層と、を有する
。また、当該補助配線は、導電性を有し、その上部が基板に水平な方向にせり出した形状
を有する。上部電極層は、補助配線と電気的に接続する。
る。当該補助配線は、その上部が基板に水平な方向にせり出した形状を有するように、言
い換えると、基板面に対する投影面よりも、底部の接触面が内側になるように形成される
。このような形状の補助配線を基板側に形成することにより、メタルマスクを用いずにE
L層を形成した場合に、当該補助配線によって分断させることができる。また、上部電極
を補助配線の少なくとも側面の一部に接触するように形成することで、補助配線を隔てて
形成される上部電極同士は補助配線を介して電気的に接続される。
れ、且つ信頼性の高い発光装置とすることができ、また、メタルマスクを用いなくともE
L層及び上部電極層を形成可能となる。
部の最も外側の点と、当該補助配線の側部の最もせり出した点とを結んだ線との間に、空
間を有する。
の側部の最もせり出した点とを結んだ線との間に、空間を有する形状とすることにより、
EL層が側部に形成されることを抑制し、効果的にEL層を分断させることができる。
極層は、当該光を反射する。
補助配線を適用することにより、効果的に上部電極の導電性を補助することができる。
が抑制され、また、メタルマスクを用いずにEL層及び上部電極を形成可能であるため、
信頼性の高い照明装置とすることができる。
とができる。したがって、上部電極の抵抗に起因する電位降下が抑制され、また、メタル
マスクを用いずにEL層及び上部電極を形成可能であるため、信頼性の高い表示装置とす
ることができる。
、導電性を有し、基板に水平な方向にせり出した側部を有する補助配線を形成する工程と
、上記下部電極層上にEL層を形成する工程と、当該EL層上に、補助配線の少なくとも
側面の一部と電気的に接続するように、上部電極層を形成する工程と、を有する。
頼性の高い発光装置を作製することができる。また上部電極上ではなく基板側に補助配線
を設けるため、補助配線形成工程におけるEL層へのダメージを無くすことができ、信頼
性が高く、また上部電極の抵抗に起因する電位降下が抑制された発光装置を作製すること
ができる。
のとする。従って、電極間に挟まれた発光物質である有機化合物を含む発光層はEL層の
一態様である。
頼性の高い発光装置を提供できる。また、メタルマスクを用いずにEL層及び上部電極を
形成可能で、且つ信頼性の高い発光装置を提供できる。また、このような発光装置が適用
された照明装置、及び表示装置を提供できる。
されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更
し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下に示す実施の形態
の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する発明の構成におい
て、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い
、その繰り返しの説明は省略する。
明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されな
い。
本実施の形態では、本発明の一態様である発光装置の一例について、図1乃至図4を用
いて説明する。
図1(A)は発光装置100の上面概略図である。また、図1(B)は図1(A)内の
切断線A−A’における断面概略図であり、図1(C)は切断線B−B’における断面概
略図である。なお、明瞭化のため、図1(A)にはEL層及び上部電極層は明示していな
い。
EL層105、及び上部電極層107を有する。また、補助配線111と接続する、配線
113、及び発光装置100の外周を囲う、分離層115を備える。
07を覆う封止膜を有していてもよい。下地膜や封止膜を設けることにより、EL層の劣
化を抑制することができ、発光装置100の信頼性を高めることができる。
層105とからなる発光素子に電圧を印加することにより発光を得ることができる。
部電極層103の端部に形成された隔壁109は、EL層105及び上部電極層107が
、下部電極層103の端部において断線することのないように設けられる。そのため、隔
壁109は、その上面に形成される膜が途切れないよう、順テーパ形状を有していること
が好ましい。順テーパ形状とは、断面において、ある層がその端部からなだらかに厚さを
増して下地となる層と接する構成を言う。
り、下部電極層103上に設けられた隔壁109上に形成される。補助配線111は、そ
の上部が基板と平行な方向にせり出した形状を有している。言い換えると、補助配線11
1を基板表面に投影した場合において、その最も大きい投影面積よりも、隔壁109と接
触する領域の面積が小さく、且つ内側に設けられる形状を有する。
極層107を形成することにより、図1(B)に示すように、EL層105は補助配線1
11によって分断され、また上部電極層107は補助配線111の少なくとも側面の一部
と接し、電気的に接続された構成とすることができる。
て発光装置100の発光領域全域に渡って電気的接続が保証される。さらに、上部電極層
107の抵抗に起因する電位降下は当該上部電極層107と電気的に接続された補助配線
111によって抑制される。
れた配線113と電気的に接続する。配線113は上部電極層107に印加する電位を与
えることができる。なお、本実施の形態では、配線113を下部電極層103と同じ材料
、工程で形成する構成としたが、上部電極層107よりも十分に低抵抗な材料を用いて別
途作製してもよい。また、補助配線111を発光装置100よりも外側に引き回し、直接
電位を与える構成としてもよい。
ようにして設けられた分離層115は、EL層105及び上部電極層107を分断する。
分離層115を設けることにより、発光装置100同士を隣接して配置する場合にこれら
を電気的に分離することができる。
に分断する。分離層115は、補助配線111と同様に、その上部が基板に平行な方向に
せり出した形状を有している。EL層105及び上部電極層107を分断させるために、
分離層115が、分離層115の側部に上部電極層107が形成されないような形状を有
する。例えば、分離層115の最もせり出した点と、分離層115の側面が隔壁109と
接する点とを結んだ線と基板面との角度が補助配線111と比較して小さくなるように形
成すればよい。また、上記の線と分離層115の側面との間に空間を設けるように、くび
れた形状としてもよい。
離する必要のない場合は、分離層115は設けなくてもよい。
が、例えば基板101上に形成された配線113上に開口部を有する平坦化膜を設け、そ
の上に発光装置100を設ける構成としてもよい。配線113を発光装置100の下側に
引き回すことにより、基板101の面積に対する発光面積を大きくすることができる。
及び上部電極層107を、メタルマスクを用いずに形成することができる。また、低抵抗
な材料からなる補助配線111により、上部電極層107の抵抗に起因する電位降下の影
響を極めて抑制し、信頼性の高い発光装置とすることができる。特に、上部電極層107
として抵抗の高い透明導電膜を用いた上面発光型の発光装置の場合において大きな効果を
奏する。また、メタルマスクを用いずにEL層及び上部電極層を形成することが可能なた
め、メタルマスクと基板との接触による不具合が排除され、信頼性の高い発光装置とする
ことができる。
置100を囲うように分離層115を設けることにより、メタルマスクを用いずにEL層
105及び上部電極層107を形成した際にこれらを電気的に分離することができる。
上記で例示した補助配線は、EL層105を分断し、且つ上部電極層107と接続し電
気的に分断させない形状であれば、様々な形態をとることができる。以下、図3を用いて
補助配線として用いることのできる形状の例について説明する。
量のEL層105の材料が補助配線の側部に成膜される場合には、このようにくびれた形
状とすることにより、効果的にEL層105を分断することができる。
bの積層構造をなしている。台部131bの最もせり出した領域に対し、脚部131aの
隔壁109と接する領域が内側になるよう形成される。上部電極層107は、少なくとも
脚部131aと接触することにより、電気的に分断されない。台部131bは、絶縁性を
有していてもよいが、導電性材料を用いて形成すると補助配線131の抵抗を小さくする
ことができるため好ましい。また、脚部131aの形状を順テーパ形状とすることにより
、比較的少量の上部電極層107の材料が台部131bの側部に成膜される場合にも上部
電極層107と脚部131aとの接触面積を大きくすることができるため好ましい。
部141bから構成される。ここで台部141bを、底部の基板101と対向した面が部
分的に露出するように形成することにより、より効果的にEL層105を分断することが
できる。また、脚部141aは、順テーパ形状としてもよく、上部電極層107は、少な
くとも脚部141aと接するように形成する。ここで台部141bは、上記と同様に絶縁
性の材料を用いて形成してもよいが、導電性材料を用いることが好ましい。
3(D)に示す補助配線151は、下部電極層103と同様の材料、工程で形成された配
線153上に接して形成される。このような構成とすることにより、補助配線151の抵
抗をさらに小さくできるため、上部電極層107の抵抗に起因する電位降下の影響を極め
て抑制することができる。なお、ここで示した配線153は下部電極層103とは異なる
材料、工程で形成してもよく、低抵抗な材料で形成することが好ましい。
脚部171aと台部171bとの間に接続層175が形成されている。接続層175は、
配線153の上面に接し、且つ脚部171aの少なくとも側面を覆うように形成されてい
る。このような構成とすることにより、脚部171a及び台部171bを有機樹脂などの
絶縁性材料で形成しても接続層175により実質的に補助配線171の側面の一部に導電
性を持たせることができる。ここで、脚部171aを有機樹脂で形成すると、脚部171
aの高さを大きくすることが容易であり、脚部171aの側部に上部電極層107を容易
に形成できるため、上部電極層107と接続層175の接触面積の増大に伴い接触抵抗が
低減されるため好ましい。また、上部電極層107を構成する導電膜と、配線153を構
成する導電膜とが接触することにより、配線153を構成する導電膜が腐食してしまう場
合(例えばITO(酸化インジウム酸化スズ)とアルミニウムを用いた場合)においては
、上部電極層107と配線153の間に、これらを構成する導電膜と親和性の高い導電膜
で構成される接続層175を用いると、上記腐食の影響をなくすことができる。
示す構成では、下部電極層183は3層の導電膜が積層されて構成されている。例えば、
低抵抗な導電膜を化学的に安定な(反応や腐食が起こりにくい)導電膜で挟持した積層膜
を用いると、導電性と信頼性が高まるため好ましい。補助配線181は下部電極層183
を構成する上層の2層と同一の導電膜で構成され、脚部181a、台部181bを有する
。また、補助配線181は下部電極層183を構成する最下層と同一の導電膜で構成され
た配線185上に形成されている。脚部181aの側面は、台部181bの端部よりも内
側に設けられるように形成されている。このような形状は、例えば脚部181aを構成す
る導電膜と、台部181b及び配線185を構成する導電膜のエッチング速度の違いを利
用して、脚部181aの側面をエッチングにより後退させることにより、配線185上に
補助配線181を形成することができる。このような構成の補助配線181を用いること
により、作製工程を簡略化することができる。
に下面発光型(両面発光型を含む)の発光装置の場合、下部電極層103として比較的抵
抗の高い光透過性の導電材料を用いるため、下部電極層103に当該補助配線を設けるこ
とは有効である。また、上面発光型の発光装置においても、発光面積を大きくすると下部
電極層103の抵抗値が無視できなくなる場合があるため、当該補助配線が必要な場合が
ある。以下、下部電極層103に設ける補助配線の一例について図4を用いて説明する。
このような構成は、下面発光型の場合その光を遮蔽する領域が補助配線117のみとなる
ため、開口率を大きくすることができる。また上面発光型の場合は、補助配線117の直
上も発光領域とすることができるため、開口率の低下がなく好ましい。
懸念される場合は、補助配線117の端部を覆う隔壁119を備える構成としてもよい。
図4(B)は、補助配線117の端部を覆う隔壁119を下部電極層103に接して設け
る構成である。EL層105及び上部電極層107の積層は、補助配線117の端部上に
おいて隔壁119に接して形成されるため、断線が抑制される。また、図4(C)のよう
に当該隔壁119を補助配線117と下部電極層103との間に設ける構成としてもよい
。特に上面発光型の場合はこのような構成とすることにより、隔壁119の真上も発光領
域とすることができるため好ましい。
例示したが、上側に設ける構成としてもよい。また、その場合、補助配線117の端部に
起因する段差の影響を緩和するため、適宜隔壁119を設ければよい。
以下にそれぞれの層に用いることができる材料の一例を記す。
発光装置100が下面発光型、両面発光型の場合、基板101の材料としては、ガラス
、石英、有機樹脂などの透光性を有する材料を用いることができる。また上面発光型の場
合は、透光性を有していなくともよく、上記の材料に加え金属、半導体、セラミック、有
色の有機樹脂などの材料を用いることができる。導電性の基板を用いる場合、その表面を
酸化させる、若しくは表面に絶縁膜を形成することにより絶縁を持たせることが好ましい
。
レフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂、
ポリアクリルニトリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカー
ボネート(PC)樹脂、ポリエーテルスルフォン(PES)樹脂、ポリアミド樹脂、シク
ロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、またはポリ塩化ビニル樹
脂などを用いることができる。また、ガラス繊維に有機樹脂を含浸した基板や、無機フィ
ラーを有機樹脂に混ぜた基板を使用することもできる。
板を用いることが好ましい。EL素子を用いた大型の照明装置の場合、EL素子からの発
熱が問題となる場合があるため、このような熱伝導性の高い基板を用いると放熱性が高ま
る。例えば、ステンレス基板のほかに、アルミニウム酸化物、ジュラルミンなどを用いる
と、軽量且つ放熱性を高めることができる。また、アルミニウムとアルミニウム酸化物と
の積層、ジュラルミンとアルミニウム酸化物との積層、ジュラルミンとマグネシウム酸化
物との積層などを用いると、基板表面を絶縁性とすることができるため好ましい。
下面発光型、両面発光型の発光装置の場合、封止膜・下地膜は、透光性且つバリア性を
有する材料を用いて形成することができる。上面発光型の発光装置では、必ずしも透光性
を有していなくともよい。
きる。例えば、窒化ケイ素膜、酸化アルミニウム膜、酸化ケイ素膜などを形成すればよい
。また、光射出方向と反対側に設けられる封止膜、または下地膜は、金属膜と上記無機絶
縁膜を積層したものを用いてもよい。
備えるものが好ましい。また、封止膜の構成としては、例えば無機物を含む層を少なくと
も一層、有機物を含む層の間に挟んで積層したものを用いることができる。有機物を含む
層としては、例えばエポキシ系などの接着材層を一例として挙げることができ、無機物を
含む層としては酸化珪素、窒化珪素などバリア性を有する膜を一例として挙げることがで
きる。
以下の厚さのガラス層を用いてもよい。ガラス層の厚さは、代表的には、45μm以上8
0μm以下である。有機樹脂基板とガラス層とを組み合わせることで水分又は不純物等が
発光装置の外部から発光素子に含まれる有機化合物や金属材料に侵入することを抑制する
ことができ、かつ発光装置の軽量化を実現することができる。
分離層は無機絶縁材料、有機絶縁材料を用いて形成することができる。例えば、ネガ型
やポジ型の感光性を有する樹脂材料、非感光性の樹脂材料などを用いることができる。
光射出側の電極層に用いることができる透光性を有する材料としては、酸化インジウム
、酸化インジウム酸化スズ(ITO)、酸化インジウム酸化亜鉛、酸化亜鉛、ガリウムを
添加した酸化亜鉛、グラフェンなどを用いることができる。
ロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、又はチタン等の金属材料や、これら
の合金を用いることができる。または、それら金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)
等を用いてもよい。なお、金属材料(又はその窒化物)を用いる場合、透光性を有する程
度に薄くすればよい。また、グラフェンを用いることもできる。
ムの合金とITOとの積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい
。
0nm以上130nm以下、さらに好ましくは100nm以上110nm以下である。
高い物質を含む層、正孔輸送性の高い物質を含む層、電子注入性の高い物質を含む層、正
孔注入性の高い物質を含む層、バイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物
質)を含む層等を適宜組み合わせた積層構造を構成することができる。
れた発光素子(タンデム型発光素子)を適用することができる。好ましくは、2〜4層(
特に3層)構造とする。EL層の構成例は実施の形態5で詳細に説明する。
射性を有する材料としては、アルミニウム、金、白金、銀、ニッケル、タングステン、ク
ロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、又はパラジウム等の金属材料を用いることができ
る。そのほか、アルミニウムとチタンの合金、アルミニウムとニッケルの合金、アルミニ
ウムとネオジムの合金などのアルミニウムを含む合金(アルミニウム合金)や銀と銅の合
金、銀とマグネシウムの合金などの銀を含む合金を用いることもできる。銀と銅の合金は
、耐熱性が高いため好ましい。さらに、アルミニウム合金膜に接する金属膜、又は金属酸
化物膜を積層することでアルミニウム合金膜の酸化を抑制することができる。該金属膜、
金属酸化物膜の材料としては、チタン、酸化チタンなどが挙げられる。
補助配線・配線の材料としては、銅(Cu)、チタン(Ti)、タンタル(Ta)、タ
ングステン(W)、モリブデン(Mo)、クロム(Cr)、ネオジム(Nd)、スカンジ
ウム(Sc)、ニッケル(Ni)、から選ばれた材料又はこれらを主成分とする合金材料
を用いて、単層で又は積層して形成する。また、配線の材料としてアルミニウムを用いる
こともできるが、その場合にはITOなどと直接接して設けると腐食する恐れがある。よ
って、配線を積層構造とし、ITOなどと接しない層にアルミニウムを用いればよい。ま
た銅は抵抗が低いため、好適に用いることができる。配線の膜厚は、100nm以上35
μm以下とすることが好ましい。
隔壁の材料としては、例えば、ポリイミド、アクリル、ポリアミド、エポキシ等の有機
樹脂、無機絶縁材料を用いることができる。
度以上85度以下、好ましくは60度以上80度以下を有する。
って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。具体的には、絶縁膜の断面
が描いている曲線の曲率半径が、0.2〜2μm程度であることが望ましい。
ェット法等)、印刷法(スクリーン印刷、オフセット印刷等)などを用いればよい。
50nm以上3μm以下である。
平坦化膜は、無機絶縁材料又は有機絶縁材料を用いて形成することができる。なお、ア
クリル樹脂、ポリイミド、ベンゾシクロブテン系樹脂、ポリアミド、エポキシ樹脂等の、
耐熱性を有する有機絶縁材料を用いると、平坦化絶縁膜として好適である。また上記有機
絶縁材料の他に、低誘電率材料(low−k材料)、シロキサン系樹脂、PSG(リンガ
ラス)、BPSG(リンボロンガラス)等を用いることができる。なお、これらの材料で
形成される絶縁膜を複数積層させることで、平坦化膜を形成してもよい。
コート法、ディッピング法、印刷法、インクジェット法等を用いることができる。
とができる。
本実施の形態では、実施の形態1で例示した発光装置100の作製方法の一例について
、図5及び図6を用いて説明する。
するが、下面射出型とする場合は下部電極層に透光性の材料を用い、上部電極層に反射性
を有する材料を用いればよい。また両面射出型とする場合はその両方の電極層に透光性の
材料を用いればよい。
の形態1で例示した材料を用い、スパッタリング法、蒸着法等の成膜方法を適用すること
ができる。その後、当該導電膜に対し、フォトリソグラフィ法などの加工方法を用いて不
要な部分を除去することにより、下部電極層103が形成される。
膜として機能する絶縁膜を用いることができ、CVD法、スパッタリング法等の成膜方法
により形成できる。
を形成した後、下部電極層103を形成してもよい。その場合、配線113は下部電極層
103の形成と同様、導電膜を形成した後に不要な部分を除去することにより形成できる
。また、平坦化膜は実施の形態1で例示した材料、方法で形成することができる。
ける場合は、下部電極層103の形成工程よりも前に補助配線117を形成する。補助配
線117も下部電極層103と同様に、導電膜を形成した後に不要な部分を除去すること
により形成できる。また必要であれば隔壁119もこの時点で形成する。
103の形成前又は後の段階で形成する。
り適宜形成することができる。
する場合について説明する。
態1で例示した材料を用いることができ、スパッタリング法、蒸着法などを用いて成膜す
ることができる。
ト163の形成は公知のフォトリソグラフィ工程を適用可能で、感光性を有する樹脂材料
を塗布し、露光、現像処理を行うことにより形成できる。この時点での断面概略図を図5
(B)に示す。
助配線111を形成する。この際、エッチング後の補助配線111の形状が、基板101
に平行な面に対する投影面よりも、底部と隔壁109との接触面が小さく、且つ当該投影
面の内側になるように形成する。
法としては、例えば、ドライエッチング法を用いてレジスト163がエッチングされない
、若しくは極めてエッチング速度の遅い条件で導電膜161をエッチングした後、さらに
下部がエッチングされるようにエッチング時間を延長することにより形成することができ
る。
図5(C)に相当する。
165を形成する(図6(A))。このとき、犠牲層165の開口部が、基板101に近
いほど狭くなるような形状とすることが望ましい。犠牲層165は、感光性の有機材料な
どを用いて形成すればよい。
B))。導電膜167は、例えばスパッタリング法や蒸着法などを用いて厚い導電膜を成
膜した後、化学的機械的研磨(Chemical Mechanical Polish
ing:CMP)処理によって上層を除去して形成することができる。または、犠牲層1
65の開口部の底部にシード層を形成した後、電気めっきや化学めっき法を用いて形成す
ることができる。シード層は液滴吐出法などを用いることができる。
助配線111が形成される(図6(C))。犠牲層165の除去は、これと接する隔壁1
09や下部電極層103などの各層をエッチングしないような条件で行うことが好ましい
。
す補助配線141のような、2層からなる補助配線を形成する場合は、例えば台部を加工
した後に、台部をマスクとして脚部を加工してもよいし、台部と脚部をまず異方性エッチ
ングにより同時に加工した後に脚部の側面を後退させるように追加でエッチングしてもよ
い。また、先に脚部を加工してから台部を形成することもできる。2層以上からなる補助
配線は、用いる材料に応じて作製方法を選択することができる。
部電極層103及び配線153のそれぞれの端部を覆い、且つ配線153上に開口部を有
する隔壁109を形成し、当該隔壁109の開口部に補助配線151を形成すればよい。
ここで、補助配線151となる導電膜のエッチングの際、配線153が完全には除去され
ない方法を適宜選択する。
(図5(D))。
05は補助配線111によって物理的に分断される。EL層105の端部は隔壁109に
接して形成されるとともに、一部が補助配線111上にも形成される。
電極層107の形成において、上部電極層107が補助配線111の少なくとも側面の一
部に接触することが重要である。上部電極層107が補助配線111の少なくとも側面の
一部に接触するために、例えば蒸着源やスパッタリング用ターゲットと基板101との距
離を短くして成膜することなどが挙げられる。例えばマグネトロンスパッタリング法を用
いた場合、基板101と対向する位置にスパッタリング用ターゲットを配置したときのス
パッタリング用ターゲットと基板101との距離を5mm以上200mm以下、好ましく
は30mm以上150mm以下に設定すればよい。また、他の方法としては、スパッタリ
ング用ターゲットを基板101と対向した位置から、基板101の表面に平行な方向にず
らして成膜を行う、または基板101の表面に対してスパッタリング用ターゲットの表面
を傾けて成膜してもよい。また、ミラートロンスパッタリング法を用いると、補助配線1
11の側面の一部に接して成膜できる。
部に接触するため、補助配線111と電気的に接続される。したがって発光装置100の
発光時における、上部電極層107の抵抗に起因する電位降下を抑制することが可能とな
る。
の分離層115を設ける場合は、EL層105を形成する前、または上部電極層107を
形成する前に分離層115を形成すればよい。
行うことにより形成することができる。このとき、露光に用いる光の強度が膜厚方向に基
板に近い領域ほど弱くなるように露光することにより、図2に示したように逆テーパ形状
とすることができる。
であることが重要である。例えば、補助配線111の形状にくらべて、より上部が基板に
平行な方向に突き出るか、くびれの大きな形状とすることにより、上部電極層107の成
膜時の回りこみを抑制することができる。
、絶縁性の有機材料、無機材料を組み合わせて形成してもよい。
部からの水などの不純物の浸入を抑制できるため、信頼性の高い発光装置100とするこ
とができる。
を適用することにより、メタルマスクを用いることなく発光装置100を形成することが
できるため、メタルマスクと基板との接触による不具合が排除され、信頼性の高い発光装
置とすることができる。
とができる。
本実施の形態では、上記実施の形態で例示した補助配線を複数の画素部を有する表示装
置に適用した例について、図7を用いて説明する。
配線211を有する。明瞭化のため、図7(A)には、画素部には下部電極層203と、
下部電極層203上に破線で囲って示した発光領域と、円形の破線で示したコンタクト領
域のみを図示している。
概略図である。断面D−D’は、上記コンタクト領域と、画素部201に設けられるトラ
ンジスタ220とを含む領域の断面概略図であり、断面E−E’は、隣接する2つの画素
部201と、その間の補助配線211とを含む領域の断面概略図である。
トランジスタ220にコンタクト領域を介して接続された下部電極層203と、EL層2
05と、上部電極層207とを有する。また、下部電極層203の端部、及びコンタクト
領域を覆う隔壁209を有する。
3、ゲート電極225を有する。また、トランジスタ220を覆う第1絶縁層231に形
成されたコンタクトホールを介して、半導体層223に設けられるソース又はドレインの
一方に第1電極227が、ソース又はドレインの他方に第2電極229がそれぞれ接続さ
れる。
う第2絶縁層233に設けられたコンタクト領域を介して、第1電極227と下部電極層
203とが接続される。したがって、トランジスタ220と下部電極層203とが接続さ
れる。
るいは電流が制御され、画素部201からの発光が制御される。
209上に形成され、その少なくとも側面の一部が上部電極層207と接触する。したが
って、複数の画素部201が有する上部電極層207は、補助配線211を介して電気的
に接続されている。
できる。また、補助配線211は、配線上に形成されていてもよい。
200の駆動方法、回路構成などにより、複数のトランジスタや、容量素子などの回路素
子を有していてもよい。
上面発光型とすることで発光領域の開口率を大きくすることができるため好ましい。また
、下面発光型、両面発光型とする場合は、トランジスタ220を構成する材料(半導体層
223、ゲート電極225、第1電極227、第2電極229等)に透光性を有する材料
を適用すると、効率的に発光を得られるため好ましい。
ラーフィルターを設けて光を取り出すことが好ましい。当該カラーフィルターは、基板1
01上に形成してもよいし、対向基板上に形成してもよい。画素部201からの発光色を
同一とすると、画素部201ごとにEL層205を塗り分ける必要が無く、メタルマスク
を用いずに一度の工程でEL層205を形成することができる。
下面発光とが干渉して特定の波長の光が強めあうように、下部電極層203上に光路長調
整膜を形成してもよい。当該光路長調整膜は透光性を有し、EL層205へのキャリアの
注入に影響しない膜を用いることが好ましい。
ける共通配線としても用いることができる。当該共通配線には、上部電極層207に印加
される電位が与えられる。補助配線211をこのような共通配線として用いる場合は、例
えば補助配線211を表示装置200に接続された、複数の画素部201の発光を制御す
る駆動回路部の直上に設けることができる。当該駆動回路部の直上に共通配線として用い
る補助配線211を設けることにより、駆動回路部と表示装置200との接合部の面積を
小さくすることができ、好適である。
の抵抗に起因する電位降下が抑制され、且つ信頼性の高い表示装置とすることができる。
また、メタルマスクを用いずにEL層及び上部電極を形成することが可能なため、メタル
マスクと基板との接触による不具合が排除され、信頼性の高い表示装置とすることができ
る。
とができる。
本実施の形態では、実施の形態1で例示した発光装置が適用された、上面発光型の照明
装置の例について図8を用いて説明する。
形成されている。また第1の基板301aと、これと対向する透光性を有する第2の基板
301bとは、発光装置303を覆うシール材305aと、端部に設けられるシール材3
05bによって貼り合わされた構成となっている。
。EL素子を用いた大型の照明装置の場合、EL素子からの発熱が問題となる場合がある
ため、このような熱伝導性の高い基板を用いると放熱性が高まる。例えば、ステンレス基
板のほかに、アルミニウム酸化物、ジュラルミンなどを用いると、軽量且つ放熱性を高め
ることができる。また、アルミニウムとアルミニウム酸化物との積層、ジュラルミンとア
ルミニウム酸化物との積層、ジュラルミンとマグネシウム酸化物との積層などを用いると
、基板表面を絶縁性とすることができるため好ましい。
の基板301bの表裏面など、発光装置303からの発光と交差する面に凹凸形状を設け
、全反射を抑制する構成としてもよい。例えば、半球レンズ、マイクロレンズアレイ、凹
凸構造が施されたフィルム、光拡散フィルムなどを貼り付けてもよいし、直接凹凸形状を
形成してもよい。
用いることができる。例えば熱硬化型の材料、紫外線硬化型の材料などからなる公知のシ
ール材を用いることができる。特に、シール材305aには透光性を有する材料を用いる
ことが好ましい。これらの材料は、できるだけ水分や酸素などの不純物を透過しない材料
であることが望ましい。また、乾燥剤入りのシール材を用いることもできる。
光装置303が、第2のガラス層307bで封止されたものを、第1の基板301a及び
第2の基板301bで囲う構成となっている。
合わされており、第1の基板301aと、第2の基板301bとはシール材305bで貼
り合わされている。
て不活性気体(窒素、アルゴン等)を充填してもよいし、透光性を有するシール材で充填
していてもよい。
るため、外部からの水分、酸素などの不純物の浸入を抑制でき、信頼性の高い発光装置と
することができる。
するコンバータ309が設けられている。コンバータ309は例えば家庭用電源の電源電
圧から、照明駆動用の電源電圧に変換する。なお、コンバータ309はシール材305b
よりも内側に形成されていてもよい。
板、金属薄膜などの可撓性を有する材料を用いることにより、軽量で可撓性を有する照明
装置とすることができる。
とする場合には、発光装置が設けられる側の基板に透光性の基板を用いればよい。
とができる。
本実施の形態では、本発明の一態様に適用できるEL層の一例について、図9を用いて
説明する。
れている。第1の電極103及び第2の電極107は、上記実施の形態と同様の構成を適
用することができる。
そのほか、電子輸送性の高い物質を含む層、正孔輸送性の高い物質を含む層、電子注入性
の高い物質を含む層、正孔注入性の高い物質を含む層、バイポーラ性の物質(電子輸送性
及び正孔輸送性が高い物質)を含む層等を適宜組み合わせた積層構造を構成することがで
きる。本実施の形態において、EL層105は、第1の電極103側から、正孔注入層7
01、正孔輸送層702、発光性の有機化合物を含む層703、電子輸送層704、及び
電子注入層705の順で積層されている。なお、これらを反転させた積層構造としてもよ
い。
しては、例えば、モリブデン酸化物、チタン酸化物、バナジウム酸化物、レニウム酸化物
、ルテニウム酸化物、クロム酸化物、ジルコニウム酸化物、ハフニウム酸化物、タンタル
酸化物、銀酸化物、タングステン酸化物、マンガン酸化物等の金属酸化物を用いることが
できる。また、フタロシアニン(略称:H2Pc)、銅(II)フタロシアニン(略称:
CuPc)等のフタロシアニン系の化合物を用いることができる。
ノ)トリフェニルアミン(略称:TDATA)、4,4’,4’’−トリス[N−(3−
メチルフェニル)−N−フェニルアミノ]トリフェニルアミン(略称:MTDATA)、
4,4’−ビス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルアミノ]ビフェ
ニル(略称:DPAB)、4,4’−ビス(N−{4−[N’−(3−メチルフェニル)
−N’−フェニルアミノ]フェニル}−N−フェニルアミノ)ビフェニル(略称:DNT
PD)、1,3,5−トリス[N−(4−ジフェニルアミノフェニル)−N−フェニルア
ミノ]ベンゼン(略称:DPA3B)、3−[N−(9−フェニルカルバゾール−3−イ
ル)−N−フェニルアミノ]−9−フェニルカルバゾール(略称:PCzPCA1)、3
,6−ビス[N−(9−フェニルカルバゾール−3−イル)−N−フェニルアミノ]−9
−フェニルカルバゾール(略称:PCzPCA2)、3−[N−(1−ナフチル)−N−
(9−フェニルカルバゾール−3−イル)アミノ]−9−フェニルカルバゾール(略称:
PCzPCN1)等の芳香族アミン化合物等を用いることができる。
る。例えば、ポリ(N−ビニルカルバゾール)(略称:PVK)、ポリ(4−ビニルトリ
フェニルアミン)(略称:PVTPA)、ポリ[N−(4−{N’−[4−(4−ジフェ
ニルアミノ)フェニル]フェニル−N’−フェニルアミノ}フェニル)メタクリルアミド
](略称:PTPDMA)、ポリ[N,N’−ビス(4−ブチルフェニル)−N,N’−
ビス(フェニル)ベンジジン](略称:Poly−TPD)などの高分子化合物が挙げら
れる。また、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸
)(PEDOT/PSS)、ポリアニリン/ポリ(スチレンスルホン酸)(PAni/P
SS)等の酸を添加した高分子化合物を用いることができる。
含有させた複合材料を用いることが好ましい。正孔輸送性の高い物質にアクセプター性物
質を含有させた複合材料を用いることにより、第1の電極103からの正孔注入性を良好
にし、発光素子の駆動電圧を低減することができる。これらの複合材料は、正孔輸送性の
高い物質とアクセプター物質とを共蒸着することにより形成することができる。該複合材
料を用いて正孔注入層701を形成することにより、第1の電極103からEL層105
への正孔注入が容易となる。
香族炭化水素、高分子化合物(オリゴマー、デンドリマー、ポリマー等)など、種々の化
合物を用いることができる。なお、複合材料に用いる有機化合物としては、正孔輸送性の
高い有機化合物であることが好ましい。具体的には、10−6cm2/Vs以上の正孔移
動度を有する物質であることが好ましい。但し、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であ
れば、これら以外のものを用いてもよい。以下では、複合材料に用いることのできる有機
化合物を具体的に列挙する。
A、DPAB、DNTPD、DPA3B、PCzPCA1、PCzPCA2、PCzPC
N1、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称
:NPB又はα−NPD)、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェ
ニル−[1,1’−ビフェニル]−4,4’−ジアミン(略称:TPD)、4−フェニル
−4’−(9−フェニルフルオレン−9−イル)トリフェニルアミン(略称:BPAFL
P)等の芳香族アミン化合物や、4,4’−ジ(N−カルバゾリル)ビフェニル(略称:
CBP)、1,3,5−トリス[4−(N−カルバゾリル)フェニル]ベンゼン(略称:
TCPB)、9−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバ
ゾール(略称:CzPA)、9−フェニル−3−[4−(10−フェニル−9−アントリ
ル)フェニル]−9H−カルバゾール(略称:PCzPA)、1,4−ビス[4−(N−
カルバゾリル)フェニル]−2,3,5,6−テトラフェニルベンゼン等のカルバゾール
誘導体を用いることができる。
−BuDNA)、2−tert−ブチル−9,10−ジ(1−ナフチル)アントラセン、
9,10−ビス(3,5−ジフェニルフェニル)アントラセン(略称:DPPA)、2−
tert−ブチル−9,10−ビス(4−フェニルフェニル)アントラセン(略称:t−
BuDBA)、9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)、9,10
−ジフェニルアントラセン(略称:DPAnth)、2−tert−ブチルアントラセン
(略称:t−BuAnth)、9,10−ビス(4−メチル−1−ナフチル)アントラセ
ン(略称:DMNA)、9,10−ビス[2−(1−ナフチル)フェニル]−2−ter
t−ブチルアントラセン、9,10−ビス[2−(1−ナフチル)フェニル]アントラセ
ン、2,3,6,7−テトラメチル−9,10−ジ(1−ナフチル)アントラセン等の芳
香族炭化水素化合物を用いることができる。
、9,9’−ビアントリル、10,10’−ジフェニル−9,9’−ビアントリル、10
,10’−ビス(2−フェニルフェニル)−9,9’−ビアントリル、10,10’−ビ
ス[(2,3,4,5,6−ペンタフェニル)フェニル]−9,9’−ビアントリル、ア
ントラセン、テトラセン、ルブレン、ペリレン、2,5,8,11−テトラ(tert−
ブチル)ペリレン、ペンタセン、コロネン、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル
)ビフェニル(略称:DPVBi)、9,10−ビス[4−(2,2−ジフェニルビニル
)フェニル]アントラセン(略称:DPVPA)等の芳香族炭化水素化合物を用いること
ができる。
フルオロキノジメタン(略称:F4−TCNQ)、クロラニル等の有機化合物や、遷移金
属酸化物を挙げることができる。また、元素周期表における第4族乃至第8族に属する金
属の酸化物を挙げることができる。具体的には、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タン
タル、酸化クロム、酸化モリブデン、酸化タングステン、酸化マンガン、酸化レニウムは
電子受容性が高いため好ましい。中でも特に、酸化モリブデンは大気中でも安定であり、
吸湿性が低く、扱いやすいため好ましい。
物と、上述した電子受容体を用いて複合材料を形成し、正孔注入層701に用いてもよい
。
しては、例えば、NPB、TPD、BPAFLP、4,4’−ビス[N−(9,9−ジメ
チルフルオレン−2−イル)−N−フェニルアミノ]ビフェニル(略称:DFLDPBi
)、4,4’−ビス[N−(スピロ−9,9’−ビフルオレン−2−イル)−N―フェニ
ルアミノ]ビフェニル(略称:BSPB)等の芳香族アミン化合物を用いることができる
。ここに述べた物質は、主に10−6cm2/Vs以上の正孔移動度を有する物質である
。但し、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものを用いてもよい
。なお、正孔輸送性の高い物質を含む層は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層
が二層以上積層したものとしてもよい。
導体や、t−BuDNA、DNA、DPAnthのようなアントラセン誘導体を用いても
よい。
などの高分子化合物を用いることもできる。
燐光性化合物を用いることができる。
ば、青色系の発光材料として、N,N’−ビス[4−(9H−カルバゾール−9−イル)
フェニル]−N,N’−ジフェニルスチルベン−4,4’−ジアミン(略称:YGA2S
)、4−(9H−カルバゾール−9−イル)−4’−(10−フェニル−9−アントリル
)トリフェニルアミン(略称:YGAPA)、4−(10−フェニル−9−アントリル)
−4’−(9−フェニル−9H−カルバゾール−3−イル)トリフェニルアミン(略称:
PCBAPA)などが挙げられる。また、緑色系の発光材料として、N−(9,10−ジ
フェニル−2−アントリル)−N,9−ジフェニル−9H−カルバゾール−3−アミン(
略称:2PCAPA)、N−[9,10−ビス(1,1’−ビフェニル−2−イル)−2
−アントリル]−N,9−ジフェニル−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:2PC
ABPhA)、N−(9,10−ジフェニル−2−アントリル)−N,N’,N’−トリ
フェニル−1,4−フェニレンジアミン(略称:2DPAPA)、N−[9,10−ビス
(1,1’−ビフェニル−2−イル)−2−アントリル]−N,N’,N’−トリフェニ
ル−1,4−フェニレンジアミン(略称:2DPABPhA)、N−[9,10−ビス(
1,1’−ビフェニル−2−イル)]−N−[4−(9H−カルバゾール−9−イル)フ
ェニル]−N−フェニルアントラセン−2−アミン(略称:2YGABPhA)、N,N
,9−トリフェニルアントラセン−9−アミン(略称:DPhAPhA)などが挙げられ
る。また、黄色系の発光材料として、ルブレン、5,12−ビス(1,1’−ビフェニル
−4−イル)−6,11−ジフェニルテトラセン(略称:BPT)などが挙げられる。ま
た、赤色系の発光材料として、N,N,N’,N’−テトラキス(4−メチルフェニル)
テトラセン−5,11−ジアミン(略称:p−mPhTD)、7,14−ジフェニル−N
,N,N’,N’−テトラキス(4−メチルフェニル)アセナフト[1,2−a]フルオ
ランテン−3,10−ジアミン(略称:p−mPhAFD)などが挙げられる。
、例えば、青色系の発光材料として、ビス[2−(4’,6’−ジフルオロフェニル)ピ
リジナト−N,C2’]イリジウム(III)テトラキス(1−ピラゾリル)ボラート(
略称:FIr6)、ビス[2−(4’,6’−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C
2’]イリジウム(III)ピコリナート(略称:FIrpic)、ビス{2−[3’,
5’−ビス(トリフルオロメチル)フェニル]ピリジナト−N,C2’}イリジウム(I
II)ピコリナート(略称:Ir(CF3ppy)2(pic))、ビス[2−(4’,
6’−ジフルオロフェニル)ピリジナト−N,C2’]イリジウム(III)アセチルア
セトナート(略称:FIr(acac))などが挙げられる。また、緑色系の発光材料と
して、トリス(2−フェニルピリジナト−N,C2’)イリジウム(III)(略称:I
r(ppy)3)、ビス(2−フェニルピリジナト−N,C2’)イリジウム(III)
アセチルアセトナート(略称:Ir(ppy)2(acac))、ビス(1,2−ジフェ
ニル−1H−ベンゾイミダゾラト)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:
Ir(pbi)2(acac))、ビス(ベンゾ[h]キノリナト)イリジウム(III
)アセチルアセトナート(略称:Ir(bzq)2(acac))、トリス(ベンゾ[h
]キノリナト)イリジウム(III)(略称:Ir(bzq)3)などが挙げられる。ま
た、黄色系の発光材料として、ビス(2,4−ジフェニル−1,3−オキサゾラト−N,
C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(dpo)2(aca
c))、ビス{2−[4’−(パーフルオロフェニルフェニル)]ピリジナト−N,C2
’}イリジウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(p−PF−ph)2(a
cac))、ビス(2−フェニルベンゾチアゾラト−N,C2’)イリジウム(III)
アセチルアセトナート(略称:Ir(bt)2(acac))、(アセチルアセトナト)
ビス[2,3−ビス(4−フルオロフェニル)−5−メチルピラジナト]イリジウム(I
II)(略称:Ir(Fdppr−Me)2(acac))、(アセチルアセトナト)ビ
ス{2−(4−メトキシフェニル)−3,5−ジメチルピラジナト}イリジウム(III
)(略称:Ir(dmmoppr)2(acac))などが挙げられる。また、橙色系の
発光材料として、トリス(2−フェニルキノリナト−N,C2’)イリジウム(III)
(略称:Ir(pq)3)、ビス(2−フェニルキノリナト−N,C2’)イリジウム(
III)アセチルアセトナート(略称:Ir(pq)2(acac))、(アセチルアセ
トナト)ビス(3,5−ジメチル−2−フェニルピラジナト)イリジウム(III)(略
称:Ir(mppr−Me)2(acac))、(アセチルアセトナト)ビス(5−イソ
プロピル−3−メチル−2−フェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称:Ir(
mppr−iPr)2(acac))などが挙げられる。また、赤色系の発光材料として
、ビス[2−(2’−ベンゾ[4,5−α]チエニル)ピリジナト−N,C3’]イリジ
ウム(III)アセチルアセトナート(略称:Ir(btp)2(acac))、ビス(
1−フェニルイソキノリナト−N,C2’)イリジウム(III)アセチルアセトナート
(略称:Ir(piq)2(acac))、(アセチルアセトナト)ビス[2,3−ビス
(4−フルオロフェニル)キノキサリナト]イリジウム(III)(略称:Ir(Fdp
q)2(acac))、(アセチルアセトナト)ビス(2,3,5−トリフェニルピラジ
ナト)イリジウム(III)(略称:Ir(tppr)2(acac))、(ジピバロイ
ルメタナト)ビス(2,3,5−トリフェニルピラジナト)イリジウム(III)(略称
:Ir(tppr)2(dpm))、2,3,7,8,12,13,17,18−オクタ
エチル−21H,23H−ポルフィリン白金(II)(略称:PtOEP)等の有機金属
錯体が挙げられる。また、トリス(アセチルアセトナト)(モノフェナントロリン)テル
ビウム(III)(略称:Tb(acac)3(Phen))、トリス(1,3−ジフェ
ニル−1,3−プロパンジオナト)(モノフェナントロリン)ユーロピウム(III)(
略称:Eu(DBM)3(Phen))、トリス[1−(2−テノイル)−3,3,3−
トリフルオロアセトナト](モノフェナントロリン)ユーロピウム(III)(略称:E
u(TTA)3(Phen))等の希土類金属錯体は、希土類金属イオンからの発光(異
なる多重度間の電子遷移)であるため、燐光性化合物として用いることができる。
スト材料)を他の物質(ホスト材料)に分散させた構成としてもよい。ホスト材料として
は、各種のものを用いることができ、発光性の物質よりも最低空軌道準位(LUMO準位
)が高く、最高被占有軌道準位(HOMO準位)が低い物質を用いることが好ましい。
)(略称:Alq)、トリス(4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III)
(略称:Almq3)、ビス(10−ヒドロキシベンゾ[h]キノリナト)ベリリウム(
II)(略称:BeBq2)、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(4−フェニルフ
ェノラト)アルミニウム(III)(略称:BAlq)、ビス(8−キノリノラト)亜鉛
(II)(略称:Znq)、ビス[2−(2−ベンゾオキサゾリル)フェノラト]亜鉛(
II)(略称:ZnPBO)、ビス[2−(2−ベンゾチアゾリル)フェノラト]亜鉛(
II)(略称:ZnBTZ)などの金属錯体、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−t
ert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(略称:PBD)、1,3−
ビス[5−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2−イ
ル]ベンゼン(略称:OXD−7)、3−(4−ビフェニリル)−4−フェニル−5−(
4−tert−ブチルフェニル)−1,2,4−トリアゾール(略称:TAZ)、2,2
’,2’’−(1,3,5−ベンゼントリイル)トリス(1−フェニル−1H−ベンゾイ
ミダゾール)(略称:TPBI)、バソフェナントロリン(略称:BPhen)、バソキ
ュプロイン(略称:BCP)などの複素環化合物や、9−[4−(10−フェニル−9−
アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール(略称:CzPA)、3,6−ジフェニル
−9−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール(略
称:DPCzPA)、9,10−ビス(3,5−ジフェニルフェニル)アントラセン(略
称:DPPA)、9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:DNA)、2−t
ert−ブチル−9,10−ジ(2−ナフチル)アントラセン(略称:t−BuDNA)
、9,9’−ビアントリル(略称:BANT)、9,9’−(スチルベン−3,3’−ジ
イル)ジフェナントレン(略称:DPNS)、9,9’−(スチルベン−4,4’−ジイ
ル)ジフェナントレン(略称:DPNS2)、3,3’,3’’−(ベンゼン−1,3,
5−トリイル)トリピレン(略称:TPB3)、9,10−ジフェニルアントラセン(略
称:DPAnth)、6,12−ジメトキシ−5,11−ジフェニルクリセンなどの縮合
芳香族化合物、N,N−ジフェニル−9−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フ
ェニル]−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:CzA1PA)、4−(10−フェ
ニル−9−アントリル)トリフェニルアミン(略称:DPhPA)、N,9−ジフェニル
−N−[4−(10−フェニル−9−アントリル)フェニル]−9H−カルバゾール−3
−アミン(略称:PCAPA)、N,9−ジフェニル−N−{4−[4−(10−フェニ
ル−9−アントリル)フェニル]フェニル}−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:
PCAPBA)、N−(9,10−ジフェニル−2−アントリル)−N,9−ジフェニル
−9H−カルバゾール−3−アミン(略称:2PCAPA)、NPB(またはα−NPD
)、TPD、DFLDPBi、BSPBなどの芳香族アミン化合物などを用いることがで
きる。
レン等の結晶化を抑制する物質をさらに添加してもよい。また、ゲスト材料へのエネルギ
ー移動をより効率良く行うためにNPB、あるいはAlq等をさらに添加してもよい。
む層703の結晶化を抑制することができる。また、ゲスト材料の濃度が高いことによる
濃度消光を抑制することができる。
具体的には、青色系の発光材料として、ポリ(9,9−ジオクチルフルオレン−2,7−
ジイル)(略称:PFO)、ポリ[(9,9−ジオクチルフルオレン−2,7−ジイル)
−co−(2,5−ジメトキシベンゼン−1,4−ジイル)](略称:PF−DMOP)
、ポリ{(9,9−ジオクチルフルオレン−2,7−ジイル)−co−[N,N’−ジ−
(p−ブチルフェニル)−1,4−ジアミノベンゼン]}(略称:TAB−PFH)など
が挙げられる。また、緑色系の発光材料として、ポリ(p−フェニレンビニレン)(略称
:PPV)、ポリ[(9,9−ジヘキシルフルオレン−2,7−ジイル)−alt−co
−(ベンゾ[2,1,3]チアジアゾール−4,7−ジイル)](略称:PFBT)、ポ
リ[(9,9−ジオクチル−2,7−ジビニレンフルオレニレン)−alt−co−(2
−メトキシ−5−(2−エチルヘキシロキシ)−1,4−フェニレン)]などが挙げられ
る。また、橙色〜赤色系の発光材料として、ポリ[2−メトキシ−5−(2’−エチルヘ
キソキシ)−1,4−フェニレンビニレン](略称:MEH−PPV)、ポリ(3−ブチ
ルチオフェン−2,5−ジイル)(略称:R4−PAT)、ポリ{[9,9−ジヘキシル
−2,7−ビス(1−シアノビニレン)フルオレニレン]−alt−co−[2,5−ビ
ス(N,N’−ジフェニルアミノ)−1,4−フェニレン]}、ポリ{[2−メトキシ−
5−(2−エチルヘキシロキシ)−1,4−ビス(1−シアノビニレンフェニレン)]−
alt−co−[2,5−ビス(N,N’−ジフェニルアミノ)−1,4−フェニレン]
}(略称:CN−PPV−DPD)などが挙げられる。
することで、発光素子全体として、所望の色の発光を得ることができる。例えば、発光性
の有機化合物を含む層を2つ有する発光素子において、第1の発光性の有機化合物を含む
層の発光色と第2の発光性の有機化合物を含む層の発光色を補色の関係になるようにする
ことで、発光素子全体として白色発光する発光素子を得ることも可能である。なお、補色
とは、混合すると無彩色になる色同士の関係をいう。つまり、補色の関係にある色を発光
する物質から得られた光を混合すると、白色発光を得ることができる。また、発光性の有
機化合物を含む層を3つ以上有する発光素子の場合でも同様である。
しては、例えば、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Alq)、トリス(
4−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(略称:Almq3)、ビス(10−ヒド
ロキシベンゾ[h]キノリナト)ベリリウム(略称:BeBq2)、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(4−フェニルフェノラト)アルミニウム(略称:BAlq)など、
キノリン骨格又はベンゾキノリン骨格を有する金属錯体等が挙げられる。また、この他ビ
ス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾオキサゾラト]亜鉛(略称:Zn(BOX)
2)、ビス[2−(2−ヒドロキシフェニル)ベンゾチアゾラト]亜鉛(略称:Zn(B
TZ)2)などのオキサゾール系、チアゾール系配位子を有する金属錯体なども用いるこ
とができる。さらに、金属錯体以外にも、2−(4−ビフェニリル)−5−(4−ter
t−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール(略称:PBD)や、1,3−ビ
ス[5−(p−tert−ブチルフェニル)−1,3,4−オキサジアゾール−2−イル
]ベンゼン(略称:OXD−7)、3−(4−ビフェニリル)−4−フェニル−5−(4
−tert−ブチルフェニル)−1,2,4−トリアゾール(略称:TAZ)、バソフェ
ナントロリン(略称:BPhen)、バソキュプロイン(略称:BCP)なども用いるこ
とができる。ここに述べた物質は、主に10−6cm2/Vs以上の電子移動度を有する
物質である。また、電子輸送層は、単層のものだけでなく、上記物質からなる層が二層以
上積層したものとしてもよい。
リチウム、セシウム、カルシウム、フッ化リチウム、フッ化セシウム、フッ化カルシウム
、リチウム酸化物等のようなアルカリ金属、アルカリ土類金属、又はそれらの化合物を用
いることができる。また、フッ化エルビウムのような希土類金属化合物を用いることがで
きる。また、上述した電子輸送層704を構成する物質を用いることもできる。
03、電子輸送層704、電子注入層705は、それぞれ、蒸着法(真空蒸着法を含む)
、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
数積層されていてもよい。この場合、積層された第1のEL層800と第2のEL層80
1との間には、電荷発生層803を設けることが好ましい。電荷発生層803は上述の複
合材料で形成することができる。また、電荷発生層803は複合材料からなる層と他の材
料からなる層との積層構造でもよい。この場合、他の材料からなる層としては、電子供与
性物質と電子輸送性の高い物質とを含む層や、透明導電膜からなる層などを用いることが
できる。このような構成を有する発光素子は、エネルギーの移動や消光などの問題が起こ
り難く、材料の選択の幅が広がることで高い発光効率と長い寿命とを併せ持つ発光素子と
することが容易である。また、一方のEL層で燐光発光、他方で蛍光発光を得ることも容
易である。この構造は上述のEL層の構造と組み合わせて用いることができる。
望の色の発光を得ることができる。例えば、2つのEL層を有する発光素子において、第
1のEL層の発光色と第2のEL層の発光色を補色の関係になるようにすることで、発光
素子全体として白色発光する発光素子を得ることも可能である。なお、補色とは、混合す
ると無彩色になる色同士の関係をいう。つまり、補色の関係にある色を発光する物質から
得られた光を混合すると、白色発光を得ることができる。また、3つ以上のEL層を有す
る発光素子の場合でも同様である。
間に、正孔注入層701、正孔輸送層702、発光性の有機化合物を含む層703、電子
輸送層704、電子注入バッファー層706、電子リレー層707、及び第2の電極10
7と接する複合材料層708を有していてもよい。
用いて第2の電極107を形成する際に、EL層105が受けるダメージを低減すること
ができるため、好ましい。複合材料層708は、前述の、正孔輸送性の高い有機化合物に
アクセプター性物質を含有させた複合材料を用いることができる。
704との間の注入障壁を緩和することができるため、複合材料層708で生じた電子を
電子輸送層704に容易に注入することができる。
よびこれらの化合物(アルカリ金属化合物(酸化リチウム等の酸化物、ハロゲン化物、炭
酸リチウムや炭酸セシウム等の炭酸塩を含む)、アルカリ土類金属化合物(酸化物、ハロ
ゲン化物、炭酸塩を含む)、または希土類金属の化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩
を含む))等の電子注入性の高い物質を用いることが可能である。
形成される場合には、電子輸送性の高い物質に対して質量比で、0.001以上0.1以
下の比率でドナー性物質を添加することが好ましい。なお、ドナー性物質としては、アル
カリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属、およびこれらの化合物(アルカリ金属化合物
(酸化リチウム等の酸化物、ハロゲン化物、炭酸リチウムや炭酸セシウム等の炭酸塩を含
む)、アルカリ土類金属化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む)、または希土類
金属の化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む))の他、テトラチアナフタセン(
略称:TTN)、ニッケロセン、デカメチルニッケロセン等の有機化合物を用いることも
できる。なお、電子輸送性の高い物質としては、先に説明した電子輸送層704の材料と
同様の材料を用いて形成することができる。
7を形成することが好ましい。電子リレー層707は、必ずしも設ける必要は無いが、電
子輸送性の高い電子リレー層707を設けることで、電子注入バッファー層706へ電子
を速やかに送ることが可能となる。
た構造は、複合材料層708に含まれるアクセプター性物質と、電子注入バッファー層7
06に含まれるドナー性物質とが相互作用を受けにくく、互いの機能を阻害しにくい構造
である。したがって、駆動電圧の上昇を防ぐことができる。
MO準位は、複合材料層708に含まれるアクセプター性物質のLUMO準位と、電子輸
送層704に含まれる電子輸送性の高い物質のLUMO準位との間となるように形成する
。また、電子リレー層707がドナー性物質を含む場合には、当該ドナー性物質のドナー
準位も複合材料層708におけるアクセプター性物質のLUMO準位と、電子輸送層70
4に含まれる電子輸送性の高い物質のLUMO準位との間となるようにする。具体的なエ
ネルギー準位の数値としては、電子リレー層707に含まれる電子輸送性の高い物質のL
UMO準位は−5.0eV以上、好ましくは−5.0eV以上−3.0eV以下とすると
よい。
又は金属−酸素結合と芳香族配位子を有する金属錯体を用いることが好ましい。
SnPc(Phthalocyanine tin(II) complex)、ZnP
c(Phthalocyanine zinc complex)、CoPc(Coba
lt(II)phthalocyanine, β−form)、FePc(Phtha
locyanine Iron)及びPhO−VOPc(Vanadyl 2,9,16
,23−tetraphenoxy−29H,31H−phthalocyanine)
のいずれかを用いることが好ましい。
は、金属−酸素の二重結合を有する金属錯体を用いることが好ましい。金属−酸素の二重
結合はアクセプター性(電子を受容しやすい性質)を有するため、電子の移動(授受)が
より容易になる。また、金属−酸素の二重結合を有する金属錯体は安定であると考えられ
る。したがって、金属−酸素の二重結合を有する金属錯体を用いることにより発光素子を
低電圧でより安定に駆動することが可能になる。
しい。具体的には、VOPc(Vanadyl phthalocyanine)、Sn
OPc(Phthalocyanine tin(IV) oxide complex
)及びTiOPc(Phthalocyanine titanium oxide c
omplex)のいずれかは、分子構造的に金属−酸素の二重結合が他の分子に対して作
用しやすく、アクセプター性が高いため好ましい。
。具体的にはPhO−VOPcのような、フェノキシ基を有するフタロシアニン誘導体が
好ましい。フェノキシ基を有するフタロシアニン誘導体は、溶媒に可溶である。そのため
、発光素子を形成する上で扱いやすいという利点を有する。また、溶媒に可溶であるため
、成膜に用いる装置のメンテナンスが容易になるという利点を有する。
、アルカリ金属、アルカリ土類金属、希土類金属及びこれらの化合物(アルカリ金属化合
物(酸化リチウムなどの酸化物、ハロゲン化物、炭酸リチウムや炭酸セシウムなどの炭酸
塩を含む)、アルカリ土類金属化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む)、又は希
土類金属の化合物(酸化物、ハロゲン化物、炭酸塩を含む))の他、テトラチアナフタセ
ン(略称:TTN)、ニッケロセン、デカメチルニッケロセンなどの有機化合物を用いる
ことができる。電子リレー層707にこれらドナー性物質を含ませることによって、電子
の移動が容易となり、発光素子をより低電圧で駆動することが可能になる。
記した材料の他、複合材料層708に含まれるアクセプター性物質のアクセプター準位よ
り高いLUMO準位を有する物質を用いることができる。具体的なエネルギー準位として
は、−5.0eV以上、好ましくは−5.0eV以上−3.0eV以下の範囲にLUMO
準位を有する物質を用いることが好ましい。このような物質としては例えば、ペリレン誘
導体や、含窒素縮合芳香族化合物などが挙げられる。なお、含窒素縮合芳香族化合物は、
安定であるため、電子リレー層707を形成する為に用いる材料として、好ましい材料で
ある。
水物(略称:PTCDA)、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボキシリックビスベ
ンゾイミダゾール(略称:PTCBI)、N,N’−ジオクチル−3,4,9,10−ペ
リレンテトラカルボン酸ジイミド(略称:PTCDI−C8H)、N,N’−ジヘキシル
−3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸ジイミド(略称:Hex PTC)等が
挙げられる。
]フェナントロリン−2,3−ジカルボニトリル(略称:PPDN)、2,3,6,7,
10,11−ヘキサシアノ−1,4,5,8,9,12−ヘキサアザトリフェニレン(略
称:HAT(CN)6)、2,3−ジフェニルピリド[2,3−b]ピラジン(略称:2
PYPR)、2,3−ビス(4−フルオロフェニル)ピリド[2,3−b]ピラジン(略
称:F2PYPR)等が挙げられる。
4,5,8,−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物(略称:NTCDA)、パーフルオ
ロペンタセン、銅ヘキサデカフルオロフタロシアニン(略称:F16CuPc)、N,N
’−ビス(2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8−ペンタデカ
フルオロオクチル)−1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸ジイミド(略称:N
TCDI−C8F)、3’,4’−ジブチル−5,5’’−ビス(ジシアノメチレン)−
5,5’’−ジヒドロ−2,2’:5’,2’’−テルチオフェン)(略称:DCMT)
、メタノフラーレン(例えば、[6,6]−フェニルC61酪酸メチルエステル等を用い
ることができる。
ナー性物質との共蒸着などの方法によって電子リレー層707を形成すればよい。
輸送層704は前述の材料を用いてそれぞれ形成すればよい。
とができる。
本実施の形態では、本発明の一態様の発光装置を用いて完成させた照明装置の一例につ
いて、図10を用いて説明する。
、天井等に照明を設置することもできる。
903、及び面状照明装置904を示す。発光装置は大面積化も可能であるため、大面積
の照明装置として用いることができる。また、厚みが薄いため、壁に取り付けて使用する
ことができる。その他、ロール型の照明装置902として用いることもできる。
9501、支柱9503、支持台9505等を含む。照明部9501は、本発明の一態様
の発光装置を含む。このように、本発明の一態様では、曲面を有する照明装置、又はフレ
キシブルに曲がる照明部を有する照明装置を実現することができる。このように、フレキ
シブルな発光装置を照明装置として用いることで、照明装置のデザインの自由度が向上す
るのみでなく、例えば、自動車の天井、ダッシュボード等の曲面を有する場所にも照明装
置を設置することが可能となる。
とができる。
本実施の形態では、上記実施の形態で作製した発光装置を適用した半導体装置について
、図11を用いて説明する。
子機器(遊技機も含む)が挙げられる。電子機器としては、例えば、テレビジョン装置(
テレビ、またはテレビジョン受信機ともいう)、コンピュータ用などのモニタ、デジタル
カメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機(携帯電話、携帯
電話装置ともいう)、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの
大型ゲーム機などが挙げられる。
筐体501に表示部503が組み込まれている。表示部503により、映像を表示するこ
とが可能である。また、ここでは、スタンド505により筐体501を支持した構成を示
している。
ン操作機510により行うことができる。リモコン操作機510が備える操作キー509
により、チャンネルや音量の操作を行うことができ、表示部503に表示される映像を操
作することができる。また、リモコン操作機510に、当該リモコン操作機510から出
力する情報を表示する表示部507を設ける構成としてもよい。
より一般のテレビ放送の受信を行うことができ、さらにモデムを介して有線または無線に
よる通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)または双方向
(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行うことも可能である。
トフレーム520は、筐体521に表示部523が組み込まれている。表示部523は、
各種画像を表示することが可能であり、例えばデジタルカメラなどで撮影した画像データ
を表示させることで、通常の写真立てと同様に機能させることができる。
Bケーブルなどの各種ケーブルと接続可能な端子など)、記録媒体挿入部などを備える構
成とする。これらの構成は、表示部と同一面に組み込まれていてもよいが、側面や裏面に
備えるとデザイン性が向上するため好ましい。例えば、デジタルフォトフレームの記録媒
体挿入部に、デジタルカメラで撮影した画像データを記憶したメモリを挿入して画像デー
タを取り込み、取り込んだ画像データを表示部523に表示させることができる。
無線により、所望の画像データを取り込み、表示させる構成とすることもできる。
接続するヒンジユニットを閉状態として表示部543を有する上部筐体541と、キーボ
ード544を有する下部筐体542とを重ねた状態とすることができ、持ち運ぶことが便
利であるとともに、使用者がキーボード入力する場合には、ヒンジユニットを開状態とし
て、表示部543を見て入力操作を行うことができる。
ス546を有する。また、表示部543をタッチ入力パネルとすれば、表示部の一部に触
れることで入力操作を行うこともできる。また、下部筐体542はCPUやハードディス
ク等の演算機能部を有している。また、下部筐体542は他の機器、例えばUSBの通信
規格に準拠した通信ケーブルが差し込まれる外部接続ポート545を有している。
を有しており、広い表示画面を実現することができる。また、収納可能な表示部547の
画面の向きを使用者は調節できる。また、収納可能な表示部547をタッチ入力パネルと
すれば、収納可能な表示部の一部に触れることで入力操作を行うこともできる。
、テレビ放送を受信して映像を表示部に表示することができる。また、上部筐体541と
下部筐体542とを接続するヒンジユニットを閉状態としたまま、表示部547をスライ
ドさせて画面全面を露出させ、画面角度を調節して使用者がテレビ放送を見ることもでき
る。この場合には、ヒンジユニットを閉状態として表示部543を表示させず、さらにテ
レビ放送を表示するだけの回路の起動のみを行うため、最小限の消費電力とすることがで
き、バッテリー容量の限られている携帯型のコンピュータにおいて有用である。
適用することにより、信頼性の高い半導体装置を実現することができる。
とができる。
101 基板
103 下部電極層
105 EL層
107 上部電極層
109 隔壁
111 補助配線
113 配線
115 分離層
117 補助配線
119 隔壁
121 補助配線
131 補助配線
131a 脚部
131b 台部
141 補助配線
141a 脚部
141b 台部
151 補助配線
153 配線
161 導電膜
163 レジスト
165 犠牲層
167 導電膜
171 補助配線
171a 脚部
171b 台部
175 接続層
181 補助配線
181a 脚部
181b 台部
183 下部電極層
185 配線
200 表示装置
201 画素部
203 下部電極層
205 EL層
207 上部電極層
209 隔壁
211 補助配線
220 トランジスタ
221 下地膜
223 半導体層
225 ゲート電極
227 第1電極
229 第2電極
231 第1絶縁層
233 第2絶縁層
300 照明装置
301a 第1の基板
301b 第2の基板
303 発光装置
305a シール材
305b シール材
307a 第1のガラス層
307b 第2のガラス層
309 コンバータ
320 照明装置
500 テレビジョン装置
501 筐体
503 表示部
505 スタンド
507 表示部
509 操作キー
510 リモコン操作機
520 デジタルフォトフレーム
521 筐体
523 表示部
540 コンピュータ
541 上部筐体
542 下部筐体
543 表示部
544 キーボード
545 外部接続ポート
546 ポインティングデバイス
547 表示部
701 正孔注入層
702 正孔輸送層
703 発光性の有機化合物を含む層
704 電子輸送層
705 電子注入層
706 電子注入バッファー層
707 電子リレー層
708 複合材料層
800 第1のEL層
801 第2のEL層
803 電荷発生層
901 照明装置
902 照明装置
903 卓上照明器具
904 面状照明装置
9501 照明部
9503 支柱
9505 支持台
Claims (4)
- 基板上の下部電極層と、
前記下部電極層と同層に設けられた配線と、
前記配線上の補助配線と、
前記下部電極層上のEL層と、
前記EL層上の上部電極層と、を有し、
前記補助配線は、導電性を有し、且つその上部が前記基板に水平な方向にせり出した形状を有し、
前記補助配線は、前記下部電極層と電気的に分離され、
前記上部電極層は、前記補助配線と電気的に接続され、
前記補助配線は、第1の層と、第2の層と、前記第1の層及び前記第2の層の間に設けられた導電層と、を有し、
前記第1の層は、有機樹脂を含み、
前記第1の層は、前記配線上に設けられ、
前記導電層は、前記第1の層の少なくとも側面を覆うとともに、前記配線の上面と接する領域を有し、
前記第2の層は、前記導電層上に設けられることを特徴とする発光装置。 - 請求項1において、
前記上部電極層は、前記EL層が発する光に対して透光性を有し、
前記下部電極層は、前記光に対して反射性を有することを特徴とする発光装置。 - 請求項1または請求項2に記載の発光装置を具備した照明装置。
- 請求項1または請求項2に記載の発光装置を具備した表示装置。
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