KR20140120427A - 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

유기 발광 표시 장치는 기판, 상기 기판 상에 위치하는 제1 전극, 상기 제1 전극을 노출하는 개구 영역을 포함하는 화소 정의층, 상기 화소 정의층 상에 위치하는 스페이서, 상기 화소 정의층과 상기 스페이서 사이에 위치하며, 상기 화소 정의층 및 상기 스페이서 각각 대비 밀도가 높은 차단층, 상기 개구 영역에 대응하여 상기 제1 전극 상에 위치하는 유기 발광층, 및 상기 유기 발광층 상에 위치하는 제2 전극을 포함한다.

Description

유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법{ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE DISPLAY}
본 발명은 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 화소를 정의하는 화소 정의층을 포함하는 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 이미지를 표시하는 장치로서, 최근 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display)가 주목 받고 있다.
유기 발광 표시 장치는 자체 발광 특성을 가지며, 액정 표시 장치(liquid crystal display device)와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않으므로 두께와 무게를 줄일 수 있다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 낮은 소비 전력, 높은 휘도 및 높은 반응 속도 등의 고품위 특성을 나타낸다.
종래의 유기 발광 표시 장치는 박막 트랜지스터를 포함하는 화소 회로, 화소 회로와 연결된 제1 전극, 제1 전극을 노출하는 화소 정의층, 화소 정의층 상에 위치하는 스페이서, 제1 전극 상에 위치하는 유기 발광층, 및 유기 발광층 상에 위치하는 제2 전극을 포함하였다.
종래의 유기 발광 표시 장치의 유기 발광층은 스페이서에 마스크를 접촉시키고, 마스크를 통해 유기 물질을 제1 전극에 증착하여 형성하였다.
그런데, 상술한 종래의 유기 발광 표시 장치는 유기 발광층을 형성할 때 이용되는 마스크가 스페이서와 접촉함으로써, 마스크의 간섭에 의해 스페이서의 일 부분이 파손되기 때문에, 외부의 습기가 스페이서의 파손된 일 부분을 통해 유기 발광층 또는 화소 회로 측으로 침투되어 불량이 발생되는 문제점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 외부로부터 투습이 억제되는 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공하고자 한다.
상술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 제1 측면은 기판, 상기 기판 상에 위치하는 제1 전극, 상기 제1 전극을 노출하는 개구 영역을 포함하는 화소 정의층, 상기 화소 정의층 상에 위치하는 스페이서, 상기 화소 정의층과 상기 스페이서 사이에 위치하며, 상기 화소 정의층 및 상기 스페이서 각각 대비 밀도가 높은 차단층, 상기 개구 영역에 대응하여 상기 제1 전극 상에 위치하는 유기 발광층, 및 상기 유기 발광층 상에 위치하는 제2 전극을 포함하는 유기 발광 표시 장치를 제공한다.
상기 화소 정의층 및 상기 스페이서 각각은 유기 재료를 포함할 수 있다.
상기 차단층은 무기 재료를 포함할 수 있다.
상기 차단층은 금속 재료를 포함할 수 있다.
상기 차단층은 비정질 재료를 포함할 수 있다.
상기 차단층은 상기 화소 정의층 및 상기 스페이서 각각과 접촉할 수 있다.
또한, 본 발명의 제2 측면은 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계, 상기 기판 상에 상기 제1 전극을 노출하는 개구 영역을 포함하는 화소 정의층을 형성하는 단계, 상기 기판 전체에 걸쳐서 상기 화소 정의층 상에 상기 화소 정의층 대비 밀도가 높은 모차단층을 형성하는 단계, 상기 화소 정의층과 대응하는 상기 모차단층 상에 스페이서를 형성하는 단계, 상기 스페이서를 마스크로서 이용하여 상기 모차단층을 식각하여 차단층을 형성하는 단계, 상기 개구 영역에 대응하는 개구 패턴을 포함하는 패턴 마스크를 상기 스페이서에 접촉시키고, 상기 개구 패턴을 통해 상기 제1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계, 및 상기 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
상기 화소 정의층을 형성하는 단계 및 상기 스페이서를 형성하는 단계 각각은 감광성 유기 재료를 상기 기판 상에 도포하고 상기 감광성 유기 재료를 노광 및 현상하여 수행할 수 있다.
상기 모차단층을 형성하는 단계는 무기 재료를 상기 기판 전체에 걸쳐서 형성하여 수행할 수 있다.
상기 모차단층을 형성하는 단계는 금속 재료를 상기 기판 전체에 걸쳐서 형성하여 수행할 수 있다.
상기 모차단층을 형성하는 단계는 비정질 재료를 상기 기판 전체에 걸쳐서 형성하여 수행할 수 있다.
상술한 본 발명의 과제 해결 수단의 일부 실시예 중 하나에 의하면, 외부로부터 투습이 억제되는 유기 발광 표시 장치 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법이 제공된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다.
도 2 내지 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 상에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "~상에"라 함은 대상 부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
이하, 도 1 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 나타낸 순서도이다. 도 2 내지 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.
우선, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(100) 상에 제1 전극(300)을 형성한다(S100).
구체적으로, 유리, 석영, 세라믹, 금속, 및 플라스틱 등으로 이루어진 절연성 기판으로 형성된 기판(100) 상에 화소 회로(200)를 형성한다. 화소 회로(200)는 하나 이상의 스캔 라인, 데이터 라인, 구동 전원 라인 등을 포함하는 화소 배선, 하나의 화소에 대응하여 화소 배선에 연결된 둘 이상의 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)와 하나 이상의 커패시터(capacitor)를 포함할 수 있다. 화소 회로(200)는 공지된 다양한 구조를 갖도록 형성할 수 있다. 여기서, 화소는 이미지(image)를 표시하는 최소 단위를 말하며, 유기 발광 표시 장치는 복수의 화소들을 이용해 이미지를 표시한다. 화소 회로(200)는 포토리소그래피(photolithography) 공정 등의 멤스(MEMS) 기술을 이용해 형성할 수 있다.
화소 회로(200) 상에 박막 트랜지스터와 연결된 제1 전극(300)을 형성한다. 제1 전극(300)은 하나의 화소에 대응하여 형성될 수 있으며, 복수개가 상호 이격되어 화소 회로(200) 상에 형성된다.
다음, 기판(100) 상에 화소 정의층(400)을 형성한다(S200).
구체적으로, 제1 전극(300)의 단부를 덮도록 기판(100) 상에 제1 전극(300)을 노출하는 개구 영역(410)을 포함하는 화소 정의층(400)을 형성한다. 화소 정의층(400)은 감광성 유기 재료를 포함하는 제1 유기층을 기판(100) 상에 도포하고, 광투과 마스크를 이용해 감광성 유기 재료를 포함하는 제1 유기층을 노광한 후, 노광된 제1 유기층을 현상함으로써, 형성될 수 있다.
다음, 화소 정의층(400) 상에 모차단층(501)을 형성한다(S300).
구체적으로, 기판(100) 전체에 걸쳐서 화소 정의층(400) 상에 화소 정의층(400) 대비 밀도가 높은 모차단층(501)을 형성한다. 모차단층(501)은 화소 정의층(400)에 포함된 감광성 유기 재료 대비 밀도가 높은 재료를 포함할 수 있다. 모차단층(501)은 무기 재료, 금속 재료 또는 비정질 재료를 포함할 수 있다.
일례로, 모차단층(501)은 실리콘질화물 또는 실리콘산화물 등과 같은 무기 재료를 기판(100) 전체에 걸쳐서 증착함으로써, 형성될 수 있다.
다른 예로, 모차단층(501)은 알루미늄 또는 티타늄 등과 같은 금속 재료를 기판(100) 전체에 걸쳐서 증착함으로써, 형성될 수 있다.
또 다른 예로, 모차단층(501)은 유리, 석영, 비정질 실리콘, 비정질 산화물 등의 비정질 재료를 기판(100) 전체에 걸쳐서 형성하여 형성될 수 있다.
다음, 모차단층(501) 상에 스페이서(600)를 형성한다(S400).
구체적으로, 화소 정의층(400)과 대응하는 모차단층(501) 상에 스페이서(600)를 형성한다. 스페이서(600)는 감광성 유기 재료를 포함하는 제2 유기층을 모차단층(501) 상에 도포하고, 광투과 마스크를 이용해 감광성 유기 재료를 포함하는 제2 유기층을 노광한 후, 노광된 제2 유기층을 현상함으로써, 형성될 수 있다. 스페이서(600)는 모차단층(501) 대비 밀도가 낮은 감광성 유기 재료를 포함한다.
다음, 도 3에 도시된 바와 같이, 모차단층(501)을 식각하여 차단층(500)을 형성한다(S500).
구체적으로, 스페이서(600)를 마스크로서 이용하여 모차단층(501)을 식각하여 차단층(500)을 형성한다. 차단층(500)은 스페이서(600)를 마스크로서 이용하여 모차단층(501)을 습식 식각 또는 건식 식각함으로써, 형성될 수 있다. 차단층(500)은 유기 재료를 포함하는 화소 정의층(400) 및 스페이서(600) 각각 대비 밀도가 높으며, 모차단층(501)이 포함하는 재료에 따라 무기 재료, 금속 재료, 또는 비정질 재료를 포함할 수 있다.
한편, 차단층(500)은 스페이서(600) 상에 추가적인 마스크를 배치하고, 추가적인 마스크를 이용해 모차단층(501)을 식각하여 형성될 수 있다.
다음, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 전극(300) 상에 유기 발광층(700)을 형성한다(S600).
구체적으로, 개구 영역(410)에 대응하는 개구 패턴(11)을 포함하는 패턴 마스크(10)를 스페이서(600)에 접촉시키고, 개구 패턴(11)을 통해 제1 전극(300) 상에 유기 발광층(700)을 형성한다. 유기 발광층(700)은 스페이서(600)에 패턴 마스크(10)를 접촉시킨 후, 증착원(20)으로부터 개구 영역(410)에 대응하는 패턴 마스크(10)의 개구 패턴(11)을 통해 유기 발광 물질을 제1 전극(300)으로 증발시킴으로써, 형성될 수 있다. 패턴 마스크(10)는 복수의 제1 전극(300) 중 선택된 제1 전극(300)을 노출하는 개구 영역(410)에 대응하는 개구 패턴(11)을 포함할 수 있다.
이와 같이, 패턴 마스크(10)가 스페이서(600)와 접촉한 상태로 유기 발광층(700)의 증착이 수행됨으로써, 개구 패턴(11)을 통한 유기 발광 물질이 증착하고자 하는 제1 전극(300)이 아닌 다른 제1 전극(300)으로 이동되는 것이 스페이서(600)에 의해 차단된다. 즉, 유기 발광 물질이 원치 않는 곳으로 증착되는 것이 스페이서(600)에 의해 억제된다.
또한, 패턴 마스크(10)가 스페이서(600)와 접촉한 상태로 유기 발광층(700)의 증착이 수행됨으로써, 기판(100)에 대해 패턴 마스크(10)가 용이하게 장착되어 전체적인 유기 발광층(700)의 증착 오류가 억제된다.
다음, 유기 발광층(700) 상에 제2 전극(800)을 형성한다(S700).
구체적으로, 기판(100) 전체에 걸쳐서 제2 전극(800)을 형성하여 유기 발광층(700) 상에 제2 전극(800)을 형성한다.
이후, 제2 전극(800) 상에 기판(100)과 함께 유기 발광 소자(OLED)를 밀봉하는 박막 봉지층을 형성할 수 있다.
이상과 같은 공정에 의해 후술할 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 제조할 수 있다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 설명한다.
도 6은 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치를 나타낸 단면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 기판(100), 화소 회로(200), 유기 발광 소자(OLED), 화소 정의층(400), 스페이서(600), 차단층(500) 및 박막 봉지층(900)을 포함한다.
기판(100)은 유리, 석영, 세라믹, 금속, 및 플라스틱 등으로 이루어진 절연성 기판으로 형성된다. 또한, 기판(100)이 플라스틱 등으로 만들어질 경우 유기 발광 표시 장치는 플렉서블(flexible)한 특성, 스트렛처블(stretchable) 또는 롤러블(rollable)한 특성을 가질 수 있다.
화소 회로(200)는 기판(100) 상에 위치하며, 하나 이상의 스캔 라인, 데이터 라인, 구동 전원 라인 등을 포함하는 화소 배선, 하나의 화소에 대응하여 화소 배선에 연결된 둘 이상의 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)와 하나 이상의 커패시터(capacitor)를 포함할 수 있다. 화소 회로(200)는 공지된 다양한 구조를 가질 수 있다.
유기 발광 소자(OLED)는 제1 전극(300), 유기 발광층(700) 및 제2 전극(800)을 포함한다.
제1 전극(300)은 화소 회로(200) 상에 위치하며, 화소 회로(200)의 박막 트랜지스터와 연결되어 있다. 제1 전극(300)의 단부는 화소 정의층(400)에 덮여 있다.
제1 전극(300) 및 제2 전극(800) 중 어느 하나는 정공 주입 전극으로서 기능하는 애노드(anode) 전극일 수 있으며, 다른 하나는 전자 주입 전극으로서 기능하는 캐소드(cathode) 전극일 수 있다. 제1 전극(300) 및 제2 전극(800) 중 하나 이상은 광 투과성 전극으로 형성되며, 유기 발광층(700)으로부터 발광되는 빛은 제1 전극(300) 및 제2 전극(800) 중 선택된 방향으로 출사될 수 있다.
유기 발광층(700)은 적색, 녹색, 청색, 백색 등 중 어느 하나 이상의 빛을 발광할 수 있다. 유기 발광층(700)이 백색의 빛을 발광하는 경우, 유기 발광층(700)으로부터 출사되는 빛의 경로 상에는 빛의 파장의 변환시키는 컬러 필터가 위치할 수 있다.
화소 정의층(400)은 유기 발광층(700)이 위치하는 제1 전극(300)의 일 부분을 노출하는 개구 영역(410)을 포함한다. 화소 정의층(400)은 상측으로 돌출되어 있으며, 개구 영역(410)을 정의한다. 화소 정의층(400)은 차단층(500) 대비 밀도가 낮은 유기 재료를 포함한다.
스페이서(600)는 화소 정의층(400) 상에 위치하고 있으며, 화소 정의층(400) 대비 좁은 면적을 가지고 있다. 스페이서(600)는 상측으로 돌출되어 있다. 스페이서(600)는 차단층(500) 대비 밀도가 낮은 유기 재료를 포함한다.
차단층(500)은 화소 정의층(400)과 스페이서(600) 사이에 위치하고 있으며, 화소 정의층(400) 및 스페이서(600) 각각과 접촉하고 있다. 차단층(500)은 화소 정의층(400) 및 스페이서(600) 각각과는 다른 재료를 포함하며, 화소 정의층(400) 및 스페이서(600) 각각 대비 밀도가 높은 재료를 포함한다. 차단층(500)은 실리콘질화물 또는 실리콘산화물 등과 같은 무기 재료, 알루미늄 또는 티타늄 등과 같은 금속 재료, 유리, 석영, 비정질 실리콘, 비정질 산화물 등의 비정질 재료를 포함할 수 있다. 차단층(500)의 면적은 스페이서(600)의 하부면의 면적과 동일할 수 있다. 또한, 차단층(500)은 500Å 이상의 두께를 가질 수 있다.
화소 정의층(400) 및 스페이서(600) 사이에 위치하는 차단층(500)이 화소 정의층(400) 및 스페이서(600) 대비 밀도가 높음으로써, 스페이서(600)를 통해 외부로부터 침투된 습기가 차단층(500)에 의해 차단되어 화소 정의층(400)으로 이동되는 것이 방지된다.
박막 봉지층(900)은 기판(100)과 함께 유기 발광 소자(OLED)를 밀봉하며, 외부로부터 침투되는 수분 및 외부의 간섭으로부터 유기 발광 소자(OLED)를 보호하는 역할을 한다. 박막 봉지층(900)은 하나 이상의 유기층 및 하나 이상의 무기층을 포함할 수 있으며, 복수의 유기층 및 복수의 무기층 각각이 상호 교호적으로 적층되어 형성될 수 있다.
이상과 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 및 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 유기 발광층(700)을 형성할 때, 패턴 마스크와 접촉하는 스페이서(600)를 포함함으로써, 패턴 마스크의 개구 패턴을 통한 유기 발광 물질이 원치 않는 곳으로 증착되는 것이 억제되는 동시에, 기판(100)에 대한 패턴 마스크의 장착이 용이하게 수행되어 전체적인 유기 발광층(700)의 증착 오류가 억제된다.
또한, 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기 발광 표시 장치는 화소 정의층(400) 및 스페이서(600) 사이에서 화소 정의층(400) 및 스페이서(600) 각각과 접촉하는 차단층(500)이 유기 재료를 포함하는 화소 정의층(400) 및 스페이서(600) 각각 대비 밀도가 높은 무기 재료, 금속 재료, 또는 비정질 재료를 포함함으로써, 유기 발광층(700)을 형성할 때 스페이서(600)와 접촉하는 패턴 마스크의 간섭에 의해 스페이서(600)의 일 부분이 파손되더라도, 스페이서(600)의 파손된 일 부분을 통해 외부로부터 침투된 습기가 차단층(500)에 의해 차단되기 때문에, 외부의 습기가 화소 정의층(400)을 거쳐 화소 회로(200) 및 유기 발광층(700)으로 침투되는 것이 방지된다. 즉, 패턴 마스크에 의해 스페이서(600)가 파손되더라도, 외부의 습기가 스페이서(600)로부터 화소 정의층(400)을 거쳐 화소 회로(200) 및 유기 발광층(700)으로 침투되는 것이 억제된 유기 발광 표시 장치가 제공된다.
본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.
기판(100), 제1 전극(300), 화소 정의층(400), 스페이서(600), 차단층(500), 유기 발광층(700), 제2 전극(800)

Claims (11)

  1. 기판;
    상기 기판 상에 위치하는 제1 전극;
    상기 제1 전극을 노출하는 개구 영역을 포함하는 화소 정의층;
    상기 화소 정의층 상에 위치하는 스페이서;
    상기 화소 정의층과 상기 스페이서 사이에 위치하며, 상기 화소 정의층 및 상기 스페이서 각각 대비 밀도가 높은 차단층;
    상기 개구 영역에 대응하여 상기 제1 전극 상에 위치하는 유기 발광층; 및
    상기 유기 발광층 상에 위치하는 제2 전극
    을 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 화소 정의층 및 상기 스페이서 각각은 유기 재료를 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 차단층은 무기 재료를 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  4. 제2항에서,
    상기 차단층은 금속 재료를 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  5. 제2항에서,
    상기 차단층은 비정질 재료를 포함하는 유기 발광 표시 장치.
  6. 제1항에서,
    상기 차단층은 상기 화소 정의층 및 상기 스페이서 각각과 접촉하는 유기 발광 표시 장치.
  7. 기판 상에 제1 전극을 형성하는 단계;
    상기 기판 상에 상기 제1 전극을 노출하는 개구 영역을 포함하는 화소 정의층을 형성하는 단계;
    상기 기판 전체에 걸쳐서 상기 화소 정의층 상에 상기 화소 정의층 대비 밀도가 높은 모차단층을 형성하는 단계;
    상기 화소 정의층과 대응하는 상기 모차단층 상에 스페이서를 형성하는 단계;
    상기 스페이서를 마스크로서 이용하여 상기 모차단층을 식각하여 차단층을 형성하는 단계;
    상기 개구 영역에 대응하는 개구 패턴을 포함하는 패턴 마스크를 상기 스페이서에 접촉시키고, 상기 개구 패턴을 통해 상기 제1 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계; 및
    상기 유기 발광층 상에 제2 전극을 형성하는 단계
    를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  8. 제7항에서,
    상기 화소 정의층을 형성하는 단계 및 상기 스페이서를 형성하는 단계 각각은 감광성 유기 재료를 상기 기판 상에 도포하고 상기 감광성 유기 재료를 노광 및 현상하여 수행하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  9. 제8항에서,
    상기 모차단층을 형성하는 단계는 무기 재료를 상기 기판 전체에 걸쳐서 형성하여 수행하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  10. 제8항에서,
    상기 모차단층을 형성하는 단계는 금속 재료를 상기 기판 전체에 걸쳐서 형성하여 수행하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
  11. 제8항에서,
    상기 모차단층을 형성하는 단계는 비정질 재료를 상기 기판 전체에 걸쳐서 형성하여 수행하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법.
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