JP2017041608A5 - - Google Patents
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Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015164014A JP6632252B2 (ja) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 検出装置、インプリント装置、物品の製造方法及び照明光学系 |
| KR1020187007830A KR102082584B1 (ko) | 2015-08-21 | 2016-08-03 | 검출 장치, 임프린트 장치, 물품 제조 방법, 조명 광학계 및 검출 방법 |
| CN201680048330.5A CN107924817B (zh) | 2015-08-21 | 2016-08-03 | 检测设备、压印装置、制造物品的方法、照明光学系统以及检测方法 |
| PCT/JP2016/003582 WO2017033410A1 (en) | 2015-08-21 | 2016-08-03 | Detection device, imprint apparatus, method of manufacturing article, illumination optical system, and detection method |
| US15/753,924 US10732523B2 (en) | 2015-08-21 | 2016-08-03 | Detection device, imprint apparatus, method of manufacturing article, illumination optical system, and detection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015164014A JP6632252B2 (ja) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 検出装置、インプリント装置、物品の製造方法及び照明光学系 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017041608A JP2017041608A (ja) | 2017-02-23 |
| JP2017041608A5 true JP2017041608A5 (enExample) | 2018-09-20 |
| JP6632252B2 JP6632252B2 (ja) | 2020-01-22 |
Family
ID=58099700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015164014A Active JP6632252B2 (ja) | 2015-08-21 | 2015-08-21 | 検出装置、インプリント装置、物品の製造方法及び照明光学系 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10732523B2 (enExample) |
| JP (1) | JP6632252B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102082584B1 (enExample) |
| CN (1) | CN107924817B (enExample) |
| WO (1) | WO2017033410A1 (enExample) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10502830B2 (en) | 2016-10-13 | 2019-12-10 | Waymo Llc | Limitation of noise on light detectors using an aperture |
| JP7057094B2 (ja) * | 2017-10-13 | 2022-04-19 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置、インプリント装置および、物品製造方法 |
| JP7030533B2 (ja) * | 2018-01-15 | 2022-03-07 | キオクシア株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、及び半導体装置の製造方法 |
| JP7038562B2 (ja) * | 2018-02-13 | 2022-03-18 | キヤノン株式会社 | 検出装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| NL2021404B1 (en) * | 2018-07-27 | 2020-01-31 | Wavin Bv | A system and a method for building a road |
| US11561284B2 (en) | 2018-11-02 | 2023-01-24 | Waymo Llc | Parallax compensating spatial filters |
| JP7257853B2 (ja) * | 2019-04-02 | 2023-04-14 | キヤノン株式会社 | 位置検出装置、露光装置および物品製造方法 |
| KR102665402B1 (ko) | 2019-04-08 | 2024-05-09 | 에이에스엠엘 홀딩 엔.브이. | 센서 장치, 및 리소그래피 측정 방법 |
| JP7328806B2 (ja) * | 2019-06-25 | 2023-08-17 | キヤノン株式会社 | 計測装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
| JP7301452B2 (ja) * | 2019-09-27 | 2023-07-03 | エルジー・ケム・リミテッド | マーキングを用いた光学フィルム、光学フィルムの製造装置および製造方法 |
| JP7500258B2 (ja) | 2020-04-10 | 2024-06-17 | キヤノン株式会社 | 検出装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法、及び検出方法 |
| JP7716925B2 (ja) * | 2020-08-28 | 2025-08-01 | キヤノン株式会社 | 計測装置、計測方法、リソグラフィー装置、物品製造方法およびモデル |
| JP7614858B2 (ja) * | 2021-01-26 | 2025-01-16 | キヤノン株式会社 | 検出装置、リソグラフィ装置、および物品製造方法 |
| BR112023015596A2 (pt) * | 2021-02-03 | 2023-10-17 | Tpi Composites Inc | Rastreamento de coordenada espacial de componentes de conjunto de turbina eólica usando sistema de projeção a laser |
| JP7550814B2 (ja) * | 2022-05-18 | 2024-09-13 | キヤノン株式会社 | 検出装置、リソグラフィ装置、物品製造方法および検出システム |
| JP2023177409A (ja) * | 2022-06-02 | 2023-12-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、及びコンピュータプログラム |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6483101A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-28 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Diffracted beam separation optical system |
| JPH05259029A (ja) * | 1992-03-12 | 1993-10-08 | Nikon Corp | 位置検出装置 |
| JPH07321028A (ja) * | 1994-05-27 | 1995-12-08 | Nikon Corp | アライメント装置 |
| JP2002122412A (ja) * | 2000-10-17 | 2002-04-26 | Nikon Corp | 位置検出装置、露光装置およびマイクロデバイスの製造方法 |
| TW567406B (en) | 2001-12-12 | 2003-12-21 | Nikon Corp | Diffraction optical device, refraction optical device, illuminating optical device, exposure system and exposure method |
| KR101484435B1 (ko) * | 2003-04-09 | 2015-01-19 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광 방법 및 장치, 그리고 디바이스 제조 방법 |
| TWI628698B (zh) | 2003-10-28 | 2018-07-01 | 尼康股份有限公司 | 照明光學裝置、曝光裝置、曝光方法以及元件製造方法 |
| JP4497949B2 (ja) | 2004-02-12 | 2010-07-07 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
| JP4865270B2 (ja) * | 2005-07-28 | 2012-02-01 | キヤノン株式会社 | 露光装置、及びそれを用いたデバイス製造方法 |
| US7397042B2 (en) * | 2005-08-24 | 2008-07-08 | Dr. Chip Biotechnology Incorporation | Optical detection apparatus and method thereof |
| JP2008270726A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-11-06 | Advanced Lcd Technologies Development Center Co Ltd | 結晶化装置、結晶化方法、デバイス、および光変調素子 |
| CA2686928C (en) * | 2007-05-09 | 2016-10-11 | Reald | Polarization conversion system and method for stereoscopic projection |
| US10114213B2 (en) * | 2008-04-04 | 2018-10-30 | Cvi Laser, Llc | Laser systems and optical devices for manipulating laser beams |
| US20190142257A1 (en) * | 2010-03-30 | 2019-05-16 | 3Shape A/S | Scanning of cavities with restricted accessibility |
| US8842294B2 (en) | 2011-06-21 | 2014-09-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Position detection apparatus, imprint apparatus, and position detection method |
| JP5706861B2 (ja) * | 2011-10-21 | 2015-04-22 | キヤノン株式会社 | 検出器、検出方法、インプリント装置及び物品製造方法 |
| JP2013175684A (ja) * | 2012-02-27 | 2013-09-05 | Canon Inc | 検出器、インプリント装置及び物品を製造する方法 |
| US9304403B2 (en) * | 2013-01-02 | 2016-04-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | System and method for lithography alignment |
| JP6644898B2 (ja) * | 2016-02-19 | 2020-02-12 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 構造を測定する方法、検査装置、リソグラフィシステム、デバイス製造方法、およびそれらで使用する波長選択フィルタ |
-
2015
- 2015-08-21 JP JP2015164014A patent/JP6632252B2/ja active Active
-
2016
- 2016-08-03 WO PCT/JP2016/003582 patent/WO2017033410A1/en not_active Ceased
- 2016-08-03 US US15/753,924 patent/US10732523B2/en active Active
- 2016-08-03 CN CN201680048330.5A patent/CN107924817B/zh active Active
- 2016-08-03 KR KR1020187007830A patent/KR102082584B1/ko active Active
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