JP2017041608A5 - - Google Patents
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Description
特許文献１に記載の検出器では、例えば、位置合わせ用のマークのエッジで散乱された不要光が生じることがあり、撮像素子に不要光が到達して、マークからの検出光に対してノイズになり、マーク位置の計測精度が低下してしまう。
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