JP2017038125A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017038125A5 JP2017038125A5 JP2015156786A JP2015156786A JP2017038125A5 JP 2017038125 A5 JP2017038125 A5 JP 2017038125A5 JP 2015156786 A JP2015156786 A JP 2015156786A JP 2015156786 A JP2015156786 A JP 2015156786A JP 2017038125 A5 JP2017038125 A5 JP 2017038125A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- semiconductor
- oscillation module
- thin film
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 13
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims 11
- 239000010408 film Substances 0.000 claims 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 2
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015156786A JP6724308B2 (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 発振モジュール、振動デバイス、電子機器、および移動体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2015156786A JP6724308B2 (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 発振モジュール、振動デバイス、電子機器、および移動体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017038125A JP2017038125A (ja) | 2017-02-16 |
| JP2017038125A5 true JP2017038125A5 (enExample) | 2018-09-06 |
| JP6724308B2 JP6724308B2 (ja) | 2020-07-15 |
Family
ID=58047522
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2015156786A Expired - Fee Related JP6724308B2 (ja) | 2015-08-07 | 2015-08-07 | 発振モジュール、振動デバイス、電子機器、および移動体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6724308B2 (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6942983B2 (ja) * | 2017-03-17 | 2021-09-29 | セイコーエプソン株式会社 | 発振器、電子機器および移動体 |
| JP7183699B2 (ja) * | 2018-10-29 | 2022-12-06 | セイコーエプソン株式会社 | 発振器、電子機器及び移動体 |
| JP2021057744A (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
| JP7419877B2 (ja) | 2020-02-28 | 2024-01-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
| JP2021150699A (ja) * | 2020-03-17 | 2021-09-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001044754A (ja) * | 1999-07-26 | 2001-02-16 | Niigata Seimitsu Kk | Lc発振器 |
| JP3982182B2 (ja) * | 2001-02-01 | 2007-09-26 | セイコーエプソン株式会社 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
| JP2003258633A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-09-12 | Kyocera Corp | Pllモジュール |
| JP2005006153A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Nec Electronics Corp | 電圧制御発振器 |
| US8143986B2 (en) * | 2007-01-24 | 2012-03-27 | Renesas Electronics Corporation | Inductor |
| JP2009267212A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Fujikura Ltd | 半導体装置 |
| JP6137442B2 (ja) * | 2012-07-31 | 2017-05-31 | 株式会社大真空 | 圧電発振器 |
| JP6091206B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2017-03-08 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
-
2015
- 2015-08-07 JP JP2015156786A patent/JP6724308B2/ja not_active Expired - Fee Related