JP2017038042A5 - - Google Patents
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Description
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのインプリント装置は、モールドを用いて基板上のインプリント材を成形するインプリント装置であって、前記インプリント材を撮像する撮像部と、前記モールドと前記インプリント材とが接触している状態で、前記撮像部を走査させながら前記撮像部に前記インプリント材を撮像させ、前記撮像部で得られた画像に基づいて前記インプリント材の成形に関する情報を得る制御部と、を含むことを特徴とする。
Claims (15)
- モールドを用いて基板上のインプリント材を成形するインプリント装置であって、
前記インプリント材を撮像する撮像部と、
前記モールドと前記インプリント材とが接触している状態で、前記撮像部を走査させながら前記撮像部に前記インプリント材を撮像させ、前記撮像部で得られた画像に基づいて前記インプリント材の成形に関する情報を得る制御部と、
を含むことを特徴とするインプリント装置。 - 前記制御部は、前記モールドと前記インプリント材との接触面積を拡げていく過程における複数のタイミングの各々で、前記モールドが接触している前記インプリント材を、前記撮像部を走査させながら前記撮像部に撮像させ、前記撮像部で得られた画像に基づいて前記情報を得る、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記モールドのパターン領域の端部から前記モールドと前記インプリント材との接触面積を拡げていく場合において、前記接触面積の拡がりに追従するように前記撮像部を走査させながら、前記モールドが接触している前記インプリント材を前記撮像部に撮像させ、前記撮像部で得られた画像に基づいて前記情報を得る、ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
- 前記撮像部の撮像領域における長手方向の長さは、前記モールドのパターン領域の幅より長く、
前記制御部は、前記長手方向と異なる方向に前記撮像部を走査させながら、前記パターン領域が接触している前記インプリント材を前記撮像部に撮像させ、前記撮像部で得られた画像に基づいて前記情報を得る、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。 - 前記モールドを保持し、且つ前記インプリント材を硬化させる光を通過させるための開口を有するモールド保持部を更に含み、
前記撮像部は、前記開口の内側に配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。 - 前記インプリント材に光を照射し、前記インプリント材を硬化させる硬化部を更に含み、
前記制御部は、前記モールドが接触しており且つ前記硬化部によって硬化された前記インプリント材を、前記撮像部を走査させながら前記撮像部に撮像させ、前記撮像部で得られた画像に基づいて前記情報を得る、ことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。 - 前記制御部は、前記撮像部の走査方向に前記硬化部を走査させながら前記硬化部に前記インプリント材を硬化させる、ことを特徴とする請求項６に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記硬化部の走査に追従するように前記撮像部を走査させる、ことを特徴とする請求項７に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記撮像部と前記硬化部との間隔が一定に保たれるように前記撮像部を走査させる、ことを特徴とする請求項８に記載のインプリント装置。
- 前記撮像部は、前記撮像部の走査方向において前記硬化部を挟み込むように配置された第１撮像部および第２撮像部を含む、ことを特徴とする請求項７乃至９のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、共通のガイドレールに沿って前記撮像部および前記硬化部を走査させる、ことを特徴とする請求項７乃至１０のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
- 前記モールドに設けられたマークと前記基板に設けられたマークとを検出する検出部を更に含み、
前記撮像部は、前記モールドに対する走査において前記モールドと前記検出部との間を通過するように配置されている、ことを特徴とする請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。 - 前記モールドのパターン領域の全体が収まる視野を有し、前記基板を観察する観察部を更に含む、ことを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
- 前記情報は、前記モールドと前記基板との間における異物の混入に関する情報、前記モールドのパターンにおける前記インプリント材の充填に関する情報、および前記モールドと前記基板との重ね合わせ精度に関する情報のうち少なくとも１つを含む、ことを特徴とする請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載のインプリント装置。
- 請求項１乃至１４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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