JP6140990B2 - 測定装置、インプリントシステム、測定方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
図1を用いてインプリント装置100について説明する。ウエハ1が配置される面をXY面、それに直交する方向をZ方向として、図に示したように各軸を決める。インプリント装置100には、基板としてのウエハ1を保持するウエハチャック2、微動ステージ3、XYステージ4を備えている。
本発明では、RLTを高い精度で測定するために新規な測定方法を用いる。以下に本発明のRLTの測定方法として、エリプソメトリ法を用いて残膜を測定する方法について説明する。本発明の実施形態の測定方法について図1、図2及び図3を用いて説明する。図1は、本実施形態のインプリント装置100と分光エリプソメータ200とを含むシステムの構成図を示している。図2は、本実施形態に係るインプリント装置100の制御ブロック図を示している。
図3を用いて分光エリプソメータ200について説明する。図3には、エリプソメトリ法を用いた膜厚測定装置(分光エリプソメータ200)の光学系の一例を示す。エリプソメトリ法には、入射光に複数の波長の光(ブロードバンド光)を用いて反射光の波長を分光して検出する方法と、入射光に単波長光を用いて入射角度を変更する方法とがある。図3は、前者の複数の波長の光を用いて、膜厚を測定する方法を示している。このような反射光の波長を分光して検出する方法を、ここでは分光エリプソメトリ法という。
A=(BΔ)
として定義する。ここで、Bはm個の1から成る列ベクトルである。従って、行列Aはm行(n0+1)列の行列である。
a=A+t
である。aは(n0+1)次元の列ベクトルである。aは計算機46に記憶させておく。
y=(1txP)a
ここで、xは被測定物に光を照射し、被測定物から反射した反射光の位相差の測定値を成分に持つn次元列ベクトルである。yは被測定物の残膜の厚さである。上記関係式の計算は計算機46で実行することができる。また、この関係式はインプリント装置のメモリ50に保存しておいても良い。さらに、関係式はパターン(非周期構造)の種類毎に求めて保存しておいても良く、ウエハ上に形成されたパターンに応じて最適な関係式を使って残膜の厚さを求めることができる。求めた関係は、生産全体を管理するホストコンピュータで保存しておき、適宜最適な関係式をインプリント装置またはエリプソメータに渡して使用しても良い。
物品としてのデバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)の製造方法は、上述したインプリント装置を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板)にパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含みうる。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりに、パターンを形成された基板を加工する他の処理を含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも一つにおいて有利である。
10 モールド
16 光源
30 供給部
100 インプリント装置
200 分光エリプソメータ
400 制御部
500 通信部
Claims (14)
- 基板に形成されたインプリント材のパターンに光を照射して得られた反射光の特性に基づいて前記インプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さを求める測定装置であって、
前記基板とは異なる基板に形成された凹部の残膜の厚さが互いに異なる複数のインプリント材のパターンのそれぞれから得られる反射光の複数種の特性のうち前記複数のインプリント材のパターンのそれぞれの前記残膜の厚さに対して相関関係を有する特性とインプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さの関係を示す情報を記憶する記憶部と、
前記基板に形成されたインプリント材のパターンに光を照射して得られた反射光の前記特性と前記記憶部に記憶された前記情報とに基づいて前記基板に形成されたインプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さを求める処理部と、を有することを特徴とする測定装置。 - 前記基板に形成されたインプリント材のパターンに照射される光の照射条件は、前記光の波長または前記光の入射角を含む、ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記処理部は、前記特性として、前記反射光の強度、前記反射光に含まれるP偏光光とS偏光光との強度比、又は、該P偏光光と該S偏光光との位相差を用いて、前記残膜の厚さを求めることを特徴とする請求項1または2に記載の測定装置。
- 前記記憶部は、前記関係として、前記特性から前記残膜の厚さを求めるための式の係数、または、前記特性と前記残膜の厚さとの対応関係を示すライブラリを記憶する、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の測定装置。
- 型を用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置と、
前記インプリント装置により形成された前記インプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さを求める請求項1〜4のいずれか一項に記載の測定装置と、
を含むことを特徴とするインプリントシステム。 - 前記測定装置で求めた前記残膜の厚さの情報に基づき、前記インプリント装置を制御することを特徴とする請求項5に記載のインプリントシステム。
- 前記基板上に形成されたインプリント材のパターンの凹部の残膜を除去するためのエッチング装置を有し、
前記測定装置で求めた前記残膜の厚さの情報に基づき、前記エッチング装置で前記基板上に形成されたインプリント材のパターンの凹部の残膜を除去することを特徴とする請求項5に記載のインプリントシステム。 - 基板に形成されたインプリント材のパターンに光を照射して得られた反射光の特性に基づいて前記インプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さを求める方法であって、
前記基板とは異なる基板に形成された、凹部の残膜の厚さが互いに異なる複数のインプリント材のパターンのそれぞれから得られる反射光の複数種の特性のうち、前記複数のインプリント材のパターンのそれぞれの前記残膜の厚さに対して相関関係を有する特性と、インプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さの相関関係を得て、
前記基板に形成されたインプリント材のパターンからの反射光の特性と前記相関関係とに基づいて、前記基板に形成されたインプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さを求める
ことを特徴とする方法。 - 前記基板上に形成されたインプリント材のパターンに照射される光の照射条件は、前記光の波長または前記光の入射角を含む、ことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記基板上に形成されたインプリント材のパターンに照射される光の照射条件は、複数の照射条件のうち、該複数の照射条件それぞれにより得られた前記相関関係に基づいて選択する、ことを特徴とする請求項8または9に記載の方法。
- 前記特性として、前記反射光の強度、前記反射光に含まれるP偏光光とS偏光光との強度比、又は、該P偏光光と該S偏光光との位相差を用いる、ことを特徴とする請求項8〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 基板に形成されたインプリント材のパターンに光を照射して得られた反射光の特性に基づいて前記インプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さを求める方法であって、
凹部の残膜の厚さが互いに異なる複数のインプリント材のパターンから得られる各反射光の特性と該複数のインプリント材のパターンのそれぞれの前記凹部の残膜の厚さの相関関係に基づいて、予め決めた照射条件に関しての、インプリント材のパターンからの反射光の特性と該インプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さの相関関係を得て、
前記照射条件で光を照射された前記インプリント材のパターンからの反射光の特性と前記得られた前記相関関係とに基づいて、前記インプリント材のパターンの凹部の残膜の厚さを求める場合、前記相関関係を得る工程において、
前記複数のインプリント材のパターンのそれぞれの前記凹部の残膜の厚さをSEMを用いて測定することを特徴とする方法。 - 前記相関関係として、前記特性から前記凹部の残膜の厚さを求めるための式の係数、または、前記特性と前記凹部の残膜の厚さとの対応関係を示す情報を得る、ことを特徴とする請求項8〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項5に記載のインプリントシステムを用いて基板上にパターンを形成する工程と、前記工程で前記パターンを形成された基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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