JP2017037985A - 基板処理装置および昇華性物質の析出防止方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】昇華性物質を溶媒に溶解してなる昇華性物質溶液を基板(W)に供給する基板処理装置は、基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板に対して設定温度の昇華性物質溶液を供給する供給部(43,44,45)と、設定温度よりも高く供給部を溶媒の沸点よりも低い温度に加熱する加熱部(46;471b;472,473,474)とを備える。
【選択図】図3
Description
31 基板保持部
43,44,45 供給部
43 ノズル
431 ノズルの先端部
432 ノズルの先端部の外面
46;471b;472,473,474 加熱部
471 洗浄槽、加熱槽(ノズルバス)
Claims (9)
- 昇華性物質を溶媒に溶解してなる昇華性物質溶液を基板に供給する基板処理装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された基板に対して設定温度の昇華性物質溶液を供給する供給部と、
前記供給部を前記設定温度よりも高く前記溶媒の沸点よりも低い温度に加熱する加熱部と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記供給部はノズルを含み、前記加熱部は前記ノズルの先端部の外面を加熱する、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記加熱部は、前記ノズルの待機位置で前記ノズルを加熱する、請求項2記載の基板処理装置。
- 前記加熱部は、加熱されたガスまたは液体により前記ノズルを加熱する加熱槽を有する、請求項2または3記載の基板処理装置。
- 前記加熱槽は、前記ノズルを洗浄するために前記昇華性物質を溶解しうる洗浄液を吐出する洗浄液吐出口を有する、請求項4記載の基板処理装置。
- 前記ノズルの待機位置で、前記ノズルを、前記昇華性物質を溶解しうる洗浄液を用いて洗浄する洗浄槽をさらに備えた、請求項3記載の基板処理装置。
- 昇華性物質を溶媒に溶解してなる昇華性物質溶液をノズルを用いて基板に供給する基板処理装置において、前記ノズルの先端部の外面に付着した昇華性物質溶液中に含まれる昇華性物質が析出することを防止する昇華性物質析出防止方法において、
前記基板保持部に保持された基板に対して設定温度の昇華性物質溶液を供給する供給部を、前記供給部を前期設定温度よりも高く前記溶媒の沸点よりも低い温度に加熱することを含むことを特徴とする昇華性物質析出防止方法。 - 前記供給部はノズルを含み、前記ノズルが前記昇華性物質溶液を前記基板に供給していないときに前記ノズルの先端部を加熱する、請求項8記載の方法。
- 前記ノズルの待機位置に設けられた加熱槽内で、加熱されたガスまたは液体により前記ノズルを加熱する、請求項8記載の方法。
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