JP2016534571A - 基板貫通インターポーザを用いる低パッケージ寄生インダクタンス - Google Patents
基板貫通インターポーザを用いる低パッケージ寄生インダクタンス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2016534571A JP2016534571A JP2016540338A JP2016540338A JP2016534571A JP 2016534571 A JP2016534571 A JP 2016534571A JP 2016540338 A JP2016540338 A JP 2016540338A JP 2016540338 A JP2016540338 A JP 2016540338A JP 2016534571 A JP2016534571 A JP 2016534571A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- interposer
- thin film
- contacts
- multilayer thin
- film capacitors
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49822—Multilayer substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/16—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
- H05K1/162—Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0306—Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/0313—Organic insulating material
- H05K1/032—Organic insulating material consisting of one material
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K1/115—Via connections; Lands around holes or via connections
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/181—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/50—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor for integrated circuit devices, e.g. power bus, number of leads
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10227—Other objects, e.g. metallic pieces
- H05K2201/10378—Interposers
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/10—Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
- H05K2201/10613—Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
- H05K2201/10621—Components characterised by their electrical contacts
- H05K2201/10674—Flip chip
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/49155—Manufacturing circuit on or in base
- Y10T29/49165—Manufacturing circuit on or in base by forming conductive walled aperture in base
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
Description
102 ダイ
104 パッケージ基板
106 接点の第1の組
108 プリント回路基板(PCB)
110 接点の第2の組
112 バルクキャパシタ
114 デカップリングキャパシタ
116 ビア、配線
120 集中定数回路モデル
122 電力管理IC(PMIC)
150 インピーダンス曲線
152 共振のピーク
154 共振のピーク
200 システム
202 ダイ
204 インターポーザ
206 プリント回路基板(PCB)
208 金属線および/または配線
210 金属線および/または配線
212 金属線および/または配線
213 金属線および/または配線
214A 電源端子
214B 電源端子
216A 接地端子
216B 接地端子
218A 端子
218B 端子
220A 導電ビア
220B 導電ビア
220C 導電ビア
220D 導電ビア
222 接点の第1の組
224 接点の第2の組
300 インターポーザ
302A 接地端子
302H 接地端子
302J 接地端子
302K 接地端子
302L 接地端子
302M 接地端子
302N 接地端子
302P 接地端子
304A 電源端子
304B 電源端子
304C 電源端子
304D 電源端子
304E 電源端子
304F 電源端子
304G 電源端子
306A 列
308A 列
400 インターポーザ
402 MIM層
404 MIM層
406 インターポーザ
410A 導電ビア
410B 導電ビア
410C 導電ビア
410D 導電ビア
411 絶縁層
412 金属線および/または配線
414 金属線および/または配線
416 金属線および/または配線
418 金属線および/または配線
419 絶縁層
420 金属線および/または配線
422 金属線および/または配線
424 金属線および/または配線
426 金属線および/または配線
428A 電源端子
428B 電源端子
430A 接地端子
430B 接地端子
500 インターポーザ
502 はんだバンプ
504 はんだバンプ
600 インターポーザ
700 インターポーザ
702 層
704 層
706 層
708 層
800 方法
Claims (32)
- 互い違いのパターンで配置された複数の電源端子および接地端子によって形成された複数の多層薄膜キャパシタと、
接点の第1の組と接点の第2の組との間に前記互い違いのパターンを結合するように構成された複数の導電ビアと、を含む、インターポーザ。 - 接点の前記第1の組が、接点の前記第2の組よりも小さなピッチを有する、請求項1に記載のインターポーザ。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、接点の前記第1の組と前記複数の導電ビアとの間に配置される、請求項2に記載のインターポーザ。
- 前記複数の導電ビアと接点の前記第2の組との間に形成された第2の複数の多層薄膜キャパシタをさらに含む、請求項3に記載のインターポーザ。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、金属−絶縁体−金属(MIM)構成で形成される、請求項1に記載のインターポーザ。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、複数のトレンチキャパシタを含む、請求項5に記載のインターポーザ。
- ガラス貫通ビア(TGV)インターポーザである、請求項1に記載のインターポーザ。
- シリコン貫通ビア(TSV)インターポーザである、請求項1に記載のインターポーザ。
- セラミックインターポーザである、請求項1に記載のインターポーザ。
- 有機インターポーザである、請求項1に記載のインターポーザ。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、複数のトレンチキャパシタを含む、請求項1に記載のインターポーザ。
- 第1の側面および第2の側面を含むインターポーザであって、
互い違いのパターンで配置された複数の電源端子および接地端子によって形成された複数の多層薄膜キャパシタ、ならびに
接点の第1の組と接点の第2の組との間に前記互い違いのパターンを結合するように構成された複数の導電ビアをさらに含む、インターポーザと、
前記インターポーザ上に配置されたダイと、を含む、システム。 - 接点の前記第1の組が、接点の前記第2の組よりも小さなピッチを有する、請求項12に記載のシステム。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、接点の前記第1の組と前記複数の導電ビアとの間に配置される、請求項13に記載のシステム。
- 前記複数の導電ビアと接点の前記第2の組との間に形成された第2の複数の多層薄膜キャパシタをさらに含む、請求項14に記載のシステム。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、金属−絶縁体−金属(MIM)構成で形成される、請求項12に記載のシステム。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、複数のトレンチキャパシタを含む、請求項16に記載のシステム。
- 前記インターポーザが、ガラス貫通ビア(TGV)インターポーザである、請求項12に記載のシステム。
- 前記インターポーザが、シリコン貫通ビア(TSV)インターポーザである、請求項12に記載のシステム。
- 前記インターポーザが、セラミックインターポーザである、請求項12に記載のシステム。
- 前記インターポーザが、有機インターポーザである、請求項12に記載のシステム。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、複数のトレンチキャパシタを含む、請求項12に記載のシステム。
- 前記ダイが、フリップチップである、請求項12に記載のシステム。
- 前記インターポーザの前記第2の側面上に配置された基板をさらに含む、請求項12に記載のシステム。
- 前記互い違いのパターンが、行ごとの互い違いのパターンおよび列ごとの互い違いのパターンのうちの少なくとも1つである、請求項12に記載のシステム。
- インターポーザを作製する方法であって、
複数の電源端子および接地端子を互い違いのパターンで設けるステップと、
複数の導電ビアを前記複数の電源端子および接地端子に結合して複数の多層薄膜キャパシタを形成するステップと、
接点の第1の組と接点の第2の組との間に前記互い違いのパターンおよび前記複数の導電ビアを結合するステップと、を含む、方法。 - 接点の前記第1の組が、接点の前記第2の組よりも小さなピッチを有する、請求項26に記載の方法。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、金属−絶縁体−金属(MIM)構成で形成される、請求項26に記載の方法。
- 前記互い違いのパターンが、行ごとの互い違いのパターンおよび列ごとの互い違いのパターンのうちの少なくとも1つである、請求項26に記載の方法。
- 前記複数の多層薄膜キャパシタが、複数のトレンチキャパシタを含む、請求項26に記載の方法。
- 前記複数の導電ビアが、ガラス貫通ビア(TGV)およびシリコン貫通ビア(TSV)のうちの少なくとも1つである、請求項26に記載の方法。
- 前記複数の導電ビアを形成することが、セラミック材料、有機材料、ガラス材料、およびシリコンのうちの少なくとも1つにおいて実行される、請求項26に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/020,558 US9370103B2 (en) | 2013-09-06 | 2013-09-06 | Low package parasitic inductance using a thru-substrate interposer |
US14/020,558 | 2013-09-06 | ||
PCT/US2014/053864 WO2015034898A1 (en) | 2013-09-06 | 2014-09-03 | Low package parasitic inductance using a thru-substrate interposer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016534571A true JP2016534571A (ja) | 2016-11-04 |
JP2016534571A5 JP2016534571A5 (ja) | 2017-09-28 |
Family
ID=51570877
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016540338A Pending JP2016534571A (ja) | 2013-09-06 | 2014-09-03 | 基板貫通インターポーザを用いる低パッケージ寄生インダクタンス |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9370103B2 (ja) |
EP (1) | EP3042394B1 (ja) |
JP (1) | JP2016534571A (ja) |
WO (1) | WO2015034898A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10470309B2 (en) | 2015-09-20 | 2019-11-05 | Qualcomm Incorporated | Inductor and capacitor integrated on a substrate |
US10163856B2 (en) | 2015-10-30 | 2018-12-25 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Stacked integrated circuit structure and method of forming |
JP2017204511A (ja) * | 2016-05-10 | 2017-11-16 | ソニー株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法、及び、電子機器 |
US20170330677A1 (en) * | 2016-05-11 | 2017-11-16 | Cascade Microtech, Inc. | Space transformers, planarization layers for space transformers, methods of fabricating space transformers, and methods of planarizing space transformers |
US20180184524A1 (en) * | 2016-12-27 | 2018-06-28 | Innovium, Inc. | Mixed ball grid array pitch for integrated circuit package |
KR102663810B1 (ko) | 2016-12-30 | 2024-05-07 | 삼성전자주식회사 | 전자 소자 패키지 |
US10091873B1 (en) * | 2017-06-22 | 2018-10-02 | Innovium, Inc. | Printed circuit board and integrated circuit package |
US20190304899A1 (en) * | 2018-04-03 | 2019-10-03 | Mediatek Singapore Pte. Ltd. | Methods and systems for supply noise suppression in systems-on-chip |
US10714462B2 (en) * | 2018-04-24 | 2020-07-14 | Advanced Micro Devices, Inc. | Multi-chip package with offset 3D structure |
TWI750467B (zh) | 2018-05-15 | 2021-12-21 | 南韓商三星電子股份有限公司 | 半導體封裝 |
US10419050B1 (en) | 2018-05-29 | 2019-09-17 | Apple Inc. | Printed circuit board interposer for radio frequency signal transmission |
US10621387B2 (en) * | 2018-05-30 | 2020-04-14 | Seagate Technology Llc | On-die decoupling capacitor area optimization |
US10784199B2 (en) * | 2019-02-20 | 2020-09-22 | Micron Technology, Inc. | Component inter-digitated VIAS and leads |
US11545435B2 (en) | 2019-06-10 | 2023-01-03 | Qualcomm Incorporated | Double sided embedded trace substrate |
KR20220001692A (ko) | 2020-06-30 | 2022-01-06 | 삼성전자주식회사 | 집적 회로 칩 및 이를 포함한 반도체 패키지 |
US11508660B2 (en) * | 2020-09-04 | 2022-11-22 | Intel Corporation | Molded power delivery interconnect module for improved Imax and power integrity |
US11646343B2 (en) | 2020-12-29 | 2023-05-09 | United Microelectronics Corp. | Capacitor structure and method for manufacturing the same |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001284483A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板 |
JP2005012106A (ja) * | 2003-06-20 | 2005-01-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | コンデンサ |
JP2006210776A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Ibiden Co Ltd | コンデンサ内蔵パッケージ基板及びその製法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5583359A (en) * | 1995-03-03 | 1996-12-10 | Northern Telecom Limited | Capacitor structure for an integrated circuit |
DE19630883A1 (de) * | 1996-07-31 | 1998-02-05 | Philips Patentverwaltung | Bauteil mit einem Kondensator |
US6214445B1 (en) * | 1998-12-25 | 2001-04-10 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Printed wiring board, core substrate, and method for fabricating the core substrate |
US6411492B1 (en) | 2000-05-24 | 2002-06-25 | Conexant Systems, Inc. | Structure and method for fabrication of an improved capacitor |
US6970362B1 (en) | 2000-07-31 | 2005-11-29 | Intel Corporation | Electronic assemblies and systems comprising interposer with embedded capacitors |
DE10303738B4 (de) | 2003-01-30 | 2007-12-27 | Infineon Technologies Ag | Speicherkondensator und Speicherzellenanordnung |
US7081650B2 (en) | 2003-03-31 | 2006-07-25 | Intel Corporation | Interposer with signal and power supply through vias |
US6885541B2 (en) * | 2003-06-20 | 2005-04-26 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Capacitor, and capacitor manufacturing process |
US7566960B1 (en) | 2003-10-31 | 2009-07-28 | Xilinx, Inc. | Interposing structure |
US7446389B2 (en) | 2004-06-17 | 2008-11-04 | Apple Inc. | Semiconductor die package with internal bypass capacitors |
US7435627B2 (en) | 2005-08-11 | 2008-10-14 | International Business Machines Corporation | Techniques for providing decoupling capacitance |
US20070245556A1 (en) * | 2006-04-19 | 2007-10-25 | Eiichi Hosomi | A method and system for plated thru hole placement in a substrate |
US7841075B2 (en) * | 2007-06-19 | 2010-11-30 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Methods for integration of thin-film capacitors into the build-up layers of a PWB |
US8391015B2 (en) * | 2008-03-17 | 2013-03-05 | Ibiden Co., Ltd. | Capacitor-incorporated printed wiring board and electronic component |
US20110058348A1 (en) * | 2009-09-10 | 2011-03-10 | Ibiden Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP5429019B2 (ja) | 2010-04-16 | 2014-02-26 | 富士通株式会社 | キャパシタ及びその製造方法 |
-
2013
- 2013-09-06 US US14/020,558 patent/US9370103B2/en active Active
-
2014
- 2014-09-03 JP JP2016540338A patent/JP2016534571A/ja active Pending
- 2014-09-03 EP EP14767221.6A patent/EP3042394B1/en active Active
- 2014-09-03 WO PCT/US2014/053864 patent/WO2015034898A1/en active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001284483A (ja) * | 2000-03-29 | 2001-10-12 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 配線基板 |
JP2005012106A (ja) * | 2003-06-20 | 2005-01-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | コンデンサ |
JP2006210776A (ja) * | 2005-01-31 | 2006-08-10 | Ibiden Co Ltd | コンデンサ内蔵パッケージ基板及びその製法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20150070863A1 (en) | 2015-03-12 |
EP3042394A1 (en) | 2016-07-13 |
EP3042394B1 (en) | 2021-10-20 |
WO2015034898A1 (en) | 2015-03-12 |
US9370103B2 (en) | 2016-06-14 |
CN105518859A (zh) | 2016-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2016534571A (ja) | 基板貫通インターポーザを用いる低パッケージ寄生インダクタンス | |
KR101024241B1 (ko) | 반도체 장치 및 그를 포함하는 반도체 패키지 | |
US10109576B2 (en) | Capacitor mounting structure | |
US20140374877A1 (en) | Integrated Circuits With On-Die Decoupling Capacitors | |
JP2012517109A (ja) | 能動および受動デバイスをチップ内に配置する方法 | |
US7986532B2 (en) | Split thin film capacitor for multiple voltages | |
US11521966B2 (en) | Vertical noise reduction in 3D stacked semiconductor devices | |
JP3368870B2 (ja) | パッケージ基板及びこれを備えた半導体装置 | |
JP2007081044A (ja) | 半導体装置 | |
KR101626656B1 (ko) | 부분 비아를 갖는 금속-절연체-금속 온-다이 캐패시터 | |
JP2001118988A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009076815A (ja) | 半導体装置 | |
JP5511119B2 (ja) | インターポーザ及び半導体装置 | |
WO2019066848A1 (en) | POWER DISTRIBUTION FOR INTEGRATED BRIDGE CHIP USING TRENCH STRUCTURES | |
CN105518859B (zh) | 使用穿板中介体的低封装寄生电感 | |
TWI828378B (zh) | 電源設計架構 | |
JP4812440B2 (ja) | 回路基板および半導体装置 | |
US11406006B2 (en) | Electromagnetic (EM) field rotation for interconnection between chip and circuit board | |
US20230124931A1 (en) | Configurable capacitor | |
JP2007242879A (ja) | サブユニット基板 | |
JP2006059955A (ja) | 半導体装置 | |
JP2005340555A (ja) | 半導体集積回路素子 | |
JP2015211097A (ja) | 部品内蔵基板 | |
JP2004140214A (ja) | 半導体集積回路 | |
KR20140120696A (ko) | 반도체 장치의 패드 및 그 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170815 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170815 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180813 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190304 |