JP2016519736A - 非粘性層シーリングを有する対向ピストン内燃機関 - Google Patents
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Abstract
Description
この出願は、2013年3月15日に出願された米国仮特許出願第61/789,231号から優先権を主張するものであり、それは、参照によってそれの全体が本明細書において依拠されると共に組み込まれる。
Claims (58)
- a)機関ケースであって、
i)互いと整列された一対の燃焼シリンダと、
ii)クランクケースであって、前記一対の燃焼シリンダが前記クランクケースによって分離される、クランクケースと、を備える、機関ケースと、
b)前記クランクケースを用いて収容されるスコッチヨークアセンブリであって、
i)スコッチヨークベースと、
ii)前記クランクケース内で前記機関ケースに剛性的に接続されるスコッチヨークガイドシャフトと、
iii)前記スコッチヨークベースに剛性的に接続される一対の燃焼ピストンであって、前記一対の燃焼ピストンのそれぞれ1つが、前記一対の燃焼シリンダの一方内で環状に移動して、前記燃焼シリンダの壁と前記燃焼ピストンのヘッドとの間に非粘性層を形成するように構成される、一対の燃焼ピストンと、を備える、スコッチヨークアセンブリと、を備える、対向ピストン機関。 - 互いと整列され、前記クランクケースによって分離され、前記一対の燃焼シリンダと平行である、一対の圧縮シリンダと、
一対の圧縮ピストンであって、前記一対の圧縮ピストンが、前記スコッチヨークベースに剛性的に接続されて、前記一対の圧縮ピストンのそれぞれ1つが、前記一対の圧縮シリンダの一方内で環状に移動して空気を圧縮するように構成されて、前記一対の圧縮シリンダと前記一対の圧縮ピストンとの組み合わせが、前記圧縮された空気を前記一対の燃焼シリンダに渡すように構成される、一対の圧縮ピストンと、を更に備える、請求項1に記載の前記対向ピストン機関。 - 前記一対の圧縮シリンダが、周囲の空気を集めて前記圧縮された空気に変換するように構成される、請求項2に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記機関ケースが、互いと整列されると共に前記クランクケースによって分離される一対のアキュムレータチャンバを更に備え、前記一対のアキュムレータチャンバが、前記一対の圧縮シリンダから前記圧縮された空気を受け取って、前記圧縮された空気を前記一対の燃焼シリンダに伝達するように構成される、請求項3に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記クランクケースが、クランクシャフトアセンブリ及び潤滑剤を保持するように構成され、前記クランクケースが、前記一対の燃焼シリンダから前記潤滑剤を隔離するように構成される、請求項1に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記スコッチヨークベースが、前記一対の燃焼シリンダから前記クランクシャフトアセンブリにパワーを伝達するように構成される、請求項5に記載の前記対向ピストン機関。
- 排気システムを更に備え、前記排気システムが、前記クランクシャフトアセンブリによって作動される、請求項5に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記クランクシャフトアセンブリが、第1の弾み車を更に備え、前記第1の弾み車が、前記排気システムを作動するように構成される、請求項7に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記第1の弾み車が、前記排気システムを作動するように構成されたカムを備える、請求項8に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記第1の弾み車が、前記排気システムを潤滑するように構成される、請求項8に記載の前記対向ピストン機関。
- 第2の弾み車を更に備え、前記第1の弾み車及び前記第2の弾み車が、クランクシャフトによって駆動されると共に、前記クランクケース内の前記潤滑剤と相互作用して有害抗力を通して前記潤滑剤を蒸発するように構成される、請求項10に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記第1の弾み車及び前記第2の弾み車が、ベルヌーイの原理を通して前記排気システムに対して前記蒸発された潤滑剤を循環させるように更に構成される、請求項11に記載の前記対向ピストン機関。
- デトネーションアキュムレータシステムを更に備え、前記デトネーションアキュムレータシステムが、前記クランクシャフトアセンブリによって作動される、請求項6に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記クランクシャフトアセンブリが、前記デトネーションアキュムレータシステムを作動するように構成された弾み車を更に備える、請求項13に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記デトネーションアキュムレータシステムが、パワーサイクルの間に作り出された高温及び高圧力のガスを捕捉するように構成されたデトネーションアキュムレータチャンバを備える、請求項14に記載の前記対向ピストン機関。
- a)機関ケースであって、
i)互いと整列された一対の燃焼シリンダと、
ii)互いと整列されると共に前記一対の燃焼シリンダと平行である一対の圧縮シリンダであって、周囲の空気を集めるように構成される、一対の圧縮シリンダと、
iii)クランクケースであって、前記一対の圧縮シリンダ及び前記一対の燃焼シリンダが前記クランクケースによって分離される、クランクケースと、を備える、機関ケースと、
b)前記クランクケースを用いて収容されるスコッチヨークアセンブリであって、
i)スコッチヨークベースと、
ii)前記スコッチヨークベース内のスロット付きのレースウェイと、
iii)前記クランクケース内で前記機関ケースに剛性的に接続されるスコッチヨークガイドシャフトと、
iv)燃焼連接ロッドによって前記スコッチヨークベースに剛性的に接続される一対の燃焼ピストンであって、前記一対の燃焼ピストンのそれぞれ1つが、前記一対の燃焼シリンダの一方内を環状に移動するように構成される、一対の燃焼ピストンと、
v)少なくとも1つの圧縮連接ロッドによって前記スコッチヨークベースに剛性的に接続される一対の圧縮ピストンであって、前記一対の圧縮ピストンのそれぞれ1つが、前記一対の圧縮シリンダの一方内で環状に移動して前記周囲の空気を圧縮するように構成されて、前記スコッチヨークベース、前記スコッチヨークガイドシャフト、前記燃焼連接ロッド、及び前記少なくとも1つの圧縮連接ロッドの組み合わせが、前記スコッチヨークベースを整列することを支援して、前記燃焼シリンダの壁のごく近接に前記燃焼ピストンを配置して、前記燃焼シリンダの前記壁と前記燃焼ピストンとの間に非粘性層を形成する、一対の圧縮ピストンと、を備える、スコッチヨークアセンブリと、
c)前記スコッチヨークアセンブリの前記スロット付きのレースウェイ及び前記クランクシャフトアセンブリのロッドジャーナルと相互作用するように構成された軸受アセンブリを備えるクランクシャフトアセンブリであって、前記スコッチヨークアセンブリが、前記一対の燃焼ピストンから前記クランクシャフトアセンブリに前記軸受アセンブリを通してパワーを伝達するように構成される、クランクシャフトアセンブリと、を備える、対向ピストン機関。 - 前記機関ケースが、互いと整列されると共に前記クランクケースによって分離される一対のアキュムレータチャンバを更に備え、前記一対のアキュムレータチャンバが、前記一対の圧縮シリンダから前記圧縮された空気を受け取って、前記圧縮された空気を前記一対の燃焼シリンダに伝達するように構成される、請求項16に記載の前記対向ピストン機関。
- 高速で及び2以上の方向に排気バルブを動作するように構成されたカム作動式排気システムを更に備え、前記クランクシャフトアセンブリが、前記カム作動式排気システムを動作するように構成された2つのカム弾み車を更に備え、前記クランクケースが、前記2つのカム弾み車を含有するように更に構成される、請求項16に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記軸受アセンブリが、少なくとも3つのレース及び少なくとも2組の軸受要素を備え、前記少なくとも2組の軸受要素のそれぞれが、前記少なくとも3つのレースのうちの2つの間に位置する、請求項16に記載の前記対向ピストン機関。
- 前記一対の燃焼シリンダのそれぞれが、複数の燃料噴射器を備える、請求項16に記載の前記対向ピストン機関。
- a)少なくとも1つの燃焼シリンダと、
b)前記少なくとも1つの燃焼シリンダ内で動作するように構成された少なくとも1つの燃焼ピストンと、
c)前記少なくとも1つの燃焼シリンダの壁と前記少なくとも1つの燃焼ピストンとの間のシールであって、非粘性層からなるシールと、を備える、内燃機関。 - スコッチヨークベースと前記スコッチヨークベースによって受け入れられるように構成されたスコッチヨークガイドシャフトとを備えるスコッチヨークアセンブリを更に備え、前記少なくとも1つの燃焼ピストンが、前記スコッチヨークベースに剛性的に接続される、請求項21に記載の前記内燃機関。
- 少なくとも1つの圧縮シリンダ及び少なくとも1つの圧縮ピストンを更に備え、前記少なくとも1つの圧縮シリンダが、周囲の空気を集めて圧縮して、前記圧縮された空気を前記少なくとも1つの燃焼シリンダに供給するように構成される、請求項21に記載の前記内燃機関。
- スコッチヨークベースと前記スコッチヨークベースによって受け入れられるように構成されたスコッチヨークガイドシャフトとを備えるスコッチヨークアセンブリを更に備え、前記少なくとも1つの燃焼ピストン及び前記少なくとも1つの圧縮ピストンが、前記スコッチヨークベースに剛性的に接続される、請求項23に記載の前記内燃機関。
- クランクシャフトアセンブリ及び潤滑剤を収容するように構成されたクランクケースを更に備え、前記クランクケースが、前記少なくとも1つの燃焼シリンダ及び前記少なくとも1つの燃焼ピストンから前記潤滑剤を隔離するように更に構成される、請求項21に記載の前記内燃機関。
- パワー調整モジュールを更に備え、前記少なくとも1つの燃焼シリンダが、ワイヤコイルを備えるセラミック材料の壁を更に備え、少なくとも1つの燃焼ピストンが、ヘッドに統合された磁石を更に備え、前記少なくとも1つの燃焼シリンダ内で前記少なくとも1つの燃焼ピストンを振動することが、前記パワー調整モジュールに送られる電流を生成する、請求項21に記載の前記内燃機関。
- a)機関ケースであって、
i)燃焼シリンダと、
ii)クランクケースであって、前記燃焼シリンダが前記クランクケースから分離される、クランクケースと、を備える機関ケースと、
b)第1の弾み車を備えるクランクシャフトアセンブリであって、前記第1の弾み車が、前記クランクシャフトアセンブリの第1の端部に結合されて、前記第1の弾み車が、前記クランクケース内に含有される、クランクシャフトアセンブリと、を備える、内燃機関。 - 第2の弾み車を更に備え、前記第2の弾み車が、前記クランクシャフトアセンブリの第2の端部に結合されて、前記クランクケース内に含有される、請求項27に記載の前記内燃機関。
- a)機関ケースであって、
i)燃焼シリンダと、
ii)クランクケースであって、前記燃焼シリンダが、前記クランクケースから分離されると共に、クランクシャフトアセンブリ及び潤滑剤を保持するように構成される、クランクケースと、を備える、機関ケースと、
b)排気システムであって、
i)前記燃焼シリンダと接続した排気マニホルドと、
ii)前記燃焼シリンダから前記排気マニホルドへのアクセスを制御するように構成された排気バルブアセンブリと、を備える、排気システムと、
c)排気バルブアセンブリ潤滑化システムであって、
i)第1の端部を備える前記クランクシャフトアセンブリと、
ii)前記クランクシャフトアセンブリの前記第1の端部に接続された少なくとも1つの弾み車であって、前記クランクケース内で前記潤滑剤の表面と相互作用して、潤滑剤ミストを形成するように構成された、少なくとも1つの弾み車と、
iii)前記少なくとも1つの弾み車に隣接すると共に前記潤滑剤ミストを前記排気バルブアセンブリに供給するように構成された、少なくとも1つのピックアップチューブと、
iv)前記少なくとも1つの弾み車に隣接すると共に前記排気バルブアセンブリから前記クランクケースに前記潤滑剤ミストを戻すように構成された、少なくとも1つの戻りチューブと、を備える、排気バルブアセンブリ潤滑化システムと、を備える、内燃機関。 - 前記排気バルブアセンブリ潤滑化システムが、前記クランクケースから前記排気バルブアセンブリに前記潤滑剤ミストを移送してベルヌーイの原理に基づいて戻すように構成される、請求項29に記載の前記内燃機関。
- 前記少なくとも1つの弾み車が、前記クランクシャフトアセンブリの端部に接続された2つの弾み車を備え、前記少なくとも1つのピックアップチューブが、2つのピックアップチューブを備え、前記少なくとも1つの戻りチューブが、2つの戻りチューブを備える、請求項30に記載の前記内燃機関。
- a)機関ケースであって、
i)燃焼シリンダと、
ii)クランクケースであって、前記燃焼シリンダが、前記クランクケースから分離されると共に、クランクシャフトアセンブリを保持するように構成される、クランクケースと、を備える、機関ケースと、
b)排気システムであって、
i)前記燃焼シリンダと接続した排気マニホルドと、
ii)前記燃焼シリンダから前記排気マニホルドへのアクセスを制御するように構成された排気バルブアセンブリと、を備える、排気システムと、
c)前記クランクシャフトアセンブリであって、
i)第1の端部と、
ii)前記第1の端部に結合される第1の弾み車であって、前記排気バルブアセンブリを動作するように構成される、第1の弾み車と、を備える、前記クランクシャフトアセンブリと、を備える、内燃機関。 - 前記第1の弾み車が、前記排気バルブアセンブリを動作するように構成されたカムを更に備える、請求項32に記載の前記内燃機関。
- 前記排気システムが、前記第1の弾み車の前記カムを係合させて、前記排気バルブアセンブリの前記動作を支援するように構成されたプッシュロッドアセンブリを更に備える、請求項33に記載の前記内燃機関。
- 前記排気システムが、前記プッシュロッドアセンブリ及び前記排気バルブアセンブリを係合させるように構成されたロッカーアームアセンブリを更に備える、請求項34に記載の前記内燃機関。
- 前記クランクシャフトアセンブリが、第2の端部及び前記第2の端部に結合された第2の弾み車を更に備え、前記第2の弾み車がカムを備え、前記第1の弾み車の前記カムが、前記排気バルブアセンブリを開けるように構成されて、前記第2の弾み車の前記カムが、前記排気バルブアセンブリを閉じるように構成される、請求項33に記載の前記内燃機関。
- 内燃機関のための高速排気システムであって、
a)排気バルブアセンブリであって、
i)排気バルブと、
ii)完全なシールを形成することにおいて前記排気バルブを支援するように構成されたバルブ閉鎖バネと、を備える、排気バルブアセンブリと、
b)前記排気バルブアセンブリの前記排気バルブの開閉を制御するように構成されたロッカーアームアセンブリと、を備える、前記高速排気システム。 - 前記ロッカーアームアセンブリが、排気開放アクチュエータアーム、排気閉鎖アクチュエータロッド、及び排気バルブアクチュエータアームを更に備え、前記排気開放アクチュエータアームを作動することが、前記排気バルブを開けるように前記排気バルブアクチュエータアームを作動させて、前記排気閉鎖アクチュエータアームを作動することが、前記排気バルブを閉じるように前記排気バルブアクチュエータアームを作動させる、請求項37に記載の前記高速排気システム。
- 前記排気バルブを閉じるために前記ロッカーアームアセンブリを制御するように構成された排気バルブ閉鎖弾み車と、前記排気バルブを開けるために前記ロッカーアームアセンブリを制御するように構成された排気バルブ開放弾み車と、を更に備える、請求項38に記載の前記高速排気システム。
- 前記排気バルブ閉鎖弾み車及び前記排気バルブ開放弾み車が、前記ロッカーアームアセンブリの前記動作を制御するように構成されたカムを備える、請求項39に記載の前記高速排気システム。
- プッシュロッドアセンブリを更に備え、前記プッシュロッドアセンブリが、前記排気バルブ閉鎖弾み車及び前記排気バルブ開放弾み車の前記カムと前記ロッカーアームアセンブリとを係合させるように構成されたプッシュロッドを更に備える、請求項40に記載の前記高速排気システム。
- 前記バルブ閉鎖バネが、座金バネを備える、請求項41に記載の前記高速排気システム。
- 前記座金バネが、波形座金を備える、請求項42に記載の前記高速排気システム。
- 弾み車によって動作される対向ピストン機関のためのデトネーションアキュムレータシステムであって、
a)機関ケースであって、
i)一対の燃焼シリンダと、
ii)他方の燃焼シリンダのパワーサイクルにおける使用のために燃焼シリンダの一方から前記パワーサイクルにおいて作り出された高温及び高圧力のガスを捕捉するように構成されたデトネーションアキュムレータチャンバと、を備える、機関ケースと、
b)前記一対の燃焼シリンダからの及び前記一対の燃焼シリンダへの前記デトネーションアキュムレータチャンバにおける前記ガスの収集ならびに放出を制御するように構成された前記弾み車を備えるクランクシャフトアセンブリと、を備える、前記デトネーションアキュムレータシステム。 - 前記弾み車が、前記ガスの前記収集及び放出を制御するように構成されたカムを更に備える、請求項44に記載の前記デトネーションアキュムレータシステム。
- 前記カムとチャンバ端部とを係合させるように構成されたカム端部を備える少なくとも1つのプッシュロッドを備えるプッシュロッドアセンブリを更に備え、前記チャンバ端部が、前記燃焼シリンダと前記デトネーションアキュムレータチャンバとの間で前記ガスの前記放出及び前記収集を制御するように構成される、請求項45に記載の前記デトネーションアキュムレータシステム。
- 前記チャンバ端部が、前記ガスの前記伝達を可能にするために前記燃焼シリンダと前記デトネーションアキュムレータチャンバとの間に整列され得るデトネーション開口を更に備える、請求項46に記載の前記デトネーションアキュムレータシステム。
- a)少なくとも1つの燃焼シリンダと、
b)前記少なくとも1つの燃焼シリンダ内で動作するように構成された少なくとも1つの燃焼ピストンと、
c)前記少なくとも1つの燃焼シリンダと平行である少なくとも1つの圧縮シリンダと、
d)前記少なくとも1つの圧縮シリンダ内で動作するように構成されると共に前記少なくとも1つの燃焼ピストンに呼応して移動するように構成される少なくとも1つの圧縮ピストンと、
e)前記少なくとも1つの燃焼シリンダの壁と前記少なくとも1つの燃焼ピストンとの間のシールであって、前記シールが非粘性層からなり、前記少なくとも1つの圧縮シリンダ及び前記少なくとも1つの圧縮ピストンが、パワーストローク及びパージストロークのために前記少なくとも1つの燃焼シリンダに圧縮された空気を提供するように構成される、シールと、を備える、内燃機関。 - 前記少なくとも1つの圧縮シリンダが、周囲の空気を集めて圧縮するように構成される、請求項48に記載の前記内燃機関。
- 前記少なくとも1つの燃焼シリンダと前記少なくとも1つの圧縮シリンダとの間に方向付けられた少なくとも1つのアキュムレータチャンバを更に備え、前記少なくとも1つのアキュムレータチャンバが、前記少なくとも1つの圧縮シリンダから圧縮された空気を集めて、前記少なくとも1つの燃焼シリンダに渡すように構成される、請求項49に記載の前記内燃機関。
- 前記少なくとも1つのアキュムレータチャンバが、一定の過給空気を前記少なくとも1つの燃焼シリンダに提供するように構成される、請求項50に記載の前記内燃機関。
- 前記少なくとも1つの燃焼ピストンが、裏側を有するピストンヘッドを備え、前記シール、前記少なくとも1つの燃焼シリンダの前記壁、及び前記ピストンヘッドの前記裏側の組み合わせが、前記少なくとも1つの燃焼シリンダから排気ガスをパージするために前記少なくとも1つの燃焼ピストンの前記パージストロークを支援するように構成される、請求項48に記載の前記内燃機関。
- 前記シール、前記少なくとも1つの燃焼シリンダの前記壁、及び前記少なくとも1つの燃焼ピストンの前記組み合わせが、熱吸収ストロークアセンブリを形成する、請求項48に記載の前記内燃機関。
- 軸受故障に適応するように構成されたクランクシャフトのための軸受アセンブリ。
- 前記軸受アセンブリが、
a)少なくとも3つのレースと、
b)少なくとも2組の軸受と、を備える、請求項54に記載の前記軸受アセンブリ。 - 前記少なくとも3つのレースが、ロッドジャーナルの外部表面を係合させるように構成された内部レース、パワー発生源を係合させるように構成された外部レース、及び前記内部レースと前記外部レースとの間の中間レースを備え、前記中間レースが、前記少なくとも2組の軸受を互いに分離するように構成される、請求項55に記載の前記軸受アセンブリ。
- 減らされた排気騒音特性を有するように構成された内燃機関であって、
a)第1の機関区分排気圧力波を作り出すように構成された第1の機関区分と、
b)第2の機関区分排気圧力波を作り出すように構成された第2の機関区分であって、前記第1の機関区分及び前記第2の機関区分が、互いに180度反対側で動作する、第2の機関区分と、
c)前記第1の機関区分から前記第1の機関区分排気圧力波を吸収するのに十分大きいものであるように、ならびに前記第1の機関区分排気圧力波の速度をやがて遅くして、前記第2の機関区分排気圧力波が、前記第2の機関区分排気圧力波の速度に到達して低減することを可能にするように構成されたチューニングチャンバであって、前記第1の機関区分排気圧力波及び前記第2の機関区分排気圧力波が、出口へ曲がることを可能にする、前記チューニングチャンバを備える排気マニホルドと、を備える、前記内燃機関。 - 前記第1の機関区分及び前記第2の機関区分が、より低い速度で前記第1及び第2の機関区分排気圧力波を作り出すように構成される、請求項57に記載の前記内燃機関。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (301)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10378106B2 (en) | 2008-11-14 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming insulation film by modified PEALD |
US9394608B2 (en) | 2009-04-06 | 2016-07-19 | Asm America, Inc. | Semiconductor processing reactor and components thereof |
US8802201B2 (en) | 2009-08-14 | 2014-08-12 | Asm America, Inc. | Systems and methods for thin-film deposition of metal oxides using excited nitrogen-oxygen species |
US9312155B2 (en) | 2011-06-06 | 2016-04-12 | Asm Japan K.K. | High-throughput semiconductor-processing apparatus equipped with multiple dual-chamber modules |
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US20130023129A1 (en) | 2011-07-20 | 2013-01-24 | Asm America, Inc. | Pressure transmitter for a semiconductor processing environment |
US9017481B1 (en) | 2011-10-28 | 2015-04-28 | Asm America, Inc. | Process feed management for semiconductor substrate processing |
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KR102263121B1 (ko) | 2014-12-22 | 2021-06-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
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US10229833B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-03-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10435790B2 (en) | 2016-11-01 | 2019-10-08 | Asm Ip Holding B.V. | Method of subatmospheric plasma-enhanced ALD using capacitively coupled electrodes with narrow gap |
US10714350B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-07-14 | ASM IP Holdings, B.V. | Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures |
US10643904B2 (en) | 2016-11-01 | 2020-05-05 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a semiconductor device and related semiconductor device structures |
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US10269558B2 (en) | 2016-12-22 | 2019-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US10867788B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-12-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a structure on a substrate |
US11390950B2 (en) | 2017-01-10 | 2022-07-19 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process |
US10655221B2 (en) | 2017-02-09 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing oxide film by thermal ALD and PEALD |
US10468261B2 (en) | 2017-02-15 | 2019-11-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10529563B2 (en) | 2017-03-29 | 2020-01-07 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming doped metal oxide films on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures |
US10283353B2 (en) | 2017-03-29 | 2019-05-07 | Asm Ip Holding B.V. | Method of reforming insulating film deposited on substrate with recess pattern |
KR102457289B1 (ko) | 2017-04-25 | 2022-10-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10770286B2 (en) | 2017-05-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10446393B2 (en) | 2017-05-08 | 2019-10-15 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming silicon-containing epitaxial layers and related semiconductor device structures |
US10892156B2 (en) | 2017-05-08 | 2021-01-12 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures |
US10504742B2 (en) | 2017-05-31 | 2019-12-10 | Asm Ip Holding B.V. | Method of atomic layer etching using hydrogen plasma |
US10886123B2 (en) | 2017-06-02 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming low temperature semiconductor layers and related semiconductor device structures |
US11306395B2 (en) | 2017-06-28 | 2022-04-19 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus |
US10685834B2 (en) | 2017-07-05 | 2020-06-16 | Asm Ip Holdings B.V. | Methods for forming a silicon germanium tin layer and related semiconductor device structures |
KR20190009245A (ko) | 2017-07-18 | 2019-01-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물 |
US10541333B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11018002B2 (en) | 2017-07-19 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a Group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US11374112B2 (en) | 2017-07-19 | 2022-06-28 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures |
US10590535B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-17 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same |
US10605530B2 (en) | 2017-07-26 | 2020-03-31 | Asm Ip Holding B.V. | Assembly of a liner and a flange for a vertical furnace as well as the liner and the vertical furnace |
US10312055B2 (en) | 2017-07-26 | 2019-06-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing film by PEALD using negative bias |
US10692741B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-06-23 | Asm Ip Holdings B.V. | Radiation shield |
US10770336B2 (en) | 2017-08-08 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate lift mechanism and reactor including same |
US11769682B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-09-26 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US11139191B2 (en) | 2017-08-09 | 2021-10-05 | Asm Ip Holding B.V. | Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith |
US10249524B2 (en) | 2017-08-09 | 2019-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette holder assembly for a substrate cassette and holding member for use in such assembly |
USD900036S1 (en) | 2017-08-24 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Heater electrical connector and adapter |
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KR102491945B1 (ko) | 2017-08-30 | 2023-01-26 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11295980B2 (en) | 2017-08-30 | 2022-04-05 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
US11056344B2 (en) | 2017-08-30 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Layer forming method |
US10607895B2 (en) | 2017-09-18 | 2020-03-31 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for forming a semiconductor device structure comprising a gate fill metal |
KR102630301B1 (ko) | 2017-09-21 | 2024-01-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 침투성 재료의 순차 침투 합성 방법 처리 및 이를 이용하여 형성된 구조물 및 장치 |
US10844484B2 (en) | 2017-09-22 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
US11028694B2 (en) * | 2017-09-27 | 2021-06-08 | Avl Powertrain Engineering, Inc. | Valve train for opposed-piston four-stroke engine |
US10658205B2 (en) | 2017-09-28 | 2020-05-19 | Asm Ip Holdings B.V. | Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber |
US10403504B2 (en) | 2017-10-05 | 2019-09-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method for selectively depositing a metallic film on a substrate |
US10319588B2 (en) | 2017-10-10 | 2019-06-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a metal chalcogenide on a substrate by cyclical deposition |
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KR102443047B1 (ko) | 2017-11-16 | 2022-09-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US10910262B2 (en) | 2017-11-16 | 2021-02-02 | Asm Ip Holding B.V. | Method of selectively depositing a capping layer structure on a semiconductor device structure |
US11022879B2 (en) | 2017-11-24 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming an enhanced unexposed photoresist layer |
JP7214724B2 (ja) | 2017-11-27 | 2023-01-30 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | バッチ炉で利用されるウェハカセットを収納するための収納装置 |
TWI791689B (zh) | 2017-11-27 | 2023-02-11 | 荷蘭商Asm智慧財產控股私人有限公司 | 包括潔淨迷你環境之裝置 |
US10290508B1 (en) | 2017-12-05 | 2019-05-14 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming vertical spacers for spacer-defined patterning |
US10872771B2 (en) | 2018-01-16 | 2020-12-22 | Asm Ip Holding B. V. | Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures |
TW202325889A (zh) | 2018-01-19 | 2023-07-01 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 沈積方法 |
CN111630203A (zh) | 2018-01-19 | 2020-09-04 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过等离子体辅助沉积来沉积间隙填充层的方法 |
USD903477S1 (en) | 2018-01-24 | 2020-12-01 | Asm Ip Holdings B.V. | Metal clamp |
US11018047B2 (en) | 2018-01-25 | 2021-05-25 | Asm Ip Holding B.V. | Hybrid lift pin |
USD880437S1 (en) | 2018-02-01 | 2020-04-07 | Asm Ip Holding B.V. | Gas supply plate for semiconductor manufacturing apparatus |
US10535516B2 (en) | 2018-02-01 | 2020-01-14 | Asm Ip Holdings B.V. | Method for depositing a semiconductor structure on a surface of a substrate and related semiconductor structures |
US11081345B2 (en) | 2018-02-06 | 2021-08-03 | Asm Ip Holding B.V. | Method of post-deposition treatment for silicon oxide film |
JP7124098B2 (ja) | 2018-02-14 | 2022-08-23 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 周期的堆積プロセスにより基材上にルテニウム含有膜を堆積させる方法 |
US10896820B2 (en) | 2018-02-14 | 2021-01-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10731249B2 (en) | 2018-02-15 | 2020-08-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus |
US10658181B2 (en) | 2018-02-20 | 2020-05-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method of spacer-defined direct patterning in semiconductor fabrication |
KR102636427B1 (ko) | 2018-02-20 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 장치 |
US10975470B2 (en) | 2018-02-23 | 2021-04-13 | Asm Ip Holding B.V. | Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment |
US11473195B2 (en) | 2018-03-01 | 2022-10-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate |
US11629406B2 (en) | 2018-03-09 | 2023-04-18 | Asm Ip Holding B.V. | Semiconductor processing apparatus comprising one or more pyrometers for measuring a temperature of a substrate during transfer of the substrate |
US11114283B2 (en) | 2018-03-16 | 2021-09-07 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor, system including the reactor, and methods of manufacturing and using same |
KR102646467B1 (ko) | 2018-03-27 | 2024-03-11 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조 |
US11230766B2 (en) | 2018-03-29 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US11088002B2 (en) | 2018-03-29 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate rack and a substrate processing system and method |
US10510536B2 (en) | 2018-03-29 | 2019-12-17 | Asm Ip Holding B.V. | Method of depositing a co-doped polysilicon film on a surface of a substrate within a reaction chamber |
KR102501472B1 (ko) | 2018-03-30 | 2023-02-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 |
KR20190128558A (ko) | 2018-05-08 | 2019-11-18 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상에 산화물 막을 주기적 증착 공정에 의해 증착하기 위한 방법 및 관련 소자 구조 |
TW202349473A (zh) | 2018-05-11 | 2023-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於基板上形成摻雜金屬碳化物薄膜之方法及相關半導體元件結構 |
US20190360426A1 (en) * | 2018-05-24 | 2019-11-28 | GM Global Technology Operations LLC | Cylinder liners comprising induction coils and hybrid internal combustion engines and powertrains utilizing the same |
KR102596988B1 (ko) | 2018-05-28 | 2023-10-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치 |
US11270899B2 (en) | 2018-06-04 | 2022-03-08 | Asm Ip Holding B.V. | Wafer handling chamber with moisture reduction |
US11718913B2 (en) | 2018-06-04 | 2023-08-08 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution system and reactor system including same |
US11286562B2 (en) | 2018-06-08 | 2022-03-29 | Asm Ip Holding B.V. | Gas-phase chemical reactor and method of using same |
US10797133B2 (en) | 2018-06-21 | 2020-10-06 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures |
KR102568797B1 (ko) | 2018-06-21 | 2023-08-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 시스템 |
CN112292478A (zh) | 2018-06-27 | 2021-01-29 | Asm Ip私人控股有限公司 | 用于形成含金属的材料的循环沉积方法及包含含金属的材料的膜和结构 |
WO2020003000A1 (en) | 2018-06-27 | 2020-01-02 | Asm Ip Holding B.V. | Cyclic deposition methods for forming metal-containing material and films and structures including the metal-containing material |
US10612136B2 (en) | 2018-06-29 | 2020-04-07 | ASM IP Holding, B.V. | Temperature-controlled flange and reactor system including same |
KR20200002519A (ko) | 2018-06-29 | 2020-01-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10388513B1 (en) | 2018-07-03 | 2019-08-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10755922B2 (en) | 2018-07-03 | 2020-08-25 | Asm Ip Holding B.V. | Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition |
US10767789B2 (en) | 2018-07-16 | 2020-09-08 | Asm Ip Holding B.V. | Diaphragm valves, valve components, and methods for forming valve components |
CN108661785B (zh) * | 2018-07-26 | 2024-01-23 | 谭建文 | 无曲轴旋转式阿特金森循环发动机 |
US10483099B1 (en) | 2018-07-26 | 2019-11-19 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming thermally stable organosilicon polymer film |
US11053591B2 (en) | 2018-08-06 | 2021-07-06 | Asm Ip Holding B.V. | Multi-port gas injection system and reactor system including same |
US10883175B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-01-05 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical furnace for processing substrates and a liner for use therein |
US10829852B2 (en) | 2018-08-16 | 2020-11-10 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distribution device for a wafer processing apparatus |
US11430674B2 (en) | 2018-08-22 | 2022-08-30 | Asm Ip Holding B.V. | Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods |
KR20200030162A (ko) | 2018-09-11 | 2020-03-20 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 증착 방법 |
US11024523B2 (en) | 2018-09-11 | 2021-06-01 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
US11049751B2 (en) | 2018-09-14 | 2021-06-29 | Asm Ip Holding B.V. | Cassette supply system to store and handle cassettes and processing apparatus equipped therewith |
CN110970344A (zh) | 2018-10-01 | 2020-04-07 | Asm Ip控股有限公司 | 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法 |
US11232963B2 (en) | 2018-10-03 | 2022-01-25 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus and method |
KR102592699B1 (ko) | 2018-10-08 | 2023-10-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치 |
US10847365B2 (en) | 2018-10-11 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming conformal silicon carbide film by cyclic CVD |
US10811256B2 (en) | 2018-10-16 | 2020-10-20 | Asm Ip Holding B.V. | Method for etching a carbon-containing feature |
KR102546322B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-06-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR102605121B1 (ko) | 2018-10-19 | 2023-11-23 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
USD948463S1 (en) | 2018-10-24 | 2022-04-12 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor for semiconductor substrate supporting apparatus |
US10381219B1 (en) | 2018-10-25 | 2019-08-13 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a silicon nitride film |
US11087997B2 (en) | 2018-10-31 | 2021-08-10 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing apparatus for processing substrates |
KR20200051105A (ko) | 2018-11-02 | 2020-05-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 |
US11572620B2 (en) | 2018-11-06 | 2023-02-07 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate |
US11031242B2 (en) | 2018-11-07 | 2021-06-08 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a boron doped silicon germanium film |
US10818758B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-10-27 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures |
US10847366B2 (en) | 2018-11-16 | 2020-11-24 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing a transition metal chalcogenide film on a substrate by a cyclical deposition process |
US10559458B1 (en) | 2018-11-26 | 2020-02-11 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming oxynitride film |
US11217444B2 (en) | 2018-11-30 | 2022-01-04 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film |
KR102636428B1 (ko) | 2018-12-04 | 2024-02-13 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치를 세정하는 방법 |
US11158513B2 (en) | 2018-12-13 | 2021-10-26 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures |
JP2020096183A (ja) | 2018-12-14 | 2020-06-18 | エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー | 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム |
TWI819180B (zh) | 2019-01-17 | 2023-10-21 | 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 | 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法 |
KR20200091543A (ko) | 2019-01-22 | 2020-07-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
CN111524788B (zh) | 2019-02-01 | 2023-11-24 | Asm Ip私人控股有限公司 | 氧化硅的拓扑选择性膜形成的方法 |
KR20200102357A (ko) | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 3-d nand 응용의 플러그 충진체 증착용 장치 및 방법 |
KR102626263B1 (ko) | 2019-02-20 | 2024-01-16 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 처리 단계를 포함하는 주기적 증착 방법 및 이를 위한 장치 |
TW202044325A (zh) | 2019-02-20 | 2020-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 填充一基板之一表面內所形成的一凹槽的方法、根據其所形成之半導體結構、及半導體處理設備 |
TW202104632A (zh) | 2019-02-20 | 2021-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備 |
TW202100794A (zh) | 2019-02-22 | 2021-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基材處理設備及處理基材之方法 |
KR20200108243A (ko) | 2019-03-08 | 2020-09-17 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | SiOC 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법 |
US11742198B2 (en) | 2019-03-08 | 2023-08-29 | Asm Ip Holding B.V. | Structure including SiOCN layer and method of forming same |
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USD975665S1 (en) | 2019-05-17 | 2023-01-17 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
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USD922229S1 (en) | 2019-06-05 | 2021-06-15 | Asm Ip Holding B.V. | Device for controlling a temperature of a gas supply unit |
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CN112216646A (zh) | 2019-07-10 | 2021-01-12 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板支撑组件及包括其的基板处理装置 |
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US11643724B2 (en) | 2019-07-18 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming structures using a neutral beam |
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US11587815B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
US11587814B2 (en) | 2019-07-31 | 2023-02-21 | Asm Ip Holding B.V. | Vertical batch furnace assembly |
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USD965044S1 (en) | 2019-08-19 | 2022-09-27 | Asm Ip Holding B.V. | Susceptor shaft |
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US11562901B2 (en) | 2019-09-25 | 2023-01-24 | Asm Ip Holding B.V. | Substrate processing method |
CN112593212B (zh) | 2019-10-02 | 2023-12-22 | Asm Ip私人控股有限公司 | 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法 |
TW202129060A (zh) | 2019-10-08 | 2021-08-01 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 基板處理裝置、及基板處理方法 |
KR20210043460A (ko) | 2019-10-10 | 2021-04-21 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토레지스트 하부층을 형성하기 위한 방법 및 이를 포함한 구조체 |
KR20210045930A (ko) | 2019-10-16 | 2021-04-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 실리콘 산화물의 토폴로지-선택적 막의 형성 방법 |
US11637014B2 (en) | 2019-10-17 | 2023-04-25 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selective deposition of doped semiconductor material |
KR20210047808A (ko) | 2019-10-21 | 2021-04-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법 |
US11646205B2 (en) | 2019-10-29 | 2023-05-09 | Asm Ip Holding B.V. | Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same |
KR20210054983A (ko) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템 |
US11501968B2 (en) | 2019-11-15 | 2022-11-15 | Asm Ip Holding B.V. | Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps |
KR20210062561A (ko) | 2019-11-20 | 2021-05-31 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템 |
US11450529B2 (en) | 2019-11-26 | 2022-09-20 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for selectively forming a target film on a substrate comprising a first dielectric surface and a second metallic surface |
CN112951697A (zh) | 2019-11-26 | 2021-06-11 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885693A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
CN112885692A (zh) | 2019-11-29 | 2021-06-01 | Asm Ip私人控股有限公司 | 基板处理设备 |
JP2021090042A (ja) | 2019-12-02 | 2021-06-10 | エーエスエム アイピー ホールディング ビー.ブイ. | 基板処理装置、基板処理方法 |
KR20210070898A (ko) | 2019-12-04 | 2021-06-15 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
US11885013B2 (en) | 2019-12-17 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Method of forming vanadium nitride layer and structure including the vanadium nitride layer |
KR20210080214A (ko) | 2019-12-19 | 2021-06-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조 |
KR20210095050A (ko) | 2020-01-20 | 2021-07-30 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법 |
TW202130846A (zh) | 2020-02-03 | 2021-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成包括釩或銦層的結構之方法 |
TW202146882A (zh) | 2020-02-04 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 驗證一物品之方法、用於驗證一物品之設備、及用於驗證一反應室之系統 |
US11776846B2 (en) | 2020-02-07 | 2023-10-03 | Asm Ip Holding B.V. | Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices |
TW202146715A (zh) | 2020-02-17 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於生長磷摻雜矽層之方法及其系統 |
KR20210116249A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법 |
KR20210116240A (ko) | 2020-03-11 | 2021-09-27 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치 |
KR20210117157A (ko) | 2020-03-12 | 2021-09-28 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 타겟 토폴로지 프로파일을 갖는 층 구조를 제조하기 위한 방법 |
CN113389611A (zh) * | 2020-03-12 | 2021-09-14 | 赵天安 | 一种进气调节机构、一种发动机和一种气动马达 |
KR20210124042A (ko) | 2020-04-02 | 2021-10-14 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 박막 형성 방법 |
TW202146689A (zh) | 2020-04-03 | 2021-12-16 | 荷蘭商Asm Ip控股公司 | 阻障層形成方法及半導體裝置的製造方法 |
FI128955B (en) * | 2020-04-04 | 2021-03-31 | Metacomp Oy | Two-stroke engine |
TW202145344A (zh) | 2020-04-08 | 2021-12-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法 |
US11821078B2 (en) | 2020-04-15 | 2023-11-21 | Asm Ip Holding B.V. | Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film |
KR20210132605A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리 |
KR20210132600A (ko) | 2020-04-24 | 2021-11-04 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템 |
CN113555279A (zh) | 2020-04-24 | 2021-10-26 | Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含氮化钒的层的方法及包含其的结构 |
KR20210134226A (ko) | 2020-04-29 | 2021-11-09 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 고체 소스 전구체 용기 |
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KR20210143653A (ko) | 2020-05-19 | 2021-11-29 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치 |
KR20210145078A (ko) | 2020-05-21 | 2021-12-01 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법 |
TW202201602A (zh) | 2020-05-29 | 2022-01-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
TW202218133A (zh) | 2020-06-24 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成含矽層之方法 |
TW202217953A (zh) | 2020-06-30 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 基板處理方法 |
US11686245B2 (en) * | 2020-07-06 | 2023-06-27 | Sky Moon Huddleston | Quadruple acting scotch yoke engine |
KR20220010438A (ko) | 2020-07-17 | 2022-01-25 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 포토리소그래피에 사용하기 위한 구조체 및 방법 |
TW202204662A (zh) | 2020-07-20 | 2022-02-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於沉積鉬層之方法及系統 |
CN112096478B (zh) * | 2020-08-17 | 2022-02-15 | 梁乙泉 | 内燃发动机活塞式气门 |
TW202212623A (zh) | 2020-08-26 | 2022-04-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 形成金屬氧化矽層及金屬氮氧化矽層的方法、半導體結構、及系統 |
USD990534S1 (en) | 2020-09-11 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Weighted lift pin |
CN112112733A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-22 | 东风汽车集团有限公司 | 一种发动机的气门驱动结构及其使用方法 |
USD1012873S1 (en) | 2020-09-24 | 2024-01-30 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for semiconductor processing apparatus |
CN112177775A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-05 | 安徽雷博机车部件有限公司 | 一种摩托车内燃机 |
TW202229613A (zh) | 2020-10-14 | 2022-08-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 於階梯式結構上沉積材料的方法 |
TW202217037A (zh) | 2020-10-22 | 2022-05-01 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成 |
TW202223136A (zh) | 2020-10-28 | 2022-06-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統 |
EP4001612A1 (en) | 2020-11-17 | 2022-05-25 | Volvo Truck Corporation | An internal combustion engine system |
EP4001611B1 (en) * | 2020-11-17 | 2023-06-07 | Volvo Truck Corporation | A piston arrangement for a clean combustion engine |
KR20220076343A (ko) | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. | 기판 처리 장치의 반응 챔버 내에 배열되도록 구성된 인젝터 |
US11946137B2 (en) | 2020-12-16 | 2024-04-02 | Asm Ip Holding B.V. | Runout and wobble measurement fixtures |
TW202231903A (zh) | 2020-12-22 | 2022-08-16 | 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 | 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成 |
USD980813S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate for substrate processing apparatus |
USD1023959S1 (en) | 2021-05-11 | 2024-04-23 | Asm Ip Holding B.V. | Electrode for substrate processing apparatus |
USD981973S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-28 | Asm Ip Holding B.V. | Reactor wall for substrate processing apparatus |
USD980814S1 (en) | 2021-05-11 | 2023-03-14 | Asm Ip Holding B.V. | Gas distributor for substrate processing apparatus |
USD990441S1 (en) | 2021-09-07 | 2023-06-27 | Asm Ip Holding B.V. | Gas flow control plate |
WO2023039637A1 (en) * | 2021-09-17 | 2023-03-23 | ASF Technologies (Australia) Pty Ltd | Remote control generator |
CN114510825B (zh) * | 2022-01-13 | 2023-02-10 | 北京理工大学 | 一种对置活塞发动机的最佳相位差获取方法、系统 |
US11473453B1 (en) * | 2022-02-23 | 2022-10-18 | Southwest Research Institute | Integrated flywheel and intake cam lobe |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5799628A (en) * | 1997-02-05 | 1998-09-01 | Lacerda; Carlos Bettencourt | Internal combustion engine with rail spark plugs and rail fuel injectors |
WO2012013462A1 (de) * | 2010-07-28 | 2012-02-02 | Robert Bosch Gmbh | Über einen dampfkraftprozess antreibbare kolbenmaschine |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US17855A (en) * | 1857-07-21 | of same place | ||
US1825278A (en) * | 1928-12-29 | 1931-09-29 | Jane Stuart Marvin | Internal combustion engine |
US2059804A (en) * | 1933-03-20 | 1936-11-03 | O'bryan Marion | Internal combustion engine |
US1978335A (en) * | 1934-06-14 | 1934-10-23 | Harold B Augustine | Internal combustion engine |
US2217912A (en) * | 1939-09-26 | 1940-10-15 | Earnest M Lindsey | Gas engine |
US2513514A (en) * | 1945-10-08 | 1950-07-04 | Robert A Poage | Piston and crankshaft connecting means for internal-combustion engines |
US2878990A (en) * | 1953-10-30 | 1959-03-24 | Sulzer Ag | Upright piston compressor |
DE1403763A1 (de) * | 1961-03-02 | 1969-01-30 | Endres Dr Ing Johann | Dichtringloser Kolben mit zentrischer Fuehrung |
US3200800A (en) | 1962-04-27 | 1965-08-17 | Bois Francois M Du | Internal combustion engine |
JPS5723117B2 (ja) * | 1973-01-05 | 1982-05-17 | ||
JPS5225908A (en) * | 1975-08-22 | 1977-02-26 | Uchikoba Sayoko | Intrnal combustion engine |
US4304410A (en) * | 1979-09-20 | 1981-12-08 | Kobe, Inc. | Sealing structure for reciprocating pistons exposed to high pressure differentials |
US4889039A (en) * | 1988-10-17 | 1989-12-26 | Miller Bernard F | Gas compressor with labyrinth sealing and active magnetic bearings |
US4876991A (en) * | 1988-12-08 | 1989-10-31 | Galitello Jr Kenneth A | Two stroke cycle engine |
EP1639243B1 (en) * | 2003-06-25 | 2016-04-27 | Peter Hofbauer | Internal combustion engine |
US7156056B2 (en) * | 2004-06-10 | 2007-01-02 | Achates Power, Llc | Two-cycle, opposed-piston internal combustion engine |
US20060130782A1 (en) * | 2004-12-17 | 2006-06-22 | Boland David V | Engine |
US7194989B2 (en) * | 2005-03-03 | 2007-03-27 | Samuel Raymond Hallenbeck | Energy efficient clean burning two-stroke internal combustion engine |
DE102007011927A1 (de) * | 2007-03-13 | 2008-11-20 | Erftkemper, Norbert | Kurbeltrieb für Otto- und Dieselverbrennungsmotoren |
GB0710852D0 (en) * | 2007-06-06 | 2007-07-18 | Cox Powertrain Ltd | Internal combustion engines |
WO2010035684A1 (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-01 | 株式会社マキタ | 層状掃気2ストロークエンジン |
US8800506B2 (en) * | 2009-10-09 | 2014-08-12 | Thomas J. Dougherty | Engine having opposed pistons and opposed cylinders and side dual power output shafts |
CN102828823A (zh) * | 2011-09-01 | 2012-12-19 | 摩尔动力(北京)技术股份有限公司 | 双对置活塞发动机 |
-
2014
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2015
- 2015-09-07 IL IL241244A patent/IL241244B/en not_active IP Right Cessation
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-
2018
- 2018-05-23 JP JP2018098951A patent/JP2018173081A/ja active Pending
- 2018-10-12 AU AU2018247324A patent/AU2018247324A1/en not_active Abandoned
-
2019
- 2019-05-14 IL IL266606A patent/IL266606A/en unknown
- 2019-08-16 JP JP2019149289A patent/JP2020012468A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5799628A (en) * | 1997-02-05 | 1998-09-01 | Lacerda; Carlos Bettencourt | Internal combustion engine with rail spark plugs and rail fuel injectors |
WO2012013462A1 (de) * | 2010-07-28 | 2012-02-02 | Robert Bosch Gmbh | Über einen dampfkraftprozess antreibbare kolbenmaschine |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021513024A (ja) * | 2018-01-26 | 2021-05-20 | パテンテック・アクシェセルスカプPatentec AS | 内燃エンジン |
JP7058889B2 (ja) | 2018-01-26 | 2022-04-25 | パテンテック・アクシェセルスカプ | 内燃エンジン |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
MX2015013113A (es) | 2016-08-03 |
CN105074164B (zh) | 2018-11-23 |
CA2906193A1 (en) | 2014-09-18 |
CN109441627A (zh) | 2019-03-08 |
CL2015002703A1 (es) | 2016-04-01 |
AU2014233020B2 (en) | 2018-07-12 |
JP2018173081A (ja) | 2018-11-08 |
RU2015138149A3 (ja) | 2018-03-06 |
US9909492B2 (en) | 2018-03-06 |
IL241244A0 (en) | 2015-11-30 |
CN105074164A (zh) | 2015-11-18 |
NZ711743A (en) | 2018-07-27 |
JP2020012468A (ja) | 2020-01-23 |
AU2014233020A1 (en) | 2015-09-24 |
WO2014145445A2 (en) | 2014-09-18 |
ZA201506610B (en) | 2017-03-29 |
EP2971645A4 (en) | 2016-12-28 |
RU2669434C2 (ru) | 2018-10-11 |
IL266606A (en) | 2019-07-31 |
EP2971645A2 (en) | 2016-01-20 |
RU2015138149A (ru) | 2017-04-20 |
AU2018247324A1 (en) | 2018-11-08 |
US20140318518A1 (en) | 2014-10-30 |
KR20150133225A (ko) | 2015-11-27 |
WO2014145445A3 (en) | 2015-01-29 |
IL241244B (en) | 2019-05-30 |
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