JP2016219745A - ノズル清掃方法および部品実装装置 - Google Patents

Abstract

【課題】清掃シートを効率的に使用しながら、複数のノズルをより効率的に清掃する。
【解決手段】Ｘ方向に一列に配列された部品吸着用の複数のノズル１２を有する移動可能なヘッドユニット６と、ノズル先端１３を清掃する清掃シート１５とを備えた部品実装装置におけるノズル１２の清掃方法。複数のノズル１２を清掃シートの初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄ（最初の押し当て位置）に同時に押し当てて各ノズル１２を同時に清掃し、次回以降は、清掃シート１５のうち、各ノズル１２の前記初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄに対してＸ方向に近接する未使用箇所にそれぞれノズル１２をずらしながら、各ノズル１２を清掃シートの次の押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′に同時に押し当てて各ノズル１２を同時に清掃する。
【選択図】図３

Description

本発明は、部品吸着用のノズルにより電子部品等の部品を吸着してプリント基板等の基板上に搬送して実装する部品実装装置のノズル清掃方法および当該ノズル清掃方法が使用される部品実装装置に関するものである。

従来から、複数のヘッドが搭載されたヘッドユニットにより電子部品等の部品を部品供給部からプリント基板等の基板上に搬送して実装する部品実装装置が知られている。この種の部品実装装置では、各ヘッドの先端に部品吸着用のノズルが設けられており、部品はこのノズルに供給される負圧によってノズル先端に吸着される。

ところで、実装作業中には、負圧によってノズル先端にはんだや埃等の異物が付着する場合があり、部品の実装エラーを回避するには、このような付着物を除去する必要がある。そのため、例えば特許文献１に開示されるように、粘着テープ（清掃シート）を部品供給部の近傍に配置しておき、適当なタイミングで各ヘッドのノズル先端を粘着テープに押し当てることで付着物を除去することが行われている。

特許第５４７７３１７号公報

特許文献１に開示される方法（装置）では、各ノズルを一つずつ順番に粘着テープ上の近接した互いに異なる位置に押し当てる。これは、粘着テープからノズルへの異物等の再付着を防止しながら、粘着テープをできるだけ効率的に使用するためである。

しかし、このように各ノズルを一つずつ順番に粘着テープ上に押し当てる方法（装置）では、ヘッドユニットの移動およびヘッド（ノズル）の昇降がヘッド毎にわれるため、ヘッドトータルの清掃時間が比較的長くなる。また、全てのヘッドを配置できる位置に粘着テープを配設することが求められるため、粘着テープの配置が制約を受け易い、という欠点もある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、清掃シートを無駄なく効率的に使用しながら、複数のノズルをより効率的に清掃できる技術を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明は、互いに離間して第１方向に一列に配列された部品吸着用の複数のノズルを有する移動可能なヘッドユニットと、ノズル先端を清掃する清掃シートとを備えた部品実装装置における前記ノズルの清掃方法であって、前記複数のノズルを清掃シートの最初の押し当て位置に同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃し、次回以降は、前記清掃シートのうち、各ノズルの前記最初の押し当て位置に対して第１方向、又は当該第１方向と直交する第２方向に近接する未使用箇所にそれぞれノズルをずらしながら、前記複数のノズルを清掃シートの次の押し当て位置に同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃するようにしたものである。

このノズル清掃方法によれば、複数のノズルを同時に清掃シートに押し当てて各ノズルの清掃を同時に行うので、各ノズルを順次清掃シートに押し当てて個別にノズルを清掃する従来方法に比べて、ノズルトータルの清掃時間を短縮することが可能となる。しかも、このノズル清掃方法によれば、最初の押し当て位置に対して近接する未使用箇所にそれぞれノズルをずらしながら各ノズルの清掃を行うので、ノズルに異物が再付着することを回避しながら、清掃シートを効率良く使用することもできる。

このノズル清掃方法においては、予め定められた互いに平行な第１直線に沿って所定の終端位置までそれぞれ各ノズルの押し当て位置を順次同一方向にずらしながら前記複数のノズルの清掃を同時に行い、前記終端位置に到達すると、前記各第１直線に隣接して予め定められた直線であって当該第１直線と平行な第２直線に沿ってそれぞれ各ノズルの押し当て位置を順次同一方向にずらしながら前記複数のノズルの清掃を同時に行うのが好適である。

このノズル清掃方法によれば、清掃シートに対して各ノズルを規則的に押し当てることができるので、清掃シートを効率良く使用するうえで有利となる。

また、上記ノズル清掃方法においては、前記清掃シートに、前記複数のノズルを同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃するためのメイン領域と、このメイン領域とは別のサブ領域とを予め設定しておき、前記複数のノズルのうち、一部のノズルを清掃するときには、当該ノズル先端を前記サブ領域に押し当てるのが好適である。

この方法によれば、複数のノズルを同時に清掃する場合の領域（メイン領域）と、一部のノズルを清掃する場合の領域（サブ領域）とが分かれるので、複数のノズルを同時に清掃する場合のノズル押し当て位置の規則性を乱すことなく、一部のノズルを適切に清掃することが可能となる。

なお、上記のノズル清掃方法において、前記複数のノズルが、部品の吸着面積が異なる複数種類のノズルを含むものである場合には、前記複数のノズルのうち、吸着面積が最大のノズルを基準として各ノズルの押し当て位置をずらすのが好適である。

この方法によれば、一度使用された領域にノズルが押し付けられることを回避しながら、吸着面積が異なる複数種類のノズルを同時に清掃することが可能となる。

また、上記のノズル清掃方法においては、各ノズルの水平方向の移動距離が最短になるように、各ノズルの押し当て位置をずらしながら、前記複数のノズルを複数回、連続して清掃シートに押し当てることにより、各ノズルを複数回、連続して同時に清掃するようにしてもよい。

この方法によれば、トータルの清掃時間を抑えながら、各ノズルを複数回、連続して同時に清掃することが可能となる。

なお、上記のノズル清掃方法においては、前記清掃シートに、前記複数のノズルを同時に清掃するための複数の領域を設定しておき、これらの領域を予め定められた順番に従って使用するようにしてもよい。

この方法によれば、清掃シートを無駄なく効率的に使用するうえで有効となる。

一方、本発明の部品実装装置は、水平方向に移動可能なヘッドユニットと、互いに離間して第１方向に一列に配列されて前記ヘッドユニットに昇降可能に支持され、かつそれぞれ先端に部品吸着用のノズルを備えた複数のヘッドと、ノズル先端を清掃する清掃シートとを備えた部品実装装置において、前記ヘッドユニットおよび前記各ヘッドを制御することにより、前記各ヘッドのノズルを清掃シートに押し当てて各ノズルを同時に清掃する第１ノズル清掃処理を実行する制御装置を備え、前記制御装置は、前記複数のノズルを清掃シートの最初の押し当て位置に同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃し、次回以降は、前記清掃シートのうち、各ノズルの前記最初の押し当て位置に対して第１方向、又は当該第１方向と直交する第２方向に近接する未使用箇所にそれぞれノズルをずらしながら、前記複数のノズルを清掃シートの次の押し当て位置に同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃するものである。

この部品実装装置によれば、複数のノズルを同時に清掃シートに押し当てて各ノズルの清掃を同時に行うので、各ノズルを順次清掃シートに押し当てて個別にノズルを清掃する従来装置に比べて、ノズルトータルの清掃時間を短縮することが可能となる。しかも、この部品実装装置によれば、最初の押し当て位置に対して近接する未使用箇所にそれぞれノズルをずらしながら各ノズルの清掃を行うので、ノズルに異物が再付着することを回避しながら、清掃シートを効率良く使用することもできる。

この部品実装装置において、前記制御装置は、予め定められた互いに平行な第１直線に沿って所定の終端位置までそれぞれ各ノズルの押し当て位置を順次同一方向にずらしながら前記複数のノズルの清掃を同時に行い、前記終端位置に到達すると、前記各第１直線に隣接して予め定められた直線であって当該第１直線と平行な第２直線に沿ってそれぞれ各ノズルの押し当て位置を順次同一方向にずらしながら前記複数のノズルの清掃を同時に行うものであるのが好適である。

この部品実装装置によれば、清掃シートに対して各ノズルを規則的に押し当てることができるので、清掃シートを効率良く使用するうえで有利となる。

上記の部品実装装置においては、ノズルの汚れを検出するノズル汚れ検出装置と、前記清掃シートのうち、前記第１ノズル清掃処理が行われるメイン領域と、このメイン領域とは別のサブ領域とを定めた領域データが記憶された記憶装置と、をさらに備え、前記制御装置は、前記ノズル汚れ検出装置によりノズルの汚れが検出されると、当該ノズルのみを清掃シートの前記サブ領域に押し当てて当該ノズルを清掃する第２ノズル清掃処理を実行するものであるのが好適である。

この部品実装装置によれば、複数のノズルを同時に清掃する場合の領域（メイン領域）と、一部のノズルを清掃する場合の領域（サブ領域）とが分けられるので、複数のノズルを同時に清掃する場合のノズル押し当て位置の規則性を乱すことなく、一部のノズルを適切に清掃することが可能となる。

なお、上記の部品実装装置において、前記制御装置は、前記第１ノズル清掃処理においては、各ノズルの水平方向の移動距離が最短になるように、各ノズルの押し当て位置をずらしながら、前記複数のノズルを複数回、連続して清掃シートに押し当てるのが好適である。

この部品実装装置によれば、トータルの清掃時間を抑えながら、各ノズルを複数回、連続して同時に清掃することが可能となる。

以上説明したように、本発明のノズル清掃方法および部品実装装置によれば、粘着テープなどの清掃シートを無駄なく効率的に使用しながら、複数のノズルをより効率的に清掃することが可能となる。

本発明にかかる部品実装装置（第１の実施形態）の平面図である。 ヘッドユニットおよび清掃シートの模式図である。 （ａ）は、ヘッドユニットの模式図であり、（ｂ）は、ノズルの押し当て位置を説明するための清掃シート（メイン領域）の平面略図である。 ノズルの押し当て位置を説明するための清掃シート（サブ領域）の平面略図である。 制御装置によるノズル清掃処理の制御動作を示すフローチャートである。 （ａ）は、ヘッドユニットの模式図であり、（ｂ）は、ノズルの押し当て位置を説明するための清掃シート（メイン領域）の平面略図である。 第２実施形態におけるノズルの押し当て位置を説明するための清掃シート（メイン領域）の平面略図である。 第２実施形態における他のノズルの押し当て位置を説明するための清掃シート（メイン領域）の平面略図である。 （ａ）、（ｂ）はヘッドユニットの模式図であり、（ｃ）は、第３実施形態におけるノズルの押し当て位置を説明するための清掃シート（メイン領域）の平面略図である。

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の一形態について詳述する。

（第１の実施形態）
図１は、本発明の部品実装装置（本発明のノズル清掃方法が使用される部品実装装置の一例）の平面図である。図１中には、方向関係の明確化のためＸ−Ｙ座標軸を示している。ここで、Ｘ方向は水平面と平行な方向であり、Ｙ方向は水平面上でＸ方向と直交する方向である。また、以下の説明では、適宜、Ｙ方向を前後方向と称し、Ｙ１方向を前、Ｙ２方向を後と称す。

部品実装装置１は、プリント基板等の基板ＰにＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の小片状の電子部品等の部品を実装する装置本体２と、当該装置本体２の動作を制御する制御装置２０とを含む。

装置本体２は、基台２ａと、この基台２ａ上に配置された基板搬送用のコンベア３と、一対の部品供給部４と、これら部品供給部４から部品を取り出して基板Ｐ上に搬送するヘッドユニット６と、部品認識用のカメラ９とを備えている。

上記コンベア３は、Ｘ方向に互いに平行に伸びる一対のベルトコンベア３ａ，３ａから構成されている。コンベア３は、装置本体２に搬入される基板Ｐを受け取り、所定の作業位置（図１に示す位置）に搬送、停止させ、作業終了後、当該基板Ｐを装置本体２から搬出する。

コンベア３の前後両側には、各々部品供給部４が設けられている。これらの部品供給部４には各々、テープを担体として部品を供給する複数のテープフィーダ４ａが設置されている。部品供給部４には、Ｘ方向に延びるフィーダ固定台５が配設されており、各テープフィーダ４ａは、Ｘ方向に並列に並べられた状態で、当該フィーダ固定台５に固定されている。

なお、装置前側の部品供給部４のフィーダ固定台５には、清掃シート１５が設置されており、所定のタイミングで、部品吸着用の後記ノズル１２がこの清掃シート１５に押し当てられることで、ノズル１２の清掃が行われる。この点については後に詳述することにする。

上記ヘッドユニット６は、基台２ａの上方においてＸ−Ｙ方向に移動可能に設けられている。すなわち、基台２上には、Ｘ方向に離間した位置で各々Ｙ方向に延びる高架の一対の固定レール７と、Ｘ方向に延びて両固定レール７に移動自在に支持される可動ビーム８と、可動ビーム８を移動させるＹ軸リニアモータが配設されている。そして、上記ヘッドユニット６が可動ビーム８に対してＸ方向に移動自在に支持され、当該可動ビーム８に、ヘッドユニット６を移動させるＸ軸リニアモータが配設されている。この構成により、各リニアモータの駆動によりヘッドユニット６がＸ−Ｙ方向に移動する。

上記ヘッドユニット６には、複数のヘッド１０が装備されている。当例では４つのヘッド１０が装備されている。

各ヘッド１０は、上下方向に延びる軸状のヘッドであり、Ｘ方向に等間隔で一列に配列されている。各ヘッド１０は、上下方向の移動（昇降）および中心軸回りの回転が可能な状態でヘッドユニット６に支持されており、例えば、サーボモータによって各々駆動されるようになっている。

図２に示すように、各ヘッド１０には、部品吸着用のノズル１２が先端（下端）に備えられている。各ノズル１２には、図外の負圧供給源から切換弁を介して負圧が供給されており、当該負圧によってノズル先端１３に部品が吸着、保持される。なお、以下の説明において、特に各ノズル１２を区別する必要がある場合には、Ｘ２側のノズル１２から順に第１〜第４のノズル１２ａ〜１２ｄと称す（図３参照）。

前記カメラ９は、基台２上であって各部品供給部４とコンベア３との間の位置にそれぞれ配置されている。カメラ９は、ノズル１２に吸着された部品や、部品実装後のノズル先端１３を下側から撮像するものである。各カメラ９は、ＣＣＤエリアセンサ等のカメラ本体と、複数のＬＥＤを備えた照明装置とを含む。

上記制御装置２０は、装置本体２の動作を統括的に制御するものである。すなわち、コンベア３、各テープフィーダ４ａ、カメラ９及びヘッドユニット６（ヘッド１０）等は、全てのこの制御装置２０によって制御される。

制御装置２０は、周知のマイクロコンピュータをベースとするもので、プログラムを実行する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、例えばＲＡＭやＲＯＭにより構成された、プログラム及びデータを格納するメモリと、電気信号の入出力を行う入出力（Ｉ／Ｏ）バスとを備えている。この制御装置２０の制御に基づく部品実装装置１の一連の実装動作は次の通りである。

まず、ヘッドユニット６が部品供給部４上に移動し、各ヘッド１０（ノズル１２）により部品が吸着、保持される。部品の吸着が完了すると、ヘッドユニット６がカメラ９の上方に移動し、各吸着部品がカメラ９によって撮像される。つまり、部品の画像に基づき各ノズル１２による部品の吸着状態が認識される。この部品認識が完了すると、作業位置に位置決めされた基板Ｐ上にヘッドユニット６が移動し、各ノズル１２に吸着された部品が順次基板Ｐ上に実装される。このとき、上記の部品認識の結果に基づいてヘッドユニット６の位置や各ヘッド１０の回転角度などが補正されることで、基板Ｐ上の実装ポイントに対して正しく部品が実装される。

各ノズル１２の吸着部品が基板３上に実装されると、ヘッドユニット６が再度カメラ９の上方に移動し、各ヘッド１０のノズル先端１３がカメラ９によって撮像される。つまり、部品の持ち帰り（すなわち、実装エラー）やノズル先端１３の付着物（はんだや埃など）の有無が認識される。

以上で、実装動作の一サイクルが終了する。そして、必要に応じて上記動作が繰り返されることで、基板Ｐ上に所定数の部品が実装されることとなる。

なお、部品の実装動作が繰り返し行われると、ノズル先端１３にはんだや埃などが付着し、部品の吸着に支障が生じるおそれがある。そのため、制御装置２０はノズル１２の清掃処理を実行する。具体的には、フィーダ固定台５に設置された上記清掃シート１５の上方にヘッドユニット６を移動させ、各ヘッド１０の昇降に伴いノズル１２を清掃シート１５に押し当てる。これによりノズル先端１３を清掃する。

清掃シート１５は、例えば粘着シートであり、ノズル先端１３を押し当てることで、ノズル先端１３に付着したはんだや埃などの上記付着物が除去される。なお、清掃シート１５としては、粘着シート以外のものを適用してもよい。

図１に示すように、制御装置２０は、ノズル１２の清掃処理に必要な各種データ、例えば清掃処理の実行タイミング、清掃シート１５のうち、ノズル１２の清掃処理が行われる後記領域１６，１８、およびノズル１２の押し当て位置（座標）などのデータが記憶されたノズル清掃データ記憶部２２（本発明の記憶装置に相当する）を含む。制御装置２０は、当該ノズル清掃データ記憶部２２に記憶された実行タイミングデータに基づいて定期的にノズル１２の清掃処理を実行する。実行タイミングは、具体的には、実装部品数や作業時間によって規定されている。なお、このようにノズル清掃データ記憶部２２に記憶されている実行タイミングデータに基づき定期的に実行されるノズル１２の清掃処理を、以下「通常清掃処理Ｗｕ」（本発明の第１ノズル清掃処理に相当する）という。

また、制御装置２０は、カメラ９が撮像したノズル先端１３の画像に基づいて、ノズル先端１３の汚れ、つまり付着物（はんだや埃など）を検出するノズル汚れ検出部２４（本発明のノズル汚れ検出装置に相当する）を含む。制御装置２０は、ノズル汚れ検出部２４によってノズル先端１３に付着物が検出されると、部品供給部４からの次回の部品吸着動作に先立ち、付着物が検出されたノズル１２の清掃処理を個別に実行する。このようなノズル汚れ検出部２４による付着物の検出に基づくノズル１２の清掃処理を、以下「臨時清掃処理Ｗｔ」（本発明の第２ノズル清掃処理に相当する）という。

なお、この部品実装装置１では、上記の通り制御装置２０がノズル清掃データ記憶部２２とノズル汚れ検出部２４を含む構成であるが、勿論、ノズル清掃データ記憶部２２やノズル汚れ検出部２４が制御装置２０から独立した構成であってもよい。

次に、各ノズル１２（ヘッド１０）の配列と、ノズル清掃処理時の清掃シート１５に対する各ノズル１２（ヘッド１０）の押し当て位置について具体的に説明する。

ヘッドユニット６には、図２及び図３（ａ）に示すように、４つのヘッド１０がＸ方向に等間隔（ピッチＰ１）で一列に配列されている。各ヘッド１０には、吸着面の形状が平面視長方形の同一のノズル１２が装着されている。なお、図４（ａ）に示すように、吸着面の長辺寸法Ｗａは、当該長辺がＸ軸と平行となる回転角度（以下、基準角度という）に各ヘッド１０がセットされた状態で、互いに隣接するノズル１２の対向面の間隔Ｓよりも十分に小さい（例えば、Ｗａ≒１／４・Ｓ）。

一方、清掃シート１５は、図１及び図２に示すように、Ｘ方向に細長い平面視長方形である。清掃シート１５には、Ｘ２側から順に、メイン領域１６とサブ領域１８とが設定されている。メイン領域１６は、通常清掃処理Ｗｕの際にノズル１２が押し当てられる領域であり、サブ領域１８は、臨時清掃処理Ｗｔの際にノズル１２が押し当てられる領域である。メイン領域１６には、さらにＸ２側から順に第１領域１６ａと第２領域１６ｂとが設定されており、通常清掃処理Ｗｕの際には、メイン領域１６から優先的に使用される。

第１領域１６ａおよび第２領域１６ｂのＸ方向の幅寸法は等しく、これらの幅寸法Ｗ１は、隣接するノズル１２の配列ピッチＰ１の４倍の長さ（すなわち、両端のノズル間ピッチＰ２に、隣接するノズル１２の配列ピッチＰ１を加えた長さ）に設定されている。また、清掃シート１５のＹ方向の幅寸法Ｗ２は、ノズル１２の吸着面の短辺寸法Ｗ２よりも十分に長く（例えば２０倍程度）設定されている。

清掃シート１５（各領域１６ａ、１６ｂ、１８）における各ノズル１２の押し当て位置は、当実施形態では、後述する通常清掃カウンタＮの値、および臨時清掃カウンタｎの値に対応付けられてノズル清掃データ記憶部２２に記憶されている。

第１領域１６ａについては、図３（ｂ）に破線四角で示すように、隣接する押し当て位置同士が重複しないように、各ノズル１２の押し当て位置が通常清掃カウンタＮの値に対応してマトリクス状に設定されている。

詳しくは、第１領域１６ａの左後側（Ｘ２側であってかつＹ２側）のコーナ部分に第１ノズル１２ａが配置されたときの各ノズル１２の位置を最初の押し当て位置（図３（ｂ）中のハッチングで示す位置／初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄという）として、次回以降は、同図中に矢印で示すように、直前の各ノズル１２の押し当て位置に対してＹ２方向に近接した未使用箇所に一定のピッチでそれぞれ次の押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がずれるように、各ノズル１２の押し当て位置が通常清掃カウンタＮの値に対応付けて記憶されている。なお、当例では、Ｙ方向が本発明の第１方向に相当し、Ｘ方向が本発明の第２方向に相当する。

より詳しく説明すると、前記初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、ＰｄからＹ軸とそれぞれ平行な直線Ｌ１に沿ってＹ１方向の所定の終端位置、すなわちＸ軸と平行な直線ＬＹ１の位置（以下、終端位置ＬＹ１という）まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がＹ１方向に一定ピッチでずれ、当該終端位置ＬＹ１に到達すると、上記各直線Ｌ１に隣接した当該直線Ｌ１と平行な直線Ｌ２に沿って、前記初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄに隣接する位置から終端位置ＬＹ１まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がＹ１方向に一定ピッチでずれ、さらに当該終端位置ＬＹ１に到達すると、上記各直線Ｌ２に隣接した当該直線Ｌ２と平行な直線Ｌ３に沿って、前記初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄに並ぶ位置から終端位置ＬＹ１まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がＹ１方向に一定ピッチでずれるように、各ノズル１２の押し当て位置が通常清掃カウンタＮの値に対応付けて記憶されている。なお、図３（ｂ）では、第１ノズル１２ａの押し当て位置が移る方向のみ矢印を付して示している。

図示を省略するが、第２領域１６ｂも同様である。すなわち、第２領域１６ｂの左後側（Ｘ２側であってかつＹ２側）のコーナ部分に第１ノズル１２ａが配置されたときの各ノズル１２の位置を最初の押し当て位置（初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄ）として、第１領域１６ａと同様に、各ノズル１２の押し当て位置が通常清掃カウンタＮの値に対応付けて記憶されている。

サブ領域１８も、図４に破線四角で示すように、隣接する押し当て位置同士が重複しないように、ノズル１２の押し当て位置が略マトリクス状に設定されている。但し、サブ領域１８については、右後側（Ｘ１側であってかつＹ２側）のコーナ部分が最初の押し当て位置（図４中にハッチングで示す位置／初期位置Ｐｘ）とされている。そして、同図中に矢印で示すように、当該初期位置ＰｘからＸ軸と平行な直線Ｍ１に沿ってＸ２方向の所定の終端位置、すなわちＹ軸と平行な直線ＭＸ１の位置（以下、終端位置ＭＸ１という）まで順次押し当て位置がＸ２方向に一定ピッチでずれ、当該終端位置ＭＸ１に到達すると、上記直線Ｍ１に隣接した当該直線Ｍ１と平行な直線Ｍ２に沿って、前記初期位置Ｐｘに隣接する位置から終端位置ＭＸ１まで順次押し当て位置がＸ２方向に一定ピッチでずれ、以降同様にして順次押し当て位置がずれるように、各ノズル１２の押し当て位置が臨時清掃カウンタｎの値に対応付けて記憶されている。

次に、制御装置２０による具体的なノズル清掃処理の動作制御について、図５のフローチャートに基づいて説明する。

ノズル清掃処理が開始されると、制御装置２０は、まず、通常清掃カウンタＮに初期値「１」をセットし（ステップＳ１）、ノズル１２の清掃条件が成立したか否かを判定する（ステップＳ３）。具体的には、ノズル清掃データ記憶部２２に記憶された実行タイミングか否か、すなわち通常清掃処理Ｗｕのタイミングか否か、又は上記ノズル汚れ検出部２４によってノズル１２の汚れが検出されたか否か、すなわち臨時清掃処理Ｗｔのタイミングか否かを判定する。

ここで、Ｙｅｓの場合には、制御装置２０は、ステップＳ３で成立した条件が通常清掃処理Ｗｕか否かを判定し（ステップＳ５）、Ｙｅｓの場合には、さらに清掃シート１５のうち、第１領域１６ａが使用可能か否かを判定する（ステップＳ７）。

ここで、Ｙｅｓと判定した場合には、制御装置２０は、ステップＳ９に移行して通常清掃処理Ｗｕを実行する。具体的には、ヘッドユニット６を移動させ、通常清掃カウンタＮの値に対応する押し当て位置の上方に各ノズル１２を配置する。そして、各ヘッド１０の回転角度を上記基準角度に調整した後、各ヘッド１０を同時に下降させてノズル先端１３を清掃シート１５に押し当て、同時に上昇させる（ステップＳ９、Ｓ１１）。例えば、通常清掃カウンタＮの値が「１」の場合には、制御装置２０は、図３（ｂ）にハッチングで示された初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄに各ノズル１２を同時に押し当てる。

このように、各ノズル１２のノズル先端１３を同時に清掃シート１５に押し当てることで、各ノズル１２のノズル先端１３を同時に清掃する。なお、この通常清掃処理Ｗｕにおいては、各ノズル１２を清掃シート１５に押し当て、この時間を所定時間（例えば数秒）だけキープした後、各ヘッド１０を上昇させるようにしてもよい。

通常清掃処理Ｗｕが完了すると、制御装置２０は、通常清掃カウンタＮを１だけインクリメントした後（ステップＳ１３）、処理をステップＳ３に移行する。

なお、ステップＳ７でＮｏと判定した場合、すなわち、第１領域１６ａの全ての押し当て位置が使用されたと判定した場合には、制御装置２０は、さらに第２領域１６ｂが使用中か否かを判定し（ステップＳ１４）、Ｎｏと判定した場合には、各ノズル１２の押し当て領域を第１領域１６ａから第２領域１６ｂに切り替え、通常清掃カウンタＮをリセットした後、当該カウンタＮに初期値「１」をセットする（ステップＳ１５）。そしてその後、処理をステップＳ９、Ｓ１１に移行する。これにより、その後の通常清掃処理Ｗｕでは、第２領域１６ｂに対して各ノズル１２を押し当てる。なお、ステップＳ１４でＹｅｓと判定した場合には、既に第２領域１６ｂを使用してノズル１２の清掃が行われているため、ステップＳ１５をスキップして、ステップＳ９，Ｓ１１の処理に移行する。

一方、ステップＳ５でＮｏと判定した場合、すなわち、ノズル汚れ検出部２４によってノズル１２の汚れ（付着物）が検出されたと判定した場合には、制御装置２０は、以前に臨時清掃処理Ｗｔを実行したか否かを判定する（ステップＳ１７）。ここで、Ｎｏの場合には、制御装置２０は、臨時清掃カウンタｎに初期値「１」をセットした後、処理をステップＳ２１に移行して臨時清掃処理Ｗｔを実行する。

具体的には、制御装置２０は、ヘッドユニット６を移動させて、４つのノズル１２のうち、付着物が検出されたノズル１２を清掃シート１５の上方、詳しくはサブ領域１８の前記初期位置Ｐｘ（図４にハッチングで示された位置）の上方に配置する。そして、当該ノズル１２が装着されているヘッド１０の回転角度を基準角度に調整した後、当該ヘッド１０を下降させてノズル先端１３を清掃シート１５に押し当て、上昇させる（ステップＳ２１、Ｓ２３）。これにより、付着物が検出された当該ノズル１２だけを単独で清掃する。この場合も、ノズル１２を清掃シート１５に押し当て、この時間を所定時間（例えば数秒）だけキープした後、各ヘッド１０を上昇させるようにしてもよい。

一方、ステップＳ１７でＹｅｓと判定した場合、すなわち、以前に臨時清掃処理Ｗｔを実行していると判定した場合には、制御装置２０は、臨時清掃カウンタｎを１だけインクリメントした後（ステップＳ２５）、処理をステップＳ２１、Ｓ２３に移行する。

臨時清掃処理Ｗｔが終了すると、制御装置２０は、付着物が検出された他のノズル１２が有るか否かを判定し（ステップＳ２７）、Ｙｅｓと判定した場合には、処理をステップＳ１７に移行して臨時清掃処理Ｗｔを繰り返し実行し、Ｎｏと判定した場合には、処理をステップＳ３に移行する。

以上のような部品実装装置１（ノズル清掃方法）によれば、定期的にノズル１２の清掃処理（通常清掃処理Ｗｕ）が行われるが、その際には、全てのノズル１２が同時に清掃シート１５に押し当てられることにより、全てのノズル１２の清掃が同時に行われる。そのため、複数のノズルを１つずつ個別に清掃シート１５に押し当て清掃を行う従来装置（従来方法）に比べると、ノズルトータルの清掃時間を大幅に短縮することができる。しかも、直前（前回）の各ノズル１２の押し当て位置に対して隣接する未使用箇所にそれぞれ押し当て位置をずらしながら各ノズル１２の清掃が行われるので、ノズル１２に異物が再付着することを回避しながら、清掃シート１５を効率良く使用することができる。特に、この部品実装装置１によれば、図３（ｂ）に矢印で示すように、予め定められた直線Ｌ１に沿って初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄから所定の終端位置ＬＹ１まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′をＹ１方向に一定ピッチだけずらしながら各ノズル１２の清掃が行われ、終端位置ＬＹ１に到達すると、前記直線Ｌ１に隣接する直線Ｌ２に沿って、前記初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄに隣接する位置から順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′をＹ１方向に一定ピッチだけずらしながら各ノズル１２の清掃が行われる、という具合に清掃シート１５が非常に効率良く使用される。従って、この部品実装装置１によれば、清掃シート１５を非常に効率的に使用しながら、複数のノズル１２を効率的に清掃することができるという利点がある。

また、この部品実装装置１では、通常清掃処理Ｗｕのためのメイン領域１６とは別に、臨時清掃処理Ｗｔのためのサブ領域１８が清掃シート１５に設定されており、ノズル汚れ検出部２４によって何れかのノズル１２に汚れ（付着物）が検出された場合には、当該ノズル１２をサブ領域１８に押し当てることにより、当該ノズル１２の清掃が単独で行われる。そのため、４つのノズル１２のうち、必要に応じて一部のノズル１２を清掃できるようにしながらも、清掃シート１５を効率良く使用できるという利点もある。すなわち、清掃領域を区別しない場合、１つのノズル１２を単独で清掃すると、その後の通常清掃処理Ｗｕでは、当該押し当て位置を避ける必要があるため、複数のノズル１２を同時に清掃する場合のノズル押し当て位置の規則性が乱れ、清掃シート１５に未使用部分が広く形成されるおそれがある。これに対して、上記実施形態のように、通常清掃処理Ｗｕのための領域（メイン領域１６）と臨時清掃処理Ｗｔのための領域（サブ領域１８）とを分けた場合には、メイン領域１６については、予め規則的に定められている押し当て位置を使用して各ノズル１２の清掃を行うことができ、サブ領域についても、図５中に示すように、規則的にノズル１２を押し当てながら、１つのノズル１２を単独で清掃することができる。そのため、清掃シート１５に未使用部分が広く形成されることを回避でき、その結果、清掃シート１５を効率良く使用できる。

また、この部品実装装置１によれば、通常清掃処理Ｗｕの際には、ヘッドユニット６の配列と同じ位置関係を保った状態で各ノズル１２を同時に清掃シート１５に押し当てて清掃するので、各ノズル１２の可動領域との関係で清掃シート１５（具体的にはメイン領域１６）の配置が制約を受け難いという利点もある。すなわち、従来装置のように、全てのノズルを清掃シートの互いに近接する位置に押し当てて清掃する場合には、全てのノズルが移動できるような位置に清掃シートを配置することが求められる。しかし、上記部品実装装置１によれば、隣接するノズル１２の押し当て位置同士は、常にＸ方向にピッチＰ１分だけ離間しており、その位置関係も変わらないので、清掃シート１５の第１領域１６ａのうち、第１ノズル１２ａが押し当てられる領域（仮に第１ノズル対応領域という）にだけ着目すれば、清掃シート１５は、当該第１ノズル対応領域が第１ノズル１２ａの可動領域内に位置するように配置されていれば、当該第１ノズル対応領域が第４ノズル１２ｄの可動領域内に位置するように配置されている必要はない。従って、この部品実装装置１によれば、清掃シート１５の配設位置の自由度を高めることが可能になるという利点もある。

なお、上記実施形態では、図３（ａ）に示すように、各ヘッド１０のノズル１２が同一である場合について説明したが、４つのノズル１２が、互いに吸着面積が異なる１乃至複数種類のノズル１２を含む場合でも、上記のような通常清掃処理Ｗｕは実行可能である。この場合には、各ノズル１２のうち、吸着面積が最大のものを基準として、清掃シート１５におけるノズル１２の押し当て位置を定めればよい。例えば、図６（ａ）に示すように、第２ノズル１２ｂの吸着面積が最大の場合には、図６（ｂ）に示すように、押し当て位置同士が重複しない範囲で、第２ノズル１２ｂの互いに隣接する押し当て位置同士が接近するように、第２ノズル１２ｂを基準として各ノズル１２の押し当て位置のＸ方向およびＹ方向の各ピッチを設定するようにすればよい。

（第２の実施形態）
第１実施形態では、通常清掃処理Ｗｕの際に各ノズル１２を一度だけ清掃シート１５に押し当てているが、各ノズル１２を複数回連続して清掃シート１５に押し当てるようにしてよい。具体的には、図５のステップＳ９〜Ｓ１３の処理を複数回ループするようにしてもよい。

この場合には、例えば図７に示すように、各ノズル１２の押し当て位置が通常清掃カウンタＮの値に対応付けられて、ノズル清掃データ記憶部２２に記憶される。

詳しくは、前記初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄ（図７中にハッチングで示す位置）から直線Ｌ１に沿って終端位置ＬＹ１まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がＹ１方向に一定ピッチでずれ、当該終端位置ＬＹ１に到達すると、当該終端位置ＬＹ１で押し当て位置が直線Ｌ２上にずれ、この直線Ｌ２に沿って逆の終端位置ＬＹ２（Ｙ方向において初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄと並ぶ位置）まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がＹ２方向に一定ピッチでずれ、さらに当該終端位置ＬＹ２に到達すると、当該終端位置ＬＹ２で押し当て位置が直線Ｌ３上にずれ、この直線Ｌ３に沿って終端位置ＬＹ１まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がＹ１方向に一定ピッチずれるように、各ノズル１２の押し当て位置が通常清掃カウンタＮの値に対応付けられて、ノズル清掃データ記憶部２２に記憶される。

この構成によれば、各ノズル１２を複数回連続して清掃シート１５に押し当てて清掃する場合に、効率よく各ノズル１２を清掃することが可能となる。すなわち、第１実施形態の場合、各ノズル１２を複数回連続して清掃する場合に終端位置ＬＹ１を経由すると、当該終端位置ＬＹ１から初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄに隣接する位置まで各ノズル１２（ヘッドユニット６）をＹ２方向に大きく移動させる必要がある。そのため、ノズル１２の清掃に時間を要することとなる。これに対して、第２実施形態によれば、図７に示す通り、終端位置ＬＹ１（ＬＹ２）を経由する場合でも、ノズル１２の押し当て位置は、常に直前（前回）の押し当て位置に隣接する位置となる。そのため、終端位置ＬＹ１（ＬＹ２）を経由しながら各ノズル１２を複数回連続して清掃する場合でも、各ノズル１２（ヘッドユニット６）の水平方向の移動量が極端に大きくなることがなく、従ってその分、各ノズル１２を効率よく清掃することが可能となる。

なお、第２実施形態の変形例として、例えば図８に示すように、各ノズル１２の押し当て位置が通常清掃カウンタＮの値に対応付けられてノズル清掃データ記憶部２２に記憶されていてもよい。すなわち、前記初期位置Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄ（図８中にハッチングで示す位置）からＸ軸と平行な直線Ｌ１´に沿ってＹ１方向の所定の終端位置、すなわちＹ軸と平行な直線ＬＸ１の位置（以下、終端位置ＬＸ１という）まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がＸ１方向に一定ピッチでずれ、当該終端位置ＬＸ１に到達すると、当該終端位置ＬＸ１で、上記直線Ｌ１´に隣接した当該直線Ｌ１´と平行な直線Ｌ２´上に押し当て位置がずれ、この直線Ｌ２´に沿って前記終端位置ＬＸ１から逆の終端位置ＬＸ２（Ｘ方向において初期位置と並ぶ位置）まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がＸ２方向に一定ピッチだけずれ、当該終端位置ＬＸ２に到達すると、当該終端位置ＬＸ２で、上記直線Ｌ２´に隣接した当該直線Ｌ２´と平行な直線Ｌ３´上に押し当て位置がずれ、この直線Ｌ３´に沿って前記終端位置ＬＸ２から逆の終端位置ＬＸ１まで順次押し当て位置Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′がＸ１方向に一定ピッチだけずれるという具合に、通常清掃カウンタＮの値に対応付けてノズル１２の押し当て位置が記憶されていてもよい。当例では、Ｘ方向が本発明の第１方向に相当し、Ｙ方向が本発明の第２方向に相当する。

このような構成（方法）の場合も、図８に示すように、ノズル１２の押し当て位置は、常に直前（前回）の押し当て位置に隣接する位置となる。そのため、図７に示す例と同様に、各ノズル１２を複数回連続して清掃する場合に、効率よく各ノズル１２を清掃することが可能となる。

なお、図７、図８に示すような順番でノズル１２の押し当て位置をずらすことは、上記の通り、各ノズル１２を複数回連続して清掃する場合にその効率をアップするうえで有用であるが、勿論、第１実施形態のように、各ノズル１２を１回清掃する場合にも適用可能である。

（第３の実施形態）
第１、第２実施形態では、各ヘッド１０に装着されたノズル１２が継続的に使用される場合の例について説明したが、基板Ｐの実装作業中に一部または全部のノズル１２が交換される場合もあるため、その場合には、次のような構成（方法）を適用することができる。

すなわち、ノズル清掃データ記憶部２２に、ノズル１２の種類とそれらの吸着面の大きさ（面積）がさらに記憶される。そして、図５に示すフローチャートのステップＳ７、１５の後、ステップＳ９の前に、制御装置２０が、ノズル交換があったか否かの判定処理を実行する。そしてさらに、ノズル交換があったと判定した場合には、制御装置２０が、ノズル清掃データ記憶部２２に記憶されている押し当て位置を、交換後のノズル１２の吸着面の大きさに基づき補正する処理（押し当て位置補正処理）を実行する。

この構成によれば、例えば、図９（ａ）に示すように、各ヘッド１０に同一のノズル１２が装着された状態から、図９（ｂ）に示すように、第２ノズル１２ｂがその他のノズル１２ａ、１２ｃ、１２ｄよりも吸着面の大きなノズルに交換された場合には、図９（ｃ）に示すように、当該第２ノズル１２ｂの吸着面の大きさに基づき、各ノズル１２の押し当て位置のピッチが補正されることとなる。そのため、ノズル交換前の規則性を保ちながら各ノズル１２を適切に、すなわち、押し当て位置を互いに重複させることなく各ノズル１２を清掃シート１５に押し当てることができる。

このような第３実施形態の構成によれば、清掃シート１５を無駄なく効率的に使用しながら、複数のノズル１２を同時に清掃できるという作用効果を享受できることに加え、ノズル１２の途中交換に柔軟に対応することができるという利点がある。

（その他）
以上説明した第１〜第３実施形態にかかる部品実装装置１やノズル清掃方法は、本発明に係る部品実装装置およびノズル清掃方法の好ましい実施形態の例示であって、部品実装装置の具体的な構成や、具体的なノズル清掃方法は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、次のような構成（方法）も適用可能である。

（１）第１〜第３実施形態では、各ノズル１２の押し当て位置が通常清掃カウンタＮや臨時清掃カウンタｎの値に対応付けられてノズル清掃データ記憶部２２に記憶されており、各カウンタＮ，ｎの値に基づき、当該カウンタ値に対応する押し当て位置に各ノズル１２が押し当てられるように、制御装置２０がヘッドユニット６等の動作を制御する。しかし、このようにカウンタＮ，ｎの値と押し当て位置との関係をノズル清掃データ記憶部２２に記憶しておく代わりに、例えばノズル１２の種類とそれらの吸着面の大きさ（面積）、ノズル１２を押し当てる初期位置、およびノズル１２をずらす方向をノズル清掃データ記憶部２２に記憶させておき、各ヘッド１０に装着されるノズル１２の種類に応じて、制御装置２０が清掃処理毎に、カウンタＮ，ｎの値に対応する押し当て位置を求めるように構成してもよい。つまり、直前の各ノズル１２の押し当て位置に対して近接した未使用箇所に各ノズル１２が押し当てられるように、直前の各ノズル１２の押し当て位置および各ノズル１２の吸着面の大きさに基づき、吸着面が最も大きいノズル１２を基準として次の押し当て位置を求めるように構成してもよい。

この構成によれば、例えば第３実施形態で説明したような、ノズル交換時の各ノズル１２の押し当て位置の補正（押し当て位置補正処理）が不要となる分、制御装置２０の演算処理負担を軽減できるとう利点がある。すなわち、第３実施形態の場合、ノズル交換があると、その後の押し当て位置のデータを全て補正しなければならない場合があるが、上記構成によれば、押し当て位置補正処理が不要となる分、制御装置２０の演算処理負担が軽減される。

（２）第１〜第３実施形態では、ノズル汚れ検出部２４は、カメラ９が撮像したノズル先端１３の画像に基づき各ノズル１２の汚れ（付着物）の有無を検出するが、例えば部品の持ち帰りの有無に基づき各ノズル１２の汚れの有無を検出するようにしてもよいし、それ以外の方法により各ノズル１２の汚れの有無を検出するようにしてもよい。

（３）第１〜第３実施形態では特に言及してないが、清掃シート１５は、メイン領域１６又はサブ領域１８が全て使用された場合（すなわち予め記憶されている全ての押し当て位置にノズル１２が押し当てられた場合）にオペレータによって交換されるようにしてもよいし、制御装置２０の制御により、シート清掃装置によって自動清掃されるように構成されていてもよい。この場合、シート清掃装置は、例えばアルコール等の清掃液が含浸されたコットン等を保持した清掃ヘッドと、この清掃ヘッドを清掃シート１５の表面に沿って摺動させるエアシリンダ等のアクチュエータとを備えた構成が好適である。

（４）第１〜第３実施形態では、Ｘ方向に細長い長方形の清掃シート１５が、部品供給部４のフィーダ固定台５に設けられているが、清掃シート１５の形状や大きさ、固定位置はこれに限定されるものではなく、適宜選定可能である。各ノズル１２の押し当て位置をずらす方向やピッチも、上記実施形態に限定されるものではなく適宜変更可能である。

１ 部品実装装置
６ ヘッドユニット
１０ ヘッド
１２、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄ ノズル
１３ ノズル先端
１５ 清掃シート
１６ メイン領域
１６ａ 第１領域
１６ｂ 第２領域
１８ サブ領域
２０ 制御装置
２２ ノズル清掃データ記憶部（記憶装置）
２４ ノズル汚れ検出部（ノズル汚れ検出装置）
Ｌ１、Ｌ１′ 第１直線
Ｌ２、Ｌ２′ 第２直線
Ｌ３、Ｌ３′ 第３直線
ＬＹ１、ＬＸ１ 終端位置
Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄ 初期位置（最初の押し当て位置）
Ｐａ′、Ｐｂ′、Ｐｃ′、Ｐｄ′ 次の押し当て位置
Ｗｕ 通常清掃処理（第１清掃処理）
Ｗｔ 臨時清掃処理（第２清掃処理）

Claims (10)

1. 互いに離間して第１方向に一列に配列された部品吸着用の複数のノズルを有する移動可能なヘッドユニットと、ノズル先端を清掃する清掃シートとを備えた部品実装装置における前記ノズルの清掃方法であって、
   前記複数のノズルを清掃シートの最初の押し当て位置に同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃し、次回以降は、前記清掃シートのうち、各ノズルの前記最初の押し当て位置に対して第１方向、又は当該第１方向と直交する第２方向に近接する未使用箇所にそれぞれノズルをずらしながら、前記複数のノズルを清掃シートの次の押し当て位置に同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃する、ことを特徴とするノズル清掃方法。
2. 請求項１に記載のノズル清掃方法において、
   予め定められた互いに平行な第１直線に沿って所定の終端位置までそれぞれ各ノズルの押し当て位置を順次同一方向にずらしながら前記複数のノズルの清掃を同時に行い、前記終端位置に到達すると、前記各第１直線に隣接して予め定められた直線であって当該第１直線と平行な第２直線に沿ってそれぞれ各ノズルの押し当て位置を順次同一方向にずらしながら前記複数のノズルの清掃を同時に行う、ことを特徴とするノズル清掃方法。
3. 請求項１又は２に記載のノズル清掃方法において、
   前記清掃シートに、前記複数のノズルを同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃するためのメイン領域と、このメイン領域とは別のサブ領域とを予め設定しておき、
   前記複数のノズルのうち、一部のノズルを清掃するときには、当該ノズル先端を前記サブ領域に押し当てる、ことを特徴とするノズル清掃方法。
4. 請求項１乃至３の何れか一項に記載のノズル清掃方法において、
   前記複数のノズルは、部品の吸着面積が異なる複数種類のノズルを含むものであり、
   前記複数のノズルのうち、吸着面積が最大のノズルを基準として各ノズルの押し当て位置をずらす、ことを特徴とするノズル清掃方法。
5. 請求項１乃至４の何れか一項に記載のノズル清掃方法において、
   各ノズルの水平方向の移動距離が最短になるように、各ノズルの押し当て位置をずらしながら、前記複数のノズルを複数回、連続して清掃シートに押し当てることにより、各ノズルを複数回、連続して同時に清掃する、ことを特徴とするノズル清掃方法。
6. 請求項１乃至５の何れか一項に記載のノズル清掃方法において、
   前記清掃シートに、前記複数のノズルを同時に清掃するための複数の領域を設定しておき、これらの領域を予め定められた順番に従って使用する、ことを特徴とするノズル清掃方法。
7. 水平方向に移動可能なヘッドユニットと、互いに離間して第１方向に一列に配列されて前記ヘッドユニットに昇降可能に支持され、かつそれぞれ先端に部品吸着用のノズルを備えた複数のヘッドと、ノズル先端を清掃する清掃シートとを備えた部品実装装置において、
   前記ヘッドユニットおよび前記各ヘッドを制御することにより、前記各ヘッドのノズルを清掃シートに押し当てて各ノズルを同時に清掃する第１ノズル清掃処理を実行する制御装置を備え、
   前記制御装置は、前記複数のノズルを清掃シートの最初の押し当て位置に同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃し、次回以降は、前記清掃シートのうち、各ノズルの前記最初の押し当て位置に対して第１方向、又は当該第１方向と直交する第２方向に近接する未使用箇所にそれぞれノズルをずらしながら、前記複数のノズルを清掃シートの次の押し当て位置に同時に押し当てて各ノズルを同時に清掃する、ことを特徴とする部品実装装置。
8. 請求項７に記載の部品実装装置において、
   前記制御装置は、予め定められた互いに平行な第１直線に沿って所定の終端位置までそれぞれ各ノズルの押し当て位置を順次同一方向にずらしながら前記複数のノズルの清掃を同時に行い、前記終端位置に到達すると、前記各第１直線に隣接して予め定められた直線であって当該第１直線と平行な第２直線に沿ってそれぞれ各ノズルの押し当て位置を順次同一方向にずらしながら前記複数のノズルの清掃を同時に行う、ことを特徴とする部品実装装置。
9. 請求項７又は８に記載の部品実装装置において、
   ノズルの汚れを検出するノズル汚れ検出装置と、
   前記清掃シートのうち、前記第１ノズル清掃処理が行われるメイン領域と、このメイン領域とは別のサブ領域とを定めた領域データが記憶された記憶装置と、をさらに備え、
   前記制御装置は、前記ノズル汚れ検出装置によりノズルの汚れが検出されると、当該ノズルのみを清掃シートの前記サブ領域に押し当てて当該ノズルを清掃する第２ノズル清掃処理を実行する、ことを特徴とする部品実装装置。
10. 請求項７乃至９の何れか一項に記載の部品実装装置において、
    前記制御装置は、前記第１ノズル清掃処理においては、各ノズルの水平方向の移動距離が最短になるように、各ノズルの押し当て位置をずらしながら、前記複数のノズルを複数回、連続して清掃シートに押し当てる、ことを特徴とする部品実装装置。

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