JP2016219727A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プリント基板PWBは、ビアホール15及びビアホール15に接続されるランド12bを有する。パワー半導体部品PSは、ビアホール15及びランド12b上に配置され、ランド12bとはんだで接続されるヒートシンク23を有する。ビアホール15は、ヒートシンク23側の第1の開口端OE1とヒートシンク23と反対側の第2の開口端OE2の間の内壁の一部に形成されるソルダーレジスト17を有する。第1の開口端OE1とソルダーレジスト17の間にはんだが充填される。
【選択図】図5
Description
図1は、第1の比較例として、ビアホール15(スルーホール)を有するプリント基板PWB(配線基板)に、ヒートシンク23を有するパワー半導体部品PSをはんだ30によって接続する構造の断面図である。
一方、図4は、第2の比較例として、ランド12b上面にソルダーレジスト16を形成せず、ビアホール15内にはんだを充填させる構造の断面図である。図4は、はんだ30がビアホール15の下端から垂れ下がった状態を示している。基板PWBの裏面からはみ出たはんだ30が他部品や筐体などと接触すると部品PSの誤動作の原因となることから好ましくない。
次に、本実施形態に係る半導体装置の構造について説明する。
次に、本発明に係るプリント基板PWBの製造方法のうち、図6に示すソルダーレジスト形成工程について説明する。
本実施形態では、前記ビアホール15内に形成するソルダーレジスト17の配置の変形例について説明する。
12…銅箔
12a…端子接続用ランド(銅箔)
12b…ヒートシンク接続用ランド(銅箔)
14…放熱ビア
15…ビアホール
16…ソルダーレジスト
17…ビア内ソルダーレジスト
21…モールド樹脂
22…リードフレーム、端子
23…ヒートシンク
24…チップ(パワー半導体)
30…はんだ
40…レーザー光
PS…パワー半導体部品
PWB…プリント基板
Claims (7)
- ビアホール及び前記ビアホールに接続されるランドを有する配線基板と、
前記ビアホール及び前記ランド上に配置され、前記ランドとはんだで接続されるヒートシンクを有する半導体部品と、を備え、
前記ビアホールは、
前記ヒートシンク側の第1の開口端と前記ヒートシンクと反対側の第2の開口端の間の内壁の一部に形成されるソルダーレジストを有し、
前記第1の開口端と前記ソルダーレジストの間に前記はんだが充填される
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記ソルダーレジストは、
円環状である
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記ソルダーレジストは、
前記第2の開口端から所定の奥行きまでの前記内壁に形成される
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置であって、
前記所定の奥行きは、
前記ビアホールの直径の1/2以上である
ことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記ビアホールの直径は、
0.3mm以上である
ことを特徴とする半導体装置。 - ビアホール及び前記ビアホールに接続されるランドを有する配線基板を作成する工程と、
前記ビアホールの第1の開口端と前記ビアホールの第2の開口端の間の前記ビアホールの内壁の一部にソルダーレジストを形成する工程と、
ヒートシンクを有する半導体部品を前記ビアホール及び前記ランド上に配置し、前記ランドと前記ヒートシンクをはんだで接続し、前記第1の開口端と前記ソルダーレジストの間に前記はんだを充填する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項6に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ソルダーレジストを形成する工程では、
マスクレスレーザー直描露光方法により前記ソルダーレジストを形成する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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