JP2016217713A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2016217713A5
JP2016217713A5 JP2015098792A JP2015098792A JP2016217713A5 JP 2016217713 A5 JP2016217713 A5 JP 2016217713A5 JP 2015098792 A JP2015098792 A JP 2015098792A JP 2015098792 A JP2015098792 A JP 2015098792A JP 2016217713 A5 JP2016217713 A5 JP 2016217713A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
signal
voltage
circuit
detection circuit
capacitor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015098792A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6492949B2 (ja
JP2016217713A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2015098792A priority Critical patent/JP6492949B2/ja
Priority claimed from JP2015098792A external-priority patent/JP6492949B2/ja
Priority to US15/143,849 priority patent/US10055975B2/en
Priority to CN201610299003.9A priority patent/CN106153027B/zh
Publication of JP2016217713A publication Critical patent/JP2016217713A/ja
Publication of JP2016217713A5 publication Critical patent/JP2016217713A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6492949B2 publication Critical patent/JP6492949B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

ここで物理量信号は、ジャイロセンサーを例にとれば角速度の検出信号である。但し、物理量信号は、例えば加速度、速度、角加速度などの他の物理量の検出信号であってもよい。不要信号は漏れ信号である。具体的には不要信号は例えば機械振動漏れ信号である。この機械振動漏れ信号は、所望信号である物理量信号に対して例えば90度の位相差がある不要信号である。また第2のクロック信号CK90は、第1のクロック信号CK0に対して、例えば位相90度ずれた信号である。入力信号INは、例えば前段側の増幅回路からの信号である。増幅回路は、例えば物理量トランスデューサーから出力された物理量(角速度等)に応じた信号を増幅し、増幅後の信号を入力信号INとして同期検波回路81に出力する。
例えば、同期検波回路81とフィルター部90の間には信号選択回路88が設けられている。そして信号選択回路88は、第1のモードでは、検波回路82からの物理量信号を、フィルター92に出力し、検波回路84からの不要信号を、フィルター94に出力する。一方、第2のモードでは、検波回路82からの前記物理量信号を、フィルター92及びフィルター94に出力する。
ここでノードN4は、フィルター92の入力ノードとなる。またノードN4とフィルター4の入力ノードN3との間にはスイッチ素子S5が設けられる。ノードN5とフィルター4の入力ノードN3との間にはスイッチ素子S6が設けられる。
従って、図4に示すように第1、第2、第3、第4の期間T1、T2、T、T4からなる期間を繰り返すことで、信頼性の高い常時の故障診断と、物理量信号の常時の取り込みとを両立して実現できるようになる。
ゲイン制御回路40(AGC)は、駆動信号出力回路50に制御電圧DSを出力して、駆動信号DQの振幅を制御する。具体的には、ゲイン制御回路40は、信号DVを監視して、発振ループのゲインを制御する。例えば駆動回路30では、ジャイロセンサー510の感度を一定に保つために、振動片10(駆動用振動片)に供給する駆動電圧の振幅を一定に保つ必要がある。このため、駆動振動系の発振ループ内に、ゲインを自動調整するためのゲイン制御回路40が設けられる。ゲイン制御回路40は、振動片10からのフィードバック信号DIの振幅(振動片の振動速度v)が一定になるように、ゲインを可変に自動調整する。このゲイン制御回路40は、増幅回路32の出力信号DVを全波整流する全波整流器や、全波整流器の出力信号の積分処理を行う積分器などにより実現できる。
また診断回路150は、第1、第2、第3、第4のスイッチ素子SW1、SW2、SW3、SW4を有する。また診断用信号SFDを第1のノードN1に入力するための第5のスイッチ素子SW5を有する。第1のスイッチ素子SW1は、第1のキャパシターC1の一端と入力ノードNA1との間に設けられる。第2のスイッチ素子SW2は、第2のキャパシターC2の一端と入力ノードNA2との間に設けられる。
診断モード時(診断期間)には、第1、第2のスイッチ素子SW1、SW2がオンになり、第3、第4のスイッチ素子SW3、SW4がオフになる。これにより、第1、第2の端子PD1、PD2側との電気的な接続を、オフになった第3、第4のスイッチ素子SW3、SW4により遮断しながら、オンになった第1、第2のスイッチ素子SW1、SWを介して、診断用信号SFDを用いた診断用の所望信号(疑似所望信号)を検出回路60に供給できる。
また、RD1〜RD4は抵抗値が可変の抵抗素子になっており、これらの抵抗素子の抵抗値を調整することで、ゲイン調整アンプ76におけるゲインGDが調整される。例えば抵抗素子RD1、RD3の抵抗値をR1とし、抵抗素子RD2、RD4の抵抗値をR2とし、基準抵抗値をRとすると、ゲインGDに設定するための抵抗値R1、R2は、R1=R/GD、R2=R×(1−1/GD)と表すことができる。そしてゲイン調整アンプ76は、信号QC1、QC2が入力されると、下記の式に示すような信号QD1、QD2を出力する。
また差動増幅回路70の故障検出は、例えば差動増幅回路70の出力信号QC1、QC2の電圧を監視することで実現できる。例えば出力信号QC1の第1の電圧と出力信号QC2の第2の電圧とに基づく監視電圧(例えば第1の電圧と第2の電圧の中点電圧)が、判定電圧範囲内(高電位側閾値電圧と低電位側閾値電圧の間の範囲)にあるか否かを判定することで、差動増幅回路70の個別の故障を検出し、常時の故障検出を実現できるようになる。
同期検波回路81は、検波回路82と検波回路8を含み、差動の同期検波を行う。同期検波回路81の構成・動作は図5(A)、図5(B)で説明した通りである。例えば図5(A)、図5(B)のスイッチ素子SD1〜SD4が図9のスイッチ素子SF1〜SF4に相当し、スイッチ素子SD5〜SD8がスイッチ素子SG1〜SG4に相当する。
例えば振動10に恣意的に振動漏れ信号を発生させ、検波回路84(スイッチングミキサー)がこの振動漏れ信号を検波することで、検出回路60の故障診断を行う。
振動片10において恣意的に発生させる振動漏れの信号(広義には不要信号)は、同期信号SYC(所望信号)とは位相が90度異なる。従って、検波回路84が、同期信号SYCであるクロック信号CK0と位相が90度異なるクロック信号CK90に基づき、信号QD1、QD2を同期検波することで、恣意的に混入された振動漏れ信号を抽出できる。この場合の振動漏れ信号のレベルは既知となっているため、検波回路84による検出結果をA/D変換して、期待値と比較することで、期待する振動漏れ信号が信号QD1、QD2に混入されていることを検出できる。そして、期待する振動漏れ信号が検出された場合には、検出回路60は正常に動作している判定できる。この検波回路84を用いた診断処理は、図12に示す常時診断の期間において実行される。
即ち、Q/V変換回路62、64の演算増幅器OPB1、OPB2による仮想接地(バーチャルショート)により、入力ノードNA1、NA2の電位は共にアナログコモン電圧VCMに設定される。そして、キャパシターC1に比べて、キャパシターC2の方が容量値が大きいため、電圧振幅がVBである診断用信号SFDがキャパシターC1、C2の他端に印加された場合に、キャパシターC1の蓄積電荷量よりもキャパシターC2の蓄積電荷量の方が大きくなる。そして、Q/V変換回路62、64の帰還キャパシターCB1、CB2の容量値は等しいため、信号QB1、QB2の電圧振幅については、VB1<VB2の関係が成り立つ。即ち、信号QB1の電圧振幅VB1は、キャパシターC1と帰還キャパシターCB1の容量比(C1/CB1)に応じた振幅に設定され、信号QB2の電圧振幅VB2は、キャパシターC2と帰還キャパシターCB2の容量比(C2/CB2)に応じた振幅に設定される。そして、キャパシターC1に比べてキャパシターC2の方が容量値が大きいため、VB1<VB2の関係が成り立つ。
JP2015098792A 2015-05-14 2015-05-14 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体 Active JP6492949B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015098792A JP6492949B2 (ja) 2015-05-14 2015-05-14 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体
US15/143,849 US10055975B2 (en) 2015-05-14 2016-05-02 Circuit device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and moving object
CN201610299003.9A CN106153027B (zh) 2015-05-14 2016-05-06 电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015098792A JP6492949B2 (ja) 2015-05-14 2015-05-14 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2016217713A JP2016217713A (ja) 2016-12-22
JP2016217713A5 true JP2016217713A5 (ja) 2018-06-21
JP6492949B2 JP6492949B2 (ja) 2019-04-03

Family

ID=57277619

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015098792A Active JP6492949B2 (ja) 2015-05-14 2015-05-14 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10055975B2 (ja)
JP (1) JP6492949B2 (ja)
CN (1) CN106153027B (ja)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6492739B2 (ja) 2015-02-20 2019-04-03 セイコーエプソン株式会社 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体
JP6586735B2 (ja) * 2015-02-20 2019-10-09 セイコーエプソン株式会社 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体
CN105987691B (zh) * 2015-03-16 2021-02-05 精工爱普生株式会社 电路装置、物理量检测装置、电子设备以及移动体
JP7009923B2 (ja) * 2017-10-31 2022-01-26 セイコーエプソン株式会社 物理量測定装置、電子機器及び移動体
JP7069968B2 (ja) * 2018-03-29 2022-05-18 セイコーエプソン株式会社 回路装置並びにそれを用いた物理量測定装置、発振器、電子機器及び移動体

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6912901B1 (en) * 1995-05-30 2005-07-05 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Angular velocity sensor
JP5458462B2 (ja) * 2005-10-11 2014-04-02 パナソニック株式会社 振動型慣性力検知センサ
JP2007327943A (ja) * 2006-05-09 2007-12-20 Seiko Epson Corp 検出装置、ジャイロセンサ及び電子機器
JP4924370B2 (ja) * 2007-01-26 2012-04-25 パナソニック株式会社 Σδ型ad変換器およびそれを用いた角速度センサ
JP5274130B2 (ja) * 2008-07-15 2013-08-28 キヤノン株式会社 像振れ補正装置及び光学機器、撮像装置並びに像振れ補正装置の制御方法
IT1394898B1 (it) * 2009-06-03 2012-07-20 St Microelectronics Rousset Giroscopio microelettromeccanico con attuazione a controllo di posizione e metodo per il controllo di un giroscopio microelettromeccanico
JP5368181B2 (ja) 2009-06-12 2013-12-18 セイコーエプソン株式会社 物理量検出装置並びに物理量検出装置の制御方法、異常診断システム及び異常診断方法
WO2010150736A1 (ja) * 2009-06-26 2010-12-29 ローム株式会社 角速度センサと、それに用いられる同期検波回路
JP5552976B2 (ja) * 2010-09-07 2014-07-16 セイコーエプソン株式会社 角速度検出装置及び電子機器
JP5975601B2 (ja) * 2011-02-25 2016-08-23 セイコーエプソン株式会社 検出回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器
JP5638419B2 (ja) * 2011-02-25 2014-12-10 セイコーエプソン株式会社 信号処理回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器
JP4924912B2 (ja) * 2011-08-24 2012-04-25 セイコーエプソン株式会社 角速度測定方法および角速度測定装置の診断回路
JP6194606B2 (ja) * 2013-03-22 2017-09-13 セイコーエプソン株式会社 検出装置、センサー、ジャイロセンサー、電子機器及び移動体
JP6331356B2 (ja) * 2013-11-25 2018-05-30 セイコーエプソン株式会社 検出装置、センサー、電子機器及び移動体
JP2014197010A (ja) 2014-05-29 2014-10-16 セイコーエプソン株式会社 角速度検出装置及び電子機器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016217713A5 (ja)
US10288426B2 (en) Circuit device, physical-quantity detecting apparatus, electronic apparatus, and moving object
JP6785795B2 (ja) ジャイロスコープの位相に基づく測定及び制御
JP4211840B2 (ja) 検出装置、センサ及び電子機器
US10031176B2 (en) Circuit device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and moving object
US7291825B2 (en) Capacitance type physical quantity sensor
JP5153625B2 (ja) 駆動回路装置、及び、駆動信号を生成する方法
KR20120042861A (ko) 각속도 센서와, 그것에 이용되는 동기 검파 회로
JP2008122185A (ja) 検出装置、センサ及び電子機器
JP4784607B2 (ja) 角速度センサインタフェース回路および角速度検出装置
US10055975B2 (en) Circuit device, physical quantity detection device, electronic apparatus, and moving object
JP2016170136A5 (ja)
JP2018028473A5 (ja)
US11181373B2 (en) Vibration type gyroscope
JP6320291B2 (ja) 増幅回路及びこれを有する電流センサ
JP2007057262A (ja) センサ回路
JP2005083884A (ja) 力学量センサ
JP6268367B2 (ja) 慣性センサ
JP2015146497A (ja) 増幅回路
JP2006292469A (ja) 容量式物理量センサ
JP2016171542A5 (ja)
JP2016171542A (ja) 回路装置、物理量検出装置、電子機器及び移動体
JP2009168588A (ja) 検出回路、物理量測定装置、ジャイロセンサおよび電子機器
JP2008199563A (ja) 増幅回路
JP2007292660A (ja) 角速度センサ