JP2016213419A - 炭化珪素半導体装置 - Google Patents
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- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 112
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 112
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 93
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 72
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims description 27
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims description 19
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 33
- 210000000746 body region Anatomy 0.000 description 30
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 25
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 19
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 125000004436 sodium atom Chemical group 0.000 description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 12
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 12
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 3
- KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N Chlorine Chemical compound ClCl KZBUYRJDOAKODT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005883 NiSi Inorganic materials 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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Abstract
Description
(1)本開示に係る炭化珪素半導体装置1は、炭化珪素基板10と、ゲート絶縁膜15と、ゲート電極27とを備えている。炭化珪素基板10は、第1主面10aと、第1主面10aと反対側の第2主面10bとを有する。炭化珪素基板10は、第1導電型を有する第1不純物領域12と、第1不純物領域12上に設けられ、第1導電型と異なる第2導電型を有する第2不純物領域13と、第1不純物領域12から隔てられるように第2不純物領域13上に設けられ、かつ第1導電型を有する第3不純物領域14とを含む。第1主面10aには、第3不純物領域14および第2不純物領域13を貫通して第1不純物領域12に至る側面SWと、側面SWと連続して設けられた底部BTとにより規定されるトレンチTRが設けられている。第1主面10aは、{0001}面または{0001}面がオフ方向に8°以下の角度だけ傾斜した面である。第1主面10aと側面SWとが成す角度θ1は、95°以上130°以下である。ゲート絶縁膜15は、側面SWにおいて第2不純物領域13と接する。ゲート電極27は、ゲート絶縁膜15上に設けられている。175℃の温度下において、ゲート電極27に対して−10Vおよび20Vの少なくともいずれかのゲート電圧を100時間印加するストレス試験を行う場合に、ストレス試験を行う前の閾値電圧を第1の閾値電圧とし、ストレス試験を行った後の閾値電圧を第2の閾値電圧とした場合、第1の閾値電圧と第2の閾値電圧との差の絶対値は、0.25V以下となるように構成されている。第2の閾値電圧は、2.5V以上となるように構成されている。これにより、閾値電圧の変動を低減可能な炭化珪素半導体装置を提供することができる。また閾値電圧自体を高くすることができる。
以下、実施の形態について図に基づいて説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。また、本明細書中の結晶学的記載においては、個別方位を[]、集合方位を<>、個別面を()、集合面を{}でそれぞれ示している。また結晶学上の指数が負であることは、通常、”−”(バー)を数字の上に付すことによって表現されるが、本明細書中では数字の前に負の符号を付している。
図1および図3に示されるように、第2絶縁膜部15bと第2電極部27bの界面を第1の界面15b1とし、第2絶縁膜部15bと炭化珪素基板10との界面のうち、第1の界面15b1と対向する領域を第2の界面15b2とする。第1の界面15b1の法線方向Yに沿って第1の界面15b1から第2絶縁膜部15bの厚みaだけ第2電極部27b側に離れた第1仮想面2aと、第2の界面15b2の法線方向Yに沿って第2の界面15b2から第2絶縁膜部15bの厚みaだけ炭化珪素基板10側に離れた第2仮想面2bとに挟まれた領域を界面領域Rとする。界面領域Rに含まれるナトリウムの総数を第1の界面15b1の面積で除した値は、好ましくは5×1010atoms/cm2以下であり、より好ましくは、3×1010atoms/cm2以下であり、さらに好ましくは、1×1010atoms/cm2以下である。
まずゲート電圧(つまりゲートソース間電圧Vgs)を変化させてドレイン電流(つまりソースドレイン間電流Id)を測定する。ゲート電圧が閾値電圧より低い場合、ゲート絶縁膜15直下に位置するボディ領域13とドリフト領域12との間のpn接合が逆バイアスとなり非導通状態(オフ状態)となり、ソース電極16およびドレイン電極20間にはドレイン電流は、ほとんど流れない。一方、ゲート電極27に閾値電圧以上の電圧を印加すると、ボディ領域13のゲート絶縁膜15と接触する付近であるチャネル領域CHにおいて反転層が形成される。その結果、ソース領域14とドリフト領域12とが電気的に接続され、ソース電極16とドレイン電極20との間にドレイン電流が流れはじめる。つまり、閾値電圧は、ドレイン電流が流れ始めるゲート電圧のことである。より詳細には、図5に示すように、閾値電圧は、ソースドレイン間の電圧(Vds)が10Vのときに、ドレイン電流が300μAとなるゲート電圧のことである。閾値電圧は、室温で測定される。閾値電圧を測定する際のドレイン電流密度は、たとえば5mA/cm2である。
図6に示されるように、炭化珪素半導体装置に印加されるゲート電圧を変化させてドレイン電流を測定し、ゲート電圧とドレイン電流の関係3aをプロットする。ゲート電圧をx軸とし、ドレイン電流をy軸とする。ソースドレイン間の電圧が10Vのときに、ドレイン電流が300μAとなるゲート電圧を第1の閾値電圧(Vth1)とする。次に、炭化珪素半導体装置のゲート電極27に対して正電圧または負電圧を一定時間印加するストレス試験が実施される。具体的には、ソース電極16とドレイン電極20を同電位にした状態で、ソース電極16に対するゲート電極27の電位差が正電圧(+20V)および負電圧(−10V)のいずれかに保持される。その後、炭化珪素半導体装置に印加されるゲート電圧を変化させてドレイン電流を測定し、ゲート電圧とドレイン電流の関係3bをプロットする。ソースドレイン間の電圧が10Vのときに、ドレイン電流が300μAとなるゲート電圧を第2の閾値電圧(Vth2)とする。図6に示すように、ストレス試験の後、閾値電圧が変動する場合がある。特に、閾値電圧が負側に変動すると、ノーマリオフ動作すべきスイッチ動作がオンとなってしまう場合がある。
まず、炭化珪素基板を準備する工程が実施される。図7に示されるように、炭化珪素単結晶基板11上に炭化珪素エピタキシャル層12が形成される。具体的には、たとえば原料ガスとしてシラン(SiH4)とプロパン(C3H8)との混合ガスを用い、キャリアガスとしてたとえば水素ガス(H2)を用いたCVD(Chemical Vapor Deposition)法により、炭化珪素単結晶基板11上に炭化珪素エピタキシャル層12が形成される。エピタキシャル成長の際、不純物として、たとえば窒素(N)またはリン(P)などのn型不純物が導入される。炭化珪素エピタキシャル層12は、n型の導電型を有する。炭化珪素基板10は、炭化珪素エピタキシャル層12を構成する第1主面10aと、第1主面10aと反対側でありかつ炭化珪素単結晶基板11を構成する第2主面10bとを有する。第1主面10aは、たとえば{0001}面であり、好ましくは(000−1)面である。第1主面10aは、(000−1)面から8°以下オフした面であってもよい。
本実施の形態に係るMOSFET1によれば、175℃の温度下において、ゲート電極27に対して−10Vおよび20Vの少なくともいずれかのゲート電圧を100時間印加するストレス試験を行う場合に、ストレス試験を行う前の閾値電圧を第1の閾値電圧とし、ストレス試験を行った後の閾値電圧を第2の閾値電圧とした場合、第1の閾値電圧と第2の閾値電圧との差の絶対値は、0.25V以下となるように構成されている。第2の閾値電圧は、2.5V以上となるように構成されている。これにより、閾値電圧の変動を低減可能なMOSFETを提供することができる。また閾値電圧自体を高くすることができる。
まず、サンプル1〜サンプル3に係るMOSFET1が、以下の条件を除き、上記実施の形態に記載の方法と同様の方法で作成される。表1に示されるように、サンプル1の層間絶縁膜22の形成工程においては、最短距離W(図1参照)が1.3μmとなるように、層間絶縁膜22が形成される。サンプル2および3の層間絶縁膜22の形成工程においては、最短距離W(図1参照)が1.0μmとなるように層間絶縁膜22が形成される。サンプル1および2の製造工程においては、層間絶縁膜22の表面22a上に珪素製の蓋5が配置される(図11参照)。次に、表面22aに蓋5が配置された中間基板100が収容部34内に配置される。収容部34上にカバー6が配置される(図12参照)。サンプル3の製造工程においては、層間絶縁膜22の表面22a上に珪素製の蓋5が配置されることなく、中間基板100が収容部34内に配置され、収容部34上にカバー6が配置される。次に、サンプル1〜3に対して合金化アニールが実施される。
2.実験
サンプル1〜サンプル3に係るMOSFET1の閾値電圧の変動量が測定される。具体的には、まず、サンプル1〜サンプル3に係るMOSFET1のゲート電極27にゲートバイアスストレスが印加される前の第1の閾値電圧が測定される。次に、サンプル1〜サンプル3に係るMOSFET1に対してゲートバイアスストレスが印加される。
3.結果
次に、Na総量と、閾値電圧の変動量および閾値電圧の変動率との関係について説明する。表2は、実験Aのゲートバイアスストレス(175℃、Vgs=+20V、100時間)が印加された場合における閾値電圧の変動量と変動率である。表3は、実験Bのゲートバイアスストレス(175℃、Vgs=−10V、100時間)が印加された場合における閾値電圧の変動量と変動率である。
2a 第1仮想面
2b 第2仮想面
3 ゲートパッド
3a,3b 関係
4 絶縁膜
5 蓋
6 カバー
10 炭化珪素基板
10a 第1主面
10b 第2主面
11 炭化珪素単結晶基板
12 第1不純物領域(ドリフト領域,炭化珪素エピタキシャル層)
13 第2不純物領域(ボディ領域)
14 第3不純物領域(ソース領域)
15 ゲート絶縁膜(二酸化珪素膜)
15a 第1絶縁膜部
15b 第2絶縁膜部(絶縁膜部)
15b2 第2の界面
15b1 第1の界面
16 ソース電極
18 p型領域
18a コンタクト領域
18b 高濃度p型領域
19 ソース配線
20 ドレイン電極
22 層間絶縁膜
22a 表面
24 炭化珪素エピタキシャル層
27 ゲート電極(ポリシリコン)
27a 第1電極部
27b 第2電極部(電極部)
34 収容部
100 中間基板
A 位置
BT 底部
CH チャネル領域
OD オフ方向
R 界面領域
SW 側面
TR トレンチ
W 最短距離
Y 法線方向
Claims (5)
- 第1主面と、前記第1主面と反対側の第2主面とを有する炭化珪素基板を備え、
前記炭化珪素基板は、
第1導電型を有する第1不純物領域と、
前記第1不純物領域上に設けられ、前記第1導電型と異なる第2導電型を有する第2不純物領域と、
前記第1不純物領域から隔てられるように前記第2不純物領域上に設けられ、かつ前記第1導電型を有する第3不純物領域とを含み、
前記第1主面には、前記第3不純物領域および前記第2不純物領域を貫通して前記第1不純物領域に至る側面と、前記側面と連続して設けられた底部とにより規定されるトレンチが設けられており、
前記第1主面は、{0001}面または{0001}面がオフ方向に8°以下の角度だけ傾斜した面であり、
前記第1主面と前記側面とが成す角度は、95°以上130°以下であり、さらに、
前記側面において前記第2不純物領域と接するゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極とを備え、
175℃の温度下において、前記ゲート電極に対して−10Vおよび20Vの少なくともいずれかのゲート電圧を100時間印加するストレス試験を行う場合に、前記ストレス試験を行う前の閾値電圧を第1の閾値電圧とし、前記ストレス試験を行った後の閾値電圧を第2の閾値電圧とした場合、前記第1の閾値電圧と前記第2の閾値電圧との差の絶対値は、0.25V以下となるように構成されており、かつ前記第2の閾値電圧は、2.5V以上となるように構成されている、炭化珪素半導体装置。 - 第1主面と、前記第1主面と反対側の第2主面とを有する炭化珪素基板を備え、
前記炭化珪素基板は、
第1導電型を有する第1不純物領域と、
前記第1不純物領域上に設けられ、前記第1導電型と異なる第2導電型を有する第2不純物領域と、
前記第1不純物領域から隔てられるように前記第2不純物領域上に設けられ、かつ前記第1導電型を有する第3不純物領域とを含み、
前記第1主面には、前記第3不純物領域および前記第2不純物領域を貫通して前記第1不純物領域に至る側面と、前記側面と連続して設けられた底部とにより規定されるトレンチが設けられており、
前記第1主面は、{0001}面または{0001}面がオフ方向に8°以下の角度だけ傾斜した面であり、
前記第1主面と前記側面とが成す角度は、95°以上130°以下であり、さらに、
前記側面において前記第2不純物領域と接するゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極とを備え、
175℃の温度下において、前記ゲート電極に対して−10Vおよび20Vの少なくともいずれかゲート電圧を100時間印加するストレス試験を行う場合に、前記ストレス試験を行う前の閾値電圧を第1の閾値電圧とし、前記ストレス試験を行った後の閾値電圧を第2の閾値電圧とした場合、前記第1の閾値電圧と前記第2の閾値電圧との差の絶対値を、前記第2の閾値電圧で除した値は、0.08以下となるように構成されており、かつ前記第2の閾値電圧は、2.5V以上となるように構成されている、炭化珪素半導体装置。 - 前記オフ方向は、<1−100>方向から{0001}面内において5°以内の方向および<11−20>方向から{0001}面内において5°以内の方向のいずれかである、請求項1または請求項2に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記側面は、{03−38}面を含む、請求項1または請求項2に記載の炭化珪素半導体装置。
- 前記ゲート電極に接続され、かつ前記第1主面に対面するゲートパッドをさらに備え、
前記ゲート絶縁膜は、前記第1主面と、前記ゲートパッドとの間に設けられた絶縁膜部を含み、
前記ゲート電極は、前記絶縁膜部上に設けられた電極部を含み、
前記絶縁膜部と前記電極部との界面を第1の界面とし、前記絶縁膜部と前記炭化珪素基板との界面のうち、前記第1の界面と対向する領域を第2の界面とした場合、前記第1の界面の法線方向に沿って前記第1の界面から前記絶縁膜部の厚みだけ前記電極部側に離れた第1仮想面と、前記第2の界面の法線方向に沿って前記第2の界面から前記絶縁膜部の厚みだけ前記炭化珪素基板側に離れた第2仮想面とに挟まれた界面領域に含まれるナトリウムの総数を前記第1の界面の面積で除した値は、5×1010atoms/cm2以下である、請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の炭化珪素半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015098560A JP2016213419A (ja) | 2015-05-13 | 2015-05-13 | 炭化珪素半導体装置 |
PCT/JP2016/063379 WO2016181862A1 (ja) | 2015-05-13 | 2016-04-28 | 炭化珪素半導体装置 |
US15/566,342 US10177233B2 (en) | 2015-05-13 | 2016-04-28 | Silicon carbide semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015098560A JP2016213419A (ja) | 2015-05-13 | 2015-05-13 | 炭化珪素半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016213419A true JP2016213419A (ja) | 2016-12-15 |
Family
ID=57249502
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015098560A Pending JP2016213419A (ja) | 2015-05-13 | 2015-05-13 | 炭化珪素半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10177233B2 (ja) |
JP (1) | JP2016213419A (ja) |
WO (1) | WO2016181862A1 (ja) |
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-
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- 2016-04-28 WO PCT/JP2016/063379 patent/WO2016181862A1/ja active Application Filing
- 2016-04-28 US US15/566,342 patent/US10177233B2/en active Active
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JP2014231457A (ja) * | 2013-05-29 | 2014-12-11 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素基板および炭化珪素半導体装置ならびに炭化珪素基板および炭化珪素半導体装置の製造方法 |
WO2015012019A1 (ja) * | 2013-07-26 | 2015-01-29 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
JP2015065316A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2015065288A (ja) * | 2013-09-25 | 2015-04-09 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
WO2015060027A1 (ja) * | 2013-10-24 | 2015-04-30 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体装置およびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180114843A1 (en) | 2018-04-26 |
WO2016181862A1 (ja) | 2016-11-17 |
US10177233B2 (en) | 2019-01-08 |
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