JP2016210085A5 - - Google Patents

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上記課題を解決するために、本発明の一形態に係る液体吐出ヘッドは、
液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室に配置された第一の電気熱変換部と、前記第一の電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記第一の電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第一の電極と、前記液体を介して前記第一の電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第一の電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第二の電極と、前記第二の電極に接続された電極配線と、を備えた液体吐出ヘッドであって、
前記第二の電極周辺の前記液室内に位置する前記電極配線を加熱する手段を有することを特徴とする。
また、本発明の一形態に係る液体吐出ヘッドのクリーニング方法は、
液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室に配置された第一の電気熱変換部と、前記第一の電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記第一の電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第一の電極と、前記液体を介して前記第一の電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第一の電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第二の電極と、前記第二の電極に接続された電極配線と、を備えた液体吐出ヘッドにおける、前記第一の電極の上に堆積するコゲを前記第一の電極の電気化学反応による溶出とに除去するクリーニング動作を含む液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記クリーニング動作中、または前記クリーニング動作後に前記第二の電極周辺の前記液室内に位置する前記電極配線を加熱する工程を含むことを特徴とする。
さらに、本発明の一形態に係る記録装置は、
液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室内に配置された第一の電気熱変換部と、前記第一の電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記第一の電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第一の電極と、前記液体を介して前記第一の電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第一の電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第二の電極と、前記第二の電極に接続された電極配線と、を備えた液体吐出ヘッドを用いて記録を行う記録装置であって、
前記第一の電極前記第二の電極との間に電圧を印加することにより、前記第一の電極の上に堆積するコゲを、前記第一の電極の溶出と共に除去する処理を行うクリーニング手段と、
前記第二の電極周辺の前記液室内に位置する前記電極配線を加熱する手段と、
を有することを特徴とする。
本発明によれば、第二の電極周辺でクリーニング動作中に水素発生の影響を受ける配線材料を加熱することで、断線の原因となる水素脆化を抑制することができる。
本発明に係る液体吐出ヘッドは、液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室に配置された第一の電気熱変換部と、前記第一の電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記第一の電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第一の電極(以下、上部電極という)と、前記液体を介して前記第一の電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第一の電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第二の電極(以下、対向電極という)と、前記第二の電極に接続された電極配線(以下、対向電極配線という)と、を備える。本発明の特徴は、対向電極周辺の液室内に位置する対向電極配線を加熱することで、クリーニング時に発生する水素による対向電極配線の劣化を抑制することである。対向電極配線の液室内に位置する部分は、対向電極周辺で液室内の液体と接触する部分である。また、第二の電極周辺(対向電極周辺とは、第二の電極(対向電極で発生した水素に曝される領域を示す。

Claims (15)

  1. 液体吐出口と、
    前記液体吐出口に連通する液室と、
    前記液室に配置された第一の電気熱変換部と、
    前記第一の電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、
    前記保護層の前記第一の電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第一の電極と、
    前記液体を介して前記第一の電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第一の電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第二の電極と、
    前記第二の電極に接続された電極配線と、
    を備えた液体吐出ヘッドであって、
    前記第二の電極周辺の前記液室内に位置する前記電極配線を加熱する手段を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 前記電極配線を加熱する手段は、前記保護層を介して前記第二の電極の下方に配置された第二の電気熱変換部と、前記第二の電気熱変換部を駆動する回路と、を有する請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
  3. 前記電極配線は、TaまたはNbを含む材料で形成されている請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
  4. 液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室に配置された第一の電気熱変換部と、前記第一の電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記第一の電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第一の電極と、前記液体を介して前記第一の電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第一の電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第二の電極と、前記第二の電極に接続された電極配線と、を備えた液体吐出ヘッドにおける、前記第一の電極の上に堆積するコゲを前記第一の電極の電気化学反応による溶出とに除去するクリーニング動作を含む液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
    前記クリーニング動作中、または前記クリーニング動作後に前記第二の電極周辺の前記液室内に位置する前記電極配線を加熱する工程を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  5. 前記電極配線を加熱する工程は、前記液体吐出ヘッド内の前記保護層を介して前記第二の電極の下方に配置された第二の電気熱変換部を、前記第二の電気熱変換部に接続された回路により駆動する工程を含む請求項4に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  6. 前記第二の電気熱変換部に接続された回路は、前記第二の電気熱変換部に、パルス電圧を印加するものである請求項5に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  7. 前記第二の電気熱変換部に接続された回路は、前記液室内の液体が発泡する値未満の電力を与えるものである請求項5または6に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  8. 前記第二の電気熱変換部に接続された回路は、前記液室内の液体が発泡する値以上の電力を与えるものである請求項5または6に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  9. 前記電極配線を加熱する工程は、前記液室内の液体を排出した状態で行う請求項4または5に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  10. 前記電極配線を加熱する工程は、前記液室内の液体を置換しながら行う請求項4乃至8のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  11. 前記電極配線は、TaまたはNbを含む材料で形成されている請求項4乃至10のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドのクリーニング方法。
  12. 液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室内に配置された第一の電気熱変換部と、前記第一の電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記第一の電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第一の電極と、前記液体を介して前記第一の電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第一の電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第二の電極と、前記第二の電極に接続された電極配線と、を備えた液体吐出ヘッドを用いて記録を行う記録装置であって、
    前記第一の電極前記第二の電極との間に電圧を印加することにより、前記第一の電極の上に堆積するコゲを、前記第一の電極の溶出と共に除去する処理を行うクリーニング手段と、
    前記第二の電極周辺の前記液室内に位置する前記電極配線を加熱する手段と、
    を有することを特徴とする記録装置。
  13. 前記電極配線を加熱する手段は、前記液体吐出ヘッド内の前記保護層を介して前記第二の電極の下方に配置された第二の電気熱変換部と、前記第二の電気熱変換部を駆動する回路と、を有することを特徴とする請求項12に記載の記録装置。
  14. 前記第二の電気熱変換部を駆動する回路の一部が前記液体吐出ヘッドの内部に設けられており、前記回路の残部が前記液体吐出ヘッドの外部に設けられている請求項13に記載の記録装置。
  15. 前記液室内の液体を、前記吐出口から吸引する手段を有する請求項12乃至14のいずれか1項に記載の記録装置。
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