JP2018079671A - 液体吐出ヘッド、液体吐出装置および制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出ヘッドにおける、ヒーター近傍の電極と対となる電極との間の電場形成によってヒーター表面へのコゲを付着を抑制する構成において、対となる電極近傍への気泡の滞留を低減することを可能とする。【解決手段】液体を吐出するための複数の吐出口が配列した液体吐出ヘッドは、複数の吐出口それぞれに対応して設けられる液室であって、その複数の液室が、配列の方向において、流路壁によって相互に仕切られる液室と、液室に対応する２つの流路壁の少なくとも一方について設けられた、配列の方向において隣接する液室と連通するための空隙と、液室に設けられた、液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、液室に設けられた、エネルギー発生素子の近傍に配置された素子近傍電極と、液室に設けられた対の電極と、複数の液室に連通する供給口と、を具える。【選択図】図３

Description

本発明は、液体吐出ヘッド、液体吐出装置および制御方法に関する。詳しくは、ヒーターの加熱によって吐出されるインクに電場を形成することにより、インクに含まれる難溶性物質となり得る成分をヒーターから遠ざけてヒーターに付着するコゲを低減する技術に関するものである。

ヒーターで発生させた熱によって液体を発泡させることで液体を吐出する液体吐出ヘッドでは、液体に含まれる荷電コロイド粒子などが、高温加熱に晒されることにより分解され、難溶解性の物質に変化し、加熱素子の表面に付着する現象が知られている。この現象は「コゲーション」、付着物は「コゲ」と呼ばれている。コゲが付着すると、インクへの熱伝導が不均一になり、発泡が不安定となることがある。

上記のような問題点を解消するべく、特許文献１には、加熱素子としてのヒーターの近傍に配置されたヒーター上電極とこのヒーター上電極と対となる電極とによって、これらの電極間のインクに電場を形成することが記載されている。そして、この形成された電場によってインク中の荷電コロイド粒子をヒーター上電極から遠ざけるようにしてヒーター近傍の荷電コロイド粒子の濃度を低下させ、ヒーター表面へのコゲの付着を抑制している。

特開２００９−５１１４６号公報

しかしながら、特許文献１では、対となる電極の配置によってはその近傍がインク流動における淀みとなる場合がある。そして、インク中に存在する比較的微小な気泡がその淀み部分に集りそれが大きな気泡となって滞留することがある。このように、気泡が対となる電極の近傍に滞留した場合、液体に対して気泡の導電率が比較的低いため、ヒーター上電極と対となる電極との間の抵抗が大きくなる。その結果、生じている電場によって対となる電極側へ移動する荷電コロイド粒子の量が少なくなり、コゲの抑制効果が十分でなくなることがある。

本発明は、ヒーター近傍の電極と対となる電極との間の電場形成によりヒーター表面へのコゲを付着を抑制する構成において、対となる電極近傍への気泡の滞留を低減することが可能な液体吐出ヘッド、液体吐出装置および制御方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明は、液体を吐出するための複数の吐出口が配列した液体吐出ヘッドであって、前記複数の吐出口それぞれに対応して設けられる液室であって、当該複数の液室が、前記配列の方向において、流路壁によって相互に仕切られる液室と、前記液室に対応する２つの流路壁の少なくとも一方について設けられた、前記配列の方向において隣接する前記液室と連通するための空隙と、前記液室に設けられた、液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記液室に設けられた、前記エネルギー発生素子の近傍に配置された素子近傍電極と、前記液室に設けられた対の電極と、前記複数の液室に連通する供給口と、を具えたことを特徴とする。

以上の構成によれば、液体吐出ヘッドにおける、ヒーター近傍の電極と対となる電極との間の電場形成によってヒーター表面へのコゲの付着を抑制する構成において、対となる電極近傍への気泡の滞留を低減することが可能となる。

本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す斜視図である。 図１に示した液体吐出ヘッドを用いてインクジェット方式の記録を行う記録装置の制御系を示すブロック図である。 （ａ）および（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを説明する図である。 （ａ）および（ｂ）は、本発明の第１実施形態の液体吐出ヘッドにおける、流路壁に形成された空隙の作用を説明する図である。 本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの構成を説明する図である。 （ａ）および（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッドを説明する断面図である。 本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッドを説明する図である。 本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッドを説明する図である。 本発明の第７実施形態に係る液体吐出ヘッド１０４を説明する図である。

以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す斜視図である。本実施形態の液体吐出ヘッド１０４は、液体としてのインクを貯留するインク容器１０３と一体に構成されたヘッドカートリッジ１００の形態である。なお、ここでは、液体吐出ヘッドとインク容器とが一体に構成されている形態について説明するが、液体吐出ヘッドに対してインク容器が着脱可能な形態であってもよい。

図１に示されるように、液体吐出ヘッド１０４は、液体吐出ヘッド用基板としての記録素子基板１０１、および電気配線部材１０２を含む。図３などで後述されるように、記録素子基板１０１の一方の面には、インクを吐出するためのエネルギー発生素子としての複数の電気熱変換素子（ヒーター）と、電気熱変換素子１０に電力を供給する電気配線とが、形成されている。この記録素子基板１０１上には、複数の吐出口を形成する吐出口形成部材（液室形成部材）が形成されている。さらに、記録素子基板１０１には、電気熱変換素子ごとに形成される流路にインクを供給するためのインク供給口が、基板を貫通して形成されている。電気配線部材１０２は、記録素子基板１０１を組み込むための開口、および記録素子基板１０１に形成される電気配線と接続する電気接続部に対応するインナーリードを備えている。インナーリードは開口内に延在して形成されており、所定の方向に並列して形成されている。また、電気配線部材１０２は、不図示の記録装置（液体吐出装置）の電気接点と接続することで記録装置からの駆動制御信号を受け取るための入力端子も備えている。

図２は、図１に示した液体吐出ヘッドを用いてインクジェット方式の記録を行う記録装置の制御系を示すブロック図である。図２において、コントローラ２００は主制御部であり、ＣＰＵ２０１、プログラムや所要のテーブルその他の固定データを格納したＲＯＭ２０３、記録データを展開する領域や作業用の領域を設けたＲＡＭ２０４、および記録制御部２０１０を有している。記録データ、その他のコマンド、ステータス信号等は、不図示のインタフェース（Ｉ／Ｆ）を介して、ホスト装置とコントローラ２００との間で送受信される。

操作部２２０は操作者による指示入力を受容するスイッチ群であり、不図示の電源スイッチ、プリント開始を指示するためのスイッチ、吸引回復の起動を指示するための回復スイッチ等を含んでいる。ヘッドドライバ２０４０は、記録データ等に応じて、液体吐出ヘッド１０４の電気熱変換素子を駆動するドライバであり、この駆動によって記録ヘッド１０４の吐出口からインクを吐出することができる。液体吐出ヘッド１０４は、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）およびブラック（Ｋ）の４色のインクをそれぞれ吐出する吐出口を備える。モータドライバ２０５０は、液体吐出ヘッド１０４を備えたヘッドカートリッジ１００を搭載して主走査方向に移動させるための主走査モータ、記録媒体を副走査方向に搬送するための副走査モータを駆動するドライバである。

以上説明した制御系は、本発明の一実施形態について後述されるように、液体吐出ヘッドの液室における気泡の滞留状態を液室に配された電極間の抵抗によって検知すること、また、この検知に応じた吐出制御をすること、をそれぞれ実施する。

（第１実施形態）
図３（ａ）および（ｂ）は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドを説明する図である。図３（ａ）は、液室形成部材２０の上部を除いて示す断面図であり、本実施形態の液体吐出ヘッドの一部、すなわち、一列に配列する複数の吐出口のうち一部（３個分）に対応した構造を示している。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）におけるIIIｂ−IIIｂ線断面図である。

これら図に示すように、液体吐出ヘッド１０４は、概略、基板１とこの基板上に設けられた液室形成部材２０とを備えて構成されている。液室形成部材２０には吐出口２１が設けられている。また、液室形成部材の一部として流路壁４１が設けられ、基板１には、液室３０に対応してエネルギー発生素子としてのヒーター２が設けられる。また、基板１には、液室３０ごとにそのヒーター２による発泡圧力を作用させる圧力室に液体としてインクを供給するための供給口１２が設けられている。それぞれの液室３０において、ヒーター２の上部にヒーター上電極３１が設けられ、また、液室３０においてこの電極３１が設けられる位置とは反対側の位置に、対の電極３２が設けられる。すなわち、対の電極３２は、供給口１２に関してヒーター上電極３１の反対側に設けられている。液室３０と隣接する液室３０とを仕切る流路壁４１には、空隙４２が設けられ、この空隙を介して隣接する液室同士が連通する。この空隙４２は、概略、基板１の面から液室形成部材２０の上部分の内側面まで延在するように設けられる。

液室形成部材２０は、樹脂や金属、あるいは無機材料で形成することができる。樹脂としては、例えばエポキシ樹脂のような感光性樹脂を挙げることができる。金属としては、例えばＳＵＳプレートを挙げることができ、無機材料としては、ＳｉＮやＳｉＣ、ＳｉＣＮ等を挙げることができる。図３（ａ）および（ｂ）に示す例では、液室形成部材が樹脂で形成されている。一方、基板１はシリコン等で形成される。

基板１において、ヒーター２は、ＴａＳｉＮ等の発熱抵抗体層４に配線層５が接続することによって形成される。すなわち、発熱抵抗体層４の上部に形成された配線層５の一部を除去してギャップを形成し、その部分の発熱抵抗体層４を露出することによりヒーター２が形成される。配線層５は発熱抵抗体層４上に設けられるが、逆に配線層５上に発熱抵抗体層４を設けてもよい。また、ヒーター２の最下層には基板１と接して熱の逃げを防ぐＳｉＯ膜やＢＰＳＧ膜からなる蓄熱層を設けてもよい。

保護層６は、発熱抵抗体層４および配線層５の上部に設けられ、ＳｉＯ膜，ＳｉＮ膜等からなる絶縁層として機能する。上部保護層３１は保護層６の上部に設けられ、液体の発泡に伴う化学的、物理的影響からヒーター２を保護し、かつ、本実施形態では、コゲを抑制するために電位を印可するヒーター上電極３１として機能する。上部保護層３１はヒーター上電極として電位をかけられる材料であり、特に加熱に対して安定している材料を用いることが好ましい。具体的には、Ｉｒなどの貴金属を用いることができる。この上部保護層３１は、単層でも複数の層を積層していてもよく、複数の層を積層する場合はヒーター上電極によって形成される電場を遮蔽しなければ一部の層を絶縁層としてもよい。電極配線９は、上部保護層３１と外部電極を電気的に接続する配線であり、導電性を有する材料を用いて形成される。電極配線９は液体吐出ヘッド１０４の端部にまで延在し、その先端が外部との電気的接続を行うための外部電極（不図示）を成している。あるいは、電極配線９はスルーホール（不図示）を通して配線層５に接続してもよい。電極配線９と上部保護層３１は同一部材でもよい。

対の電極３２は、基板１上に設けられるが、基板１に接する必要はなく、基板１に対して他の層を介して設けられていてもよい。あるいは液室形成部材２０に接して設けられてもよい。対の電極３２は、ヒーター上電極３１と一対の組みになってそれらの電極間に電場を形成するのに用いられる。この電場によって、ヒーター上電極３１の近傍から、インクの加熱によって難溶性となるコロイド粒子などの物質を、対の電極３２側へ移動させることができ、これにより、ヒーター上電極３１などへのコゲの付着を抑制することができる。この対の電極３２は、例えば、Ｉｒなどの貴金属で形成することができる。対の電極３２は、単層でも複数の層を積層してもよく、複数の層を積層する場合にはヒーター上電極と対の電極との間に形成される電場を遮蔽しなければ一部の層は絶縁層を形成してもよい。対の電極３２の最表層は液体に溶解しない材料であることが望ましい。なお、ヒーター上電極は、必ずしもヒーター２の上部に存在する必要はない、ヒーター２の近傍にあって、その形成する電場によってインク中のコロイド粒子などをヒーター２から遠ざける作用を奏する位置であればよい。本明細書では、この点から、ヒーター上電極を「素子近傍電極」とも言う。

電極配線９は、ヒーター上電極３１について上述したのと同様、対の電極３２と外部電極を電気的に接続する配線であり、導電性を有する材料を用いて形成される。電極配線９は液体吐出ヘッド１０４の端部にまで延在し、その先端が外部との電気的接続を行うための外部電極（不図示）をなす。あるいは電極配線９はスルーホール（不図示）を通して配線層５に接続してもよい。電極配線９と対の電極３２は同一部材でもよい。

基板１における供給口１２は、ドライエッチング、ＴＭＡＨ、ＫＯＨ等によるウェットエッチング、或いはレーザー加工等によって形成することができる。インクタンクから供給口１２を介して供給されたインクは、ヒーター２による熱エネルギーで発泡し、その圧力で吐出口２１からインクが吐出される。なお、一つのヒーターに対応する供給口の数は一つでもよいし、複数でもよい。一つのヒーターに対応する供給口の数が偶数のときは、エネルギー発生素子を挟むように供給口を配置すると均等に液体が供給されるため好ましい。

図４（ａ）および（ｂ）は、上述した構成を有する本実施形態の液体吐出ヘッド１０４における、流路壁４１に形成された空隙４２の作用を説明する図である。図３にて上述した本実施形態の液体吐出ヘッド１０４の液室３０に荷電コロイド粒子を含むインクが充填されている状態において、ヒーター上電極３１と対の電極３２との間に電位差を与えて電場を形成する。これにより、ヒーター上電極３１の表面からインク中の荷電コロイド粒子は対の電極３２側へ移動する。また、隣接する液室３０のヒーター２相互の駆動タイミングをずらし、隣接する液室３０から同時に吐出が行われないようにする。

図４（ａ）は、以上の状態において、対の電極３２に気泡３６が付着した状態を示している。この状態に対し、隣接する液室３０で吐出が行われると、その際に生じた発泡３７によって、図４（ｂ）に示すように、同図の矢印の向きにインクの流れＳが発生する。すなわち、隣接する液室で生じた発泡３７によって生じたインクの流れは、流路壁４１の空隙４２を介して、気泡３６が付着した対の電極３２が存在する液室３０に至る。そして、その流れＳによって気泡３６は供給口１２に移動させられ、その浮力によって気泡３６は供給口１２の内部に入り込む。なお、図３（ｂ）に示す図では、供給口１２は下側の位置に示されているが、本実施形態の液体吐出ヘッドは、図１に示すように吐出口２１が下向きで用いられる。すなわち、図３（ｂ）に示す図が天地逆（供給口１２が上）の状態で用いられる。この状態で、気泡３６はその浮力によって供給口１２に入り込むことになる。このように、ヒーター上電極と対の電極によって形成された電場によって、加熱によって難溶性となるインク中の物質を対の電極側に移動させる構成において、対の電極３２やその近傍に気泡３６が滞留しづけることを抑制できる。その結果、気泡が滞留しないことによって、難溶性となるインク中の物質を対の電極側に移動させる作用が有効に機能し、結果として、ヒーター上電極表面へのコゲの付着を低減することが可能となる。

なお、液室３０における対の電極３２の配置は上述の例に限られない。ヒーター上電極３１と対の電極３２の間に形成する電場によってヒーター２近傍のインク中の荷電粒子濃度を低下させる作用を奏する距離で、空隙４２からのインク流によって対の電極３２の近傍に存在する気泡を除去できる位置であればよい。図３（ｂ）に示す構成では、例えば、液室形成部材２０の上部分の内面側に配置してもよい。また、対の電極は必ずしも設ける必要はない。特許文献１に記載されるように、例えば、液室形成部材２０の部位を特定しその部分をアースに接続することにより（接地することにより）、ヒーター上電極３１との関係で電場を形成するようにしてもよい。

上述の例では、１つのヒーター上電極３１と同じ液室にある対の電極３２は１つであるが、これに限らず、複数でもよい。あるいは、１つの対の電極３２が複数のヒーター上電極３１に対応していてもよい。また、空隙４２はすべての流路壁４１に存在している必要はなく、例えば一つ置きにあってもよい。すなわち、１つの液室に対応する２つの流路壁の少なくとも一方に形成されていてもよい。

（第２実施形態）
図５は、本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッド１０４の構成を説明する図であり、第１実施形態に係る図３（ａ）と同様の図である。以下では、第１実施形態と同じ構成要素についてはその説明を諸略し、第１実施形態と異なる構成要素について説明する。

第２実施形態では、対の電極３２と供給口１２との間に、対の電極３２から供給口１２に向かって寸法が水平方向に絞られていく逆流防止部４３（逆流防止部材）を設ける。吐出時とリフィル時ではインクが流れる向きは逆転するが、逆流防止部４３によって、供給口１２から対の電極３２に向けたインクの逆流を抑制し、気泡が対の電極３２側へ逆流しづらくすることができる。これにより、第１実施形態よりもヒーター上電極表面への焦げ付きをさらに低減することが可能となる。

（第３実施形態）
図６（ａ）および（ｂ）は、本発明の第３実施形態に係る液体吐出ヘッド１０４を説明する断面図であり、図３（ａ）および（ｂ）と同様の図である。以下では、第２の実施形態と同じ構成要素についてはその説明を省略し、第２実施形態と異なる構成要素について説明する。

第２実施形態では、対の電極３２から供給口１２に向かって水平方向に絞られていく逆流防止部を設けた形態に関するものであるが、第３実施形態では、対の電極３２から供給口１２に向かって垂直方向に絞られていく逆流防止部４３ａを設ける。第２実施形態と同様、逆流防止部４３ａによって、供給口１２から対の電極３２に向けたインクの逆流を抑制し、気泡が対の電極３２側へ逆流しづらくすることができる。

（第４実施形態）
図７は、本発明の第４実施形態に係る液体吐出ヘッド１０４を説明する図である。以下では、第１実施形態と同じ構成要素についてはその説明を省略し、第１実施形態と異なる構成要素について説明する。

第１の実施形態では、流路壁４１は、図７の水平方向に沿って一様な厚みを有するものであるが、第４実施形態では、流路壁４１の厚みが一様でなく、図７に示す断面で見た場合に、流路壁４１に供給口１２に向かって突出する凸部が設けられている。この凸部によって、液室３０のうちの供給口１２と連通する部分の長さ（流路壁４１同士の距離）が、液室３０のうちの対の電極３２が設けられた部分の長さよりも短くなっている。これにより、空隙４２を介したインク流によって対の電極３２から移動した気泡が、流路壁４１と供給口１２の間の液室３０に滞留せずに供給口１２の内部に移動し易くなる。このような液体吐出ヘッド１０４では液室３０に滞留した気泡によって電位制御効果が阻害されることを抑制し、ヒーター上電極表面への焦げ付きをさらに低減することが可能となる。

（第５実施形態）
図８は、本発明の第５実施形態に係る液体吐出ヘッド１０４を説明する図である。以下では、第１実施形態と同じ構成要素についてはその説明を省略し、第１実施形態と異なる構成要素について説明する。

第１実施形態では、液室を区画する液室形成部材２０の部材のうち、空隙４２に隣接するとともに対の電極３２の配列方向に延在する部材を一様な厚みのものとした。これに対し、本実施形態では、液室３０ごとに、対の電極３２に向かって凸部となる仕切り部４０を、液室形成部材２０の一部として形成する。このように空隙４２と対の電極３２の間の液室３０が仕切り部４０によって仕切られることにより、隣り合う空隙４２が流路的に直接繋がらなくなる。これにより、隣接の液室３０からの空隙４２を介したインクの流れの大部分が、反対側の空隙４２に直接向かわずに、対の電極３２および供給口１２が存在する部分の液室３０を通るようになる。その結果、対の電極３２近傍の気泡が供給口１２へ移動し易くすることが可能となる。本実施形態では、仕切り部４０の形状は凹状のＲがついたものである。これにより、隣接する液室３０からの空隙４２を介した液体の流れが勢いを失わずに、かつ淀みが生じないように流れることが可能となり、気泡をより移動し易くできる。

仕切り部４０と対の電極３２との位置ないしサイズの関係において、対の電極３２上の仕切り部４０の面積はできる限り小さくするか、または対の電極３２と仕切り部４０の間に隙間を作ることが望ましい。

（第６実施形態）
本発明の第６実施形態は、液室３０における気泡の滞留に応じてその液室に対応する吐出口からの吐出を制御する構成に関するものである。インク等の液体に対して気泡の導電率は比較的低いため、気泡が対の電極近傍に滞留した場合は滞留していない場合に比べてヒーター上電極３１と対の電極３２との間の抵抗が大きくなる。

本実施形態は、それぞれのヒーター上電極３１の配線層に接続された外部電極に電流測定回路を設け、測定される抵抗の変化を通じてヒーター上電極３１と対の電極３２の間の気泡３６の滞留および除去度合を測定する。これにより、気泡３６が滞留していることを検出した液室３０についてはその吐出口から吐出はさせず、隣接する液室３０の吐出口から吐出をさせるよう制御する。具体的には、上記抵抗値の測定によって、気泡が液室から除去されたと推定できる抵抗値の所定の閾値以下となるまで、隣接する吐出口からの吐出を繰り返す。なお、連続する複数の液室３０に気泡が滞留していることの検出および、液室の吐出口からは吐出させず隣接する液室の吐出口から吐出を、吐出口列の端の吐出口から順番に行う。また、電流測定回路はヒーター上電極３１の配線層に設けて抵抗変化を測定してもよいし、対の電極３２の配線層あるいは対の電極３２の配線層に接続された外部電極に電流測定手段を設けて抵抗変化を測定してもよい。

以上のように液体吐出ヘッド１０４を制御することにより、液室３０に滞留した気泡によって電位制御効果が阻害されづらくなる。

なお、第６実施形態では抵抗変化を介して気泡を検知したが、液体吐出ヘッド１０４の外部から液室形成部材２０を通して光学的に気泡の有無を判定することで気泡を検知してもよい。あるいは供給口１２を通って液体吐出ヘッド１０４の外部に吐出された液体の速度を測定して、気泡の滞留による吐出効率の悪化から生じる吐出液体速度の低下を利用して気泡を検知してもよい。

（第７実施形態）
図９は、本発明の第７実施形態に係る液体吐出ヘッド１０４を説明する図である。以下では、第６実施形態と同じ構成要素についてはその説明を省略し、第６実施形態と異なる構成要素について説明する。

第６実施形態では、隣接する液室３０のヒーター２同士の駆動タイミングをずらし、隣接する液室３０の吐出口２１から同時に吐出が行われないようにし、隣接する液室３０の吐出時に空隙４２を介して生じるインク流れを利用して気泡を除去するものである。これに対し、第７の実施形態では、図９に示すように、液室３０の吐出口２１に、不図示の機構によって中空のチューブ２３を当て、このチューブを吐出口列方向に走査することにより、吐出口ごとに順次チューブに接続された吸引機構（不図示）を用いて吸引する。これにより、吸引によって、空隙４２を介して隣接する液室からのインク流れを生じさせ、その流れによって気泡を供給口１２に導く。この際、上述の第６実施形態で説明した気泡の検出機構によって隣接する液室に気泡が存在する場合は、吸引を行わないようにする。隣接液室の気泡が生じさせたインク流によって吸引対象の液室に移動するおそれがあるからである。

１ 基板
２ ヒーター（エネルギー発生素子）
１２ 供給口
２０ 液室形成部材
２１ 吐出口
２３ チューブ
３０ 液室
３１ ヒーター上電極（上部保護層）
３２ 対の電極
４０ 仕切り部
４１ 流路壁
４２ 空隙
４３ 逆流防止部
１０４ 液体吐出ヘッド

Claims (14)

1. 液体を吐出するための複数の吐出口が配列した液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の吐出口それぞれに対応して設けられる液室であって、当該複数の液室が、前記配列の方向において、流路壁によって相互に仕切られる液室と、
   前記液室に対応する２つの流路壁の少なくとも一方について設けられた、前記配列の方向において隣接する前記液室と連通するための空隙と、
   前記液室に設けられた、液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、
   前記液室に設けられた、前記エネルギー発生素子の近傍に配置された素子近傍電極と、
   前記液室に設けられた対の電極と、
   前記複数の液室に連通する供給口と、
   を具えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 液体を吐出するための複数の吐出口が配列した液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の吐出口それぞれに対応して設けられる液室であって、当該複数の液室が、前記配列の方向において、流路壁によって相互に仕切られる液室と、
   前記液室に対応する２つの流路壁の少なくとも一方について設けられた、前記配列の方向において隣接する前記液室と連通するための空隙と、
   前記複数の吐出口それぞれに対応して前記液室に設けられた、液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、
   前記液室に設けられた、前記エネルギー発生素子の近傍に配置された素子近傍電極と、
   前記液室に設けられた、前記素子近傍電極と間で電場を形成するための部材と、
   前記複数の液室に連通する供給口と、
   を具えたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 前記液室において、前記空隙と前記供給口の間に前記対の電極または前記部材が配置されたことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記素子近傍電極は、前記エネルギー発生素子の上部に設けられた保護層が兼ねることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記対の電極または前記部材と前記素子近傍電極との間に、前記素子近傍電極から前記対の電極または前記部材へ向かう方向の液体の流れを妨げる逆流防止部材を、さらに具えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記逆流防止部材は、前記対の電極または前記部材から前記素子近傍電極に向かう液室の寸法が絞られていく部分を形成することを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記流路壁が、前記供給口に向かって突出する凸部を有することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記液室において、前記空隙に隣接するとともに、前記配列の方向に延在し前記液室を区画する部材から前記対の電極または前記部材に向かって凸部となる仕切り部を、さらに具えたことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 液体を吐出するための複数の吐出口が配列した液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の吐出口それぞれに対応して設けられる液室であって、当該複数の液室が、前記配列の方向において、流路壁によって相互に仕切られる液室と、
   前記液室に対応する２つの流路壁の少なくとも一方について設けられた、前記配列の方向において隣接する前記液室と連通するための空隙と、
   前記液室に設けられた、液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、
   前記液室に設けられた、前記エネルギー発生素子の近傍に配置された素子近傍電極と、
   前記液室に設けられた対の電極と、
   前記複数の液室に連通する供給口と、
   を具えた液体吐出ヘッドと、
   前記液室において、前記素子近傍電極と前記対の電極との間の気泡を検知するための検知手段と、
   前記検知手段が気泡を検知したとき、当該検知した液室に対して前記空隙を介して隣接する前記液室から液体の流れを生じさせる発生手段と、
   を具えたことを特徴とする液体吐出装置。
10. 前記検知手段は、前記素子近傍電極と前記対の電極との間の抵抗値を測定することにより気泡を検知することを特徴とする請求項９に記載の液体吐出装置。
11. 前記検知手段は、光学的に前記素子近傍電極と前記対の電極との間の気泡を検知することを特徴とする請求項９に記載の液体吐出装置。
12. 前記発生手段は、前記検知した液室の吐出口から液体の吐出を行わず、前記隣接する前記液室の吐出口から液体の吐出を行うことにより、前記液体の流れを生じさせることを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
13. 前記発生手段は、前記検知した液室の吐出口を介して液体を吸引することにより前記液体の流れを生じさせることを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか1項に記載の液体吐出装置。
14. 液体を吐出するための複数の吐出口が配列した液体吐出ヘッドであって、
    前記複数の吐出口それぞれに対応して設けられる液室であって、当該複数の液室が、前記配列の方向において、流路壁によって相互に仕切られる液室と、
    前記液室に対応する２つの流路壁の少なくとも一方について設けられた、前記配列の方向において隣接する前記液室と連通するための空隙と、
    前記液室に設けられた、液体を吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、
    前記液室に設けられた、前記エネルギー発生素子の近傍に配置された素子近傍電極と、
    前記液室に設けられた対の電極と、
    前記複数の液室に連通する供給口と、
    を具えた液体吐出ヘッドの制御方法であって、
    前記液室において、前記素子近傍電極と前記対の電極との間の気泡を検知するための検知工程と、
    前記検知工程で気泡を検知したとき、当該検知した液室に対して前記空隙を介して隣接する前記液室から液体の流れを生じさせる発生工程と、
    を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの制御方法。