JP2016208512A - 並列rc回路イコライザ - Google Patents

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Abstract

【課題】表面実装RCイコライザデバイスの共振周波数および有用周波数範囲を増大させるための装置および方法を提供すること。【解決手段】本開示の主題は、一般的に知られているそのようなRCイコライザデバイスの改善される動作特性を提供することを、そのようなデバイスに対する内部終端点および外部終端点を、組み立てられるデバイスの横方向の一部分に沿って再位置決めする、逆幾何配置を実装することにより行う。そのような逆幾何配置は、等価直列インダクタンス(ESL)の低減を実現して、増大した共振周波数および有用周波数範囲を提供することにより、改善を達成する。【選択図】図5

Description

優先権主張
[001]本出願は、本明細書に参照によりすべての目的のために組み込まれる、「PARALLEL RC CIRCUIT EQUALIZERS(並列RC回路イコライザ)」という名称の、2015年4月20日に出願され、米国特許出願第62/149,968号を割り当てられた、先に出願の米国仮特許出願の利益を主張するものである。
[002]本開示の主題は、表面実装可能ガラスサンドイッチフレックス終端の(flex−terminated)RC回路に関する。詳細には、本開示の主題は、等価直列インダクタンス(ESL)の低減を実現して、増大した共振周波数および有用周波数範囲を提供する、そのような表面実装デバイスにおける改善に関する。それにより、イコライザは、光デバイスで使用されるとき、周波数依存性を補償するために、より良好に、より低い周波数を減衰させ、より高い周波数を強調することが可能となる。
[003]回路イコライザは、他の用途の中でも特に、プリント回路アセンブリ上の導体を介した信号損失および/または劣化の補償としてを含んだ様々な形態で使用され得る。そのようなデバイスは、信号経路のインピーダンス特性を受動的に調節することにより動作し、光送受信器モジュール、広帯域受信器、光送信サブアセンブリ(TOSA)、光受信サブアセンブリ(ROSA)、および様々な他の高周波デバイスを含む、広い範囲の用途での適用可能性を有する。
[004]知られている表面実装可能RCイコライザ回路は、共振周波数および有用周波数範囲を含む問題点に取り組んできたが、現在の望ましい動作要件を満たすデバイスを提供してはいなかった。したがって、増大した共振周波数および有用周波数範囲の両方を可能にするデバイスが提供され得るならば、そのことは有利であることになる。
[005]従来技術で直面し、本開示の主題により取り組まれる、認識される特徴に鑑みて、表面実装可能RCイコライザ回路内の等価直列インダクタンス(ESL)を低減することを実現して、それによって、共振周波数を増大させるとともに、有用周波数範囲をより大きくすることを可能にする、改善された装置および方法が開発されている。
[006]本開示の主題の例示的な実施形態の1つの態様によれば、並列接続RC回路が提供されており、ここでは、終端点が、低減されるESLをRCデバイスに対して提供するように構成されている。本開示の主題の一部の実施形態では、そのような低減されるESLは、組み立てられるデバイスの延びている部分に沿って終端材料を選択的に配置することにより実現される。
[007]本開示の主題の例示的な実施形態の別の態様によれば、並列RCイコライザ回路は、コプレーナ導波路の構造体に基づいて構成され得る。一部のそのような実施形態では、低減されるESLは、中央に位置決めされ延びている接地終端を含むことにより実現され得る。そのような実施形態では、接地終端は、デバイス上の長手方向の配置されるポート間の中央に位置決めされる終端に対応し得る。
[008]本開示の主題の一部の実施形態の追加的な態様によれば、並列RC回路デバイス内のESLを低減するための方法が開発されており、ここでは、終端材料の選択的な配置、およびそのような終端材料への内部接続が、ESLの所望の低減を生み出し、その結果、共振周波数および有用周波数範囲の両方における改善を可能にする。
[009]本開示の主題の1つの例示的な実施形態は、相対的に増大した共振周波数および有用周波数範囲を有する並列RC回路イコライザに関する。そのような例示的なイコライザは、好ましくは、モノリシック基板と、コンデンサと、第1および第2の端子層と、抵抗器と、そのような抵抗器に関連付けられる少なくとも1つの接続端子とを備える。そのような端子層およびそのような少なくとも1つの接続端子のそのような例示的な配置構成は、そのようなコンデンサの低減される等価直列インダクタンスを結果として生じさせ、それにより、抵抗器/コンデンサの組合せ回路の共振周波数および有用周波数範囲を相対的に増大させる。
[0010]前述の例示的な実施形態では、好ましくは、そのようなモノリシック基板は、少なくとも上部表面、およびそのような基板のそのような上部表面に沿った少なくとも1対の対置する横方向の縁部を有し、そのようなコンデンサは、第1の電極層および第2の電極層を有し、両方の電極層は、そのような基板のそのような上部表面に実装され、誘電体により分離され、そのような第1の端子層は、そのような第1の電極層に接続され、そのような基板のそのような上部表面に、その基板のそのような横方向の縁部のうちの1つの少なくとも一部分に沿って位置設定され、そのような第2の端子層は、そのような第2の電極層に接続され、そのような基板のそのような上部表面に、そのような第1の端子層に対置したその基板のそのような横方向の縁部の少なくとも一部分に沿って位置設定され、そのような抵抗器は、そのような基板上部表面に、そのようなコンデンサに並列に接続される状態で支持される。
[0011]前述の変形形態では、カバーが、そのような基板の上方に含まれてよく、終端の対が、そのような基板の両方の横方向の側に設けられ、それぞれそのような第1および第2の端子層に接続され得、そのことにより、そのようなイコライザは、支持する表面にそのような終端を直接、実装することによって表面実装可能である。さらなる変形形態では、そのようなカバーが、ガラスカバーを含んでも、およびそのような終端が、フレキシブル終端(flexible termination)を含んでもよい。
[0012]さらに他の変形形態では、そのようなフレキシブル終端は、そのようなコンデンサの端部分を包むフレキシブル高分子材料を含み得る。それらの一部の変形形態では、そのようなフレキシブル終端のうちの1つが、そのようなコンデンサのそのような第1の電極層に接続されるそのような第1の端子層を、そのような抵抗器に関連付けられるそのような少なくとも1つの接続端子と結合し得る。他の変形形態では、そのようなフレキシブル終端のうちの1つが、そのようなコンデンサのそのような第2の電極層に接続されるそのような第2の端子層と結合し得る。
[0013]前述の例示的なイコライザ実施形態のさらに他の代替的配置構成では、そのようなコンデンサは、酸窒化ケイ素(SiON)コンデンサまたはタンタルコンデンサを含んでよく、そのような抵抗器は、窒化タンタル(TaN)抵抗器または酸化ルテニウム抵抗器を含み得る。前述の一部の例示的な実施形態では、そのようなイコライザは、そのような基板の両方の横方向の側における終端のそのような対間に約50Ωのインピーダンスを有し得る。
[0014]他の変形形態では、そのような例示的なイコライザは、そのような基板の上方のガラスカバーと、そのようなイコライザが表面実装可能であるようにそのような基板の両方の横方向の側に、それぞれそのような第1および第2の端子層に接続される、フレキシブル終端の対とをさらに含んでよく、そのようなフレキシブル終端は、そのようなコンデンサの端部分を包むフレキシブル高分子材料を含み、そのようなフレキシブル終端の一方は、そのようなコンデンサのそのような第1の電極層に接続されるそのような第1の端子層を、そのような抵抗器に関連付けられるそのような少なくとも1つの接続端子と結合し、そのようなフレキシブル終端の他方は、そのようなコンデンサのそのような第2の電極層に接続されるそのような第2の端子層と結合する。
[0015]さらに別の本開示の例示的な実施形態では、並列RC回路イコライザは、好ましくは、相対的に増大した共振周波数および有用周波数範囲を有する。好ましくは、そのようなイコライザは、モノリシック基板であって、少なくとも上部表面、およびそのような基板のそのような上部表面に沿った少なくとも1対の対置する横方向の縁部を有し、そのような基板が、その基板のそのような対置する横方向の縁部に沿って細長であり、それぞれの対置した端縁部を有する、モノリシック基板と、そのような基板のそのような上部表面に実装されるコンデンサと、そのような基板上部表面に、そのようなコンデンサに並列に接続される状態で支持される抵抗器と、接地に接続され、それぞれそのような基板のそのようなそれぞれの対置した端縁部にまで延在するように、そのような基板のそのような上部表面に支持される、それぞれの導波路要素の対と、そのような基板のそのような上部表面に位置設定され、それぞれそのような基板のそのような上部表面のそのような対置する横方向の縁部の少なくとも一部分に沿って延在する、接地電極の対とを備える。そのような要素およびそのような電極のそのような配置構成は、好ましくは、そのようなコンデンサの低減される等価直列インダクタンスを結果として生じさせ、それにより、抵抗器/コンデンサの組合せ回路の共振周波数および有用周波数範囲を相対的に増大させる。
[0016]前述の例示的な実施形態の代替案では、そのようなイコライザは、そのような基板の上方のカバーと、そのような基板の両方の端部に端部終端の対とをさらに含み得る。好ましくは、そのような端部終端はそれぞれ、それぞれの導波路要素のそのような対に接続され、そのことにより、そのようなイコライザは、支持する表面にそのような終端を直接、実装することによって表面実装可能である。他の変形形態は、そのような基板の少なくとも一部分の周囲で、中央に受け入れられ、接地電極のそのような対と接続する接地終端をさらに含み得る。
[0017]その上さらに、一部の実例では、そのようなカバーが、ガラスカバーを含んでも、ならびに端部終端のそのような対およびそのような接地終端が、フレキシブル終端を含んでもよい。他の実例では、そのようなフレキシブル終端が、フレキシブル高分子材料を含んでもよい。前述の変形形態の一部では、そのようなコンデンサが、酸窒化ケイ素(SiON)コンデンサまたはタンタルコンデンサを含んでも、およびそのような抵抗器が、窒化タンタル(TaN)抵抗器または酸化ルテニウム抵抗器を含んでもよい。
[0018]前述の一部の例示的な実施形態では、そのようなイコライザは、端部終端のそのような対間に約50Ωのインピーダンスを有し得る。
[0019]本開示の主題は、対応する、および/または関連する方法に等しく関係のあるものであるということが、本明細書による完全なる開示から理解されるべきである。好ましくは、並列RC回路イコライザの共振周波数および有用周波数範囲を相対的に増大させるための方法の1つの例示的な実施形態は、モノリシック基板を設けるステップであって、このモノリシック基板が、少なくとも上部表面、およびそのような基板のそのような上部表面に沿った少なくとも1対の対置する横方向の縁部を有し、そのような基板が、その基板のそのような対置する横方向の縁部に沿って細長であり、それぞれの対置した端縁部を有する、ステップと、コンデンサをそのような基板のそのような上部表面に支持するステップと、抵抗器を、そのような基板上部表面に、そのようなコンデンサに並列に、RC回路をそのコンデンサと一緒に形成するように接続される状態で支持するステップと、そのような基板のそのような上部表面に、その基板のそのような対置する横方向の縁部の各々の少なくとも一部分に沿って位置設定される終端材料を設けるステップであって、そのようなコンデンサの低減される等価直列インダクタンスを結果として生じさせ、それにより、抵抗器/コンデンサの組合せ回路の共振周波数および有用周波数範囲を相対的に増大させる、ステップとを含み得る。
[0020]前述の方法の一部の変形形態は、そのような基板上で支持され、そのような基板の中心線に沿って長さ方向で位置調整される、少なくとも1対のコプレーナ導波路要素を設けるステップであって、そのような導波路要素が、直列に、そのようなRC回路の両方の側において受け入れられ、そのようなRC回路からそのような基板のそれぞれの対置した端縁部にまで延在する、ステップをさらに含み得る。一部のそのような変形形態では、終端材料を設けるそのようなステップは、それぞれ、そのような基板のそのような横方向の縁部に沿って位置設定される接地電極の対を設けるステップを含み得る。さらに他の変形形態は、そのような基板の上方にカバーを設けるステップと、そのような基板のそれぞれの対置した端縁部で受け入れられ、それぞれそのような対置した端縁部でそのような導波路要素に接続される、フレキシブル終端の対を設けるステップとをさらに含み得る。
[0021]その上のさらなる変形形態は、少なくとも部分的にそのような基板の周りで受け入れられ、接地電極のそのような対と接続される接地端子を設けるステップもまた含み得る。一部のそのような代替案では、そのようなフレキシブル終端が、フレキシブル高分子材料を含んでも、そのようなコンデンサが、酸窒化ケイ素(SiON)コンデンサおよびタンタルコンデンサのうちの1つを含んでも、ならびにそのような抵抗器が、窒化タンタル(TaN)抵抗器および酸化ルテニウム抵抗器のうちの1つを含んでもよい。
[0022]一部の代替案に対して、本開示の方法は、そのようなイコライザを、支持する表面に表面実装するステップをさらに含み得る。
[0023]他の本開示の変形形態では、そのようなコンデンサは、第1の電極層および第2の電極層を有してよく、そのような電極層の両方が、そのような基板のそのような上部表面に実装され、誘電体により分離され、そのような終端材料が、そのような第1の電極層に接続され、そのような基板のそのような上部表面に、その基板のそのような横方向の縁部のうちの1つの少なくとも一部分に沿って位置設定される、第1の端子層と、そのような第2の電極層に接続され、そのような基板のそのような上部表面に、そのような第1の端子層に対置したその基板のそのような横方向の縁部の少なくとも一部分に沿って位置設定される、第2の端子層とを含み得る。
[0024]さらに他の変形形態は、そのような抵抗器に関連付けられる少なくとも1つの接続端子を設けるステップと、そのような基板の上方にカバーを、ならびにそのような基板の両方の横方向の側に、それぞれそのような第1および第2の端子層に接続される終端の対を設けるステップとをさらに含み得る。
[0025]また、他の変形形態は、そのような基板の上方のガラスカバーと、そのようなイコライザが表面実装可能であるようにそのような基板の両方の横方向の側に、それぞれそのような第1および第2の端子層に接続される、フレキシブル終端の対とをさらに含んでよく、そのようなフレキシブル終端は、そのようなコンデンサの端部分を包むフレキシブル高分子材料を含み、そのようなフレキシブル終端の一方は、そのようなコンデンサのそのような第1の電極層に接続されるそのような第1の端子層を、そのような抵抗器に関連付けられるそのような少なくとも1つの接続端子と結合し、そのようなフレキシブル終端の他方は、そのようなコンデンサのそのような第2の電極層に接続されるそのような第2の端子層と結合する。
[0026]本開示の主題の追加的な実施形態が、本明細書の詳細な説明に記載され、またはその詳細な説明から当業者に明らかになろう。また、本明細書の具体的に例解、参照、および論考される、特徴および要素に対する、修正形態および変形形態が、主題の様々な実施形態および使用において、主題の趣旨および範囲から逸脱することなく実践され得るということが、さらに認識されるべきである。変形形態は、例解、参照、または論考されるものの、等価の手段、特徴、またはステップの置換形態、および様々な部品、特徴、ステップ、または類するものの、機能的、動作的、または位置的な逆転形態を含み得るが、それらに限定されない。
[0027]その上さらに、本開示の主題の、異なる実施形態、ならびに異なる現在の好ましい実施形態は、本開示の特徴、ステップ、もしくは要素、またはそれらの等価物の、様々な組合せまたは構成を(図で明示的に示されない、またはそのような図の詳細な説明で説述されない、特徴、部品、もしくはステップの組合せ、またはそれらの構成を含めて)含み得るということが理解されるべきである。概要が述べられるセクションで必ずしも明示されない、本開示の主題の追加的な実施形態は、上記の概要が述べられる趣意で参照される特徴、構成要素、もしくはステップ、および/または本出願において他の形で論考されるような他の特徴、構成要素、もしくはステップの態様の様々な組合せを含み、組み込み得る。当業者であれば、そのような実施形態の特徴および態様、ならびに他のものを、本明細書の残りの部分を検討することで、より良好に認識するであろう。
[0028]本開示の主題の完全および実施可能な開示であって、その主題の最良の様態を含み、当業者に向けられるものが、本明細書に記載され、本明細書では、添付される図への参照を行う。
[0029]以前に知られている抵抗器/並列接続コンデンサ(RC)構築物の内部構成を例解する図である。 [0030]ガラスカバーおよびフレキシブル終端を含む図1の並列RCデバイスを例解する図である。 [0031]図1および図2で例解される、以前に知られているデバイスに関係付けられる応答曲線を例解するグラフである。 [0032]図1および図2で例解される、以前に知られているデバイスに対する等価回路線図を例解する図である。 [0033]本開示の主題による、抵抗器/並列接続コンデンサの内部構成の例示的な実施形態を例解する図である。 [0034]本開示の主題による、ガラスカバーおよびフレキシブル終端を含む図5によって構築される例示的な並列RCデバイスを例解する図である。 [0035]図5および図6で例解されるデバイスに関係付けられる応答曲線を例解するグラフである。 [0036]図5および図6で例解される例示的なデバイスに対する等価回路線図を例解する図である。 [0037]本開示の主題の代替的実施形態によって構築される、並列RCデバイスの例示的な実施形態を例解する図である。 [0038]本開示の主題による、ガラスカバーおよびフレキシブル終端を含む図9によって構築される例示的な並列RCデバイスを例解する図である。 [0039]図9および図10で例解される例示的なデバイスに関係付けられる応答曲線を例解するグラフである。 [0040]図9および図10で例解される例示的なデバイスに対する等価回路線図を例解する図である。
[0041]本明細書、および添付される図面の全体を通して参照符号を繰り返し使用することは、同じまたは類似的な特徴もしくは要素を表すことが意図される。
[0042]「発明の概要」のセクションで論考されたように、本開示の主題は、具体的には、等価直列インダクタンス(ESL)の低減を実現して、増大した共振周波数および有用周波数範囲を提供する、表面実装並列接続RCデバイスに対する改善に関わるものである。
[0043]開示される技術の態様の選択される組合せは、本開示の主題の複数の異なる実施形態に対応する。本明細書で提示および論考される例示的な実施形態の各々は、本開示の主題の限定をほのめかすべきものではないということが留意されるべきである。1つの実施形態の一部として例解または説明される、特徴またはステップは、別の実施形態の態様と組み合わせて使用されることが、なおもさらなる実施形態を産するために行われ得る。加えて、ある種の特徴は、同じもしくは同様の機能を実行する、明示的に述べられない同様のデバイスまたは特徴によって置き換えられ得る。
[0044]以降詳細に、主題の並列RC回路イコライザの例示的な現在の好ましい実施形態を参照する。図面を参照すると、図1〜図4は、以前に知られている並列RC回路イコライザ100、200(図1〜図2)を、動作特性曲線300(図3)およびそれらのイコライザに対する関係付けられる等価回路400(図4)とともに例解する。図1でわかるように、RC回路イコライザ100は、コンデンサ104および抵抗器106がその上に実装されるガラス基板102に対応する。
[0045]そのような知られているデバイスによれば、コンデンサ104は、そのコンデンサの第1の電極108を、導体112を介して基板102上の導電性トレース110に結合した酸窒化ケイ素(SiON)コンデンサに対応し得る。当業者により理解されることになるように、コンデンサ104は、第2の電極(見えない)も含み、この第2の電極は、第1の電極108の下方にあり、その第1の電極108とはSiON層(やはり見えない)によって分離される。そのような第2の電極(この視図では見えない)は、抵抗器106の1つの端部に、および接続端子114に結合される。抵抗器106は、その第2の端部で、接続端子116にさらに結合される。
[0046]図2を参照すると、ガラスカバーおよびフレキシブル終端204、206が追加された図1の並列RCデバイス200が例解される。フレキシブル終端204、206は、コンデンサ200の端部分208、210を包み、端子110、116を一体に結合し、外部接続点を接続端子114に対して設ける、フレキシブル高分子材料に対応し得る。
[0047]図3を参照すると、図1および図2で例解されるデバイスに関係付けられる応答曲線のグラフ300が例解される。当業者であれば、表記S11およびS21が、それぞれ、RC回路に対する、反射係数および順方向透過係数を表すということを認識するであろう。図3の精査から、シミュレートされるモデルに対する順方向透過係数S21M、および図4で例解される等価回路の順方向透過係数S21Eは、最小の変動を伴って同じ軌跡をたどるということが気付かれよう。同様に、シミュレートされるモデルに対する反射係数S11M、および等価回路の反射係数S11Eもやはり、軽度の変動のみを伴って同じ軌跡をたどる。
[0048]当業者により理解されるように、S11およびS21の値は、図3で例解されるように、周波数対減衰または利得の観点でプロットされる。図3の精査は、図1および図2で例解されるデバイスに対する共振周波数が、周波数スケールにおいてはかなり低く、一方で、使用可能周波数範囲は、共振より上で急速に減少し始めるということを示す。例として、この例の周波数スケールは、100〜300,000MHzに対応し、したがって、共振点は、約3,000MHzより下である。
[0049]図4を参照すると、図1および図2で例解されるデバイスに対する等価回路線図が例解される。上に記され、図3で例解されるように、等価回路に対する応答曲線は、良好に、回路のシミュレーションと同じ軌跡をたどる。1つの例では、インダクタ402および404に対する値は、0.287nHと等価であり、その数値に対応した。同様に、コンデンサ408および410に対する値は、0.062pFに等しく、その数値に対応した。インダクタ406は、0.071nHという値を有し、一方で、コンデンサ412は、17.684pFという値を有し、抵抗器414は値22.084Ωを有した。そのような値は、50Ωの特性インピーダンス(Z)を、入力ポート416および出力ポート418の両方で生み出した。
[0050]図5を参照すると、本開示の主題による、RC回路イコライザ500の抵抗器506および並列接続コンデンサ504の内部構成が例解される。図1で例解されるデバイス、および本開示の主題によって構築される図5のデバイスによる比較から、内部構成要素は、接続端子520、514、512、518の配置構成の例外を伴うことを除いて、いくつかの類似点を有するということが気付かれよう。本開示の主題によれば、RCイコライザ500は、図1で例解されるRCイコライザから、横手方向の幾何配置で配置構成される。本明細書でさらに説明されるように、そのような再配置構成は、コンデンサ504の低減されるESLを実現し、そのことによって、RC並列回路の共振周波数ならびに回路の有用周波数範囲を増大させる。
[0051]本開示の主題の一部の例示的な実施形態では、コンデンサ504は、酸窒化ケイ素(SiON)コンデンサとして設けられてよく、一方で抵抗器506は、窒化タンタル(TaN)抵抗器に対応し得る。しかしながら、当業者であれば、コンデンサ504および抵抗器506の両方は、任意の適した材料および構成を使用して設けられ得るということを認識すべきである。例えば、タンタルコンデンサおよび/または酸化ルテニウム抵抗器が使用可能になる。
[0052]図5を引き続き参照すると、いくつかの方途でコンデンサ504は、誘電体(この視図では見えない)によって第2の電極層510とは分離される第1の電極層508が設けられ、両方がガラス基板502の上部表面に実装されるという点で、図1のコンデンサ104と同様の様式で構築されるということが気付かれよう。第1の電極層508には、基板502の、上部表面に、横方向の縁部の一部分に沿って位置設定される端子層520が設けられる。同様に第2の電極510には、第2の電極層510と接触し、端子層520に対置した基板502の上部表面の横方向の縁部に沿って位置設定される端子層514が設けられる。
[0053]図6を参照すると、ガラスカバー602およびフレキシブル終端604、606が追加された並列RCデバイス600(図5のデバイス500)が例解される。フレキシブル終端604、606は、それぞれ、コンデンサの端部分608、610を包み、端子518、520(図5)を一体に結合し、外部接続点を接続端子614に対して設ける、フレキシブル高分子材料に対応し得る。フレキシブル終端材料の使用が例解されているが、他の知られている終端材料もまた使用され得るということが認識されるべきである。
[0054]図7を参照すると、図5および図6で例解される例示的なデバイスに関係付けられる応答曲線のグラフ700が例解される。図7の精査から、シミュレートされるモデルに対する順方向透過係数S21M、および図8で例解される等価回路の順方向透過係数S21Eは、正確に同じ軌跡をたどり、したがって、単一の線S21EMとして例解されるということが気付かれよう。同様に、シミュレートされるモデルに対する反射係数S11M、および等価回路の反射係数S11Eは、やはり正確に同じ軌跡をたどり、単一の線S11EMとして例解される。
[0055]図7の精査は、図5および図6で例解されるデバイスに対する共振周波数が、周波数スケールにおいては図3の曲線300で例解される共振周波数より高く、一方で、使用可能周波数範囲は、はるかに高い周波数で減少することを開始するということを示す。図3で例解される曲線の場合と同じく、この例の周波数スケールは、100〜300,000MHzに対応し、したがって、共振点は、約3,000MHzより上である。
[0056]図8を参照すると、図5および図6で例解される例示的なデバイスに対する等価回路線図が例解される。上に記されるように、および図7で例解されるように、等価回路に対する応答曲線は、正確に回路のシミュレーションと同じ軌跡をたどる。1つの例では、インダクタ802および804に対する値は、0.091nHと等価であり、その数値に対応した。同様に、コンデンサ808および810に対する値は、0.028pFに等しく、その数値に対応した。インダクタ806は0.075nHという値を有し、一方で、コンデンサ812は18.019pFという値を有し、抵抗器814は値22.769Ωを有した。そのような等価回路では、インダクタ806は0.075nHという値を有し、一方で、インダクタ820は0.11nHという値を有した。抵抗器822は0.07Ωという値を有した。図4の等価回路でもやはり得られたように、図8の等価回路は、50Ωの特性インピーダンス(Z)を、入力ポート816および出力ポート818の両方で生み出した。
[0057]図9を参照すると、本開示の主題の代替的実施形態に従って構築される、並列RCデバイス900が例解される。より具体的には、RCデバイス900は、コプレーナ導波路に基づく内部構造体を伴って構築される。図9で例解されるように、コプレーナ導波路構造体は、細長のガラス基板912の上側表面910の中心線908に沿って長さ方向で位置調整される、導波路要素902、904を含む。抵抗器/コンデンサ(RC)構造体914は、2つの導波路要素902、904の間に設けられる。RC構造体914は、2つの導波路902、904と直列に結合される並列RC回路を設けるように構成される。
[0058]接地電極920、922の対が、ガラス基板912の横方向の縁部916、918に沿って位置設定される。接地電極920、922の側縁部は、各々、ガラス基板912の、それらの接地電極のそれぞれの横方向の縁部916、918の横方向の縁部にまで延在して、接続点を、本明細書で他の形で説明される接地端子に対して設ける。
[0059]図10を参照すると、本開示の主題に従ってガラスカバー1002およびフレキシブル終端1004、1006、1008が追加された、図9で例解されるデバイスに従って構築される並列RCデバイス1000が例解される。例示的な構成では、ガラスカバー1002は、ガラス基板1012に、エポキシ層(別個には例解されない)によって固着され得る。1つの例示的な実施形態では、そのようなエポキシ層は、おおよそ10μmの厚さであり得る。接地電極1020、1022は各々、ガラス基板1012の横方向の縁部に近接する、それらの接地電極の横方向の縁部が、コプレーナ導波路RCデバイス1000に対する接地端子として機能するフレキシブル終端1008により接触されるように配置構成される。
[0060]さらに導波路要素902、904(図9)は、ガラス基板1012の長手方向の端部に近接する、それらの導波路要素の長手方向の端部が、それらがそれぞれフレキシブル終端1004、1006により接触され得るように配置構成されるように配置構成される。そのような様式ではフレキシブル終端1004、1006は、それぞれ、RCデバイス1000に対する、入力ポートおよび出力ポートとして機能する。
[0061]図11は、図9および図10で例解される例示的な代替的実施形態デバイスに関係付けられる応答曲線のグラフ1100を例解する。図11の精査から、モデリングされるデバイスのS21曲線S21M、および図12で例解される等価回路のS21曲線S21Eは、互いにほとんど正確に同じ軌跡をたどるということが留意されよう。さらに、本開示の主題のそのような実施形態では、使用可能周波数範囲は、図5〜図8で例解される実施形態の使用可能周波数範囲よりいくらか高く、かつ図1〜図4で例解される以前に知られているデバイスの使用可能周波数範囲より有意に高く拡張するということが認識されるべきである。
[0062]図12を参照すると、図9および図10で例解される例示的な代替的実施形態デバイスに対する等価回路線図が例解される。上に記され、図11で例解されるように、等価回路に対する応答曲線は、互いにほとんど正確に同じ軌跡をたどる。1つの例では、伝送線インダクタ1202に対する値は5.371nHであった。そのような例では、伝送線インダクタ1204は4.918nHという値を有した。同様に、コンデンサ1208および1210に対する値は、0.064pFに等しく、その数値に対応した。抵抗器1222は0.0841Ωという値を有し、抵抗器1214は35.719Ωという値を有した。図8の等価回路でもやはり得られたように、図12の等価回路は、50Ωの特性インピーダンス(Z)を、入力ポート1216および出力ポート1218の両方で生み出した。
[0063]本開示の主題が、詳細に、その主題の特定の実施形態に関して説明されたが、当業者であれば、前述のことの理解に至ることで、そのような実施形態に対する改変形態、そのような実施形態の変形形態、およびそのような実施形態に対する等価形態を容易に生み出し得るということが認識されよう。したがって、本開示の範囲は、限定としてではなく、例としてのものであり、主題開示は、当業者に容易に明らかになるような、本開示の主題に対するそのような修正形態、変形形態、および/または追加形態を含むことを排除しない。
100 並列RC回路イコライザ、RC回路イコライザ
102 ガラス基板、基板
104 コンデンサ
106 抵抗器
108 第1の電極
110 導電性トレース、端子
112 導体
114 接続端子
116 接続端子、端子
200 並列RC回路イコライザ、並列RCデバイス、コンデンサ
204、206 フレキシブル終端
208、210 端部分
300 動作特性曲線、応答曲線のグラフ、曲線
400 等価回路
402、404、406 インダクタ
408、410、412 コンデンサ
414 抵抗器
416 入力ポート
418 出力ポート
500 RC回路イコライザ、RCイコライザ、デバイス
502 ガラス基板、基板
504 並列接続コンデンサ、コンデンサ
506 抵抗器
508 第1の電極層
510 第2の電極層、第2の電極
512 接続端子
514 接続端子、端子層
518 接続端子、端子
520 接続端子、端子層、端子
600 並列RCデバイス
602 ガラスカバー
604、606 フレキシブル終端
608、610 端部分
614 接続端子
700 応答曲線のグラフ
802、804、806 インダクタ
808、810、812 コンデンサ
814 抵抗器
816 入力ポート
818 出力ポート
820 インダクタ
822 抵抗器
900 並列RCデバイス、RCデバイス
902、904 導波路要素、導波路
908 中心線
910 上側表面
912 ガラス基板
914 抵抗器/コンデンサ(RC)構造体
916、918 横方向の縁部
920、922 接地電極
1000 並列RCデバイス、コプレーナ導波路RCデバイス、RCデバイス
1002 ガラスカバー
1004、1006、1008 フレキシブル終端
1012 ガラス基板
1020、1022 接地電極
1100 応答曲線のグラフ
1202、1204 伝送線インダクタ
1208、1210 コンデンサ
1214 抵抗器
1216 入力ポート
1218 出力ポート
1222 抵抗器

Claims (31)

  1. 相対的に増大した共振周波数および有用周波数範囲を有する並列抵抗器/コンデンサ(RC)回路イコライザであって、
    モノリシック基板であって、少なくとも上部表面、および前記基板の前記上部表面に沿った少なくとも1対の対置する横方向の縁部を有する、モノリシック基板と、
    第1の電極層および第2の電極層を有するコンデンサであって、両方の電極層が、前記基板の前記上部表面に実装され、誘電体により分離される、コンデンサと、
    前記第1の電極層に接続され、前記基板の前記上部表面に、前記基板の前記横方向の縁部のうちの1つの少なくとも一部分に沿って位置設定される、第1の端子層と、
    前記第2の電極層に接続され、前記基板の前記上部表面に、前記第1の端子層に対置した前記基板の前記横方向の縁部の少なくとも一部分に沿って位置設定される、第2の端子層と、
    前記基板上部表面に、前記コンデンサに並列に接続される状態で支持される抵抗器と、
    前記抵抗器に関連付けられる少なくとも1つの接続端子と
    を備え、
    前記端子層および前記少なくとも1つの接続端子の前記配置構成が、前記コンデンサの低減される等価直列インダクタンスを結果として生じさせ、それにより、前記抵抗器/コンデンサの組合せ回路の前記共振周波数および有用周波数範囲を相対的に増大させる、
    並列RC回路イコライザ。
  2. 前記基板の上方のカバーと、
    終端の対であって、前記基板の両方の横方向の側に、それぞれ前記第1および第2の端子層に接続され、そのことにより、当該イコライザが、支持する表面に前記終端を直接、実装することによって表面実装可能である、終端の対と
    をさらに含む、請求項1に記載の並列RC回路イコライザ。
  3. 前記カバーが、ガラスカバーを含む、請求項2に記載の並列RC回路イコライザ。
  4. 前記終端が、フレキシブル終端を含む、請求項2に記載の並列RC回路イコライザ。
  5. 前記フレキシブル終端が、前記コンデンサの端部分を包むフレキシブル高分子材料を含む、請求項4に記載の並列RC回路イコライザ。
  6. 前記フレキシブル終端のうちの1つが、前記コンデンサの前記第1の電極層に接続される前記第1の端子層を、前記抵抗器に関連付けられる前記少なくとも1つの接続端子と結合する、請求項5に記載の並列RC回路イコライザ。
  7. 前記フレキシブル終端のうちの1つが、前記コンデンサの前記第2の電極層に接続される前記第2の端子層と結合する、請求項5に記載の並列RC回路イコライザ。
  8. 前記コンデンサが、酸窒化ケイ素(SiON)コンデンサを含み、
    前記抵抗器が、窒化タンタル(TaN)抵抗器を含む、
    請求項1に記載の並列RC回路イコライザ。
  9. 前記コンデンサが、タンタルコンデンサを含み、
    前記抵抗器が、酸化ルテニウム抵抗器を含む、
    請求項1に記載の並列RC回路イコライザ。
  10. 前記基板の両方の横方向の側における終端の前記対間に約50Ωのインピーダンスを有する、請求項2に記載の並列RC回路イコライザ。
  11. 前記基板の上方のガラスカバーと、
    当該イコライザが表面実装可能であるように前記基板の両方の横方向の側に、それぞれ前記第1および第2の端子層に接続される、フレキシブル終端の対と
    をさらに含み、
    前記フレキシブル終端が、前記コンデンサの端部分を包むフレキシブル高分子材料を含み、
    前記フレキシブル終端の一方が、前記コンデンサの前記第1の電極層に接続される前記第1の端子層を、前記抵抗器に関連付けられる前記少なくとも1つの接続端子と結合し、
    前記フレキシブル終端の他方が、前記コンデンサの前記第2の電極層に接続される前記第2の端子層と結合する、
    請求項1に記載の並列RC回路イコライザ。
  12. 相対的に増大した共振周波数および有用周波数範囲を有する並列抵抗器/コンデンサ(RC)回路イコライザであって、
    モノリシック基板であって、少なくとも上部表面、および前記基板の前記上部表面に沿った少なくとも1対の対置する横方向の縁部を有し、前記基板の前記対置する横方向の縁部に沿って細長であり、それぞれの対置した端縁部を有する、モノリシック基板と、
    前記基板の前記上部表面に実装されるコンデンサと、
    前記基板上部表面に、前記コンデンサに並列に接続される状態で支持される抵抗器と、
    前記コンデンサおよび前記抵抗器に接続され、それぞれ、前記基板の前記それぞれの対置した端縁部にまで延在するように、前記基板の前記上部表面に支持される、それぞれの導波路要素の対と、
    前記基板の前記上部表面に位置設定され、それぞれ、前記基板の前記上部表面の前記対置する横方向の縁部の少なくとも一部分に沿って延在する、接地電極の対と
    を備え、
    前記要素および前記電極の前記配置構成が、前記コンデンサの低減される等価直列インダクタンスを結果として生じさせ、それにより、前記抵抗器/コンデンサの組合せ回路の前記共振周波数および有用周波数範囲を相対的に増大させる、
    並列RC回路イコライザ。
  13. 前記基板の上方のカバーと、
    端部終端の対であって、前記基板の両方の端部に、それぞれ、それぞれの導波路要素の前記対に接続され、そのことにより、当該イコライザが、支持する表面に前記終端を直接、実装することによって表面実装可能である、端部終端の対と
    をさらに含む、請求項12に記載の並列RC回路イコライザ。
  14. 前記基板の少なくとも一部分の周囲で、中央に受け入れられ、接地電極の前記対と接続する接地終端をさらに含む、請求項13に記載の並列RC回路イコライザ。
  15. 前記カバーが、ガラスカバーを含み、
    端部終端の前記対および前記接地終端が、フレキシブル終端を含む、
    請求項14に記載の並列RC回路イコライザ。
  16. 前記フレキシブル終端が、フレキシブル高分子材料を含む、請求項15に記載の並列RC回路イコライザ。
  17. 前記コンデンサが、酸窒化ケイ素(SiON)コンデンサを含み、
    前記抵抗器が、窒化タンタル(TaN)抵抗器を含む、
    請求項12に記載の並列RC回路イコライザ。
  18. 前記コンデンサが、タンタルコンデンサを含み、
    前記抵抗器が、酸化ルテニウム抵抗器を含む、
    請求項12に記載の並列RC回路イコライザ。
  19. 端部終端の前記対間に約50Ωのインピーダンスを有する、請求項13に記載の並列RC回路イコライザ。
  20. 並列抵抗器/コンデンサ(RC)回路イコライザの共振周波数および有用周波数範囲を相対的に増大させるための方法であって、
    モノリシック基板を設けるステップであって、前記モノリシック基板が、少なくとも上部表面、および前記基板の前記上部表面に沿った少なくとも1対の対置する横方向の縁部を有し、前記基板が、前記基板の前記対置する横方向の縁部に沿って細長であり、それぞれの対置した端縁部を有する、ステップと、
    コンデンサを前記基板の前記上部表面に支持するステップと、
    抵抗器を、前記基板上部表面に、前記コンデンサに並列に、RC回路を前記コンデンサと一緒に形成するように接続される状態で支持するステップと、
    前記基板の前記上部表面に、前記基板の前記対置する横方向の縁部の各々の少なくとも一部分に沿って位置設定される終端材料を設けるステップであって、前記コンデンサの低減される等価直列インダクタンスを結果として生じさせ、それにより、前記抵抗器/コンデンサの組合せ回路の前記共振周波数および有用周波数範囲を相対的に増大させる、ステップと
    を含む、方法。
  21. 前記基板上で支持され、前記基板の中心線に沿って長さ方向で位置調整される、少なくとも1対のコプレーナ導波路要素を設けるステップであって、前記導波路要素が、直列に、前記RC回路の両方の側において受け入れられ、前記RC回路から前記基板の前記それぞれの対置した端縁部にまで延在する、ステップをさらに含む、請求項20に記載の方法。
  22. 終端材料を前記設けるステップが、それぞれ、前記基板の前記横方向の縁部に沿って位置設定される接地電極の対を設けるステップを含む、請求項21に記載の方法。
  23. 前記基板の上方にカバーを設けるステップと、
    前記基板のそれぞれの対置した端縁部で受け入れられ、それぞれ前記対置した端縁部で前記導波路要素に接続される、フレキシブル終端の対を設けるステップと
    をさらに含む、請求項22に記載の方法。
  24. 少なくとも部分的に前記基板の周りで受け入れられ、接地電極の前記対と接続される接地端子を設けるステップをさらに含む、請求項23に記載の方法。
  25. 前記フレキシブル終端が、フレキシブル高分子材料を含み、
    前記コンデンサが、酸窒化ケイ素(SiON)コンデンサおよびタンタルコンデンサのうちの1つを含み、
    前記抵抗器が、窒化タンタル(TaN)抵抗器および酸化ルテニウム抵抗器のうちの1つを含む、
    請求項23に記載の方法。
  26. 前記イコライザを、支持する表面に表面実装するステップをさらに含む、請求項24に記載の方法。
  27. 前記コンデンサが、第1の電極層および第2の電極層を有し、前記電極層の両方が、前記基板の前記上部表面に実装され、誘電体により分離され、
    前記終端材料が、前記第1の電極層に接続され、前記基板の前記上部表面に、前記基板の前記横方向の縁部のうちの1つの少なくとも一部分に沿って位置設定される、第1の端子層と、前記第2の電極層に接続され、前記基板の前記上部表面に、前記第1の端子層に対置した前記基板の前記横方向の縁部の少なくとも一部分に沿って位置設定される、第2の端子層とを含む、
    請求項20に記載の方法。
  28. 前記抵抗器に関連付けられる少なくとも1つの接続端子を設けるステップと、
    前記基板の上方にカバーを、ならびに前記基板の両方の横方向の側に、それぞれ前記第1および第2の端子層に接続される終端の対を設けるステップと
    をさらに含む、請求項27に記載の方法。
  29. 前記イコライザを、支持する表面に表面実装するステップをさらに含む、請求項28に記載の方法。
  30. 前記コンデンサが、酸窒化ケイ素(SiON)コンデンサおよびタンタルコンデンサのうちの1つを含み、
    前記抵抗器が、窒化タンタル(TaN)抵抗器および酸化ルテニウム抵抗器のうちの1つを含む、
    請求項28に記載の方法。
  31. 前記基板の上方のガラスカバーと、
    前記イコライザが表面実装可能であるように前記基板の両方の横方向の側に、それぞれ前記第1および第2の端子層に接続される、フレキシブル終端の対と
    をさらに含み、
    前記フレキシブル終端が、前記コンデンサの端部分を包むフレキシブル高分子材料を含み、
    前記フレキシブル終端の一方が、前記コンデンサの前記第1の電極層に接続される前記第1の端子層を、前記抵抗器に関連付けられる前記少なくとも1つの接続端子と結合し、
    前記フレキシブル終端の他方が、前記コンデンサの前記第2の電極層に接続される前記第2の端子層と結合する、
    請求項27に記載の方法。
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