JP2016188932A - ペリクル接着剤除去装置及びペリクル接着剤除去方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、大量の液体を要せずに、フォトマスクの汚染を防止しつつ、効率的に、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去することが可能な、ペリクル接着剤除去装置及びペリクル接着剤除去方法を提供することを目的とする。【解決手段】 フォトマスクを保持するフォトマスク保持機構と、接着剤除去テープの背面を押圧体によって押圧することにより接着剤除去テープの主面をフォトマスクのペリクル接着剤が残る箇所に接触させるテープ押圧機構と、接着剤除去テープを供給するテープ供給機構と、接着剤除去テープを回収するテープ回収機構と、を備えたペリクル接着剤除去装置を用い、ペリクル接着剤を、剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープに付着させて、フォトマスクから除去することにより、上記課題を解決する。【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体製造用フォトマスク、液晶ディスプレイ製造用フォトマスク等に設けられた防塵用ペリクルを剥離した際に、フォトマスクの主面に残るペリクル接着剤を除去する装置及び方法に関する。

フォトマスクは、半導体や液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等の被転写体に設けられたレジストに、フォトリソグラフィー技術を用いてマスクパターンを転写する際の原版であり、そのマスクパターンは微細化が年々進んでいる。

ここで、フォトマスクの主面（マスクパターンが形成されている面）の上に異物が付着していると、マスクパターンを転写する際に、この異物の像が被転写体のレジストに結像してしまい、レジストパターンに異常を引き起こす。この異物付着による不具合を防止するために、フォトマスクのマスクパターンを覆うようにペリクルが装着される。
図３は、ペリクル２を装着したフォトマスク１について示す図であり、（ａ）は概略平面図を、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線の概略断面図を示す。

図３に示すように、ペリクル２は、ペリクル膜３、ペリクルフレーム４、ペリクル接着剤５から構成され、ペリクルフレーム４は、平面視略矩形の枠状形態をしており、フォトマスク１の主面上にペリクル接着剤５で貼り付けられて固定されている。ペリクル接着剤５を構成する材料としては、アクリル系、シリコーン系、エポキシ系、スチレン系など多岐にわたる材料が使用されている。

ペリクル膜３は、ペリクルフレーム４によって、フォトマスク１の主面から数ｍｍ離れた位置に張られている。それゆえ、ペリクル膜３の上に異物が付着しても、その高さ方向の位置はフォトマスク１の主面から離れていることから、マスクパターンの転写において焦点が合わず、異物の像が被転写体のレジストに結像することを防止できる。
なお、フォトマスク１は、パターン転写装置（露光装置とも呼ぶ）において、その主面を下側（重力方向）に向けた状態でパターン転写される。

フォトマスク１は、使用により生成または蓄積される異物などの除去のために、定期的に洗浄される。そこで、ペリクル２をフォトマスク１から剥離することになるが、ペリクルフレーム４をフォトマスク１から剥離する際には、図４、５に示すように、ペリクル接着剤５がフォトマスク１に一部残存してしまう。
ここで、図４は、ペリクル接着剤について示す要部拡大図であり、（ａ）はペリクル剥離前の状態を、（ｂ）はペリクル剥離後の状態を、それぞれ示す。また、図５は、ペリクルを剥がした後のフォトマスク１について示す図であり、（ａ）は概略平面図を、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線の概略断面図を示す。

フォトマスク上に残るペリクル接着剤を除去する方法として、従来においては、硫酸水溶液や、硫酸と過酸化水素水の混合水溶液などによる洗浄で溶解除去していた。
しかしながら、パターン転写に用いる露光波長の短波長化に伴い、洗浄後のフォトマスクに残る微量な硫酸イオンが核となって、フォトマスク使用中に、ヘイズと呼ばれる曇りが生じやすくなるため、硫酸を含む薬液によるフォトマスクの洗浄は避けられる方向にある。
一方、フォトマスク上に残るペリクル接着剤を有機溶剤に浸漬させても、膨潤はするものの完全には溶解せず、浸漬だけでフォトマスク上から完全に除去することは困難であった。

そこで、フォトマスク上に残るペリクル接着剤を除去する方法として、マスクパターンを保護した状態で洗浄液をかけながら、さらにブラシで擦り落とす方法が提案されている。使用したブラシには洗浄液を噴射して清浄度を保つとしている（特許文献１）。

また、フォトマスクの主面全体を流体で被覆しながら、ペリクル接着剤が残る箇所近辺に、流体の流れを遮る、或いは流れが滞留する隔離領域を設け、この領域内で、ペリクル接着剤を剥離若しくは溶解する薬液を滴下しながら摺動体をペリクル接着剤に押し当て、揺動させて除去する方法が提案されている（特許文献２）。

特開２０１０−２４３７９６号公報 特開２０１２−２３７８３８号公報

しかしながら、上記の特許文献１、２に記載の方法では、大量に発生する廃液処理の問題がある。
また、上記の特許文献１に記載の方法では、洗浄液の噴射だけでペリクル接着剤が付着したブラシの清浄度を保つことは、困難であると推測される。そして、汚れたブラシを使用すれば、フォトマスクを逆に汚してしまうおそれがある。
また、上記の特許文献２に記載の方法では、摺動体を直接フォトマスク上のペリクル接着剤に接触させるため、除去処理に応じて摺動体が汚れてしまう。そして、この汚れた摺動体を用いることで、フォトマスクを逆に汚してしまう欠点がある。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、大量の液体を要せずに、フォトマスクの汚染を防止しつつ、効率的に、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去することが可能な、ペリクル接着剤除去装置及びペリクル接着剤除去方法を提供することを目的とする。

すなわち、本発明の請求項１に係る発明は、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去する装置であって、前記フォトマスクを保持するフォトマスク保持機構と、接着剤除去テープの背面を押圧体によって押圧することにより前記接着剤除去テープの主面を前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させるテープ押圧機構と、前記接着剤除去テープを供給するテープ供給機構と、前記接着剤除去テープを回収するテープ回収機構と、を備えており、前記ペリクル接着剤を、剥離用薬液を含浸させた前記接着剤除去テープに付着させて、前記フォトマスクから除去することを特徴とするペリクル接着剤除去装置である。

また、本発明の請求項２に係る発明は、前記フォトマスク保持機構が、前記フォトマスクのマスクパターンが形成された面を重力方向に向けて、前記フォトマスクを保持することを特徴とする請求項１に記載のペリクル接着剤除去装置である。

また、本発明の請求項３に係る発明は、前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させる薬液含浸機構を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペリクル接着剤除去装置である。

また、本発明の請求項４に係る発明は、前記押圧体から前記剥離用薬液を浸み出させて、
前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させることを特徴とする請求項３に記載のペリクル接着剤除去装置である。

また、本発明の請求項５に係る発明は、前記押圧体を摺動させる摺動機構を備え、前記接着剤除去テープの背面で前記押圧体を摺動させることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置である。

また、本発明の請求項６に係る発明は、前記接着剤除去テープが前記フォトマスクに接触する位置を、前記ペリクル接着剤が残る箇所に沿って移動させる移動機構を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置である。

また、本発明の請求項７に係る発明は、前記フォトマスクに残る前記ペリクル接着剤を加熱する加熱機構を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置である。

また、本発明の請求項８に係る発明は、前記テープ押圧機構、前記テープ供給機構、及び、前記テープ回収機構を含む一組のテープ駆動機構を２組以上備え、前記２組以上の各テープ駆動機構によって駆動される各接着剤除去テープの主面を、前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置である。

また、本発明の請求項９に係る発明は、前記２組以上のテープ駆動機構のうち、少なくとも一組のテープ駆動機構によって駆動される接着剤除去テープが、前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態のものであり、他の一組のテープ駆動機構によって駆動される、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを、前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させた後に、前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープの主面を、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを接触させた箇所に接触させることを特徴とする請求項８に記載のペリクル接着剤除去装置である。

また、本発明の請求項１０に係る発明は、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去する方法であって、剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープの背面を、押圧体によって押圧することにより、前記接着剤除去テープの主面を、前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させ、前記ペリクル接着剤を前記接着剤除去テープに付着させて、前記フォトマスクから除去することを特徴とするペリクル接着剤除去方法である。

また、本発明の請求項１１に係る発明は、前記フォトマスクのマスクパターンが形成された面を重力方向に向けた状態で、前記ペリクル接着剤を前記フォトマスクから除去することを特徴とする請求項１０に記載のペリクル接着剤除去方法である。

また、本発明の請求項１２に係る発明は、前記押圧体から前記剥離用薬液を浸み出させて、前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させることを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載のペリクル接着剤除去方法である。

また、本発明の請求項１３に係る発明は、前記接着剤除去テープの背面で前記押圧体を摺動させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１２のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法である。

また、本発明の請求項１４に係る発明は、前記接着剤除去テープが前記フォトマスクに接触する位置を、前記ペリクル接着剤が残る箇所に沿って移動させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１３のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法である。

また、本発明の請求項１５に係る発明は、前記フォトマスクに残る前記ペリクル接着剤を加熱することを特徴とする請求項１０乃至請求項１４のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法である。

また、本発明の請求項１６に係る発明は、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープの主面を前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させた後に、前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープの主面を、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを接触させた箇所に接触させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１５のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法である。

本発明によれば、大量の液体を要せずに、フォトマスクの汚染を防止しつつ、効率的に、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去することができる。

本発明に係るペリクル接着剤除去装置の一例について示す図 本発明に係るペリクル接着剤除去装置の他の例について示す図 ペリクルを装着したフォトマスクについて示す図 ペリクル接着剤について示す要部拡大図 ペリクルを剥がした後のフォトマスクについて示す図

（第１の実施形態）
図１は、本発明に係るペリクル接着剤除去装置の一例について示す図である。
図１に示すように、ペリクル接着剤除去装置１０は、フォトマスク１を保持するフォトマスク保持機構１５と、接着剤除去テープ１１の背面を押圧体１４によって押圧することにより、接着剤除去テープ１１の主面を、フォトマスク１のペリクル接着剤６が残る箇所に接触させるテープ押圧機構と、接着剤除去テープ１１を供給するテープ供給機構と、接着剤除去テープ１１を回収するテープ回収機構と、を備えており、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を、剥離用薬液３２を含浸させた接着剤除去テープ１１に付着させて、フォトマスク１から除去するものである。

なお、本発明において、「接着剤除去テープ１１の主面」とは、接着剤除去テープ１１がフォトマスク１に接触する側の面を指し、「接着剤除去テープ１１の背面」とは、接着剤除去テープ１１が押圧体１４によって押圧される側の面を指す。

接着剤除去テープ１１がフォトマスク１に接触する位置は、フォトマスク１または押圧体１４の移動機構（図示せず）により、相対的に移動させることができる。
図１に示すペリクル接着剤除去装置１０においては、フォトマスク保持機構１５が水平移動することによって、接着剤除去テープ１１がフォトマスク１に接触する位置を変更する。

本発明においては、接着剤除去テープ１１がフォトマスク１に接触する位置を、ペリクル接着剤６が残る箇所に沿って移動させることが好ましい。
図５に示すように、ペリクル接着剤６が残る箇所は限定された領域であり、この限定された領域を走査することで、マスクパターンが形成されている領域等を汚染することなく、短時間で効率良く、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去できるからである。

なお、図１に示すように、ペリクル接着剤除去装置１０においては、フォトマスク１の主面（マスクパターンが形成された面）を重力方向（図中の下方向）に向けて、フォトマスク１を保持することが好ましい。
異物がフォトマスク１のマスクパターンが形成された領域に付着することを防止するためである。さらに、接着剤除去テープ１１に含浸させた剥離用薬液３２が、フォトマスク１の主面の望まない箇所に液垂れすることを防止する効果もある。
また、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６が糸状になっている場合に、その糸状のペリクル接着剤を除去する際に、糸状の一部がフォトマスク１の主面の望まない箇所に再付着してしまうことを防止する効果もある。
なお、本発明において、「フォトマスク１の主面」とは、フォトマスク１においてマスクパターンが形成された面を指す。

図１に示すペリクル接着剤除去装置１０において、上記のテープ供給機構は、巻出しロール１２から接着剤除去テープ１１を引き出して、フォトマスク１と接触する箇所に接着剤除去テープ１１を供給するものである。
また、上記のテープ回収機構は、巻取りロール１３に接着剤除去テープ１１を巻き取ることで、フォトマスク１と接触する箇所から接着剤除去テープ１１を回収するものである。

ここで、接着剤除去テープ１１が駆動する方向は、フォトマスク１と接触する箇所において、フォトマスク１が移動する方向と同じ向きであっても良いが、図１に示すように、フォトマスク１が移動する方向と逆向きであることが好ましい。フォトマスク１が移動する方向と逆向きである方が、除去効果が高いからである。

ペリクル接着剤除去装置１０は上記のような構成を備えるため、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を、剥離用薬液３２を含浸させた接着剤除去テープ１１に付着させて、フォトマスク１から除去することができる。
それゆえ、除去に用いる液体の量は、接着剤除去テープ１１に含浸させる剥離用薬液３２の量で済み、大量の液体を要しない。リンス液も不要である。

また、接着剤除去テープ１１は、ペリクル接着剤６を付着する前の汚染されていない接着剤除去テープ１１が巻出しロール１２から連続的に供給され、フォトマスク１のペリクル接着剤が残る箇所に局所的に接触してペリクル接着剤６を付着し、その後は、フォトマスク１から離間され、巻取りロール１３によって回収される。
すなわち、フォトマスク１に接触する箇所には、常に新しい接着剤除去テープ１１が供給され、ペリクル接着剤６を付着した接着剤除去テープ１１が再度使用されることはない。
それゆえ、本発明においては、ペリクル接着剤６を付着した接着剤除去テープ１１によってフォトマスク１が汚染してしまうことを、防止できる。

また、本発明においては、剥離用薬液３２を含浸させた接着剤除去テープ１１を、フォトマスク１のペリクル接着剤６が残る箇所に局所的に接触させるため、除去に係る領域の面積は小さく、剥離用薬液３２及び接着剤除去テープ１１のいずれも使用量を少なくすることができる。
また、本発明においては、元々ペリクル接着剤６が付着していない箇所にまで、剥離用薬液３２等の液体をかけて、その後リンスや乾燥を施すといった工程も不要なため、除去に係る工程を短縮できる。

また、上記のように、本発明においては、液体洗浄やリンスを施すといった工程も不要なため、フォトマスクを乾燥させないと除去状態の確認が出来ないといった不具合も生じない。
本発明においては、接着剤除去テープ１１がフォトマスク１から離間すれば、除去状態を直ぐに確認することができ、除去状態が思わしくなければ、押圧体１４の押圧力を調整して再度除去工程を施すなどの処置を取ることで、結果的に除去時間を短縮することが可能である。
本発明においては、図１に示すペリクル接着剤除去装置１０のように、ペリクル接着剤６の除去状態を観察するために、ＣＣＤカメラ等の撮像機構２１を備える構成としても良い。

本発明においては、接着剤除去テープとして、予め剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを用いても良いが、ペリクル接着剤除去装置が、接着剤除去テープに剥離用薬液を含浸させる薬液含浸機構を備えるものであっても良い。

例えば、図１に示すペリクル接着剤除去装置１０においては、巻出しロール１２から引き出した接着剤除去テープ１１の主面に、薬液供給ノズル３１から剥離用薬液３２を吐出して、接着剤除去テープ１１に剥離用薬液３２を含浸させている。過度の剥離用薬液３２は、薬液回収部３３により回収される。

また、本発明においては、押圧体１４から剥離用薬液３２を浸み出させて、接着剤除去テープ１１に剥離用薬液３２を含浸させても良い。

ペリクル接着剤除去装置１０が上記のような機構を有していれば、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６の状態に応じて、剥離用薬液３２の量や濃度を調整することが可能である。また、接着剤除去テープ１１がペリクル接着剤６と接触する直前に、若しくは接触時に、適切な量の剥離用薬液３２を付与できるため、剥離用薬液３２の乾燥や、望まない箇所への付着等を防止することもできる。

また、本発明においてペリクル接着剤除去装置１０は、押圧体１４を摺動させる摺動機構を備え、接着剤除去テープ１１の背面で押圧体１４を摺動させるようにしても良い。
例えば、接着剤除去テープ１１の長手方向や幅方向に押圧体１４を往復運動させたり、円運動させたりすることができる。また、超音波振動を与えることで、摺動させてもよい。

このような摺動を施すことで、接着剤除去テープ１１に含浸させた剥離用薬液３２によって膨潤したペリクル接着剤６は、フォトマスク１から剥がれ易くなり、接着剤除去テープ１１に付着されて、フォトマスク１から効果的に除去されることになる。
なお、押圧体１４は接着剤除去テープ１１の背面で摺動するため、押圧体１４がフォトマスク１に残るペリクル接着剤６に触れることは無い。それゆえ、押圧体１４がペリクル接着剤６によって汚染されることも無い。

また、本発明においてペリクル接着剤除去装置１０は、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を加熱する加熱機構を備えていても良い。
加熱することで、ペリクル接着剤６の剥離用薬液３２への溶解度を向上させる効果や、ペリクル接着剤６をより膨潤させるといった効果を奏することができ、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を、より除去し易くすることができるからである。また、加熱によってペリクル接着剤６を軟化させ、より除去し易くすることも可能である。

例えば、図１に示すペリクル接着剤除去装置１０において、フォトマスク１の裏面側（主面とは反対側）に、赤外線ランプ、または、ホットプレートから構成される加熱機構（図示略）を設けることで、フォトマスク１の裏面側からの赤外線の照射やホットプレートによる近接加熱により、ペリクル接着剤６を含めフォトマスク１全体を加熱することができる。

また、フォトマスク１の主面側であって、ペリクル接着剤６が接着剤除去テープ１１と接触する前の箇所に、赤外線を含むスポットライトを照射する機構を設け（図示略）、ペリクル接着剤６が残る箇所に沿って赤外線を含むスポットライトを照射することにより、局所的にペリクル接着剤６を加熱してもよい。

加熱されるペリクル接着剤６の温度範囲としては、ペリクル接着剤６が、より除去され易くなる温度範囲であれば用いることができるが、ペリクル接着剤６の温度は、接着剤除去テープ１１との接触時において、接着剤除去テープ１１に含浸させる剥離用薬液３２の沸点以下であることが好ましい。
それゆえ、例えば、剥離用薬液３２として二塩化メチレンを用いる場合、ペリクル接着剤６の温度は、接着剤除去テープ１１との接触時において、室温（通常２３℃）以上であって４０℃以下となるようにすることが好ましい。

接着剤除去テープ１１の材料としては、剥離用薬液３２を含浸することができ、剥離用薬液３２に溶解せず、剥離用薬液３２によって変質しないものであれば用いることができる。また、その主面は、膨潤したペリクル接着剤６が付着し易いものであることが好ましい。接着剤除去テープ１１としては、例えば、テープ状の布や不織布、金属テープを布で被覆したものや、ガラス繊維クロス、フッ素系樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アルミナ等から構成されるテープを挙げることができる。

剥離用薬液３２としては、ペリクル接着剤６の成分に対応した薬液を選定する必要があるが、例えば、アセトン、ベンゼン、トルエン、酢酸エチル、酢酸メチル、メチルエチルケトン、トリクレン、パークレン、二塩化メチレン、ジメチルホルムアミド、シクロヘキサン、テロラヒドロフラン、ガソリン等の有機溶剤、これらの内の少なくとも１成分を含む混合物等を挙げることができる。

押圧体１４の材料としては、剥離用薬液３２に溶解せず、剥離用薬液３２によって変質しないものであれば用いることができる。また、その表面は、剥離用薬液３２に対して親和性の低いものであることが好ましい。例えば、フッ素系樹脂、ＰＥＥＫ、ＰＥＴ等、耐薬品性を有する樹脂や、これら樹脂を金属にコーティングした物を用いることができる。

（第２の実施形態）
図１においては、１本の接着剤除去テープ１１を用いてフォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去するペリクル接着剤除去装置１０を例示したが、本発明においては、２本以上の接着剤除去テープ１１を用いてペリクル接着剤６を除去しても良い。

例えば、ペリクル接着剤除去装置を、テープ押圧機構、テープ供給機構、及び、テープ回収機構を含む一組のテープ駆動機構を２組以上備える構成として、２組以上の各テープ駆動機構によって駆動される各接着剤除去テープを、フォトマスクのペリクル接着剤が残る箇所に、連続的に接触させることにより、フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去しても良い。

このような構成であれば、フォトマスクに残るペリクル接着剤を、汚染されていない２本以上の接着剤除去テープで、連続的に複数回擦り取ることができ、より効果的にペリクル接着剤を除去することができる。
また、１本の接着剤除去テープを用いてペリクル接着剤を除去する場合に比べて、使用する接着剤除去テープの本数に応じて、フォトマスク１の移動速度を速くすることもでき、除去に係る時間を短くすることもできる。

（第３の実施形態）
また、本発明においては、剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを用いた後に、剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープを用いることもできる。
より具体的には、上記の第２の実施形態における２組以上のテープ駆動機構のうち、少なくとも一組のテープ駆動機構によって駆動される接着剤除去テープが、剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態のものであり、他の一組のテープ駆動機構によって剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープをフォトマスクに接触させた後に、剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープをフォトマスクに接触させるものであっても良い。

例えば、図２に示すペリクル接着剤除去装置５０は、図１に示すペリクル接着剤除去装置１０が備える一組のテープ駆動機構６０に加えて、別の一組のテープ駆動機構７０を備えている。
より詳しくは、図中左側の一組のテープ駆動機構６０は、押圧体１４を有するテープ押圧機構、巻出しロール１２を有するテープ供給機構、及び、巻取りロール１３を有するテープ回収機構を含み、駆動する接着剤除去テープ１１は剥離用薬液３２を含浸させたものである。
一方、図中右側の一組のテープ駆動機構７０は、押圧体５４を有するテープ押圧機構、巻出しロール５２を有するテープ供給機構、及び、巻取りロール５３を有するテープ回収機構を含み、駆動する接着剤除去テープ５１は剥離用薬液３２を含浸させていない乾いた状態のものである。

ペリクル接着剤除去装置５０においては、フォトマスク１はフォトマスク保持機構１５によって図中右方向（Ｘ方向）に移動され、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６は、まず、一組のテープ駆動機構６０によって駆動される接着剤除去テープ１１と接触する。
接着剤除去テープ１１は剥離用薬液３２を含浸しているため、剥離用薬液３２によってペリクル接着剤６は膨潤し、接着剤除去テープ１１によって擦り取られる。

ここで、フォトマスク１には、接着剤除去テープ１１に含浸させた剥離用薬液３２が残留する場合がある。また、この残留した剥離用薬液３２にはペリクル接着剤６が溶解している場合もある。そして、この剥離用薬液３２に溶解したペリクル接着剤６は、剥離用薬液３２が乾燥すると、再び残渣としてフォトマスク１に残る場合がある。

これに対し、ペリクル接着剤除去装置５０においては、一組のテープ駆動機構７０によって駆動される接着剤除去テープ５１を接触させることによって、このフォトマスク１に残留する剥離用薬液３２を拭き取ることができる。
それゆえ、例え、フォトマスク１に残留した剥離用薬液３２にペリクル接着剤６が溶解していた場合でも、剥離用薬液３２ごと拭き取ることで、剥離用薬液３２が乾燥した後に、剥離用薬液３２に溶解していたペリクル接着剤６が、残渣としてフォトマスク１に残る不具合を解消することができる。

なお、ペリクル接着剤除去装置５０において、接着剤除去テープ５１には、接着剤除去テープ１１と同じ材料を用いることができる。また、押圧体５４も、押圧体１４と同じ材料を用いることができ、押圧体１４と同じ構成とすることができる。

以上、本発明に係るペリクル接着剤除去装置及びペリクル接着剤除去方法について、それぞれの実施形態を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。

以下に実施例を示して、本発明をさらに具体的に説明する。

（実施例１）
図１に示す構成のペリクル接着剤除去装置１０を使用して、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去する処理を行った。
ペリクル接着剤６はアクリル系樹脂の接着剤であり、剥離用薬液３２には二塩化メチレンを使用し、接着剤除去テープ１１には綿布をテープ状にしたものを使用した。
また、押圧体１４にはフッ素系樹脂を金属にコーティングした物を用い、振動を与えて接着剤除去テープ１１の背面で摺動させた。
処理後の観察の結果、フォトマスク１からペリクル接着剤６は除去されていた。
また、当初のペリクル接着剤６の残渣部以外の領域に、ペリクル接着剤６の再付着は観察されなかった。

（実施例２）
図１に示す構成のペリクル接着剤除去装置１０が有する一組のテープ駆動機構を、２組備えたペリクル接着剤除去装置を使用して、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去する処理を行った。
ペリクル接着剤６はアクリル系樹脂の接着剤であり、剥離用薬液３２には二塩化メチレンを使用し、接着剤除去テープ１１には綿布をテープ状にしたものを使用した。
なお、この実施例２では、２組のテープ駆動機構で駆動する各接着剤除去テープ１１には、いずれも同じ材料から構成されるものを使用し、各接着剤除去テープ１１に、それぞれ剥離用薬液３２として二塩化メチレンを含浸させた。
また、２組のテープ駆動機構に含まれる各テープ押圧機構の各押圧体１４には、いずれもフッ素系樹脂を金属にコーティングした物を用い、それぞれ振動を与えて、各接着剤除去テープ１１の背面で摺動させた。
また、この実施例２では、フォトマスク１の移動速度を、実施例１の２倍の速さで移動させた。その結果、概ね実施例１の半分の時間で処理が終了した。
処理後の観察の結果、フォトマスク１からペリクル接着剤６は除去されていた。
また、当初のペリクル接着剤６の残渣部以外の領域に、ペリクル接着剤６の再付着は観察されなかった。

（実施例３）
図２に示す構成のペリクル接着剤除去装置５０を使用して、フォトマスク１に残るペリクル接着剤６を除去する処理を行った。
ペリクル接着剤６はアクリル系樹脂の接着剤であり、剥離用薬液３２には二塩化メチレンを使用し、接着剤除去テープ１１、５１には綿布をテープ状にしたものを使用した。
また、押圧体１４、５４にはフッ素系樹脂を金属にコーティングした物を用い、振動を与えて、接着剤除去テープ１１、５１の背面で摺動させた。
この実施例３では、フォトマスク１の移動速度は、実施例１と同じ速さで移動させた。 処理後の観察の結果、フォトマスク１からペリクル接着剤６は除去されていた。
また、当初のペリクル接着剤６の残渣部以外の領域に、ペリクル接着剤６の再付着は観察されなかった。
また、フォトマスク１には剥離用薬液３２の乾燥シミも観測されなかった。

１ フォトマスク
２ ペリクル
３ ペリクル膜
４ ペリクルフレーム
５ ペリクル接着剤
６ フォトマスクに残ったペリクル接着剤
１０、５０ ペリクル接着剤除去装置
１１、５１ 接着剤除去テープ
１２、５２ 巻出しロール
１３、５３ 巻取りロール
１４、５４ 押圧体
１５ フォトマスク保持機構
２１ 撮像機構
３１ 薬液供給ノズル
３２ 剥離用薬液
３３ 薬液回収部
３４、３５、３６ ロール
６０、７０ テープ駆動機構

Claims (16)

1. フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去する装置であって、
   前記フォトマスクを保持するフォトマスク保持機構と、
   接着剤除去テープの背面を押圧体によって押圧することにより前記接着剤除去テープの主面を前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させるテープ押圧機構と、
   前記接着剤除去テープを供給するテープ供給機構と、
   前記接着剤除去テープを回収するテープ回収機構と、
   を備えており、
   前記ペリクル接着剤を、剥離用薬液を含浸させた前記接着剤除去テープに付着させて、前記フォトマスクから除去することを特徴とするペリクル接着剤除去装置。
2. 前記フォトマスク保持機構が、
   前記フォトマスクのマスクパターンが形成された面を重力方向に向けて、前記フォトマスクを保持することを特徴とする請求項１に記載のペリクル接着剤除去装置。
3. 前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させる薬液含浸機構を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のペリクル接着剤除去装置。
4. 前記押圧体から前記剥離用薬液を浸み出させて、
   前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させることを特徴とする請求項３に記載のペリクル接着剤除去装置。
5. 前記押圧体を摺動させる摺動機構を備え、
   前記接着剤除去テープの背面で前記押圧体を摺動させることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置。
6. 前記接着剤除去テープが前記フォトマスクに接触する位置を、
   前記ペリクル接着剤が残る箇所に沿って移動させる移動機構を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置。
7. 前記フォトマスクに残る前記ペリクル接着剤を加熱する加熱機構を備えることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置。
8. 前記テープ押圧機構、前記テープ供給機構、及び、前記テープ回収機構を含む一組のテープ駆動機構を２組以上備え、
   前記２組以上の各テープ駆動機構によって駆動される各接着剤除去テープの主面を、
   前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去装置。
9. 前記２組以上のテープ駆動機構のうち、少なくとも一組のテープ駆動機構によって駆動される接着剤除去テープが、前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態のものであり、
   他の一組のテープ駆動機構によって駆動される、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを、前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させた後に、
   前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープの主面を、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを接触させた箇所に接触させることを特徴とする請求項８に記載のペリクル接着剤除去装置。
10. フォトマスクに残るペリクル接着剤を除去する方法であって、
    剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープの背面を、押圧体によって押圧することにより、前記接着剤除去テープの主面を、前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させ、前記ペリクル接着剤を前記接着剤除去テープに付着させて、前記フォトマスクから除去することを特徴とするペリクル接着剤除去方法。
11. 前記フォトマスクのマスクパターンが形成された面を重力方向に向けた状態で、前記ペリクル接着剤を前記フォトマスクから除去することを特徴とする請求項１０に記載のペリクル接着剤除去方法。
12. 前記押圧体から前記剥離用薬液を浸み出させて、
    前記接着剤除去テープに前記剥離用薬液を含浸させることを特徴とする請求項１０または請求項１１に記載のペリクル接着剤除去方法。
13. 前記接着剤除去テープの背面で前記押圧体を摺動させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１２のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法。
14. 前記接着剤除去テープが前記フォトマスクに接触する位置を、前記ペリクル接着剤が残る箇所に沿って移動させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１３のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法。
15. 前記フォトマスクに残る前記ペリクル接着剤を加熱することを特徴とする請求項１０乃至請求項１４のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法。
16. 前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープの主面を前記フォトマスクの前記ペリクル接着剤が残る箇所に接触させた後に、
    前記剥離用薬液を含浸させていない乾いた状態の接着剤除去テープの主面を、前記剥離用薬液を含浸させた接着剤除去テープを接触させた箇所に接触させることを特徴とする請求項１０乃至請求項１５のいずれか１項に記載のペリクル接着剤除去方法。
    
    

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