JP2016187028A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1領域1Aを有する第1露光領域IG1と、第2領域2Aを有する第2露光領域IG2とが、第1領域1Aおよび第2領域2Aの間の第3領域3Aにおいて重なっており、第3領域3Aに形成された画素PE3内において、第1露光領域IG1用のマスクにより形成されたフォトダイオードPD2を、第2露光領域IG2用のマスクにより形成されるフォトダイオードPD3よりも第2領域2A側に近い位置に配置する。
【選択図】図2
Description
以下に、図1〜図5を用いて本実施の形態の半導体装置を説明する。本実施の形態の半導体装置は、固体撮像素子に係るものであり、特に、1つの画素内に複数のフォトダイオードを有する固体撮像素子に係る。
以下に、本実施の形態の変形例1について、図10を用いて説明する。図10は、本実施の形態の変形例1である半導体装置を示す平面レイアウトである。
以下に、本実施の形態の変形例2について、図13を用いて説明する。図13は、本実施の形態の変形例2である半導体装置を示す平面レイアウトである。
以下に、本実施の形態の変形例3について、図16を用いて説明する。図16は、本実施の形態の変形例3である半導体装置を示す平面レイアウトである。
以下に、本実施の形態の変形例4について、図19を用いて説明する。図19は、本実施の形態の変形例4である半導体装置を示す平面レイアウトである。
以下に、本実施の形態2の半導体装置について、図23を用いて説明する。図23は、本実施の形態である半導体装置を示す平面レイアウトである。
なお、図24および図25に示すように、第3領域3Aにおいて、画素PE9と画素PE10との間に、2つのフォトダイオードを有する画素を設けてもよい。図24および図25は、本実施の形態の変形例である半導体装置の平面レイアウトである。
2A 第2領域
3A 第3領域
IG1 第1露光領域
IG2 第2露光領域
PD1〜PD8 フォトダイオード
PE1〜PE10 画素
Claims (15)
- 主面に沿う第1方向に順に並ぶ第1領域、第2領域、並びに、前記第1領域および前記第2領域の間の第3領域を有する半導体基板と、
前記第1領域において、前記第1方向および前記第1方向に対して直交する第2方向に行列状に複数並んで配置された第1画素と、
前記第2領域において、前記第1方向および前記第2方向に行列状に複数並んで配置された第2画素と、
前記第3領域に形成された第3画素と、
前記半導体基板の主面においてそれぞれ複数形成された第1フォトダイオード、第2フォトダイオード、第3フォトダイオードおよび第4フォトダイオードと、
を有する固体撮像素子を含む半導体装置であって、
前記第1画素内には、前記第1フォトダイオードおよび前記第2フォトダイオードが前記第1方向に順に並んで配置され、
前記第2画素内には、前記第3フォトダイオードおよび前記第4フォトダイオードが前記第1方向に順に並んで配置され、
前記第1方向において前記複数の第1画素および前記複数の第2画素と並んで配置された前記第3画素内には、前記第2フォトダイオードおよび前記第3フォトダイオードが配置され、
前記第3フォトダイオードおよび前記第4フォトダイオードは、前記第1フォトダイオードおよび前記第2フォトダイオードに対し、平面視において1方向にずれた位置に配置され、
前記第3画素のそれぞれにおいて、前記第2フォトダイオードは、前記第3フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置されている、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第3領域において、前記第3画素と前記第2方向に並ぶ第4画素をさらに有し、
前記第1方向において前記複数の第1画素および前記複数の第2画素と並んで配置された前記第4画素内には、前記第2フォトダイオードおよび前記第3フォトダイオードが配置され、
前記第4画素内において、前記第3フォトダイオードは、前記第2フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置されている、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第3領域において、前記第3画素と前記第2方向に並ぶ第5画素をさらに有し、
前記第1方向において前記複数の第1画素および前記複数の第2画素と並んで配置された前記第5画素内には、前記第1フォトダイオードおよび前記第4フォトダイオードが配置され、
前記第5画素内において、前記第4フォトダイオードは、前記第1フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置されている、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第3領域において、前記第3画素と前記第1方向に並ぶ第6画素をさらに有し、
前記第6画素内には、前記第2フォトダイオードおよび前記第3フォトダイオードが配置され、
前記第6画素内において、前記第3フォトダイオードは、前記第2フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置されている、半導体装置。 - 請求項4記載の半導体装置において、
前記第3領域において、前記第3画素と前記第2方向に並ぶ第4画素と、前記第6画素と前記第2方向に並ぶ第7画素とをさらに有し、
前記第4画素内および前記第7画素内のそれぞれには、前記第2フォトダイオードおよび前記第3フォトダイオードが配置され、
前記第4画素内において、前記第3フォトダイオードは、前記第2フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置され、
前記第7画素内において、前記第2フォトダイオードは、前記第3フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置されている、半導体装置。 - 請求項4記載の半導体装置において、
前記第3領域において、前記第3画素と前記第2方向に並ぶ第8画素と、前記第6画素と前記第2方向に並ぶ第5画素とをさらに有し、
前記第5画素内および前記第8画素内のそれぞれには、前記第1フォトダイオードおよび前記第4フォトダイオードが配置され、
前記第5画素内において、前記第4フォトダイオードは、前記第1フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置され、
前記第8画素内において、前記第1フォトダイオードは、前記第4フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置されている、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第3領域において、前記第3画素は、前記第1方向および前記第2方向に行列状に複数配置されている、半導体装置。 - 請求項2記載の半導体装置において、
前記第3領域において、前記第3画素および前記第4画素のそれぞれは、前記第1方向に並んで複数配置されている、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第3領域において、前記第3画素と前記第2方向に並ぶ第9画素をさらに有し、
前記第3領域において、前記第3画素および前記第9画素のそれぞれは、前記第1方向に並んで複数配置され、
前記第9画素内には、前記第1フォトダイオードおよび前記第4フォトダイオードが配置され、
前記第9画素内において、前記第1フォトダイオードは、前記第4フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置されている、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第3領域の前記第2フォトダイオードおよび前記第3フォトダイオードは、前記第1領域および前記第2領域の前記第2フォトダイオードおよび前記第3フォトダイオードよりも平面視における面積が大きい、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第3領域の前記第2フォトダイオードおよび前記第3フォトダイオードは、前記第1領域および前記第2領域の前記第2フォトダイオードおよび前記第3フォトダイオードよりも平面視における面積が小さい、半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第3領域の前記第2フォトダイオードは、前記第1領域の前記第2フォトダイオードよりも平面視における面積が大きく、
前記第3領域の前記第3フォトダイオードは、前記第2領域の前記第3フォトダイオードよりも平面視における面積が小さい、半導体装置。 - 主面に沿う第1方向に順に並ぶ第1領域、第3領域および第2領域を有する半導体基板と、
前記第1領域において、前記第1方向に対して直交する第2方向に並んで配置された第1画素および第4画素と、
前記第2領域において、前記第2方向に並んで配置された第2画素および第5画素と、
前記第3領域において、前記第2方向に並んで配置された第3画素および第6画素と、
前記半導体基板の主面に形成された第1フォトダイオード、第2フォトダイオード、第3フォトダイオード、第4フォトダイオード、第5フォトダイオード、第6フォトダイオード、第7フォトダイオード、第8フォトダイオード、第9フォトダイオード、第10フォトダイオード、第11フォトダイオード、および第12フォトダイオードと、
を有する固体撮像素子を含む半導体装置であって、
前記第1方向において、前記第1画素、前記第2画素および前記第3画素は、互いに並んで配置され、
前記第1方向において、前記第4画素、前記第5画素および前記第6画素は、互いに並んで配置され、
前記第1画素内には、前記第1フォトダイオードおよび前記第2フォトダイオードが前記第1方向に順に並んで配置され、
前記第2画素内には、前記第3フォトダイオードおよび前記第4フォトダイオードが前記第1方向に順に並んで配置され、
前記第3画素内には、前記第5フォトダイオードおよび前記第6フォトダイオードが配置され、
前記第4画素内には、前記第7フォトダイオードおよび前記第8フォトダイオードが前記第1方向に順に並んで配置され、
前記第5画素内には、前記第9フォトダイオードおよび前記第10フォトダイオードが前記第1方向に順に並んで配置され、
前記第6画素内には、前記第11フォトダイオードおよび前記第12フォトダイオードが配置され、
前記第3フォトダイオード、前記第4フォトダイオード、前記第5フォトダイオード、前記第9フォトダイオード、前記第10フォトダイオードおよび前記第11フォトダイオードは、前記第1フォトダイオード、前記第2フォトダイオード、前記第6フォトダイオード、前記第7フォトダイオード、前記第8フォトダイオードおよび前記第12フォトダイオードに対し、平面視において1方向にずれた位置に配置され、
前記第3画素内において、前記第6フォトダイオードは、前記第5フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置され、
前記第6画素内において、前記第12フォトダイオードは、前記第11フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置され、
前記第1フォトダイオードは、前記第2フォトダイオードおよび前記第6フォトダイオードよりも平面視における面積が小さく、
前記第3フォトダイオードは、前記第4フォトダイオードおよび前記第5フォトダイオードよりも平面視における面積が小さく、
前記第8フォトダイオードは、前記第7フォトダイオードおよび前記第12フォトダイオードよりも平面視における面積が小さく、
前記第10フォトダイオードは、前記第9フォトダイオードおよび前記第11フォトダイオードよりも平面視における面積が小さい、半導体装置。 - 主面に沿う第1方向に順に並ぶ第1領域、第3領域および第2領域を有する半導体基板と、
前記第1領域において、前記第1方向に対して直交する第2方向に並んで配置された第1画素および第4画素と、
前記第2領域において、前記第2方向に並んで配置された第2画素および第5画素と、
前記第3領域において、前記第2方向に並んで配置された第3画素および第6画素と、
前記半導体基板の主面に形成された複数の第1フォトダイオード、複数の第2フォトダイオード、第3フォトダイオードおよび第4フォトダイオードと、
を有する固体撮像素子を含む半導体装置であって、
前記第1方向において、前記第1画素、前記第2画素および一部の前記第3画素は、互いに並んで配置され、
前記第1方向において、前記第4画素、前記第5画素および一部の前記第6画素は、互いに並んで配置され、
前記第1画素内および前記第4画素内のそれぞれには、2つの前記第1フォトダイオードが前記第1方向に順に並んで配置され、
前記第2画素内および前記第5画素内のそれぞれには、2つの前記第2フォトダイオードが前記第1方向に順に並んで配置され、
前記第3画素内には、前記第3フォトダイオードが配置され、
前記第6画素内には、前記第4フォトダイオードが配置され、
前記複数の第2フォトダイオードおよび前記第4フォトダイオードは、前記複数の第1フォトダイオードおよび前記第3フォトダイオードに対し、平面視において1方向にずれた位置に配置され、
前記第3フォトダイオードおよび前記第4フォトダイオードのそれぞれは、前記第1フォトダイオードおよび前記第2フォトダイオードよりも平面視における面積が大きい、半導体装置。 - 請求項14記載の半導体装置において、
前記第3領域では、前記第2方向において、前記第3画素および前記第6画素と並んで第7画素が配置されており、
前記第7画素内には、前記第1フォトダイオードおよび前記第2フォトダイオードが配置されており、
前記第7画素内において、前記第1フォトダイオードは、前記第2フォトダイオードよりも前記第2領域に近い位置に配置されている、半導体装置。
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